JP2015042095A - 平面位置検出装置、並びにこれを備えた平面モータ及び平面ステージ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】位置検出精度の低下を抑制する。また、励磁コイルに対する各相検知コイルの取り付け精度を緩和する。
【解決手段】誘導部分が平面状である励磁コイル31と、少なくとも一つの第1相検知コイル321と、少なくとも一つの第2相検知コイル322と、を備え、前記第1相検知コイル321と前記第2相検知コイル322とは、前記第1相検知コイル321の誘導部分321aと前記励磁コイル31の誘導部分311とが平面視で一致している場合に、前記第2相検知コイル322の誘導部分322aが前記励磁コイル31の誘導部分311に対してずれて位置し、平面視にて、一方の検知コイルにおける誘導部分の一端から他端までの範囲と、他方の検知コイルにおける誘導部分の一端から他端までの範囲とが重なり合うように配置されている平面位置検出装置である。
【選択図】図3
【解決手段】誘導部分が平面状である励磁コイル31と、少なくとも一つの第1相検知コイル321と、少なくとも一つの第2相検知コイル322と、を備え、前記第1相検知コイル321と前記第2相検知コイル322とは、前記第1相検知コイル321の誘導部分321aと前記励磁コイル31の誘導部分311とが平面視で一致している場合に、前記第2相検知コイル322の誘導部分322aが前記励磁コイル31の誘導部分311に対してずれて位置し、平面視にて、一方の検知コイルにおける誘導部分の一端から他端までの範囲と、他方の検知コイルにおける誘導部分の一端から他端までの範囲とが重なり合うように配置されている平面位置検出装置である。
【選択図】図3
Description
本発明は、平面方向の相対的位置を検出するために用いられる平面位置検出装置、並びにこれを備えた、当該平面方向への駆動力を発する平面モータ、及び、ワーク(被搬送体)を載置して当該平面方向へと搬送できる平面ステージ装置に関するものである。
従来の平面位置検出装置500は、例えば平面視の概略図である図8に示すように、ワーク(図示しない)を平面方向に搬送するための平面モータ600を備えた平面ステージ装置700に備えられる。この平面位置検出装置500は、平面状の励磁コイル501と、前記励磁コイル501の上方に対向する平面状の第1相検知コイル502及び第2相検知コイル503と、を備える。第1相検知コイル502及び第2相検知コイル503とは同一平面上に位置している。このように構成された平面位置検出装置500の方式はインダクトシン方式とも呼ばれ(なお「インダクトシン」は登録商標である)、例えば本願出願人の出願に係る特許文献1に開示されている。
前記第2相検知コイル503は、前記第1相検知コイル502とは異なる位相の誘導電流が発生するように、前記第1相検知コイル502に対して並列配置されている。例えば特許文献1には、前記位相のずれが90°となるように、各検知コイルを1/4ピッチずらせた構成が開示されている。図8に示す平面位置検出装置500は、前記平面モータ600の駆動力により、前記平面方向のうちで直交する関係にある図示X方向またはY方向にステージ701が移動可能な前記平面ステージ装置700に対し、固定側のベース702に前記励磁コイル501が、移動側の前記ステージ701に第1相検知コイル502及び第2相検知コイル503が取り付けられている。この構成により、固定側である前記励磁コイル501に対する、移動側である前記各相検知コイル502,503の、前記X方向またはY方向の相対的位置が検出される。
ここで、前記平面ステージ装置700において、ステージ701上に載せられたワークが回転方向にずれていることがある。このとき、X方向またはY方向だけの移動では、ワークの位置を修正できない。よって、回転方向へステージ701を移動できれば、ワークの回転方向のずれを簡単に修正できて便利である。このように回転方向へステージ701を移動できる構成は、例えば本願出願人の出願に係る特許文献2に開示されている。
しかし、仮に回転方向へステージ701を移動させたとすると、前記平面位置検出装置500では、前記のように励磁コイル501が固定側にあるから、移動側にある各相検知コイル502,503が前記回転に応じ、励磁コイル501に対して平面視で傾斜してしまう。そうなると前記傾斜した分、第1相検知コイル502と第2相検知コイル503との間のX方向またはY方向における距離が変わってしまう。具体的には、第1相検知コイル502と第2相検知コイル503との間のX方向またはY方向における元の(傾斜していない状態での)距離分の長さに対し、当該長さの前記傾斜に相当する角度の正弦(コサイン)分に長さが短くなる(図4(C)に示した距離L1、角度θ、ずれ長さD1各々の関係を参照)。このため、第1相検知コイル502に発生する誘導電流と第2相検知コイル503に発生する誘導電流との位相差が、設計上の位相差からずれてしまう。前記平面位置検出装置500では、設計上の位相差を基に相対的位置を検出することから、このように位相差にずれが生じると位置検出精度が低下してしまう。
また、従来の平面位置検出装置500では、励磁コイル501に対する各相検知コイル502,503の、X方向またはY方向における位置関係を高い精度で一致させないと前記各方向の位置検出精度が低下していた。このために、各コイル501,502,503につき、高い取り付け精度が要求されていた。また、前記位相差を演算部(図示しない)で処理する際に、設計上の位相差と実際に検出された位相差とを換算するような演算が必要であった。
そこで本発明は、位置検出精度の低下を抑制した平面位置検出装置、平面モータ、平面ステージを提供することを課題とする。また本発明は、励磁コイルに対する各相検知コイルの取り付け精度を緩和できる平面位置検出装置、平面モータ、平面ステージを提供することを課題とする。
本発明は、直線方向で同一ピッチの平面状である誘導部分を有する励磁コイルと、前記励磁コイルの誘導部分に平行に位置し、前記励磁コイルの誘導部分に対して相対的な位置変化により誘導電流が発生するよう配置された誘導部分であって、前記直線方向で同一ピッチの平面状である誘導部分を有する少なくとも一つの第1相検知コイルと、前記励磁コイルの誘導部分に平行に位置し、前記励磁コイルの誘導部分に対して相対的な位置変化により誘導電流が発生するよう配置された誘導部分であって、前記直線方向で同一ピッチの平面状である誘導部分を有する少なくとも一つの第2相検知コイルと、を備え、前記第1相検知コイルの誘導部分と前記励磁コイルの誘導部分とが、前記直線方向において平面視で一致している場合に、前記第2相検知コイルの誘導部分が前記励磁コイルの誘導部分に対して、前記第1相検知コイルとは異なる位相の誘導電流が発生するように前記直線方向にずれて位置し、平面視にて、前記第1相検知コイルと前記第2相検知コイルとのうち一方の誘導部分における前記直線方向基準での一端から他端までの範囲に対し、前記第1相検知コイルと前記第2相検知コイルとのうち他方の誘導部分における前記直線方向基準での一端から他端までの範囲が重なり合うように配置されている。
この構成によれば、第1相検知コイルの誘導部分と第2相検知コイルの誘導部分とが平面視で重なり合うようにできるため、第1相検知コイルと第2相検知コイルの誘導部分の中心を、特許文献1のような並列配置に比べて近づけることが可能である。つまり、各検知コイルの距離を小さくできる。このため、回転により各相検知コイルが励磁コイルに対して平面視で傾斜した場合、特許文献1の構成と同じ角度分傾斜しても、第1相検知コイルに発生する誘導電流と第2相検知コイルに発生する誘導電流との位相差の、設計上の位相差からのずれを特許文献1の構成よりも小さくできる。よって、位置検出精度低下が抑制できる。
また、前記第1相検知コイルと前記第2相検知コイルとのうち一方の誘導部分は、前記直線方向に直交する方向の一方に開口したような形状の凹部を少なくとも一箇所備え、前記第1相検知コイルと前記第2相検知コイルとのうち他方の誘導部分は、平面視で前記凹部に位置するものとできる。
この構成によれば、一方の検知コイルの凹部に他方の検知コイルの誘導部分を位置させることができるため、特に、前記直線方向に直交する方向における検知コイルの寸法を小さくできる。
また、前記第1相検知コイルの誘導部分における中心と前記第2相検知コイルの誘導部分における中心とは、前記直線方向にて、前記各誘導部分の1ピッチに当たる距離よりも小さな距離分離れており、前記第1相検知コイルの誘導部分における中心と前記第2相検知コイルの誘導部分における中心とは、前記直線方向に直交する方向にて一致するものとできる。
この構成によれば、各相検知コイル同士の中心距離が最短となるため、位置検出精度低下を最も良く抑制できる。また、前記直線方向に直交する方向における検知コイルの寸法に加え、前記直線方向における検知コイルの寸法も小さくでき、検知コイルのコンパクト化が可能である。
そして、本発明は、前記いずれかに記載の平面位置検出装置を備えた平面モータである。この構成によれば、位置検出精度低下を抑制した平面モータを提供できる。
そして、本発明は、前記平面モータを備えた平面ステージ装置である。この構成によれば、位置検出精度低下を抑制した平面ステージ装置を提供できる。
本発明は、回転により各相検知コイルが励磁コイルに対して平面視で傾斜した場合、特許文献1の構成と同じ角度分傾斜しても、第1相検知コイルに発生する誘導電流と第2相検知コイルに発生する誘導電流との位相差の、設計上の位相差からのずれを特許文献1の構成よりも小さくできる。よって、位置検出精度低下が抑制できる。このため、位置検出精度の低下を抑制した平面位置検出装置、平面モータ、平面ステージを提供できる。また、励磁コイルに対する各相検知コイルの取り付け精度を緩和できる平面位置検出装置、平面モータ、平面ステージを提供できる。
本発明につき、一実施形態を取り上げて、図面とともに以下説明を行う。なお、本明細書では、上下方向に関しては図1に示した状態を基準として説明している。また、X,Y,Z方向は図1に示した方向とし、図2上では左右方向がX方向、同上下方向がY方向に対応する。そして、図2における表裏方向がZ方向に対応する。ただし、本発明は本明細書で説明した方向の態様に限定されるものではなく、例えば平面ステージ装置1を垂直配置したり、傾斜して配置したりすることも可能である。また、ベース11とステージ12の上下関係が逆であってもよい。
本実施形態の平面ステージ装置1は、例えば半導体製造装置の一部である半導体検査装置にてワーク(被搬送体)を載置でき、被搬送体検知部(カメラ、センサ等)に対してワークの位置合わせを行うことができる(ワークは図示していない)。この平面ステージ装置1は、固定側に位置するベース11と、このベース11に対して平面方向に移動可能なステージ12とを備える。ベース11及びステージ12は、共に平面視正方形の板状とされており、ステージ12はベース11よりも一回り小さく形成されている。ベース11及びステージ12の各4辺に対応して平面モータ2が位置している。
平面モータ2は、前記のベース11及びステージ12における対向する関係にある二つの辺に沿うようにして、対向して配置された2台のリニアモータ(リニアパルスモータ)の組が90°ずれた関係で2組設けられたことにより構成されている。この2組のうち、一方の組であるX組に属するリニアモータ2X,2XがX方向への移動するための駆動力を発し、他方の組であるY組に属するリニアモータ2Y,2YがY方向への移動を発する。このリニアモータの構成は公知であるため詳細な説明はしないが、ベース11には固定子(二次側磁束発生部)21が位置し、ステージ12には可動子(一次側磁束発生部)22が、前記固定子21のZ方向上方に位置する。可動子22は、固定子21に対して長手方向に移動するように構成されている。
可動子22の長手方向における長さ寸法は、固定子21の長手方向における長さ寸法よりも小さい。この寸法差がすなわち、固定子21に対する可動子22の移動可能範囲となる。また、可動子22の短手方向における長さ寸法も、固定子21の短手方向における長さ寸法よりも小さい。このため、X組に属するリニアモータ2X,2Xによりステージ12がX方向に移動した際に、Y組に属するリニアモータ2Y,2Yの固定子21上から可動子22が外れないようにできる。
前記X組に属する2台のリニアモータ2X,2Xが同じ方向に移動した場合には、図2(A)に示すようにステージ12はX方向に移動する。そして、前記Y組に属する2台のリニアモータ2Y,2Yが同じ方向に移動した場合、図2(B)に示すようにステージ12はY方向に移動する。また、前記X組に属する2台のリニアモータ2X,2Xが同じ方向に移動し、かつ、前記Y組に属する2台のリニアモータ2Y,2Yが同じ方向に移動した場合、図示していないが、図2における斜め方向に移動する。
そして、前記X組に属する2台のリニアモータ2X,2Xが逆の方向に移動した場合、図2(C)に示すようにステージ12は、当該ステージ12の中心にてZ方向に延びる仮想の軸CZを中心に、図示の例では反時計回りの方向Rに回転する。前記Y組に属する2台のリニアモータ2Y,2Yが逆の方向に移動した場合も同様である。この回転により、可動子22の長手方向と固定子21の長手方向とは、ステージ12が回転した角度に対応して、平面視において傾くことになる(図2(C)参照)。なお、このように傾いても、固定子21は可動子22に比べて大きいため、固定子21上から可動子22が外れることはない。図2(C)は誇張して図示しているが、本実施形態では±2°の範囲でステージ12が回転(微小回転)できるよう構成されている。このようにX組及びY組に属する4台のリニアモータ2X,2Yだけでステージ12を回転させることができるため、専ら回転のみを行う機構を、直線方向(X方向またはY方向)への移動を行う機構と別に設ける必要がない。このため、簡素な構成にもかかわらず、ステージ12に載置されたワークを回転させることができる。
図1及び図2に示すように、平面位置検出装置3は前記平面モータ2の各リニアモータ2X,2Yに対応して備えられている。なお、以下の説明は、前記X組に属する一つのリニアモータ2Xに対応して備えられた平面位置検出装置3に関して述べる。なお、前記Y組に属するリニアモータY2に対応して備えられた平面位置検出装置3に関しての位置関係は、以下の説明における方向に対して直交する方向で読み替えることができる。
平面位置検出装置3は、励磁電流として交流電流が流される平面状の励磁コイル(「スケールコイル」ともいう)31と、前記励磁コイル31に平行に位置し、前記励磁コイル31に対して平行である前記直線方向(本説明の平面位置検出装置3ではX方向)での相対的な位置変化に伴い、前記励磁コイル31との電気結合度が変化することにより誘導電流が発生するよう配置された平面状の検知コイル32と、を備える。前記各コイル31,32は、例えば、平らな樹脂フィルム上に平らな導体(本実施形態では銅箔)が貼り付けられて構成されている。
励磁コイル31は、図1に示すように、平面モータ2(リニアモータ2X)における固定子21の上方に位置している。また検知コイル32は、平面モータ2(リニアモータ2X)における可動子22に対し、ステージ中央側に隣接するように位置している。そして前記各コイル31,32は、平面ステージ装置1におけるベース11の上面及びステージ12の下面に対して平行に配置されている。
検知コイル32は、図3に示すように、一つの第1相検知コイル(以下、「A相コイル」とする)321と、第2相検知コイル(以下、「B相コイル」とする)322とから構成されている。そして、励磁コイル31、A相コイル321、B相コイル322は各々、前記直線方向で同一ピッチのコイルパターン(「コイルパターン」とは、コイルの形状を意味する)とされた、櫛歯状の誘導部分311,321a,322aを有する。なお、A相コイル321、B相コイル322における誘導部分321a,322aは、「受感部」ともよばれる。ベース11側の固定子21とステージ12側の可動子22の関係と同じく、ベース11側に位置する励磁コイル31における誘導部分311の面積(導体部分と導体間の隙間とを合わせた面積)は、ステージ12側に位置する検知コイル32(A相コイル321及びB相コイル322)における誘導部分321a,322aの合計面積よりも大きい。このため、図2(C)に示すようにステージ12が回転した場合であっても、励磁コイル31における誘導部分311上から検知コイル32における誘導部分321a,322aが外れることはなく、検知コイル32に誘導電流を発生させることができる。
前記励磁コイル31、A相コイル321、B相コイル322の各々における誘導部分311,321a,322aの導体は櫛歯状に形成されている。具体的には、図3に示すように、導体がまず図示下方に幅寸法分延び、その後、誘導部分311,321a,322aの下端にて図示右方に曲げられ、その後、図示上方に幅寸法分延び、その後、当該誘導部分311,321a,322aの上端にて図示右方に曲げられた形状である。この形状の単位(当該単位が1ピッチ(A相コイル321の誘導部分311に「P」で図示)となる)が図示右方に繰り返されることにより誘導部分311,321a,322aの全体が形成される。このように形成された誘導部分311,321a,322aにおける、導体の幅寸法(X方向寸法)と、導体間に空けられている隙間の幅寸法とは図示のようにほぼ同一とされている。なお、導体の幅寸法と隙間の幅寸法とは、ほぼ同一であるものに限定されず、例えば、導体の幅寸法と隙間の幅寸法の比を6:4、7:3とする等、適宜変更できる。以上により前記コイルパターンが形成される。なお、誘導部分311,321a,322aのコイルパターンは、図3に示すように直角に導体が曲げられた形状に限定されず、例えばアールを描くように折り曲げられたものやサインカーブ状など、種々の形状とできる。
また、誘導部分311,321a,322aの図示左右端部から端子部が引き出されている。図3ではA相コイル321及びB相コイル322の端子部321b,322bだけを図示しているが、励磁コイル31も同様に、誘導部分311から端子部(図示しない)が引き出されている。A相コイル321においては端子部321bが図示上方に引き出されており、B相コイル322においては端子部322bが図示下方に引き出されている。この端子部321b,322bから導き出された誘導電流は、図示しないフィルタ回路及び増幅回路を経由して処理回路に送られることでX方向の位置情報に変換される(前記X組に属するリニアモータ2Xに対応して備えられた平面位置検出装置3においては)。なお、前記Y組に属するリニアモータY2に対応して備えられた平面位置検出装置3に関しては端子部321b,322bから導き出された誘導電流が前記と同様にしてY方向の位置情報に変換される。このように、前記X組に属するリニアモータ2Xの平面位置検出装置3では、励磁コイル31に対する検知コイル32の、X方向の相対的位置を検出できる(なお、当該X組に属するリニアモータ2Xの平面位置検出装置3ではY方向の相対的位置は検出できない)。また、前記Y組に属するリニアモータY2の平面位置検出装置3では、励磁コイル31に対する検知コイル32の、Y方向の相対的位置を検出できる(なお、当該Y組に属するリニアモータY2の平面位置検出装置3ではX方向の相対的位置は検出できない)。そして回転方向の位置情報は、前記X組に属するリニアモータ2Xの平面位置検出装置3によるX方向の位置情報と、前記Y組に属するリニアモータY2の平面位置検出装置3によるY方向の位置情報とを演算することで得ることができる。
A相コイル321、B相コイル322の各々における誘導部分321a,322aのコイルパターンは、前記直線方向に対して直交する線(直線方向がX方向である場合(図3に示す配置)にはY方向に延びる線であり、直線方向がY方向である場合(図3に示すものと直交する関係の配置)にはX方向に延びる線)を基準とした線対称の形状である。本実施形態では、誘導部分321a,322aに限らず、端子部321b,322bを含めたコイル全体で線対称の形状となっている。このように、少なくとも各相コイル321,322の誘導部分321a,322aを対称形状とすることで、検知コイル32を容易に製造できる。
そして、A相コイル321及びB相コイル322は、各々の誘導部分321a,322aが励磁コイル31の誘導部分311にZ方向で対向しつつ、少なくとも前記直線方向(X方向)に移動可能なように平面ステージ装置1のステージ12に位置している。
A相コイル321とB相コイル322とは位置関係が固定されている。具体的に、A相コイル321に対してB相コイル322は、A相コイル321における誘導部分321aのコイルパターンと励磁コイル31における誘導部分311のコイルパターンとが、(導体の幅方向中央にて)前記直線方向(X方向)において平面視で一致している場合に、B相コイル322における誘導部分322aのコイルパターンが励磁コイル31における誘導部分311のコイルパターンに対して、A相コイル321とは異なる位相の誘導電流が発生するように前記直線方向にずれて位置している。本実施形態における前記直線方向へのA相コイル321とB相コイル322との位置ずれは、各誘導部分321a,322aの1/4ピッチ分の長さ(つまり、導体の幅に一致する長さ)である。このため、例えば、A相コイル321とB相コイル322とのうち一方の誘導電流の変化がサインカーブを描く場合、他方の誘導電流の変化はコサインカーブ(サインカーブに対して90°(π/4)ずれた波形)を描く。なお、A相コイル321とB相コイル322とは、磁気的結合等の影響を考えない場合には、各相コイル321,322に発生する誘導電流の変化に係る波形がずれるように配置されていればよく、位置ずれが1/4ピッチ分には限定されない。
本実施形態におけるA相コイル321とB相コイル322とは、平面視にて、A相コイル321における誘導部分321aの前記直線方向基準での一端321cから他端321dまでの範囲321Wと、B相コイル322における誘導部分322aの前記直線方向基準での一端322cから他端322dまでの範囲322Wとが重なり合うように配置されている。
より具体的に、B相コイル322の誘導部分322aは、図3に示すように前記直線方向に均等に分かれている。なお、この誘導部分322aのうち図示左側部分と図示右側部分とは、連結導体322eによって接続されている。この連結導体322eは、励磁コイル31の誘導部分311との磁気的結合による余計な誘導電流の発生を抑制することを目的として、励磁コイル31の誘導部分311からY方向に離して配置することが望ましい。
B相コイル322の誘導部分322aにおける図示左側の誘導部分と図示右側の誘導部分との間には、図示上方に開口したような形状の凹部322fが形成される。そして、図3に示すように、A相コイル321の誘導部分321aは、平面視で凹部322fに位置する(凹部322fに嵌まり込む)。これにより、A相コイル321における前記直線方向基準の範囲321Wが、B相コイル322における前記直線方向基準の範囲322Wに納まるように、A相コイル321とB相コイル322とが平面視で重なり合うようにできるため、A相コイル321とB相コイル322の各誘導部分の中心CA,CBを、従来(図8に示す)のように並列配置(横並び配置)した場合に比べて近づけることが可能である。なお、前記「中心」は、誘導部分における導体の平面視における図心とする。
つまり、前記各誘導部分321a,322aの中心CA,CB同士の距離を従来よりも短縮できる。このように中心同士の距離が短縮された分、図2(C)に示すようにステージ12を回転させた際の回転角度に対応する前記直線方向における距離のずれを従来構成の検知コイルよりも小さくできる。
前記距離の短縮につき、図4(略図)を示しつつ説明する。図4(A)に示す従来の形態の一例にて、A相コイル321’の中心CA’とB相コイル322’の中心CB’との距離は図示のようにL1である。また、図4(B)に示す本実施形態にて、A相コイル321の中心CAとB相コイル322の中心CBとの距離は図示のようにL2である。図4(C)に、前記各々の形態にて、励磁コイル31に対して検知コイル32が角度θ傾いた場合の、X方向(図示左右方向)の距離のずれを示す。従来の形態では、ずれの長さはD1であり、本実施形態ではずれの長さはD2である。図4(C)を見れば明らかなように、従来よりも本実施形態の方が距離のずれが小さい。距離のずれが小さいということは、角度θ傾いた場合でも、A相コイル321の誘導部分321aに発生する誘導電流と、B相コイル322の誘導部分322aに発生する誘導電流との位相差を、設計上の位相差に近づけることができるということである。
前記より、ステージ12が回転(例えば前記の角度θ分回転)した場合の位置検出精度低下を抑制できる。また、A相コイル321とB相コイル322とを平面視で重なり合わせた分、検知コイル32を全体的にコンパクトに形成できる。また、前記のようにステージ12が回転した場合の位置検出精度低下を抑制できるということは、すなわち、励磁コイル31に対して検知コイル32が平面視で傾いている状態であっても、位置検出精度低下を抑制できるということであるから、励磁コイル31に対する検知コイル32の取り付け精度を緩和できる。つまり、従来よりも平面位置検出装置3をラフに組み立てることができ、製造コスト低減につなげることができる。また、前記位相差を演算部(図示しない)で処理する際に、設計上の位相差と実際に検出された位相差とを換算するような演算も必ずしも必要でなくなる。
そして、A相コイル321における誘導部分の中心CAとB相コイル322における誘導部分の中心CBとは、前記直線方向(X方向)にて、各誘導部分321a,322aのコイルパターンの1ピッチに当たる距離Pよりも小さな距離分である約1/4ピッチ分だけ離れている(距離L2)。そして、A相コイル321における誘導部分の中心CAとB相コイル322における誘導部分の中心CBとは、図3上のY方向(図示上下方向)にてほぼ一致している。つまり、Y方向の位置ずれはほぼ0である。このように、X方向の距離L2を約1/4ピッチ分だけとし、Y方向の位置ずれをほぼ0とした位置関係では、各相検知コイル321,322同士の中心距離を最短とできる。よってこの位置関係は、前記の検出精度低下の抑制、コンパクト化、励磁コイル31に対する検知コイル32の取り付け精度の緩和について最も効果的である。
本実施形態では、A相コイル321における誘導部分の中心CAとB相コイル322における誘導部分の中心CBとを前記直線方向(X方向)に約1/4ピッチ分離れた位置関係としたが、1ピッチの整数倍に約1/4ピッチ加えた分離れた位置関係としてもよい。
なお、前記直線方向に直交する方向(Y方向)へのA相コイル321とB相コイル322との位置ずれは、前記のように0とすることが最も望ましい。しかし、これに限定されるものではなく、励磁コイル31の誘導部分311上からA相コイル321及びB相コイル322の誘導部分321a,322aが、誘導電流が正常(相対的位置を検出できるに足るレベルにおいて)に発生しない程度に外れてしまわない範囲内の位置ずれは許容される。
次に、本願の発明者が、平面位置検出装置3の直線性を計算によって求めたのでこれについて説明する。図5(A)に、図3に示すものと同構造の平面位置検出装置3にて、A相コイル321における誘導部分321aの中心とB相コイル322における誘導部分322aの中心をX方向にずらせて配置した場合の直線性を計算によって求めた結果を表で示す。図5(B)は説明のための概略図である。そして同様に、図6(A)に、図3に示すものと同構造の平面位置検出装置3にて、A相コイル321における誘導部分の中心とB相コイル322における誘導部分の中心をY方向にずらせて配置した場合(X方向へのずれは、各誘導部分321a,322aの1/4ピッチ分とした)の直線性を計算によって求めた結果を表で示す。図6(B)は説明のための概略図である。なお、図6(A)に示す「計算上の直線性」とは、X方向へのずれを各誘導部分321a,322aの1/4ピッチ分とし、Y方向へのずれを0とした検知コイル32を用いて実測した直線性(7μm)で割った数値を%表示したものである。
ここで、図8に示す従来の平面位置検出装置500で、第1相検知コイル502と第2相検知コイル503との中心距離を32+1/4ピッチ(図5上の「整数」で32に相当する)とし、中心距離を1/4ピッチ(図5上の「整数」で0に相当する)を基準として、2°回転時の直線性を図5に示すように%で評価すると約220%となった。ちなみに本実施形態の平面位置検出装置3では、「整数」が30の場合に直線性が171%、「整数」が35の場合に直線性が183%であったため、従来の平面位置検出装置500の方が、中心の距離が広がった場合の直線性の悪化について相対的に大きいことがわかる。よって、少なくともこの点で本実施形態の平面位置検出装置3は、従来の平面位置検出装置500よりも優れていることがわかる。
また、図6(A)ではY方向へのずれが大きくなるにつれ、「ずれ距離」及び「直線性」の数値が大きくなっており、前述のようにY方向の位置ずれを0に近づけることが望ましいことが裏づけられている。
次に、本発明の他の実施形態について説明する。図7(A)に示す実施形態は、誘導電流の相が同一(位相差が180°の整数倍であるものを含む、以下同じ)であるコイルを複数組み合わせて検知コイル32が構成されたものである。本実施形態では、検知コイル32の長手方向中心から両端部に向かう方向に、A相コイル321、B相コイル322、A’相コイル323(A相コイルと誘導電流の相が同一)、B’相コイル324(B相コイル322と誘導電流の相が同一)が各々配置されている。B相コイル322、A’相コイル323、B’相コイル324については、図3に示す実施形態と同様に凹部322f,323b,324bが形成されたことで、誘導部分322a,323a,324aが前記直線方向(図示左右方向)に均等に分かれている。B相コイル322の凹部322fは図示上方に開口し、A’相コイルの凹部323bは図示下方に開口し、B’相コイルの凹部324bは図示上方に開口している。このため、平面視で各凹部に重なるように前記各相コイルを配置できる。この際、前記のように各凹部の開口が上下交互に位置することになるため、各相コイル321,322,323,324が上下交互に前記凹部に嵌められることになる。このように、誘導電流の相が同一であるコイルを複数組み合わせることで、例えばA相コイル321の誘導電流の波形とA’相コイル323の誘導電流の波形との差分を取り、B相コイル322の誘導電流の波形とB’相コイル324の誘導電流の波形との差分を取ることにより、仮に磁気的結合の影響等により同一相の各コイルに誘導電流の波形の不均衡が生じていても精度の高い位置情報を得ることができる。
図7(B)に示す実施形態は、図3に示す実施形態と同様、検知コイル32がA相コイル321とB相コイル322とから構成されている。本実施形態におけるA相コイル321とB相コイル322の各々は、複数の凹部321e,322fを有しており、各相コイル321,322のうち一方の誘導部分321a(322a)が同他方の凹部322f(321e)に重なり(嵌まり込み)、同他方の誘導部分322a(321a)が同一方の凹部322e(321f)に重なる(嵌まり込む)ように構成されている。
以上、本発明につき実施形態を取り上げて説明してきたが、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
例えば、ベース11及びステージ12の平面視形状は、正方形に限定されず、長方形、多角形、円形等とすることもできる。例えばベース11及びステージ12の平面視形状を八角形に形成し、各辺に沿うようにリニアモータを配置することで、ステージ12を斜め方向(X方向かつY方向)に移動させることができるように構成することもできる。
また、A相コイル321またはB相コイル322は、凹部322fを挟んで対称形状であるものに限定されず、非対称形状とすることもできる。また、前記実施形態では、図3に示すように、A相コイル321における前記直線方向基準の範囲321Wが、B相コイル322における前記直線方向基準の範囲322Wに納まるようにされていたが、これに限定されず、前記範囲321Wと前記範囲322Wとの一部だけが重なり合うようにされるようにできる。また、A相コイル321とB相コイル322の誘導部分321a,322a同士がZ方向に平行となり、平面視において重なるように配置されることもできる。また、三相以上の異なる相(A相、B相、C相…)の誘導電流が発生する複数のコイルから検知コイル32が構成されることもできる。
また、励磁コイル31、A相コイル321、B相コイル322は全体が平面状であるものに限定されず、各々の誘導部分311,321a,322aだけが平面状に構成することもできる。
1 平面ステージ装置
2 平面モータ
3 平面位置検出装置
31 励磁コイル
32 検知コイル
321 第1相検知コイル、A相コイル
322 第2相検知コイル、B相コイル
322f 凹部
C1 第1相検知コイル(A相コイル)の中心
C2 第2相検知コイル(B相コイル)の中心
P コイルパターンの1ピッチ
2 平面モータ
3 平面位置検出装置
31 励磁コイル
32 検知コイル
321 第1相検知コイル、A相コイル
322 第2相検知コイル、B相コイル
322f 凹部
C1 第1相検知コイル(A相コイル)の中心
C2 第2相検知コイル(B相コイル)の中心
P コイルパターンの1ピッチ
Claims (5)
- 直線方向で同一ピッチの平面状である誘導部分を有する励磁コイルと、
前記励磁コイルの誘導部分に平行に位置し、前記励磁コイルの誘導部分に対して相対的な位置変化により誘導電流が発生するよう配置された誘導部分であって、前記直線方向で同一ピッチの平面状である誘導部分を有する少なくとも一つの第1相検知コイルと、
前記励磁コイルの誘導部分に平行に位置し、前記励磁コイルの誘導部分に対して相対的な位置変化により誘導電流が発生するよう配置された誘導部分であって、前記直線方向で同一ピッチの平面状である誘導部分を有する少なくとも一つの第2相検知コイルと、を備え、
前記第1相検知コイルの誘導部分と前記励磁コイルの誘導部分とが、前記直線方向において平面視で一致している場合に、前記第2相検知コイルの誘導部分が前記励磁コイルの誘導部分に対して、前記第1相検知コイルとは異なる位相の誘導電流が発生するように前記直線方向にずれて位置し、
平面視にて、前記第1相検知コイルと前記第2相検知コイルとのうち一方の誘導部分における前記直線方向基準での一端から他端までの範囲に対し、前記第1相検知コイルと前記第2相検知コイルとのうち他方の誘導部分における前記直線方向基準での一端から他端までの範囲が重なり合うように配置されていることを特徴とする平面位置検出装置。 - 前記第1相検知コイルと前記第2相検知コイルとのうち一方の誘導部分は、前記直線方向に直交する方向の一方に開口したような形状の凹部を少なくとも一箇所備え、
前記第1相検知コイルと前記第2相検知コイルとのうち他方の誘導部分は、平面視で前記凹部に位置することを特徴とする請求項1に記載の平面位置検出装置。 - 前記第1相検知コイルの誘導部分における中心と前記第2相検知コイルの誘導部分における中心とは、前記直線方向にて、前記各誘導部分の1ピッチに当たる距離よりも小さな距離分離れており、
前記第1相検知コイルの誘導部分における中心と前記第2相検知コイルの誘導部分における中心とは、前記直線方向に直交する方向にて一致することを特徴とする請求項1または2に記載の平面位置検出装置。 - 請求項1〜3のいずれかに記載の平面位置検出装置を備えた平面モータ。
- 請求項4に記載の平面モータを備えた平面ステージ装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013172856A JP2015042095A (ja) | 2013-08-23 | 2013-08-23 | 平面位置検出装置、並びにこれを備えた平面モータ及び平面ステージ装置 |
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JP2015042095A true JP2015042095A (ja) | 2015-03-02 |
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JP2013172856A Pending JP2015042095A (ja) | 2013-08-23 | 2013-08-23 | 平面位置検出装置、並びにこれを備えた平面モータ及び平面ステージ装置 |
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JP (1) | JP2015042095A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105703512A (zh) * | 2016-03-01 | 2016-06-22 | 北京理工大学 | 一种高平面度永磁直线电机平面线圈 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3962663A (en) * | 1973-04-13 | 1976-06-08 | U.S. Philips Corporation | Inductive position determining device |
JPS5283250A (en) * | 1975-12-30 | 1977-07-12 | Fujitsu Ltd | Position detector |
JP2012098056A (ja) * | 2010-10-29 | 2012-05-24 | Sinfonia Technology Co Ltd | 平面位置検出装置及びこれを適用した平面モータ |
JP2013004898A (ja) * | 2011-06-21 | 2013-01-07 | Sinfonia Technology Co Ltd | ステージ装置 |
-
2013
- 2013-08-23 JP JP2013172856A patent/JP2015042095A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3962663A (en) * | 1973-04-13 | 1976-06-08 | U.S. Philips Corporation | Inductive position determining device |
JPS5283250A (en) * | 1975-12-30 | 1977-07-12 | Fujitsu Ltd | Position detector |
JP2012098056A (ja) * | 2010-10-29 | 2012-05-24 | Sinfonia Technology Co Ltd | 平面位置検出装置及びこれを適用した平面モータ |
JP2013004898A (ja) * | 2011-06-21 | 2013-01-07 | Sinfonia Technology Co Ltd | ステージ装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105703512A (zh) * | 2016-03-01 | 2016-06-22 | 北京理工大学 | 一种高平面度永磁直线电机平面线圈 |
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