JP2015046036A - Touch panel sensor and display unit having touch position detection function - Google Patents

Touch panel sensor and display unit having touch position detection function Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a touch panel sensor that meets two requirements of increasing the size and securing detection accuracy of a touch position.SOLUTION: A first electrode disposed on a first surface of a substrate includes a first transparent conductive layer extending in a belt-like fashion in a first direction, and a first metal layer laminated on the first transparent conductive layer. A second electrode disposed on a second surface of the substrate includes a second transparent conductive layer extending in a belt-like fashion in a second direction. The first metal layer of the first electrode extends linearly from one end of the first transparent conductive layer in the first direction to the other end thereof.

Description

本発明は、タッチパネルセンサに関する。また本発明は、タッチパネルセンサと表示装置とを組み合わせることによって得られるタッチ位置検出機能付き表示装置に関する。   The present invention relates to a touch panel sensor. The present invention also relates to a display device with a touch position detection function obtained by combining a touch panel sensor and a display device.

今日、入力手段として、タッチパネル装置が広く用いられている。タッチパネル装置は、タッチパネルセンサ、タッチパネルセンサ上への接触位置を検出する制御回路、配線およびFPC(フレキシブルプリント基板)を含んでいる。タッチパネル装置は、多くの場合、液晶ディスプレイや有機ELディスプレイ等の表示装置が組み込まれた種々の装置等(例えば、券売機、ATM装置、携帯電話、ゲーム機)に対する入力手段として、表示装置とともに用いられている。このような装置においては、タッチパネルセンサが表示装置の表示面上に配置されており、これによって、表示装置に対する極めて直接的な入力が可能になっている。タッチパネルセンサのうち表示装置の表示領域に対面する領域は透明になっており、タッチパネルセンサのこの領域が、接触位置(接近位置)を検出し得るアクティブエリアを構成するようになる。   Today, touch panel devices are widely used as input means. The touch panel device includes a touch panel sensor, a control circuit that detects a contact position on the touch panel sensor, wiring, and an FPC (flexible printed circuit board). In many cases, the touch panel device is used together with the display device as an input means for various devices including a display device such as a liquid crystal display or an organic EL display (for example, a ticket vending machine, an ATM device, a mobile phone, a game machine). It has been. In such a device, the touch panel sensor is disposed on the display surface of the display device, thereby enabling extremely direct input to the display device. The area | region which faces the display area of a display apparatus among touch panel sensors is transparent, and this area | region of a touch panel sensor comprises the active area which can detect a contact position (approach position).

タッチパネルセンサとして、投影型容量結合方式のタッチパネルセンサが知られている。容量結合方式のタッチパネルセンサにおいては、位置を検知されるべき外部導体(典型的には、指)が誘電体を介してタッチパネルセンサに接触(接近)する際、新たに奇生容量が発生する。この奇生容量に起因する静電容量の変化に基づいて、タッチパネルセンサ上における外部導体の位置が検出される。このような投影型容量結合方式のタッチパネルセンサは、例えば特許文献1に示すように、第1面および第1面に対向する第2面を含む基材と、基材の第1面上に設けられ、第1方向に延びる複数の第1電極と、基材の第2面上に設けられ、第1方向に交差する第2方向に延びる複数の第2電極と、を備えている。第1電極および第2電極は、例えば、透光性および導電性を有する透明導電材料から構成される。このタイプのタッチパネルセンサにおいては、第1電極と第2電極とが交差する部分(以下、交差部分とも称する)において第1電極と第2電極との間に形成される静電容量が、指などの外部導体の接近に起因して変化する。   As a touch panel sensor, a projection capacitive coupling type touch panel sensor is known. In the capacitive coupling type touch panel sensor, when an external conductor (typically, a finger) whose position is to be detected contacts (approaches) the touch panel sensor via a dielectric, a strange capacitance is newly generated. The position of the external conductor on the touch panel sensor is detected on the basis of the change in capacitance caused by this strange capacitance. Such a projected capacitive coupling type touch panel sensor is provided on a first surface of a base material including a first surface and a second surface facing the first surface, as shown in Patent Document 1, for example. A plurality of first electrodes extending in the first direction, and a plurality of second electrodes provided on the second surface of the substrate and extending in the second direction intersecting the first direction. The first electrode and the second electrode are made of a transparent conductive material having translucency and conductivity, for example. In this type of touch panel sensor, the capacitance formed between the first electrode and the second electrode at the portion where the first electrode and the second electrode intersect (hereinafter also referred to as the intersecting portion) is a finger or the like. Varies due to the proximity of the outer conductor.

ところで、第1電極および第2電極のうち外部導体からより遠い位置に配置されている一方の電極は、交差部分において外部導体に対して他方の電極によって覆われることになる。従って一方の電極は、交差部分において、外部導体との間で静電容量を形成することができない。この結果、一方の電極に基づくタッチ位置の検出精度が、他方の電極に基づくタッチ位置の検出精度に比べて低くなってしまうことが考えられる。このような問題を解決するため、特許文献2においては、外部導体からより近い位置に配置されている他方の電極の幅を、一方の電極の幅よりも小さくし、これによって、一方の電極のうち他方の電極によって覆われている部分の比率を低減することが提案されている。   By the way, one of the first electrode and the second electrode, which is disposed at a position farther from the outer conductor, is covered with the other electrode with respect to the outer conductor at the intersection. Accordingly, one electrode cannot form a capacitance with the outer conductor at the intersection. As a result, it is considered that the detection accuracy of the touch position based on one electrode is lower than the detection accuracy of the touch position based on the other electrode. In order to solve such a problem, in Patent Document 2, the width of the other electrode disposed closer to the outer conductor is made smaller than the width of one electrode. It has been proposed to reduce the proportion of the portion covered by the other electrode.

特開2011−8724号公報JP 2011-8724 A 特開2010−72584号公報JP 2010-72584 A

特許文献2において提案されているように他方の電極の幅を小さくすると、他方の電極の電気抵抗値の増加を招くことになる。この場合、他方の電極に流れる信号の振幅が低下し、この結果、他方の電極に基づくタッチ位置の検出精度が劣化してしまうことが考えられる。また、他方の電極に流れる信号の伝達速度の低下も懸念される。   If the width of the other electrode is reduced as proposed in Patent Document 2, the electrical resistance value of the other electrode is increased. In this case, the amplitude of the signal flowing through the other electrode is lowered, and as a result, the detection accuracy of the touch position based on the other electrode may be deteriorated. In addition, there is a concern that the transmission speed of the signal flowing through the other electrode is lowered.

また近年は、タッチパネルセンサが搭載される表示装置のサイズが年々拡大しており、従って、タッチパネルセンサの大型化が求められている。しかしながら、タッチパネルセンサが大型化することは、第1電極および第2電極の長さが増加して各電極の電気抵抗値が増加することを意味している。従って、外部導体からより近い位置に配置されている他方の電極の幅を、一方の電極の幅よりも単に小さくするだけでは、タッチパネルセンサの大型化という要求、および、タッチ位置の検出精度の確保という2つの要求に応えることが困難である。   In recent years, the size of a display device on which a touch panel sensor is mounted is increasing year by year, and accordingly, an increase in the size of the touch panel sensor is required. However, an increase in the size of the touch panel sensor means that the lengths of the first electrode and the second electrode are increased, and the electric resistance value of each electrode is increased. Therefore, simply by making the width of the other electrode closer to the outer conductor smaller than the width of one electrode, it is necessary to increase the size of the touch panel sensor and to ensure the detection accuracy of the touch position. It is difficult to meet these two requirements.

本発明は、このような課題を効果的に解決し得るタッチパネルセンサおよびタッチ位置検出機能付き表示装置を提供することを目的とする。   An object of this invention is to provide the touchscreen sensor and display apparatus with a touch position detection function which can solve such a subject effectively.

本発明は、静電容量方式のタッチパネルセンサであって、第1面および前記第1面に対向する第2面を含む基材と、前記基材の前記第1面上に設けられ、第1方向に延びる複数の第1電極と、前記基材の前記第2面上に設けられ、前記第1方向に交差する第2方向に延びる複数の第2電極と、を備え、前記第1電極は、前記第1方向に帯状に延びる第1透明導電層と、前記第1透明導電層の観察者側の面上または表示装置側の面上に積層された第1金属層と、を有し、前記第2電極は、前記第2方向に帯状に延びる第2透明導電層を有し、前記第1金属層は、前記第1方向における前記第1透明導電層の一端から他端に向かって線状に延びている、タッチパネルセンサである。   The present invention is a capacitive touch panel sensor, comprising a base including a first surface and a second surface facing the first surface, and provided on the first surface of the base. A plurality of first electrodes extending in a direction, and a plurality of second electrodes provided on the second surface of the base material and extending in a second direction intersecting the first direction. A first transparent conductive layer extending in a strip shape in the first direction, and a first metal layer laminated on a viewer side surface or a display device side surface of the first transparent conductive layer, The second electrode has a second transparent conductive layer extending in a strip shape in the second direction, and the first metal layer is a line from one end to the other end of the first transparent conductive layer in the first direction. It is the touch panel sensor extended in the shape.

本発明によるタッチパネルセンサにおいて、前記基材の前記第1面は、観察者側を向く面であり、前記基材の前記第2面は、表示装置側を向く面であってもよい。この場合、前記第2電極の前記第2透明導電層の幅が、前記第1電極の前記第1透明導電層の幅よりも大きくなっていてもよい。   In the touch panel sensor according to the present invention, the first surface of the base material may be a surface facing the observer side, and the second surface of the base material may be a surface facing the display device side. In this case, the width of the second transparent conductive layer of the second electrode may be larger than the width of the first transparent conductive layer of the first electrode.

本発明によるタッチパネルセンサにおいて、好ましくは、隣接する2つの前記第1電極の前記第1透明導電層の間の間隔が、前記第1透明導電層の幅よりも大きくなっている。   In the touch panel sensor according to the present invention, preferably, an interval between the first transparent conductive layers of two adjacent first electrodes is larger than a width of the first transparent conductive layer.

本発明によるタッチパネルセンサにおいて、好ましくは、隣接する2つの前記第2電極の前記第2透明導電層の間の間隔が、30μm以下になっている。   In the touch panel sensor according to the present invention, preferably, an interval between the second transparent conductive layers of two adjacent second electrodes is 30 μm or less.

本発明によるタッチパネルセンサにおいて、前記第1金属層の表面または側面に、低反射処理が施されていてもよい。   In the touch panel sensor according to the present invention, the surface or side surface of the first metal layer may be subjected to low reflection treatment.

本発明によるタッチパネルセンサにおいて、前記第1金属層は、前記第1方向における前記第1透明導電層の一端から他端に向かって蛇行状に線状に延びていてもよい。   In the touch panel sensor according to the present invention, the first metal layer may extend in a meandering manner from one end to the other end of the first transparent conductive layer in the first direction.

本発明によるタッチパネルセンサにおいて、前記タッチパネルセンサは、アクティブエリアと、前記アクティブエリアの周辺に位置する非アクティブエリアと、に区画され、前記アクティブエリアには、前記第1電極および前記第2電極が設けられており、前記タッチパネルセンサは、前記非アクティブエリアに設けられ、前記第1電極に電気的に接続された複数の第1額縁配線をさらに備え、隣接する2つの前記第1電極の間には、前記第1電極および前記第1額縁配線のいずれにも電気的に接続されていないダミーパターンが設けられていてもよい。この場合、前記ダミーパターンは、透光性および導電性を有する透明導電材料から構成された層を含んでいる。   In the touch panel sensor according to the present invention, the touch panel sensor is divided into an active area and a non-active area located around the active area, and the active area is provided with the first electrode and the second electrode. The touch panel sensor is further provided with a plurality of first frame wirings provided in the inactive area and electrically connected to the first electrode, and between the two adjacent first electrodes. A dummy pattern that is not electrically connected to either the first electrode or the first frame wiring may be provided. In this case, the dummy pattern includes a layer made of a transparent conductive material having translucency and conductivity.

本発明によるタッチパネルセンサにおいて、前記ダミーパターンは、金属材料から構成された層をさらに含んでいてもよい。   In the touch panel sensor according to the present invention, the dummy pattern may further include a layer made of a metal material.

本発明によるタッチパネルセンサにおいて、前記第1金属層は、前記第1透明導電層の観察者側の面上に積層されていてもよい。若しくは、前記第1金属層は、前記第1透明導電層の表示装置側の面上に積層されていてもよい。   In the touch panel sensor according to the present invention, the first metal layer may be laminated on an observer-side surface of the first transparent conductive layer. Alternatively, the first metal layer may be laminated on the display device side surface of the first transparent conductive layer.

本発明は、表示装置と、前記表示装置の表示面上に配置された静電容量方式のタッチパネルセンサと、を備え、前記タッチパネルセンサは、第1面および前記第1面に対向する第2面を含む基材と、前記基材の前記第1面上に設けられ、第1方向に延びる複数の第1電極と、前記基材の前記第2面上に設けられ、前記第1方向に交差する第2方向に延びる複数の第2電極と、を備え、前記第1電極は、前記第1方向に帯状に延びる第1透明導電層と、前記第1透明導電層の観察者側の面上または表示装置側の面上に積層された第1金属層と、を有し、前記第2電極は、前記第2方向に帯状に延びる第2透明導電層を有し、前記第1金属層は、前記第1方向における前記第1透明導電層の一端から他端に向かって線状に延びている、タッチ位置検出機能付き表示装置。   The present invention includes a display device and a capacitive touch panel sensor disposed on a display surface of the display device, wherein the touch panel sensor is a first surface and a second surface facing the first surface. A base material including: a plurality of first electrodes provided on the first surface of the base material and extending in a first direction; and provided on the second surface of the base material and intersecting the first direction. A plurality of second electrodes extending in a second direction, and the first electrode includes a first transparent conductive layer extending in a strip shape in the first direction, and a surface on the viewer side of the first transparent conductive layer Or a first metal layer laminated on a surface on the display device side, the second electrode has a second transparent conductive layer extending in a strip shape in the second direction, and the first metal layer is The touch position extends linearly from one end of the first transparent conductive layer to the other end in the first direction. Function display device with out.

本発明において、基材の第1面上に設けられる第1電極は、第1方向に帯状に延びる第1透明導電層と、第1透明導電層に積層された第1金属層と、を有している。第1金属層は、第1方向における第1透明導電層の一端から他端に向かって線状に延びている。このため、第1透明導電層の幅が小さい場合であっても、第1金属層が存在することにより、第1電極の導電性を十分に確保することができ、従って、タッチパネルセンサの大型化に対応することができる。また、第1透明導電層の幅を小さくすることが可能であるため、第1電極および第2電極のパターンの設計の自由度が高くなっている。従って、第1電極および第2電極の電気抵抗値を仕様に沿って柔軟に設定することができ、このことにより、第1電極および第2電極それぞれに基づくタッチ位置の検出精度を適切に確保することができる。このため本発明によれば、大型化およびタッチ位置の検出精度の確保という2つの要求に応えるタッチパネルセンサを提供することができる。   In the present invention, the first electrode provided on the first surface of the substrate has a first transparent conductive layer extending in a strip shape in the first direction, and a first metal layer laminated on the first transparent conductive layer. doing. The first metal layer extends linearly from one end of the first transparent conductive layer in the first direction toward the other end. For this reason, even when the width of the first transparent conductive layer is small, the presence of the first metal layer makes it possible to sufficiently ensure the conductivity of the first electrode. It can correspond to. In addition, since the width of the first transparent conductive layer can be reduced, the degree of freedom in designing the pattern of the first electrode and the second electrode is increased. Therefore, the electrical resistance values of the first electrode and the second electrode can be flexibly set according to the specifications, and thereby, the detection accuracy of the touch position based on each of the first electrode and the second electrode is appropriately ensured. be able to. Therefore, according to the present invention, it is possible to provide a touch panel sensor that meets the two requirements of increasing the size and ensuring the detection accuracy of the touch position.

図1は、本発明の実施の形態におけるタッチ位置検出機能付き表示装置を示す展開図。FIG. 1 is a development view showing a display device with a touch position detection function in an embodiment of the present invention. 図2は、図1のタッチ位置検出機能付き表示装置におけるタッチパネルセンサを示す平面図。FIG. 2 is a plan view showing a touch panel sensor in the display device with a touch position detection function of FIG. 1. 図3は、図2において符号IIIが付された一点鎖線で囲まれた部分を拡大して示す平面図。FIG. 3 is an enlarged plan view showing a portion surrounded by an alternate long and short dash line denoted by reference numeral III in FIG. 図4は、タッチパネルセンサを図3のIV線に沿って切断した場合を示す断面図。4 is a cross-sectional view showing a case where the touch panel sensor is cut along the line IV in FIG. 図5は、タッチパネルセンサを図3のV線に沿って切断した場合を示す断面図。FIG. 5 is a cross-sectional view showing a case where the touch panel sensor is cut along the line V in FIG. 3. 図6(a)〜(f)は、タッチパネルセンサの製造方法を説明するための図。6A to 6F are views for explaining a method for manufacturing a touch panel sensor. 図7は、タッチパネルセンサの一変形例を示す平面図。FIG. 7 is a plan view showing a modification of the touch panel sensor. 図8は、図7において符号VIIIが付された一点鎖線で囲まれた部分を拡大して示す平面図。8 is an enlarged plan view showing a portion surrounded by a one-dot chain line denoted by reference numeral VIII in FIG. 図9は、タッチパネルセンサを図8のIX線に沿って切断した場合を示す断面図。9 is a cross-sectional view showing the case where the touch panel sensor is cut along the line IX in FIG. 図10は、第1金属層の表面に施される低反射処理の一例を示す断面図。FIG. 10 is a cross-sectional view showing an example of a low reflection treatment applied to the surface of the first metal layer. 図11は、第1金属層のパターンの一変形例を示す平面図。FIG. 11 is a plan view showing a modification of the pattern of the first metal layer. 図12は、第1電極の層構成の一変形例を示す断面図。FIG. 12 is a cross-sectional view showing a modification of the layer configuration of the first electrode. 図13(a)〜(f)は、図12に示す第1電極を備えたタッチパネルセンサの製造方法を説明するための図。13A to 13F are views for explaining a method of manufacturing a touch panel sensor including the first electrode shown in FIG.

以下、図1乃至図6(a)〜(f)を参照して、本発明の実施の形態の一例について説明する。なお、本明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。   Hereinafter, an exemplary embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 6A to 6F. In the drawings attached to the present specification, for the sake of illustration and ease of understanding, the scale, the vertical / horizontal dimension ratio, and the like are appropriately changed and exaggerated from those of the actual ones.

タッチパネル装置およびタッチ位置検出機能付き表示装置
はじめに図1を参照して、タッチパネルセンサ30を備えたタッチ位置検出機能付き表示装置10について説明する。図1に示すように、タッチ位置検出機能付き表示装置10は、タッチパネルセンサ30と、液晶ディスプレイや有機ELディスプレイなどの表示装置15とを組み合わせることによって構成されている。図示された表示装置15は、フラットパネルディスプレイとして構成されている。表示装置15は、表示面16aを有した表示パネル16と、表示パネル16に接続された表示制御部(図示せず)と、を有している。表示パネル16は、映像を表示することができるアクティブエリアA1と、アクティブエリアA1を取り囲むようにしてアクティブエリアA1の外側に配置された非アクティブエリア(額縁領域とも呼ばれる)A2と、を含んでいる。表示制御部は、表示されるべき映像に関する情報を処理し、映像情報に基づいて表示パネル16を駆動する。表示パネル16は、表示制御部の制御信号に基づいて、所定の映像を表示面16aに表示する。すなわち、表示装置15は、文字や図等の情報を映像として出力する出力装置としての役割を担っている。
Touch Panel Device and Display Device with Touch Position Detection Function First, a display device 10 with a touch position detection function including a touch panel sensor 30 will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 1, the display device with a touch position detection function 10 is configured by combining a touch panel sensor 30 and a display device 15 such as a liquid crystal display or an organic EL display. The illustrated display device 15 is configured as a flat panel display. The display device 15 includes a display panel 16 having a display surface 16 a and a display control unit (not shown) connected to the display panel 16. The display panel 16 includes an active area A1 that can display an image, and an inactive area (also referred to as a frame area) A2 that is disposed outside the active area A1 so as to surround the active area A1. . The display control unit processes information regarding the video to be displayed, and drives the display panel 16 based on the video information. The display panel 16 displays a predetermined image on the display surface 16a based on a control signal from the display control unit. That is, the display device 15 plays a role as an output device that outputs information such as characters and drawings as video.

図1に示すように、タッチパネルセンサ30は、表示装置15の表示面16aに、例えば接着層(図示せず)を介して接着されている。   As shown in FIG. 1, the touch panel sensor 30 is bonded to the display surface 16 a of the display device 15 via, for example, an adhesive layer (not shown).

タッチパネルセンサ
次に図2を参照して、タッチパネルセンサ30について説明する。図2は、観察者側から見た場合のタッチパネルセンサ30を示す平面図である。
Touch Panel Sensor Next, the touch panel sensor 30 will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a plan view showing the touch panel sensor 30 when viewed from the observer side.

ここでは、タッチパネルセンサ30が、投影型の静電容量結合方式のタッチパネルセンサとして構成される例について説明する。なお、「容量結合」方式は、タッチパネルの技術分野において「静電容量」方式や「静電容量結合」方式等とも呼ばれており、本件では、これらの「静電容量」方式や「静電容量結合」方式等と同義の用語として取り扱う。典型的な静電容量結合方式のタッチパネルセンサは、透光性を有する導電性のパターンを有しており、外部の導体(典型的には人間の指)がタッチパネルセンサに接近することにより、外部の導体とタッチパネルセンサの導電性のパターンとの間でコンデンサ(静電容量)が形成される。そして、このコンデンサの形成に伴った電気的な状態の変化に基づき、タッチパネルセンサ上において外部導体が接近している位置の位置座標が特定される。   Here, an example in which the touch panel sensor 30 is configured as a projection capacitive touch panel sensor will be described. The “capacitive coupling” method is also referred to as “capacitance” method or “capacitance coupling” method in the technical field of touch panels. It is treated as a term synonymous with the “capacitive coupling” method. A typical capacitive coupling type touch panel sensor has a light-transmitting conductive pattern, and an external conductor (typically a human finger) approaches the touch panel sensor to externally. A capacitor (capacitance) is formed between this conductor and the conductive pattern of the touch panel sensor. Based on the change in the electrical state accompanying the formation of the capacitor, the position coordinates of the position where the external conductor is approaching on the touch panel sensor are specified.

図2に示すように、タッチパネルセンサ30は、第1面32aおよび第1面32aに対向する第2面32bを含み、透光性を有する基材32と、基材32の第1面32a上に設けられ、第1方向D1に延びる複数の第1電極41と、基材32の第2面32b上に設けられ、第1方向D1に交差する、例えば第1方向D1に直交する第2方向D2に延びる複数の第2電極46と、を備えている。本実施の形態においては、図1に示すように、第1面32aが、観察者側を向く面となっており、第2面32bが、表示装置側を向く面となっている。本実施の形態においては、タッチ位置を検出するための所定の駆動信号、例えばパルス信号が第2電極46に伝達される。この駆動信号は、第2電極46と第1電極41との間の容量結合を介して第1電極41に伝達され、そして第1電極41から取り出される。このように、本実施の形態において、第2電極46および第1電極41は、いわゆる相互容量方式のタッチパネルセンサにおける駆動電極および検出電極として機能する。   As shown in FIG. 2, the touch panel sensor 30 includes a first surface 32 a and a second surface 32 b opposite to the first surface 32 a, and has a translucent base material 32 and a first surface 32 a of the base material 32. A plurality of first electrodes 41 extending in the first direction D1 and a second direction provided on the second surface 32b of the substrate 32 and intersecting the first direction D1, for example, perpendicular to the first direction D1 And a plurality of second electrodes 46 extending in D2. In the present embodiment, as shown in FIG. 1, the first surface 32a is a surface facing the observer side, and the second surface 32b is a surface facing the display device side. In the present embodiment, a predetermined drive signal for detecting the touch position, for example, a pulse signal is transmitted to the second electrode 46. This drive signal is transmitted to the first electrode 41 via the capacitive coupling between the second electrode 46 and the first electrode 41, and is taken out from the first electrode 41. Thus, in the present embodiment, the second electrode 46 and the first electrode 41 function as a drive electrode and a detection electrode in a so-called mutual capacitance type touch panel sensor.

図2に示すように、第1電極41および第2電極46はそれぞれ、帯状に延びる輪郭を有している。また、複数の第1電極41は一定の配列ピッチで第2方向D2に並べられており、複数の第2電極46も一定の配列ピッチで第1方向D1に並べられている。通常は、第2方向D2における第1電極41の配列ピッチと、第1方向D1における第2電極46の配列ピッチとは同一になっている。第1電極41および第2電極46の配列ピッチは、タッチ位置の検出に関して求められる分解能に応じて定められるが、例えば数mmになっている。なお図2においては、基材32の第1面32a側に設けられている構成要素が実線で表され、基材32の第2面32b側に設けられている構成要素が点線で表されている。   As shown in FIG. 2, each of the first electrode 41 and the second electrode 46 has a contour extending in a strip shape. The plurality of first electrodes 41 are arranged in the second direction D2 at a constant arrangement pitch, and the plurality of second electrodes 46 are also arranged in the first direction D1 at a constant arrangement pitch. Usually, the arrangement pitch of the first electrodes 41 in the second direction D2 and the arrangement pitch of the second electrodes 46 in the first direction D1 are the same. The arrangement pitch of the first electrode 41 and the second electrode 46 is determined according to the resolution required for the detection of the touch position, and is, for example, several mm. In FIG. 2, the components provided on the first surface 32a side of the base material 32 are represented by solid lines, and the components provided on the second surface 32b side of the base material 32 are represented by dotted lines. Yes.

図1に示すように、タッチパネルセンサ30の基材32は、タッチ位置を検出され得る領域に対応する矩形状のアクティブエリアAa1と、アクティブエリアAa1の周辺に位置する矩形枠状の非アクティブエリアAa2と、を含んでいる。アクティブエリアAa1および非アクティブエリアAa2はそれぞれ、表示パネル16のアクティブエリアA1および非アクティブエリアA2に対応して区画されたものである。   As shown in FIG. 1, the base material 32 of the touch panel sensor 30 includes a rectangular active area Aa1 corresponding to a region where a touch position can be detected, and a rectangular frame-shaped inactive area Aa2 located around the active area Aa1. And. The active area Aa1 and the inactive area Aa2 are respectively partitioned corresponding to the active area A1 and the inactive area A2 of the display panel 16.

上述の第1電極41および第2電極46は、アクティブエリアAa1内に配置されている。また非アクティブエリアAa2のうち基材32の第1面32a上には、各第1電極41に電気的に接続された複数の第1額縁配線43と、基材32の外縁近傍に配置され、各第1額縁配線43に電気的に接続された複数の第1端子部44と、が設けられている。さらに、非アクティブエリアAa2のうち基材32の第2面32b上には、各第2電極46に電気的に接続された複数の第2額縁配線48と、基材32の外縁近傍に配置され、各第2額縁配線48に電気的に接続された複数の第2端子部49と、が設けられている。   The first electrode 41 and the second electrode 46 described above are arranged in the active area Aa1. In addition, on the first surface 32a of the base material 32 in the inactive area Aa2, a plurality of first frame wirings 43 electrically connected to the first electrodes 41 and the vicinity of the outer edge of the base material 32 are disposed. A plurality of first terminal portions 44 electrically connected to each first frame wiring 43 are provided. Further, on the second surface 32b of the base material 32 in the inactive area Aa2, a plurality of second frame wirings 48 electrically connected to the second electrodes 46 and the vicinity of the outer edge of the base material 32 are arranged. A plurality of second terminal portions 49 that are electrically connected to the respective second frame wirings 48 are provided.

以下、タッチパネルセンサ30の各構成要素について説明する。   Hereinafter, each component of the touch panel sensor 30 will be described.

(基材)
基材32は、タッチパネルセンサ30において誘電体として機能するものである。基材32を構成する材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、シクロオレフィンポリマー(COP)やガラスなど、十分な透光性を有する材料が用いられる。なお第1電極41、第2電極46、額縁配線43,48や端子部44,49を適切に保持することができる限りにおいて、基材32の具体的な構成が特に限られることはない。例えば基材32は、タッチパネルセンサ30における光の反射率や透過率を調整するためのインデックスマッチング層をさらに含んでいてもよい。他にも、PET層などの表面に設けられたハードコート層がさらに基材32に含まれていてもよい。すなわち本実施の形態において、基材32とは、何らかの具体的な構造や材料を意味するものではなく、タッチパネルセンサ30を構成する第1電極41や第2電極46などのパターンの下地となるものを意味するに過ぎない。
(Base material)
The base material 32 functions as a dielectric in the touch panel sensor 30. As a material constituting the base material 32, for example, a material having sufficient translucency such as polyethylene terephthalate (PET), cycloolefin polymer (COP) or glass is used. In addition, as long as the 1st electrode 41, the 2nd electrode 46, the frame wiring 43 and 48, and the terminal parts 44 and 49 can be hold | maintained appropriately, the specific structure of the base material 32 is not specifically limited. For example, the base material 32 may further include an index matching layer for adjusting the reflectance and transmittance of light in the touch panel sensor 30. In addition, the base material 32 may further include a hard coat layer provided on the surface such as a PET layer. That is, in the present embodiment, the base material 32 does not mean any specific structure or material, but serves as a base for patterns such as the first electrode 41 and the second electrode 46 constituting the touch panel sensor 30. It just means.

(第1電極)
次に図3および図4を参照して、第1電極41について説明する。図3は、図2において符号IIIが付された一点鎖線で囲まれた部分を拡大して示す平面図であり、図4は、タッチパネルセンサ30を図3のIV線に沿って切断した場合を示す断面図である。
(First electrode)
Next, the first electrode 41 will be described with reference to FIGS. 3 and 4. FIG. 3 is an enlarged plan view showing a portion surrounded by an alternate long and short dash line denoted by reference numeral III in FIG. 2, and FIG. 4 shows a case where the touch panel sensor 30 is cut along the IV line in FIG. It is sectional drawing shown.

図3および図4に示すように、第1電極41は、前記第1方向に帯状に延びる第1透明導電層51と、第1透明導電層51に積層された第1金属層52と、を有している。本実施の形態において、第1金属層52は、第1透明導電層51の観察者側の面上に積層されている。第1金属層52は、第1電極41の電気抵抗値を低減するために第1透明導電層51上に積層される層である。第1金属層52は、第1方向D1における第1透明導電層の一端から他端に向かって線状に延びている。図3に示す例では、第1金属層52は、第1方向D1に沿って直線状に延びている。なお「帯状」とは、第1透明導電層51の幅W1が、第1方向D1における位置によらずほぼ一定であることを意味している。また「線状」とは、帯状に延びる第1透明導電層51の幅W1に比べて、第1金属層52の幅W3が著しく小さいことを意味している。例えば、第1透明導電層51の幅W1は0.5〜1.0mmの範囲内になっており、一方、第1金属層52の幅W3は1〜10μmの範囲内、より好ましくは2〜7μmの範囲内になっている。   As shown in FIGS. 3 and 4, the first electrode 41 includes a first transparent conductive layer 51 extending in a strip shape in the first direction, and a first metal layer 52 stacked on the first transparent conductive layer 51. Have. In the present embodiment, the first metal layer 52 is laminated on the surface of the first transparent conductive layer 51 on the viewer side. The first metal layer 52 is a layer laminated on the first transparent conductive layer 51 in order to reduce the electric resistance value of the first electrode 41. The first metal layer 52 extends linearly from one end of the first transparent conductive layer in the first direction D1 toward the other end. In the example shown in FIG. 3, the first metal layer 52 extends linearly along the first direction D1. “Strip shape” means that the width W1 of the first transparent conductive layer 51 is substantially constant regardless of the position in the first direction D1. “Linear” means that the width W3 of the first metal layer 52 is significantly smaller than the width W1 of the first transparent conductive layer 51 extending in a strip shape. For example, the width W1 of the first transparent conductive layer 51 is in the range of 0.5 to 1.0 mm, while the width W3 of the first metal layer 52 is in the range of 1 to 10 μm, more preferably 2 to 2. It is within the range of 7 μm.

第1透明導電層51は、透光性および導電性を有する透明導電材料から構成されている。第1透明導電層51を構成する材料としては、インジウム錫酸化物(ITO)、酸化亜鉛、酸化インジウム、アンチモン添加酸化錫、フッ素添加酸化錫、アルミニウム添加酸化亜鉛、カリウム添加酸化亜鉛、シリコン添加酸化亜鉛や、酸化亜鉛−酸化錫系、酸化インジウム−酸化錫系、酸化亜鉛−酸化インジウム−酸化マグネシウム系などの金属酸化物を挙げることができる。また、これらの金属酸化物が2種以上複合されたものが用いられてもよい。第1透明導電層51の厚みは、光の透過率を十分に確保できるよう、例えば10nm〜50nmの範囲内になっている。   The first transparent conductive layer 51 is made of a transparent conductive material having translucency and conductivity. Examples of the material constituting the first transparent conductive layer 51 include indium tin oxide (ITO), zinc oxide, indium oxide, antimony-added tin oxide, fluorine-added tin oxide, aluminum-added zinc oxide, potassium-added zinc oxide, and silicon-added oxide. Examples thereof include zinc and metal oxides such as zinc oxide-tin oxide, indium oxide-tin oxide, and zinc oxide-indium oxide-magnesium oxide. A combination of two or more of these metal oxides may be used. The thickness of the first transparent conductive layer 51 is, for example, in the range of 10 nm to 50 nm so that sufficient light transmittance can be secured.

一方、第1金属層52は、透光性および導電性を有する金属材料から構成されている。第1金属層52を構成する材料としては、銀、銅若しくはクロム、またはこれらの合金などを用いることができる。第1金属層52の厚みは、第1電極41に対して求められる電気抵抗値などに応じて適宜設定されるが、例えば0.1〜3μmの範囲内となっている。   On the other hand, the 1st metal layer 52 is comprised from the metal material which has translucency and electroconductivity. As a material constituting the first metal layer 52, silver, copper, chromium, or an alloy thereof can be used. Although the thickness of the 1st metal layer 52 is suitably set according to the electrical resistance value calculated | required with respect to the 1st electrode 41, it exists in the range of 0.1-3 micrometers, for example.

一般に、金属材料の導電性は、透明導電材料の導電性に比べて極めて優れている。例えば、銅の導電率は、代表的な透明導電材料であるITOの導電率よりも1桁以上高い。このため、上述のように第1金属層52の幅W3が第1透明導電層51の幅W1よりも著しく小さい場合であっても、第1金属層52を第1透明導電層51に積層することにより、第1電極41が第1透明導電層51のみから構成される場合に比べて、第1電極41の電気抵抗値を効果的に低減することができる。   In general, the conductivity of a metal material is extremely superior to that of a transparent conductive material. For example, the conductivity of copper is an order of magnitude higher than that of ITO, which is a typical transparent conductive material. Therefore, even when the width W3 of the first metal layer 52 is significantly smaller than the width W1 of the first transparent conductive layer 51 as described above, the first metal layer 52 is stacked on the first transparent conductive layer 51. Thereby, compared with the case where the 1st electrode 41 is comprised only from the 1st transparent conductive layer 51, the electrical resistance value of the 1st electrode 41 can be reduced effectively.

なお従来から、第1電極の電気抵抗値を低減するための方法として、網目状に配置された金属配線を用いて第1電極を構成することが提案されている。この場合、第1電極を流れる電気信号が金属配線のみによって伝達されるため、金属配線は、第1電極の一端から他端まで連続的に延びている必要がある。一方、本実施の形態においては、第1透明導電層51が第1電極41の一端から他端まで連続的に帯状に延びているため、第1金属層52が第1電極41の一端から他端まで連続的に延びている必要はない。例えば第1金属層52は、図示はしないが、第1方向D1における第1透明導電層51の一端から他端に向かって断続的に第1透明導電層51に積層されたものであってもよい。この場合であっても、部分的に信号が第1金属層52を流れることにより、第1電極41全体としての電気抵抗値を低減することができる。   Conventionally, as a method for reducing the electric resistance value of the first electrode, it has been proposed to configure the first electrode using a metal wiring arranged in a mesh pattern. In this case, since the electric signal flowing through the first electrode is transmitted only by the metal wiring, the metal wiring needs to continuously extend from one end to the other end of the first electrode. On the other hand, in the present embodiment, since the first transparent conductive layer 51 continuously extends from one end of the first electrode 41 to the other end in a band shape, the first metal layer 52 extends from one end of the first electrode 41 to the other. It need not extend continuously to the end. For example, although not shown, the first metal layer 52 may be laminated on the first transparent conductive layer 51 intermittently from one end to the other end of the first transparent conductive layer 51 in the first direction D1. Good. Even in this case, the electric resistance value of the first electrode 41 as a whole can be reduced by partially flowing a signal through the first metal layer 52.

なお図3においては、線状に延びる第1金属層52が1本のみ設けられている例が示されているが、これに限られることはない。例えば、線状に延びる第1金属層52が第1透明導電層51上に複数本設けられていてもよい。この場合、線状に延びる各第1金属層52は、それぞれ単一の経路で延びていてもよい。すなわち、線状に延びる各第1金属層52は、互いに接続されていなくてもよい。   FIG. 3 shows an example in which only one first metal layer 52 extending linearly is provided, but the present invention is not limited to this. For example, a plurality of linear first metal layers 52 may be provided on the first transparent conductive layer 51. In this case, each first metal layer 52 extending linearly may extend in a single path. That is, the first metal layers 52 extending linearly do not have to be connected to each other.

ところで、金属材料からなる第1金属層52が設けられる場合、上述のように第1金属層52の幅W3を小さく設定したとしても、金属材料が有する金属光沢に起因して第1金属層52が観察者に視認されてしまう可能性がある。第1金属層52が視認されることは、タッチ位置検出機能付き表示装置10の意匠性が低下することや、表示装置15からの映像の視認性が低下することを導く。このような悪影響が生じることを防ぐため、第1金属層52の表面や側面には、黒化処理などの低反射処理が施されていることが好ましい。   By the way, when the 1st metal layer 52 which consists of metal materials is provided, even if the width W3 of the 1st metal layer 52 is set small as mentioned above, it originates in the metallic luster which a metal material has, and the 1st metal layer 52 May be visually recognized by an observer. The visual recognition of the first metal layer 52 leads to a decrease in the design of the display device 10 with a touch position detection function and a decrease in the visibility of an image from the display device 15. In order to prevent such adverse effects from occurring, the surface and side surfaces of the first metal layer 52 are preferably subjected to low reflection treatment such as blackening treatment.

低反射処理の具体的な内容は特には限られないが、例えば、黒化処理が採用される場合、テルルが溶解された塩酸溶液を用いて、第1金属層52を形成する銅や銀などの表面や側面を黒化することができる。また、第1金属層52の表面に低反射材料を設けることによって、第1金属層52の表面の低反射処理を実施してもよい。低反射材料を設ける方法としては、塗布、蒸着やスパッタリングなど、公知の方法を適宜用いることができる。   The specific content of the low reflection treatment is not particularly limited. For example, when blackening treatment is employed, copper or silver that forms the first metal layer 52 using a hydrochloric acid solution in which tellurium is dissolved is used. The surface and side of the can be blackened. Further, by providing a low reflection material on the surface of the first metal layer 52, the low reflection treatment on the surface of the first metal layer 52 may be performed. As a method of providing the low reflection material, a known method such as coating, vapor deposition, or sputtering can be appropriately used.

(第2電極)
次に図3および図5を参照して、第2電極46について説明する。図5は、タッチパネルセンサ30を図3のV線に沿って切断した場合を示す断面図である。
(Second electrode)
Next, the second electrode 46 will be described with reference to FIGS. 3 and 5. FIG. 5 is a cross-sectional view showing the case where the touch panel sensor 30 is cut along the line V in FIG. 3.

図3および図5に示すように、第2電極46は、第2方向D2に帯状に延びる第2透明導電層56を有している。第2透明導電層56は、上述の第1透明導電層51と同様に、透光性および導電性を有する透明導電材料から構成されている。第2透明導電層56の厚みは、光の透過率を十分に確保できるよう、例えば10nm〜50nmの範囲内になっている。   As shown in FIGS. 3 and 5, the second electrode 46 has a second transparent conductive layer 56 extending in a strip shape in the second direction D2. Similar to the first transparent conductive layer 51 described above, the second transparent conductive layer 56 is made of a transparent conductive material having translucency and conductivity. The thickness of the second transparent conductive layer 56 is, for example, in the range of 10 nm to 50 nm so that sufficient light transmittance can be secured.

(第1電極および第2電極の寸法について)
次に、第1電極41の第1透明導電層51および第2電極46の第2透明導電層56の寸法および位置に関して詳細に説明する。図3および図4において、第1電極41の第1透明導電層51の幅が上述のように符号W1で表されており、隣接する2つの第1透明導電層51の間の間隔が符号S1で表されている。また、図3および図5において、第2電極46の第2透明導電層56の幅が符号W2で表されており、隣接する2つの第2透明導電層56の間の間隔が符号S2で表されている。
(About the dimensions of the first electrode and the second electrode)
Next, the dimensions and positions of the first transparent conductive layer 51 of the first electrode 41 and the second transparent conductive layer 56 of the second electrode 46 will be described in detail. 3 and 4, the width of the first transparent conductive layer 51 of the first electrode 41 is represented by the symbol W1 as described above, and the interval between two adjacent first transparent conductive layers 51 is represented by the symbol S1. It is represented by 3 and 5, the width of the second transparent conductive layer 56 of the second electrode 46 is represented by the symbol W2, and the interval between the two adjacent second transparent conductive layers 56 is represented by the symbol S2. Has been.

本実施の形態において、第2電極46の第2透明導電層56の幅W2は、第1電極41の第1透明導電層51の幅W1よりも大きくなっている。以下、このように設定することの背景および利点について述べる。
まず上述のように、第1電極41は基材32の観察者側の第1面32aに設けられており、一方、第2電極46は、基材32の表示装置側の第2面32bに設けられている。この場合、観察者側にある外部導体と第2電極46の第2透明導電層56との間での結合容量は、第2透明導電層56のうち平面視において第1電極41の第1透明導電層51と重なっていない部分と、外部導体との間で形成される。すなわち、第2透明導電層56のうち平面視において第1透明導電層51によって覆われている部分は、外部導体との間での静電容量(結合容量)の形成に寄与することができない。
ところで上述のように、第1電極41および第2電極46は、すなわち第1透明導電層51および第2透明導電層56は、それぞれ予め定められた所定の配列ピッチで配置されている。従って、第1透明導電層51の幅W1が小さくなるにつれて、隣接する2つの第1透明導電層51の間の間隔S1は大きくなる。また、第2透明導電層56の幅W2が大きくなるにつれて、基材32の表示装置側の第2面32bのうち第2透明導電層56によって占められている領域の比率は大きくなる。このため、上述のように第2透明導電層56の幅W2を第1透明導電層51の幅W1よりも大きくすることは、隣接する2つの第1透明導電層51の間に位置し、外部導体との間で静電容量を形成することができる第2透明導電層56の領域を、より大きく確保することができる、ということを導く。このことにより、第2透明導電層56に基づいて検出される、第1方向における外部導体の位置を、より精度良く算出することが可能になる。
In the present embodiment, the width W 2 of the second transparent conductive layer 56 of the second electrode 46 is larger than the width W 1 of the first transparent conductive layer 51 of the first electrode 41. The background and advantages of this setting will be described below.
First, as described above, the first electrode 41 is provided on the first surface 32a on the viewer side of the base material 32, while the second electrode 46 is provided on the second surface 32b of the base material 32 on the display device side. Is provided. In this case, the coupling capacitance between the external conductor on the viewer side and the second transparent conductive layer 56 of the second electrode 46 is the first transparent of the first electrode 41 in the plan view of the second transparent conductive layer 56. It is formed between a portion not overlapping with the conductive layer 51 and the outer conductor. That is, the portion of the second transparent conductive layer 56 that is covered with the first transparent conductive layer 51 in plan view cannot contribute to the formation of capacitance (coupling capacitance) with the external conductor.
By the way, as described above, the first electrode 41 and the second electrode 46, that is, the first transparent conductive layer 51 and the second transparent conductive layer 56 are respectively arranged at a predetermined arrangement pitch. Therefore, as the width W1 of the first transparent conductive layer 51 decreases, the interval S1 between the two adjacent first transparent conductive layers 51 increases. Further, as the width W2 of the second transparent conductive layer 56 is increased, the ratio of the region occupied by the second transparent conductive layer 56 in the second surface 32b on the display device side of the base material 32 is increased. For this reason, as described above, the width W2 of the second transparent conductive layer 56 is larger than the width W1 of the first transparent conductive layer 51 is located between the two adjacent first transparent conductive layers 51 and externally. It leads that the area | region of the 2nd transparent conductive layer 56 which can form an electrostatic capacitance between conductors can be ensured more largely. Accordingly, the position of the outer conductor in the first direction detected based on the second transparent conductive layer 56 can be calculated with higher accuracy.

また上述のように、本実施の形態においては、第1電極41の第1透明導電層51に第1金属層52が積層されている。このため、第1透明導電層51の幅W1が第2透明導電層56の幅W2に比べて小さい場合、例えば幅W1が幅W2の10〜30%の範囲内に、具体的には20%程度になっている場合であっても、第1電極41全体としての導電性を十分に確保することができる。従って、第1電極41の導電性を確保しながら、従来に比べて第1電極41の第1透明導電層51の幅を小さくすることができ、このことにより、外部導体との間で静電容量を形成することができる第2透明導電層56の領域をさらに大きく確保することが可能になる。このため、第2透明導電層56を有する第2電極46に基づいて検出される、第1方向における外部導体の位置を、さらに精度良く算出することが可能になる。   Further, as described above, in the present embodiment, the first metal layer 52 is laminated on the first transparent conductive layer 51 of the first electrode 41. Therefore, when the width W1 of the first transparent conductive layer 51 is smaller than the width W2 of the second transparent conductive layer 56, for example, the width W1 is within a range of 10 to 30% of the width W2, specifically 20%. Even if it is a case, the electroconductivity as the 1st electrode 41 whole can fully be ensured. Therefore, the width of the first transparent conductive layer 51 of the first electrode 41 can be reduced as compared with the prior art while ensuring the conductivity of the first electrode 41, which makes it possible to prevent electrostatic contact with the external conductor. It is possible to secure a larger area of the second transparent conductive layer 56 that can form a capacitor. Therefore, the position of the outer conductor in the first direction detected based on the second electrode 46 having the second transparent conductive layer 56 can be calculated with higher accuracy.

好ましくは、隣接する2つの第1透明導電層51の間の間隔S1は、第1透明導電層51の幅W1よりも大きくなっている。このことは、間隔S1が幅W1よりも小さくなっている場合に比べて、アクティブエリアAa1の領域のうち、平面視において外部導体が第1透明導電層51とは重ならないが第2透明導電層56とは重なる、という領域の比率が高くなることを意味している。このため、第2透明導電層56と外部導体との間で静電容量をより安定に形成できるようになる。これによって、第2透明導電層56を有する第2電極46に基づいて検出される、第1方向における外部導体の位置を、さらに精度良く算出することが可能になる。   Preferably, the interval S1 between two adjacent first transparent conductive layers 51 is larger than the width W1 of the first transparent conductive layer 51. This is because the outer conductor does not overlap the first transparent conductive layer 51 in a plan view in the area of the active area Aa1 as compared with the case where the interval S1 is smaller than the width W1, but the second transparent conductive layer 56 means that the ratio of the overlapping area is increased. For this reason, electrostatic capacitance can be formed more stably between the second transparent conductive layer 56 and the outer conductor. Thereby, the position of the outer conductor in the first direction detected based on the second electrode 46 having the second transparent conductive layer 56 can be calculated with higher accuracy.

また好ましくは、隣接する2つの第2透明導電層56の間の間隔S2は、間隔S2が存在していることが観察者によって視認され得ないように設定されている。例えば間隔S2は、30μm以下になっており、さらに好ましくは20μm以下になっている。これによって、アクティブエリアAa1内に第2透明導電層56が設けられていることが観察者に気付かれにくくなり、このことにより、表示装置15からの映像の視認性を高めることができる。なお第1方向における第2透明導電層56の配列ピッチは通常、タッチ位置検出機能付き表示装置10やタッチパネルセンサ30の仕様に応じて定められる一定の値となっている。従って、間隔S2を小さくすることは、第2透明導電層56の幅W2が大きくなることを意味している。このため、間隔S2を小さくことは、第2透明導電層56と外部導体との間に形成される静電容量をより大きくすることを導く。従って、間隔S2を小さくことにより、第2電極46に基づく外部導体の位置の検出精度をさらに高めることもできる。   Preferably, the interval S2 between two adjacent second transparent conductive layers 56 is set so that the observer cannot visually recognize that the interval S2 exists. For example, the interval S2 is 30 μm or less, and more preferably 20 μm or less. Thereby, it becomes difficult for the observer to notice that the second transparent conductive layer 56 is provided in the active area Aa1, and thereby the visibility of the image from the display device 15 can be improved. The arrangement pitch of the second transparent conductive layers 56 in the first direction is usually a constant value determined according to the specifications of the display device with a touch position detection function 10 and the touch panel sensor 30. Therefore, reducing the interval S2 means that the width W2 of the second transparent conductive layer 56 is increased. For this reason, decreasing the interval S2 leads to increasing the capacitance formed between the second transparent conductive layer 56 and the outer conductor. Therefore, the detection accuracy of the position of the outer conductor based on the second electrode 46 can be further increased by reducing the interval S2.

(額縁配線および端子部)
第2電極46に接続されている第2額縁配線48および第2端子部49は、タッチ位置を検出するための駆動信号を第2電極46に伝達するために設けられたものである。また第1電極41に接続されている第1額縁配線43および第1端子部44は、第1電極41からの検出信号をタッチパネルセンサ30の外部に取り出すために設けられたものである。検出信号並びに駆動信号を適切に伝達することができる限りにおいて、第1額縁配線43および第1端子部44並びに第2額縁配線48および第2端子部49の具体的な構成が特に限られることはない。例えば第1額縁配線43および第1端子部44は、第1電極41を構成する透明導電材料や金属材料と同一の材料を用いて第1電極41と同時に形成されるものであってもよい。同様に、第2額縁配線48および第2端子部49は、第2電極46を構成する透明導電材料と同一の材料を用いて第2電極46と同時に形成されるものであってもよい。また第2額縁配線48および第2端子部49の導電性を高めるため、第2額縁配線48および第2端子部49を構成する透明導電材料の層の上に、後述するように、金属材料からなる金属層がさらに設けられていてもよい。
(Frame wiring and terminal part)
The second frame wiring 48 and the second terminal portion 49 connected to the second electrode 46 are provided for transmitting a drive signal for detecting the touch position to the second electrode 46. The first frame wiring 43 and the first terminal portion 44 connected to the first electrode 41 are provided for taking out a detection signal from the first electrode 41 to the outside of the touch panel sensor 30. As long as the detection signal and the drive signal can be appropriately transmitted, the specific configurations of the first frame wiring 43 and the first terminal portion 44 and the second frame wiring 48 and the second terminal portion 49 are particularly limited. Absent. For example, the first frame wiring 43 and the first terminal portion 44 may be formed at the same time as the first electrode 41 using the same material as the transparent conductive material or the metal material constituting the first electrode 41. Similarly, the second frame wiring 48 and the second terminal portion 49 may be formed simultaneously with the second electrode 46 using the same material as the transparent conductive material constituting the second electrode 46. Further, in order to enhance the conductivity of the second frame wiring 48 and the second terminal portion 49, a metal material is used on the transparent conductive material layer constituting the second frame wiring 48 and the second terminal portion 49, as will be described later. A metal layer may be further provided.

タッチパネルセンサの製造方法
次に、以上のような構成からなるタッチパネルセンサ30を製造する方法について、図6(a)〜(f)を参照して説明する。なお図6(a)〜(f)は、各製造工程において基材32を図3のIV線に沿って切断した場合を示す断面図である。
Method for Manufacturing Touch Panel Sensor Next, a method for manufacturing the touch panel sensor 30 having the above configuration will be described with reference to FIGS. 6A to 6F are cross-sectional views showing a case where the base material 32 is cut along the line IV in FIG. 3 in each manufacturing process.

はじめに図6(a)に示すように、タッチパネルセンサ30を作製するための元材としての積層体50(ブランクとも呼ばれる)を準備する。積層体50は、基材32と、基材32の第1面32a上に順に設けられた第1透明導電層51および第1金属層52と、基材32の第2面32b上に順に設けられた第2透明導電層56および第2金属層57と、を含んでいる。第2金属層57は、パターニングされることによって上述の第2額縁配線48および第2端子部49を構成するようになる層である。   First, as illustrated in FIG. 6A, a laminate 50 (also referred to as a blank) as a base material for producing the touch panel sensor 30 is prepared. The laminated body 50 is provided in order on the base 32, the first transparent conductive layer 51 and the first metal layer 52 provided in order on the first surface 32 a of the base 32, and the second surface 32 b of the base 32. The second transparent conductive layer 56 and the second metal layer 57 are included. The second metal layer 57 is a layer that forms the above-described second frame wiring 48 and second terminal portion 49 by patterning.

次に、図6(b)に示すように、第1金属層52上に第1感光層61を所定のパターンで形成する。また、第2金属層57上に第2感光層66を所定のパターンで形成する。第1感光層61および第2感光層66は、特定波長域の光、例えば紫外線に対する感光性を有している。感光層61,66のタイプが特に限られることはない。例えば光溶解型の感光層が用いられてもよく、若しくは光硬化型の感光層が用いられてもよい。ここでは、光溶解型の感光層が用いられる例について説明する。
アクティブエリアAa1に配置される第1感光層61は、第1電極41を構成する第1透明導電層51のパターンに対応したパターンで形成されている。また、アクティブエリアAa1に配置される第2感光層66は、第2電極46を構成する第2透明導電層56のパターンに対応したパターンで形成されている。感光層61,66は、例えば、はじめに、積層体50の表面上にコーターを用いて感光性材料をコーティングし、次に、感光性材料を所定のパターンで露光して現像することによって形成される。
Next, as shown in FIG. 6B, a first photosensitive layer 61 is formed on the first metal layer 52 in a predetermined pattern. Further, the second photosensitive layer 66 is formed on the second metal layer 57 in a predetermined pattern. The first photosensitive layer 61 and the second photosensitive layer 66 have photosensitivity to light in a specific wavelength range, for example, ultraviolet rays. The type of the photosensitive layers 61 and 66 is not particularly limited. For example, a photodissolvable photosensitive layer may be used, or a photocurable photosensitive layer may be used. Here, an example in which a photodissolvable photosensitive layer is used will be described.
The first photosensitive layer 61 disposed in the active area Aa1 is formed in a pattern corresponding to the pattern of the first transparent conductive layer 51 constituting the first electrode 41. Further, the second photosensitive layer 66 disposed in the active area Aa1 is formed in a pattern corresponding to the pattern of the second transparent conductive layer 56 constituting the second electrode 46. The photosensitive layers 61 and 66 are formed, for example, by first coating a photosensitive material on the surface of the laminate 50 using a coater, and then exposing and developing the photosensitive material in a predetermined pattern. .

次に、第1感光層61をマスクとして第1金属層52をエッチングする。また、第2感光層66をマスクとして第2金属層57をエッチングする。その後、第1感光層61およびパターニングされた第1金属層52をマスクとして、第1透明導電層51をエッチングする。また、第2感光層66およびパターニングされた第2金属層57をマスクとして、第2透明導電層56をエッチングする。これによって、図6(c)に示すように、第1電極41を構成するための第1透明導電層51、および、第2電極46を構成するための第2透明導電層56を得ることができる。なお上述のエッチングにおいて、金属層52,57用のエッチング液としては、例えば、希塩化鉄、塩化銅、無機系酸および有機酸を含む溶液が用いられる。また透明導電層51,56用のエッチング液としては、例えばハロゲン化水素系(HCl、HF、HBr等)の溶液が用いられる。
なお上述のエッチング工程では、金属層52,57と透明導電層51,56とが別々の工程でエッチングされる例を示したが、これに限られることはなく、金属層52,57および透明導電層51,56の両方を溶解することができるエッチング液を用いて、金属層52,57および透明導電層51,56を同時にエッチングしてもよい。
Next, the first metal layer 52 is etched using the first photosensitive layer 61 as a mask. Further, the second metal layer 57 is etched using the second photosensitive layer 66 as a mask. Thereafter, the first transparent conductive layer 51 is etched using the first photosensitive layer 61 and the patterned first metal layer 52 as a mask. Further, the second transparent conductive layer 56 is etched using the second photosensitive layer 66 and the patterned second metal layer 57 as a mask. As a result, as shown in FIG. 6C, the first transparent conductive layer 51 for forming the first electrode 41 and the second transparent conductive layer 56 for forming the second electrode 46 can be obtained. it can. In the above-described etching, as the etching solution for the metal layers 52 and 57, for example, a solution containing dilute iron chloride, copper chloride, an inorganic acid and an organic acid is used. Moreover, as an etching solution for the transparent conductive layers 51 and 56, for example, a hydrogen halide-based solution (HCl, HF, HBr, etc.) is used.
In the above-described etching process, the metal layers 52 and 57 and the transparent conductive layers 51 and 56 are etched in different processes. However, the present invention is not limited to this, and the metal layers 52 and 57 and the transparent conductive layers 51 and 56 are transparent. The metal layers 52 and 57 and the transparent conductive layers 51 and 56 may be etched at the same time using an etchant that can dissolve both the layers 51 and 56.

次に、第1感光層61のうちアクティブエリアAa1内に存在する第1感光層61に対して、所定のパターンで露光光を照射する。具体的には、第1金属層52のうち第1電極41において線状に延びる部分を形成する領域の上に位置する第1感光層61には露光光が照射されず、その他の第1感光層61には露光光が照射されるよう、第1感光層61に対して露光光を照射する。また、第2感光層66のうちアクティブエリアAa1内に存在する第2感光層66全体に対して、露光光を照射する。その後、感光層61,66を現像する。これによって、図6(d)に示すように、第1金属層52のうち第1電極41において線状に延びる部分を形成する領域上の第1感光層61を残して、アクティブエリアAa1内の感光層61,66が除去される。   Next, the first photosensitive layer 61 in the active area Aa1 in the first photosensitive layer 61 is irradiated with exposure light in a predetermined pattern. Specifically, the first photosensitive layer 61 positioned on the region of the first metal layer 52 that forms the linearly extending portion of the first electrode 41 is not irradiated with the exposure light, and the other first photosensitive layers are not irradiated. The first photosensitive layer 61 is irradiated with exposure light so that the layer 61 is irradiated with exposure light. Further, the exposure light is irradiated to the entire second photosensitive layer 66 existing in the active area Aa1 in the second photosensitive layer 66. Thereafter, the photosensitive layers 61 and 66 are developed. As a result, as shown in FIG. 6 (d), the first photosensitive layer 61 on the region where the first electrode 41 forms a linearly extending portion of the first metal layer 52 is left, and the active region Aa1 has the remaining portion. The photosensitive layers 61 and 66 are removed.

その後、アクティブエリアAa1内に残っている第1感光層61、および、非アクティブエリアAa2内に残っている第1感光層61をマスクとして、第1金属層52をエッチングする。同様に、非アクティブエリアAa2内に残っている第2感光層66をマスクとして、第2金属層57をエッチングする。これによって、図6(e)に示すようにアクティブエリアAa1内に存在する第1金属層52および第2金属層57を、第1電極41において線状に延びる部分を形成する第1金属層52を残して、除去することができる。次に、図6(f)に示すように、残っている感光層61,66を除去する。   Thereafter, the first metal layer 52 is etched using the first photosensitive layer 61 remaining in the active area Aa1 and the first photosensitive layer 61 remaining in the inactive area Aa2 as a mask. Similarly, the second metal layer 57 is etched using the second photosensitive layer 66 remaining in the inactive area Aa2 as a mask. As a result, as shown in FIG. 6E, the first metal layer 52 and the second metal layer 57 existing in the active area Aa1 form the first metal layer 52 that forms a portion extending linearly in the first electrode 41. And can be removed. Next, as shown in FIG. 6F, the remaining photosensitive layers 61 and 66 are removed.

その後、必要に応じて、アクティブエリアAa1内に存在する第1金属層52の表面や側面に黒化処理などの低反射処理を施す。このようにして、観察者側の第1電極41が、帯状に延びる第1透明導電層51と、線状に延びる第1金属層52とから構成され、表示装置側の第2電極46が、帯状に延びる第2透明導電層56から構成されたタッチパネルセンサ30を得ることができる。   Thereafter, if necessary, a low reflection process such as a blackening process is performed on the surface and side surfaces of the first metal layer 52 present in the active area Aa1. Thus, the first electrode 41 on the viewer side is composed of the first transparent conductive layer 51 extending in a strip shape and the first metal layer 52 extending in a linear shape, and the second electrode 46 on the display device side is The touch panel sensor 30 configured from the second transparent conductive layer 56 extending in a band shape can be obtained.

本実施の形態によれば、基材32の第1面32a上に設けられる第1電極41は、第1方向D1に帯状に延びる第1透明導電層51と、第1透明導電層51に積層された第1金属層52と、を有している。第1金属層52は、第1方向における第1透明導電層51の一端から他端に向かって線状に延びている。このため、第1透明導電層51の幅W1が小さい場合であっても、第1金属層52が存在することにより、第1電極41の導電性を十分に確保することができ、従って、タッチパネルセンサ30の大型化に対応することができる。
また、第1透明導電層51の幅W1を小さくすることが可能であるため、第1電極41および第2電極46のパターンの設計の自由度が高くなっている。従って、第1電極41および第2電極46の電気抵抗値を仕様に沿って柔軟に設定することができ、このことにより、第1電極41および第2電極46それぞれに基づくタッチ位置の検出精度を適切に確保することができる。このため本実施の形態によれば、大型化およびタッチ位置の検出精度の確保という2つの要求に応えるタッチパネルセンサ30を提供することができる。
According to the present embodiment, the first electrode 41 provided on the first surface 32 a of the base material 32 is laminated on the first transparent conductive layer 51 that extends in a strip shape in the first direction D <b> 1 and the first transparent conductive layer 51. The first metal layer 52 is formed. The first metal layer 52 extends linearly from one end of the first transparent conductive layer 51 in the first direction toward the other end. For this reason, even when the width W1 of the first transparent conductive layer 51 is small, the presence of the first metal layer 52 can sufficiently ensure the conductivity of the first electrode 41, and thus the touch panel. The increase in size of the sensor 30 can be accommodated.
In addition, since the width W1 of the first transparent conductive layer 51 can be reduced, the degree of freedom in designing the pattern of the first electrode 41 and the second electrode 46 is increased. Therefore, the electrical resistance values of the first electrode 41 and the second electrode 46 can be flexibly set according to the specifications, and this allows the detection accuracy of the touch position based on the first electrode 41 and the second electrode 46 to be increased. It can be secured appropriately. For this reason, according to the present embodiment, it is possible to provide the touch panel sensor 30 that meets the two requirements of increasing the size and ensuring the detection accuracy of the touch position.

なお、上述した実施の形態に対して様々な変更を加えることが可能である。以下、図面を参照しながら、いくつかの変形例について説明する。以下の説明および以下の説明で用いる図面では、上述した実施の形態と同様に構成され得る部分について、上述の実施の形態における対応する部分に対して用いた符号と同一の符号を用いることとし、重複する説明を省略する。また、上述した実施の形態において得られる作用効果が変形例においても得られることが明らかである場合、その説明を省略することもある。   Note that various modifications can be made to the above-described embodiment. Hereinafter, some modifications will be described with reference to the drawings. In the following description and the drawings used in the following description, the same reference numerals as those used for the corresponding parts in the above embodiment are used for the parts that can be configured in the same manner as in the above embodiment. A duplicate description is omitted. In addition, when it is clear that the operational effects obtained in the above-described embodiment can be obtained in the modified example, the description thereof may be omitted.

(ダミーパターンが設けられる例)
まず第1の変形例として、タッチパネルセンサ30が、隣接する2つの第1電極41の間に設けられ、かつ第1電極41および第1額縁配線43のいずれにも電気的に接続されていないダミーパターン42をさらに備える例について説明する。図7は、本変形例におけるタッチパネルセンサ30を示す平面図である。図8は、図7において符号VIIIが付された一点鎖線で囲まれた部分を拡大して示す平面図であり、図9は、タッチパネルセンサ30を図8のIX線に沿って切断した場合を示す断面図である。図9に示すように、ダミーパターン42は、第1電極41と同様に、基材32の第1面32a上に設けられている。
(Example where dummy pattern is provided)
First, as a first modification, the touch panel sensor 30 is a dummy provided between two adjacent first electrodes 41 and not electrically connected to either the first electrode 41 or the first frame wiring 43. An example in which the pattern 42 is further provided will be described. FIG. 7 is a plan view showing the touch panel sensor 30 in the present modification. 8 is an enlarged plan view showing a portion surrounded by a one-dot chain line denoted by reference numeral VIII in FIG. 7, and FIG. 9 shows a case where the touch panel sensor 30 is cut along the line IX in FIG. It is sectional drawing shown. As shown in FIG. 9, the dummy pattern 42 is provided on the first surface 32 a of the substrate 32, similarly to the first electrode 41.

ダミーパターン42は、第1電極41と同様に、透光性および導電性を有する透明導電材料から構成された層を含んでいる。例えばダミーパターン42は、上述の積層体50をパターニングすることによって第1電極41の第1透明導電層51と同時に形成される第1透明導電層51を含んでいる。またダミーパターン42は、第1透明導電層51に積層され、第1透明導電層51よりも著しく小さい幅を有する第1金属層52をさらに含んでいてもよい。ダミーパターン42の第1金属層52も、ダミーパターン42の第1透明導電層51と同様に、上述の積層体50をパターニングすることによって第1電極41の第1金属層52と同時に形成され得る。ダミーパターン42の第1金属層52も、第1電極41の第1金属層52と同様に、表面や側面に対する低反射処理が施されていてもよい。   Similar to the first electrode 41, the dummy pattern 42 includes a layer made of a transparent conductive material having translucency and conductivity. For example, the dummy pattern 42 includes a first transparent conductive layer 51 formed simultaneously with the first transparent conductive layer 51 of the first electrode 41 by patterning the above-described stacked body 50. The dummy pattern 42 may further include a first metal layer 52 that is stacked on the first transparent conductive layer 51 and has a significantly smaller width than the first transparent conductive layer 51. Similarly to the first transparent conductive layer 51 of the dummy pattern 42, the first metal layer 52 of the dummy pattern 42 can be formed simultaneously with the first metal layer 52 of the first electrode 41 by patterning the stacked body 50. . Similarly to the first metal layer 52 of the first electrode 41, the first metal layer 52 of the dummy pattern 42 may be subjected to low reflection treatment on the surface and side surfaces.

ダミーパターン42を第1電極41の間に配置することにより、基材32の観察者側におけるタッチパネルセンサ30の透過率を、アクティブエリアAa1の全域にわたってほぼ均一にすることができる。このことにより、タッチ位置検出機能付き表示装置10の輝度にばらつきが生じることを防ぐことができる。   By disposing the dummy pattern 42 between the first electrodes 41, the transmittance of the touch panel sensor 30 on the viewer side of the substrate 32 can be made substantially uniform over the entire area of the active area Aa1. Thereby, it is possible to prevent the luminance of the display device with a touch position detection function 10 from varying.

好ましくは、ダミーパターン42を構成する第1透明導電層51および第1金属層52は、第1電極41を構成する第1透明導電層51および第1金属層52と同様のパターンで形成されている。例えば、ダミーパターン42の第1透明導電層51の幅W4は、第1電極41の第1透明導電層51の幅W1とほぼ同一になっている。また、隣接する2つのダミーパターン42の第1透明導電層51の間の間隔S4と、第1電極41の第1透明導電層51とダミーパターン42の第1透明導電層51との間の間隔S5とが、ほぼ同一になっている。また、ダミーパターン42が第1金属層52を含む場合、ダミーパターン42の第1金属層52の幅W5と、第1電極41の第1金属層52の幅W3とが、ほぼ同一になっている。このようにダミーパターン42の第1透明導電層51および第1金属層52を形成することにより、第1電極41とダミーパターン42とが観察者によって同様に視認されるようにすることができる。これによって、第1電極41が目立って視認されてしまうことなどを防ぐことができる。   Preferably, the first transparent conductive layer 51 and the first metal layer 52 constituting the dummy pattern 42 are formed in the same pattern as the first transparent conductive layer 51 and the first metal layer 52 constituting the first electrode 41. Yes. For example, the width W 4 of the first transparent conductive layer 51 of the dummy pattern 42 is substantially the same as the width W 1 of the first transparent conductive layer 51 of the first electrode 41. Further, the distance S4 between the first transparent conductive layers 51 of the two adjacent dummy patterns 42 and the distance between the first transparent conductive layer 51 of the first electrode 41 and the first transparent conductive layer 51 of the dummy pattern 42. S5 is substantially the same. When the dummy pattern 42 includes the first metal layer 52, the width W5 of the first metal layer 52 of the dummy pattern 42 and the width W3 of the first metal layer 52 of the first electrode 41 are substantially the same. Yes. By forming the first transparent conductive layer 51 and the first metal layer 52 of the dummy pattern 42 in this way, the first electrode 41 and the dummy pattern 42 can be similarly visually recognized by the observer. As a result, it is possible to prevent the first electrode 41 from being visually recognized.

図8においては、ダミーパターン42が第1方向D1および第2方向D2の両方において周期的に断線している例が示されている。しかしながら、ダミーパターン42が第1電極41および第1額縁配線43に電気的に接続されない限りにおいて、ダミーパターン42の断線のさせ方が特に限られることはない。   FIG. 8 shows an example in which the dummy pattern 42 is periodically disconnected in both the first direction D1 and the second direction D2. However, as long as the dummy pattern 42 is not electrically connected to the first electrode 41 and the first frame wiring 43, the method of disconnecting the dummy pattern 42 is not particularly limited.

本変形例によれば、ダミーパターン42を設けることにより、タッチ位置検出機能付き表示装置10の輝度にばらつきが生じることを防ぐことができる。また、第1電極41が目立って視認されてしまうことなどを防ぐことができる。従って、表示装置15からの映像の視認性をさらに高めることができる。   According to this modification, by providing the dummy pattern 42, it is possible to prevent the luminance of the display device with a touch position detection function 10 from varying. In addition, the first electrode 41 can be prevented from being visually recognized. Therefore, the visibility of the image from the display device 15 can be further enhanced.

(低反射処理の変形例)
第1電極41の第1金属層52の表面や側面に施される低反射処理として、図10に示すように、第1金属層52の表面や側面を荒らして凹凸を設けるという処理が採用されてもよい。この場合、観察者側からの外光L1や表示装置からの映像光L2が第1金属層52の表面や側面に到達すると、これらの光L1,L2は、第1金属層52の表面や側面の凹凸形状によって様々な方向に散乱される。このため、第1金属層52の表面や側面に現れる金属光沢を抑制することができ、このことにより、第1金属層52が観察者によって視認されてしまうことを抑制することができる。第1金属層52の表面や側面を荒らす方法としては、例えば、ギ酸を含む液を用いて第1金属層52を構成する金属材料の結晶粒界をエッチングするという方法を採用することができる。第1金属層52の表面や側面の凹凸形状の程度は、求められる散乱の程度に応じて適切に設定されるが、例えば第1金属層52の表面や側面の算術表面平均粗さ(Ra)は70〜100nmの範囲内になっている。
(Modification of low reflection processing)
As a low reflection process applied to the surface and side surfaces of the first metal layer 52 of the first electrode 41, a process of roughening the surface and side surfaces of the first metal layer 52 to provide irregularities as shown in FIG. May be. In this case, when the external light L1 from the observer side or the image light L2 from the display device reaches the surface or side surface of the first metal layer 52, these lights L1 and L2 are the surface or side surface of the first metal layer 52. Scattered in various directions due to the uneven shape. For this reason, the metallic luster which appears on the surface and side surface of the 1st metal layer 52 can be suppressed, and it can suppress that the 1st metal layer 52 is visually recognized by the observer by this. As a method for roughening the surface and side surfaces of the first metal layer 52, for example, a method of etching crystal grain boundaries of the metal material constituting the first metal layer 52 using a liquid containing formic acid can be employed. The degree of unevenness on the surface and side surfaces of the first metal layer 52 is appropriately set according to the required degree of scattering. For example, the arithmetic surface average roughness (Ra) of the surface and side surfaces of the first metal layer 52 is set. Is in the range of 70 to 100 nm.

(第1金属層のパターンの変形例)
上述の本実施の形態においては、第1電極41の第1金属層52が第1方向D1に沿って直線状に延びている例を示した。しかしながら、第1金属層52によって第1電極41の電気抵抗値を十分に低減することができる限りにおいて、第1金属層52のパターンが特に限られることはない。例えば図11に示すように、第1電極41の第1金属層52は、第1方向D1における第1透明導電層51の一端から他端に向かって蛇行状に線状に延びていてもよい。第1金属層52をこのように蛇行状に形成することの利点について、以下に説明する。
(Modified example of pattern of first metal layer)
In the above-described embodiment, the example in which the first metal layer 52 of the first electrode 41 extends linearly along the first direction D1 has been described. However, the pattern of the first metal layer 52 is not particularly limited as long as the electric resistance value of the first electrode 41 can be sufficiently reduced by the first metal layer 52. For example, as shown in FIG. 11, the first metal layer 52 of the first electrode 41 may extend in a meandering manner from one end to the other end of the first transparent conductive layer 51 in the first direction D1. . The advantage of forming the first metal layer 52 in such a meandering manner will be described below.

第1金属層52が蛇行状に延びている場合、図11において点Aで示す位置における第1金属層52の側面の向きと、点Bで示す位置における第1金属層52の側面の向きは異なっている。このため、点Aの位置で反射された映像光L2が進む方向と、点Bの位置で反射された映像光L2が進む方向は異なることになる。すなわち、第1金属層52が蛇行状に延びることは、第1金属層52の表面や側面を荒らす場合と同様に、第1金属層52の側面に到達した映像光L2を様々な方向に反射させる、すなわち散乱させるという効果を導く。このため、第1金属層52の側面に現れる金属光沢を抑制することができ、このことにより、第1金属層52が観察者によって視認されてしまうことを抑制することができる。   When the first metal layer 52 extends in a meandering manner, the orientation of the side surface of the first metal layer 52 at the position indicated by point A in FIG. 11 and the orientation of the side surface of the first metal layer 52 at the position indicated by point B in FIG. Is different. For this reason, the direction in which the image light L2 reflected at the position of the point A travels is different from the direction in which the image light L2 reflected at the position of the point B travels. That is, when the first metal layer 52 extends in a meandering manner, the image light L2 that reaches the side surface of the first metal layer 52 is reflected in various directions, as in the case where the surface and side surfaces of the first metal layer 52 are roughened. That is, the effect of scattering. For this reason, the metallic luster which appears on the side of the 1st metal layer 52 can be controlled, and it can control that the 1st metal layer 52 is visually recognized by an observer by this.

第1金属層52の蛇行の周期や振幅は、求められる散乱の程度によって適切に設定される。例えば第1金属層52の蛇行の周期は、1〜10μmの範囲内となっている。   The meandering period and amplitude of the first metal layer 52 are appropriately set according to the required degree of scattering. For example, the meandering period of the first metal layer 52 is in the range of 1 to 10 μm.

(第1金属層の積層位置の変形例)
上述の本実施の形態においては、第1電極41の第1金属層52が、第1透明導電層51の観察者側の面上に積層されている例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、図12に示すように、第1電極41の第1金属層52は、第1透明導電層51と基材32との間に設けられていてもよい。すなわち、第1電極41の第1金属層52は、第1透明導電層51の表示装置側の面上に積層されていてもよい。
(Modification of the position of the first metal layer)
In the above-described embodiment, the example in which the first metal layer 52 of the first electrode 41 is laminated on the surface of the first transparent conductive layer 51 on the viewer side is shown. However, the present invention is not limited to this, and as shown in FIG. 12, the first metal layer 52 of the first electrode 41 may be provided between the first transparent conductive layer 51 and the substrate 32. That is, the first metal layer 52 of the first electrode 41 may be laminated on the surface of the first transparent conductive layer 51 on the display device side.

図12に示す例においても、第1電極41が第1透明導電層51に加えて第1金属層52を含むことにより、第1透明導電層51の幅W1が小さい場合であっても、第1電極41の導電性を十分に確保することができる。このため、タッチパネルセンサ30の大型化に対応することができる。   Also in the example shown in FIG. 12, the first electrode 41 includes the first metal layer 52 in addition to the first transparent conductive layer 51, so that even if the width W <b> 1 of the first transparent conductive layer 51 is small, The conductivity of the one electrode 41 can be sufficiently secured. For this reason, it can respond to the enlargement of the touch panel sensor 30. FIG.

図13(a)〜(f)を参照して、図12に示すタッチパネルセンサ30を製造する方法について説明する。なお図13(a)〜(f)は、各製造工程において基材32を図3のIV線に沿って切断した場合を示す断面図である。   A method for manufacturing the touch panel sensor 30 shown in FIG. 12 will be described with reference to FIGS. FIGS. 13A to 13F are cross-sectional views showing the case where the base material 32 is cut along the line IV in FIG. 3 in each manufacturing process.

はじめに図13(a)に示すように、タッチパネルセンサ30を作製するための元材としての積層体50Aを準備する。積層体50Aは、基材32と、基材32の第1面32a上に設けられた第1金属層52と、基材32の第2面32b上に設けられた第2金属層57と、を含んでいる。   First, as shown in FIG. 13A, a laminated body 50A as a base material for producing the touch panel sensor 30 is prepared. The laminated body 50A includes a base material 32, a first metal layer 52 provided on the first surface 32a of the base material 32, a second metal layer 57 provided on the second surface 32b of the base material 32, Is included.

次に、図13(b)に示すように、第1金属層52上に第1感光層62を所定のパターンで形成する。アクティブエリアAa1に配置される第1感光層62は、第1電極41を構成する第1金属層52のパターンに対応したパターンで形成されている。なお図示はしないが、基材32の第2面32bの非アクティブエリアAa2には、第2金属層57をエッチングする際のマスクとなる第2感光層が設けられている。   Next, as shown in FIG. 13B, a first photosensitive layer 62 is formed on the first metal layer 52 in a predetermined pattern. The first photosensitive layer 62 disposed in the active area Aa1 is formed in a pattern corresponding to the pattern of the first metal layer 52 constituting the first electrode 41. Although not shown, a second photosensitive layer serving as a mask for etching the second metal layer 57 is provided in the inactive area Aa2 of the second surface 32b of the substrate 32.

次に、第1感光層62をマスクとして第1金属層52をエッチングする。また、図示しない第2感光層をマスクとして第2金属層57をエッチングする。これによって、図13(c)に示すように、第1電極41を構成するための第1金属層52を得ることができる。その後、第1感光層62および図示しない第2感光層を除去する。次に、必要に応じて、アクティブエリアAa1内に存在する第1金属層52の表面や側面に黒化処理などの低反射処理を施す。   Next, the first metal layer 52 is etched using the first photosensitive layer 62 as a mask. Further, the second metal layer 57 is etched using a second photosensitive layer (not shown) as a mask. As a result, as shown in FIG. 13C, the first metal layer 52 for forming the first electrode 41 can be obtained. Thereafter, the first photosensitive layer 62 and the second photosensitive layer (not shown) are removed. Next, if necessary, low reflection processing such as blackening processing is performed on the surface and side surfaces of the first metal layer 52 present in the active area Aa1.

その後、図13(d)に示すように、基材32の第1面32a上に、第1電極41を構成するための第1金属層52を覆うよう、第1透明導電層51を設ける。また基材32の第2面32b上に第2透明導電層56を設ける。次に図13(e)に示すように、第1透明導電層51上に第3感光層63を所定のパターンで形成する。また、第2透明導電層56上に第4感光層68を所定のパターンで形成する。アクティブエリアAa1に配置される第3感光層63は、第1電極41を構成する第1透明導電層51のパターンに対応したパターンで形成される。また、アクティブエリアAa1に配置される第4感光層68は、第2電極46を構成する第2透明導電層56のパターンに対応したパターンで形成される。   Thereafter, as shown in FIG. 13D, the first transparent conductive layer 51 is provided on the first surface 32 a of the substrate 32 so as to cover the first metal layer 52 for constituting the first electrode 41. A second transparent conductive layer 56 is provided on the second surface 32 b of the base material 32. Next, as shown in FIG. 13E, a third photosensitive layer 63 is formed on the first transparent conductive layer 51 in a predetermined pattern. The fourth photosensitive layer 68 is formed in a predetermined pattern on the second transparent conductive layer 56. The third photosensitive layer 63 disposed in the active area Aa1 is formed in a pattern corresponding to the pattern of the first transparent conductive layer 51 constituting the first electrode 41. The fourth photosensitive layer 68 disposed in the active area Aa1 is formed in a pattern corresponding to the pattern of the second transparent conductive layer 56 constituting the second electrode 46.

その後、第3感光層63をマスクとして第1透明導電層51をエッチングする。また、第4感光層68をマスクとして第2透明導電層56をエッチングする。次に、図示はしないが、残っている感光層63,68を除去する。このようにして、図12に示すタッチパネルセンサ30を得ることができる。   Thereafter, the first transparent conductive layer 51 is etched using the third photosensitive layer 63 as a mask. Further, the second transparent conductive layer 56 is etched using the fourth photosensitive layer 68 as a mask. Next, although not shown, the remaining photosensitive layers 63 and 68 are removed. Thus, the touch panel sensor 30 shown in FIG. 12 can be obtained.

(第1電極および第2電極46の位置関係の変形例)
また上述の本実施の形態において、基材32の観察者側に設けられるとともに第1透明導電層51および第1金属層52を含む第1電極41が、検出電極として機能し、基材32の表示装置側に設けられるとともに第2透明導電層56を含む第2電極46が、駆動電極として機能する例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、第1電極41が、駆動電極として機能し、第2電極46が検出電極として機能してもよい。すなわち、駆動信号が第1電極41に印加され、この駆動信号が、第1電極41と第2電極46との間の容量結合を介して第2電極46に伝達されてもよい。
(Modification of positional relationship between first electrode and second electrode 46)
In the present embodiment described above, the first electrode 41 provided on the viewer side of the base material 32 and including the first transparent conductive layer 51 and the first metal layer 52 functions as a detection electrode. An example is shown in which the second electrode 46 provided on the display device side and including the second transparent conductive layer 56 functions as a drive electrode. However, the present invention is not limited to this, and the first electrode 41 may function as a drive electrode, and the second electrode 46 may function as a detection electrode. That is, a drive signal may be applied to the first electrode 41, and this drive signal may be transmitted to the second electrode 46 via capacitive coupling between the first electrode 41 and the second electrode 46.

なお、上述した実施の形態に対するいくつかの変形例を説明してきたが、当然に、複数の変形例を適宜組み合わせて適用することも可能である。   In addition, although some modified examples with respect to the above-described embodiment have been described, naturally, a plurality of modified examples can be applied in combination as appropriate.

10 タッチ位置検出機能付き表示装置
15 表示装置
16 表示パネル
16a 表示面
30 タッチパネルセンサ
32 基材
41 第1電極
42 ダミーパターン
43 第1額縁配線
44 第1端子部
46 第2電極
48 第2額縁配線
49 第2端子部
50 積層体
51 第1透明導電層
52 第1金属層
56 第2透明導電層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Display apparatus with a touch position detection function 15 Display apparatus 16 Display panel 16a Display surface 30 Touch panel sensor 32 Base material 41 1st electrode 42 Dummy pattern 43 1st frame wiring 44 1st terminal part 46 2nd electrode 48 2nd frame wiring 49 Second terminal portion 50 Laminate 51 First transparent conductive layer 52 First metal layer 56 Second transparent conductive layer

Claims (11)

静電容量方式のタッチパネルセンサであって、
第1面および前記第1面に対向する第2面を含む基材と、
前記基材の前記第1面上に設けられ、第1方向に延びる複数の第1電極と、
前記基材の前記第2面上に設けられ、前記第1方向に交差する第2方向に延びる複数の第2電極と、を備え、
前記第1電極は、前記第1方向に帯状に延びる第1透明導電層と、前記第1透明導電層の観察者側の面上または表示装置側の面上に積層された第1金属層と、を有し、
前記第2電極は、前記第2方向に帯状に延びる第2透明導電層を有し、
前記第1金属層は、前記第1方向における前記第1透明導電層の一端から他端に向かって線状に延びている、タッチパネルセンサ。
A capacitive touch panel sensor,
A base material including a first surface and a second surface facing the first surface;
A plurality of first electrodes provided on the first surface of the substrate and extending in a first direction;
A plurality of second electrodes provided on the second surface of the base material and extending in a second direction intersecting the first direction;
The first electrode includes a first transparent conductive layer extending in a strip shape in the first direction, a first metal layer stacked on an observer side surface or a display device side surface of the first transparent conductive layer, and Have
The second electrode has a second transparent conductive layer extending in a strip shape in the second direction,
The touch panel sensor, wherein the first metal layer extends linearly from one end of the first transparent conductive layer to the other end in the first direction.
前記基材の前記第1面は、観察者側を向く面であり、前記基材の前記第2面は、表示装置側を向く面であり、
前記第2電極の前記第2透明導電層の幅が、前記第1電極の前記第1透明導電層の幅よりも大きくなっている、請求項1に記載のタッチパネルセンサ。
The first surface of the substrate is a surface facing the observer side, and the second surface of the substrate is a surface facing the display device side,
The touch panel sensor according to claim 1, wherein a width of the second transparent conductive layer of the second electrode is larger than a width of the first transparent conductive layer of the first electrode.
隣接する2つの前記第1電極の前記第1透明導電層の間の間隔が、前記第1透明導電層の幅よりも大きくなっている、請求項2に記載のタッチパネルセンサ。   The touch panel sensor according to claim 2, wherein a distance between the first transparent conductive layers of two adjacent first electrodes is larger than a width of the first transparent conductive layer. 隣接する2つの前記第2電極の前記第2透明導電層の間の間隔が、30μm以下になっている、請求項2または3に記載のタッチパネルセンサ。   The touch panel sensor according to claim 2 or 3, wherein an interval between the second transparent conductive layers of two adjacent second electrodes is 30 µm or less. 前記第1金属層の表面または側面に、低反射処理が施されている、請求項1乃至4のいずれか一項に記載のタッチパネルセンサ。   The touch panel sensor according to any one of claims 1 to 4, wherein a low reflection treatment is performed on a surface or a side surface of the first metal layer. 前記第1金属層は、前記第1方向における前記第1透明導電層の一端から他端に向かって蛇行状に線状に延びている、請求項1乃至5のいずれか一項に記載のタッチパネルセンサ。   6. The touch panel according to claim 1, wherein the first metal layer extends linearly in a meandering manner from one end of the first transparent conductive layer to the other end in the first direction. Sensor. 前記タッチパネルセンサは、アクティブエリアと、前記アクティブエリアの周辺に位置する非アクティブエリアと、に区画され、
前記アクティブエリアには、前記第1電極および前記第2電極が設けられており、
前記タッチパネルセンサは、前記非アクティブエリアに設けられ、前記第1電極に電気的に接続された複数の第1額縁配線をさらに備え、
隣接する2つの前記第1電極の間には、前記第1電極および前記第1額縁配線のいずれにも電気的に接続されていないダミーパターンが設けられており、
前記ダミーパターンは、透光性および導電性を有する透明導電材料から構成された層を含んでいる、請求項1乃至6のいずれか一項に記載のタッチパネルセンサ。
The touch panel sensor is divided into an active area and an inactive area located around the active area,
In the active area, the first electrode and the second electrode are provided,
The touch panel sensor further includes a plurality of first frame wirings provided in the inactive area and electrically connected to the first electrode,
Between the two adjacent first electrodes, a dummy pattern that is not electrically connected to any of the first electrode and the first frame wiring is provided,
The touch panel sensor according to claim 1, wherein the dummy pattern includes a layer made of a transparent conductive material having translucency and conductivity.
前記ダミーパターンは、金属材料から構成された層をさらに含んでいる、請求項7に記載のタッチパネルセンサ。   The touch panel sensor according to claim 7, wherein the dummy pattern further includes a layer made of a metal material. 前記第1金属層は、前記第1透明導電層の観察者側の面上に積層されている、請求項1乃至8のいずれか一項に記載のタッチパネルセンサ。   The touch panel sensor according to any one of claims 1 to 8, wherein the first metal layer is laminated on a surface of the first transparent conductive layer on an observer side. 前記第1金属層は、前記第1透明導電層の表示装置側の面上に積層されている、請求項1乃至8のいずれか一項に記載のタッチパネルセンサ。   The touch panel sensor according to claim 1, wherein the first metal layer is stacked on a surface of the first transparent conductive layer on a display device side. 表示装置と、
前記表示装置の表示面上に配置された静電容量方式のタッチパネルセンサと、を備え、
前記タッチパネルセンサは、
第1面および前記第1面に対向する第2面を含む基材と、
前記基材の前記第1面上に設けられ、第1方向に延びる複数の第1電極と、
前記基材の前記第2面上に設けられ、前記第1方向に交差する第2方向に延びる複数の第2電極と、を備え、
前記第1電極は、前記第1方向に帯状に延びる第1透明導電層と、前記第1透明導電層の観察者側の面上または表示装置側の面上に積層された第1金属層と、を有し、
前記第2電極は、前記第2方向に帯状に延びる第2透明導電層を有し、
前記第1金属層は、前記第1方向における前記第1透明導電層の一端から他端に向かって線状に延びている、タッチ位置検出機能付き表示装置。
A display device;
A capacitive touch panel sensor disposed on the display surface of the display device,
The touch panel sensor
A base material including a first surface and a second surface facing the first surface;
A plurality of first electrodes provided on the first surface of the substrate and extending in a first direction;
A plurality of second electrodes provided on the second surface of the base material and extending in a second direction intersecting the first direction;
The first electrode includes a first transparent conductive layer extending in a strip shape in the first direction, a first metal layer stacked on an observer side surface or a display device side surface of the first transparent conductive layer, and Have
The second electrode has a second transparent conductive layer extending in a strip shape in the second direction,
The display device with a touch position detection function, wherein the first metal layer extends linearly from one end of the first transparent conductive layer to the other end in the first direction.
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