JP2015045834A - マイクロレンズの製造方法 - Google Patents
マイクロレンズの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015045834A JP2015045834A JP2013262641A JP2013262641A JP2015045834A JP 2015045834 A JP2015045834 A JP 2015045834A JP 2013262641 A JP2013262641 A JP 2013262641A JP 2013262641 A JP2013262641 A JP 2013262641A JP 2015045834 A JP2015045834 A JP 2015045834A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- microlens
- phase shift
- manufacturing
- mask
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0005—Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
【解決手段】基板を提供するステップS101と、基板上にマイクロレンズ材料を形成するステップS103と、マイクロレンズ材料の上方にマスクを配置するステップS105と、マスクを介してマイクロレンズ材料に照射された光束によって露光プロセスを実行するステップS107と、マイクロレンズ材料に現像プロセスを実行するステップS109と、マイクロレンズ材料にリフロープロセスを実行するステップS111とを含む。
【選択図】図3
Description
11 透明基板
12 複数の位相シフト層
13 遮蔽層
20 基板
21 ウエハ
22 イメージセンサ
30 マイクロレンズ材料
31 非露光部
32 露光部
40 光源
50 マイクロレンズ
60 マイクロレンズ材料
61 メイン部分
62 サブ部分
70 マイクロレンズ
71 第1のマイクロレンズ
72 第2のマイクロレンズ
C1、C2 変曲点
d1、d2 幅
d3、d4 直径
D1 方向
g1、g2 溝
h1、h2 厚さ
L1 光束
P1 平面
P2 傾斜壁
S1、S2 面積
S3 非球面
S4 第1の非球面
S5 第2の非球面
W1、W2 幅
Z1、Z2、Z3 領域
Claims (10)
- マイクロレンズの製造方法であって、
基板を提供するステップと、
前記基板上にマイクロレンズ材料を形成するステップと、
前記マイクロレンズ材料の上方にマスクを配置するステップと、
前記マスクを介して前記マイクロレンズ材料に照射された光束によって露光プロセスを実行するステップと、
前記マイクロレンズ材料に現像プロセスを実行するステップと、
前記マイクロレンズ材料にリフロープロセスを実行するステップと、を含むマイクロレンズの製造方法。 - 前記マスクは、透明基板、前記透明基板上にアレイ状に配置された複数の位相シフト層、および前記位相シフト層上にそれぞれ配置された複数の遮蔽層を含み、前記各位相シフト層の面積は、前記各遮蔽層の面積を超える請求項1に記載のマイクロレンズの製造方法。
- 前記各位相シフト層の面積は、前記各遮蔽層の面積の1〜64倍である請求項2に記載のマイクロレンズの製造方法。
- 前記各位相シフト層の幅は、前記各遮蔽層の幅の1〜8倍である請求項2に記載のマイクロレンズの製造方法。
- 前記位相シフト層および前記遮蔽層の各々は、四角形である請求項2に記載のマイクロレンズの製造方法。
- 前記位相シフト層の透過率は、3%〜5%である請求項2に記載のマイクロレンズの製造方法。
- 前記マイクロレンズの製造方法は、リフロープロセス後、複数の非球面マイクロレンズを形成するステップを更に含み、前記非球面マイクロレンズのうち、2つの隣接する非球面マイクロレンズは、互いに連接される請求項1に記載のマイクロレンズの製造方法。
- 前記マイクロレンズの製造方法は、リフロープロセス後、複数の第1のマイクロレンズおよび前記第1のマイクロレンズに連接された複数の第2のマイクロレンズを形成するステップを更に含み、前記各第1のマイクロレンズの直径は、前記各第2のマイクロレンズの直径の2倍を超える請求項1に記載のマイクロレンズの製造方法。
- マイクロレンズの製造方法であって、
マイクロレンズ材料を提供するステップと、
前記マイクロレンズ材料の上方に、複数の位相シフト層および前記位相シフト層上に各々配置された複数の遮蔽層を含むマスクを配置するステップと、
前記マスクを介して前記マイクロレンズ材料に照射された光束によって露光プロセスを実行し、前記位相シフト層は、3%〜5%の光束を前記マイクロレンズ材料に照射させるステップと、
前記マイクロレンズ材料に現像プロセスを実行するステップと、
前記マイクロレンズ材料にリフロープロセスを実行するステップと、を含むマイクロレンズの製造方法。 - 前記各位相シフト層の幅は、前記各遮蔽層の幅の1〜1.6倍であり、前記各位相シフト層の面積は、前記各遮蔽層の面積の1.2〜2.5倍である請求項9に記載のマイクロレンズの製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US14/011,401 | 2013-08-27 | ||
US14/011,401 US20150064629A1 (en) | 2013-08-27 | 2013-08-27 | Manufacturing method for microlenses |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015045834A true JP2015045834A (ja) | 2015-03-12 |
JP5735616B2 JP5735616B2 (ja) | 2015-06-17 |
Family
ID=52583717
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013262641A Active JP5735616B2 (ja) | 2013-08-27 | 2013-12-19 | マイクロレンズの製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20150064629A1 (ja) |
JP (1) | JP5735616B2 (ja) |
CN (1) | CN104423177A (ja) |
TW (1) | TWI535556B (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2018173872A1 (ja) * | 2017-03-24 | 2020-01-30 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | センサチップおよび電子機器 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03242648A (ja) * | 1990-02-21 | 1991-10-29 | Matsushita Electron Corp | ホトマスクの製造方法 |
JP2007193266A (ja) * | 2006-01-23 | 2007-08-02 | Toppan Printing Co Ltd | マイクロレンズアレイの製造方法及びマイクロレンズ基板 |
WO2009060511A1 (ja) * | 2007-11-06 | 2009-05-14 | Geomatec Co., Ltd. | フォトマスク用基板及びフォトマスク並びにその製造方法 |
JP2009198870A (ja) * | 2008-02-22 | 2009-09-03 | Toppan Printing Co Ltd | 微細構造体配列の製造方法及び濃度分布マスク |
JP2011077175A (ja) * | 2009-09-29 | 2011-04-14 | Sony Corp | 固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法、電子機器、レンズアレイ |
JP2011134609A (ja) * | 2009-12-24 | 2011-07-07 | Cheil Industries Inc | マイクロレンズアレイシート |
JP2012245083A (ja) * | 2011-05-26 | 2012-12-13 | Seiko Epson Corp | 撮像装置、生体認証装置、電子機器 |
JP2013084743A (ja) * | 2011-10-07 | 2013-05-09 | Canon Inc | 半導体装置及びその製造方法 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6638786B2 (en) * | 2002-10-25 | 2003-10-28 | Hua Wei Semiconductor (Shanghai ) Co., Ltd. | Image sensor having large micro-lenses at the peripheral regions |
KR100537505B1 (ko) * | 2003-01-27 | 2005-12-19 | 삼성전자주식회사 | 마이크로 렌즈 어레이의 제조방법 |
KR100606900B1 (ko) * | 2004-12-21 | 2006-08-01 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 씨모스 이미지 센서 및 그 제조방법 |
KR100641554B1 (ko) * | 2005-12-15 | 2006-11-01 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 이미지 센서의 비구면 마이크로 렌즈 형성 방법 |
KR100645220B1 (ko) * | 2005-12-26 | 2006-11-10 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 이미지 센서의 마이크로 렌즈 제조 방법 |
KR100821480B1 (ko) * | 2006-12-22 | 2008-04-11 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 이미지 센서 및 그의 제조방법 |
KR100915758B1 (ko) * | 2007-11-19 | 2009-09-04 | 주식회사 동부하이텍 | 이미지센서의 제조방법 |
KR100976791B1 (ko) * | 2007-12-17 | 2010-08-19 | 주식회사 동부하이텍 | 이미지 센서 및 그 제조 방법 |
US8228606B2 (en) * | 2008-01-08 | 2012-07-24 | United Microelectronics Corp. | Contiguous microlens array and photomask for defining the same |
KR20100074443A (ko) * | 2008-12-24 | 2010-07-02 | 주식회사 동부하이텍 | 이미지 센서의 마이크로 렌즈 마스크 및 마이크로 렌즈 형성 방법 |
CN101659391B (zh) * | 2009-09-04 | 2011-12-28 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 一种圆滑曲面微结构的制作方法 |
JP2012064924A (ja) * | 2010-08-17 | 2012-03-29 | Canon Inc | マイクロレンズアレイの製造方法、固体撮像装置の製造方法および固体撮像装置 |
CN103777256A (zh) * | 2014-01-22 | 2014-05-07 | 广州中国科学院先进技术研究所 | 一种柔性曲面微透镜阵列的制作方法及应用 |
-
2013
- 2013-08-27 US US14/011,401 patent/US20150064629A1/en not_active Abandoned
- 2013-10-08 TW TW102136282A patent/TWI535556B/zh active
- 2013-10-18 CN CN201310492174.XA patent/CN104423177A/zh active Pending
- 2013-12-19 JP JP2013262641A patent/JP5735616B2/ja active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03242648A (ja) * | 1990-02-21 | 1991-10-29 | Matsushita Electron Corp | ホトマスクの製造方法 |
JP2007193266A (ja) * | 2006-01-23 | 2007-08-02 | Toppan Printing Co Ltd | マイクロレンズアレイの製造方法及びマイクロレンズ基板 |
WO2009060511A1 (ja) * | 2007-11-06 | 2009-05-14 | Geomatec Co., Ltd. | フォトマスク用基板及びフォトマスク並びにその製造方法 |
JP2009198870A (ja) * | 2008-02-22 | 2009-09-03 | Toppan Printing Co Ltd | 微細構造体配列の製造方法及び濃度分布マスク |
JP2011077175A (ja) * | 2009-09-29 | 2011-04-14 | Sony Corp | 固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法、電子機器、レンズアレイ |
JP2011134609A (ja) * | 2009-12-24 | 2011-07-07 | Cheil Industries Inc | マイクロレンズアレイシート |
JP2012245083A (ja) * | 2011-05-26 | 2012-12-13 | Seiko Epson Corp | 撮像装置、生体認証装置、電子機器 |
JP2013084743A (ja) * | 2011-10-07 | 2013-05-09 | Canon Inc | 半導体装置及びその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201507853A (zh) | 2015-03-01 |
TWI535556B (zh) | 2016-06-01 |
US20150064629A1 (en) | 2015-03-05 |
JP5735616B2 (ja) | 2015-06-17 |
CN104423177A (zh) | 2015-03-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8986912B2 (en) | Method for generating mask pattern | |
US20160154298A1 (en) | Reflective Lithography Masks and Systems and Methods | |
TW201802573A (zh) | 具有多層遮光層的光罩 | |
JP5103901B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP4787866B2 (ja) | パターン化されたフォトレジスト層の形成方法 | |
JP5735616B2 (ja) | マイクロレンズの製造方法 | |
KR100645220B1 (ko) | 이미지 센서의 마이크로 렌즈 제조 방법 | |
JP4834235B2 (ja) | グレートーン露光用フォトマスク | |
JP5735756B2 (ja) | 電子装置の製造方法 | |
JP2006267866A (ja) | マイクロレンズアレイの作製方法 | |
JP6250239B2 (ja) | 段差付ウエハおよびその製造方法 | |
KR101061357B1 (ko) | 포토 마스크 | |
JP2010054710A (ja) | フォトマスク及び半導体装置の製造方法 | |
JP2009198870A (ja) | 微細構造体配列の製造方法及び濃度分布マスク | |
JP2006126243A (ja) | 露光マスク並びにマイクロレンズアレイおよびその作製方法 | |
TWI512390B (zh) | 微影系統、微影遮罩、及微影方法 | |
US8691495B2 (en) | Photoresist pattern forming method, and microlens array forming method | |
US10338464B2 (en) | Photomask including transfer patterns for reducing a thermal stress | |
CN101685253A (zh) | 制作光掩模的方法 | |
KR100641554B1 (ko) | 이미지 센서의 비구면 마이크로 렌즈 형성 방법 | |
US9664998B2 (en) | Photomask blanks, photomasks fabricated using the same, and methods of fabricating photomask using the same | |
JP2012160762A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2022091338A5 (ja) | ||
JP4679115B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
KR20110114296A (ko) | 극자외선 마스크 및 그 제조방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141226 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150202 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150224 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150406 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150416 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5735616 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |