JP2015035829A - Vibration piece, vibrator, oscillator, and real time clock - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は圧電振動子に係り、特に衝撃により振動片が破損するのを防止するのに好適な圧電振動子に関する。 The present invention relates to a piezoelectric vibrator, and more particularly to a piezoelectric vibrator suitable for preventing a resonator element from being damaged by an impact.
表面実装型の音叉型圧電振動片には、基部の一端から振動腕が延びた構造のもの、あるいは基部の一端から振動腕が延びた音叉型圧電振動片本体と、基部に接続されるとともに音叉型圧電振動片本体を枠状に囲む支持部とからなる構造のものがある。図4および図5に従来技術に係る音叉型圧電振動片の説明図を示す。図4(a)および図5(a)は音叉型圧電振動片の平面図、図4(b)および図5(b)は音叉型圧電振動片をパッケージへ実装したときの断面図を示す。基部110および振動腕111からなる音叉型圧電振動片112をパッケージ113に実装するときは、基部110の裏面に設けられた接続電極とパッケージ113に設けられたパッケージ側マウント電極114とを導電性接着剤115を介して接合固着している(図4参照)。また基部120および振動腕121からなる音叉型圧電振動片本体122と、音叉型圧電振動片本体122を枠状に囲む支持部123からなる音叉型圧電振動片124をパッケージ125に実装するときは、支持部123の長手方向両端にそれぞれ設けられた接続電極とパッケージに設けられたパッケージ側マウント電極126とを導電性接着剤127を介して接合固着している(図5参照)。
The surface mount type tuning fork type piezoelectric vibrating piece includes a structure in which a vibrating arm extends from one end of a base, or a tuning fork type piezoelectric vibrating piece main body in which a vibrating arm extends from one end of a base and a tuning fork connected to the base. There is a structure composed of a supporting portion that surrounds the main body of the piezoelectric piezoelectric resonator element in a frame shape. 4 and 5 are explanatory views of a tuning fork type piezoelectric vibrating piece according to the prior art. 4 (a) and 5 (a) are plan views of the tuning fork type piezoelectric vibrating piece, and FIGS. 4 (b) and 5 (b) are cross-sectional views when the tuning fork type piezoelectric vibrating piece is mounted on a package. When the tuning fork-type piezoelectric vibrating
また音叉型圧電振動片には、基部、振動腕および前記基部から突出して形成されたL字型枝からなる構造のものがある(特許文献1)。また音叉型圧電振動片本体と音叉型圧電振動片本体を枠状に囲む支持部とからなる音叉型圧電振動片の前記支持部に、上下それぞれの方向から半田材を介してケースを接合して音叉型圧電振動子とした構造のものがある(特許文献2)。 Further, there is a tuning fork type piezoelectric vibrating piece having a structure including a base, a vibrating arm, and an L-shaped branch projecting from the base (Patent Document 1). In addition, a case is joined to the support portion of the tuning fork type piezoelectric vibrating piece composed of a tuning fork type piezoelectric vibrating piece body and a supporting portion surrounding the tuning fork type piezoelectric vibrating piece body in a frame shape via solder materials from above and below. There is a structure of a tuning fork type piezoelectric vibrator (Patent Document 2).
ところで、基部および振動腕からなる音叉型圧電振動片はパッケージと2箇所のみで支持されるので、音叉型圧電振動片をパッケージの底面に対して平行に実装できない場合がある。すなわち音叉型圧電振動片の先端側が平行に実装したときに比べて上側または下側に傾いて、実装にバラツキを生じる問題点があった。また基部および振動腕からなる音叉型圧電振動片はパッケージと2箇所のみで支持した場合、および基部、振動腕および支持部からなる音叉型圧電振動片を上述したように実装した場合は、落下等による強い衝撃が音叉型圧電振動片に加わると、振動腕の先端がパッケージに衝突することがあった。この衝突により振動腕にワレやカケ等の破損が発生し、音叉型圧電振動片の周波数特性が悪化する問題点があった。特に近年は、音叉型圧電振動片が小型化・薄型化されているので、衝撃に弱い問題点があった。 By the way, since the tuning fork type piezoelectric vibrating piece including the base and the vibrating arm is supported only at two places with the package, the tuning fork type piezoelectric vibrating piece may not be mounted parallel to the bottom surface of the package. That is, there is a problem in that the tuning fork type piezoelectric vibrating piece is inclined upward or downward as compared with the case where the tip side is mounted in parallel, resulting in variations in mounting. Moreover, when the tuning fork type piezoelectric vibrating piece consisting of the base and the vibrating arm is supported only at two places with the package, and when the tuning fork type piezoelectric vibrating piece consisting of the base, the vibrating arm and the supporting part is mounted as described above, dropping, etc. When a strong impact due to is applied to the tuning fork type piezoelectric vibrating piece, the tip of the vibrating arm may collide with the package. Due to this collision, there is a problem that breakage or chipping of the vibrating arm occurs, and the frequency characteristics of the tuning fork type piezoelectric vibrating piece deteriorate. In particular, in recent years, the tuning fork type piezoelectric vibrating piece has been reduced in size and thickness, so that there has been a problem that it is vulnerable to impact.
特許文献1に記載された音叉型圧電振動片は、パッケージへの実装について記載がされておらず、また音叉型振動片において衝撃等を吸収する場所は見当たらない。また特許文献2に記載された音叉型圧電振動片は、上述したように支持部がケースに挟持されているので、衝撃を吸収する場所が見当たらない。 The tuning fork type piezoelectric vibrating piece described in Patent Document 1 does not describe mounting on a package, and there is no place for absorbing a shock or the like in the tuning fork type vibrating piece. Further, in the tuning fork type piezoelectric vibrating piece described in Patent Document 2, since the support portion is sandwiched between the cases as described above, there is no place to absorb the impact.
本発明は、上記問題点を解決するためになされたもので、パッケージの底面に対して平行に実装するとともに、振動腕がパッケージに衝突するのを防止することができる圧電振動子を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above problems, and provides a piezoelectric vibrator that can be mounted parallel to the bottom surface of a package and that can prevent a vibrating arm from colliding with the package. With the goal.
上記目的を達成するために、本発明に係る圧電振動子は、音叉型圧電振動片をパッケージに収容した圧電振動子であって、前記音叉型圧電振動片は、複数の振動腕を有する音叉型圧電振動片本体と、前記振動腕の延びる方向と交わる方向に沿って形成され、前記圧電振動片本体に接続する第1の短辺部と、前記第1の短辺部から前記振動腕の延びる方向に向かって前記振動腕の先端より先まで前記振動腕の延びる方向に沿って形成された長辺部と、前記長辺部の先端を、前記振動腕の前記先端より先において前記振動腕の延びる方向と交わる方向に沿って延設して形成された第2の短辺部と、を備え、前記第2の短辺部の下面が前記パッケージに固定されていることを特徴としている。圧電振動子に衝撃が加わった場合は、長辺部が衝撃緩和部となって湾曲しながら上下に振動することにより衝撃を緩和することができる。このため音叉型圧電振動片本体は激しく振られることがなく、僅かに上下に動くだけなので、パッケージに衝突することがない。よって音叉型圧電振動片本体がパッケージに衝突するのを防止できる。 In order to achieve the above object, a piezoelectric vibrator according to the present invention is a piezoelectric vibrator in which a tuning fork type piezoelectric vibrating piece is accommodated in a package, and the tuning fork type piezoelectric vibrating piece has a plurality of vibrating arms. A piezoelectric vibrating reed body, a first short side part formed along a direction intersecting with the extending direction of the vibrating arm, and connected to the piezoelectric vibrating piece body, and the vibrating arm extends from the first short side part. A long side portion formed along a direction in which the vibrating arm extends from the tip of the vibrating arm toward the direction, and a tip of the long side portion of the vibrating arm before the tip of the vibrating arm. And a second short side portion formed so as to extend along a direction intersecting with the extending direction, and a lower surface of the second short side portion is fixed to the package. When an impact is applied to the piezoelectric vibrator, the impact can be reduced by vibrating up and down while the long side portion becomes an impact relaxation portion and curves. For this reason, the tuning fork type piezoelectric vibrating reed main body is not vibrated vigorously and only moves up and down slightly, so that it does not collide with the package. Therefore, it is possible to prevent the tuning fork type piezoelectric vibrating reed body from colliding with the package.
また前記複数の振動腕は、一対の振動腕を含み、前記長辺部は、前記一対の振動腕の間において、前記第1の短辺部から前記振動腕の延びる方向に向かって前記振動腕の前記先端より先まで形成されていることを特徴としている。これにより衝撃が加わった際に長辺部が衝撃緩和部となって優先的に湾曲し、音叉型圧電振動片自体の変位が抑えられるため、音叉型圧電振動片がパッケージに衝突するのを防止することができる。また、振動腕から漏れた振動を長辺部において減衰させることができるので、振動特性の優れた圧電振動子とすることができる。 The plurality of resonating arms include a pair of resonating arms, and the long side portion is between the pair of resonating arms and the resonating arm extends in a direction in which the resonating arm extends from the first short side portion. It is characterized by being formed beyond the tip. As a result, when an impact is applied, the long side portion is preferentially curved as an impact relaxation portion, and the displacement of the tuning fork type piezoelectric vibrating piece itself is suppressed, thus preventing the tuning fork type piezoelectric vibrating piece from colliding with the package. can do. In addition, since the vibration leaking from the vibrating arm can be attenuated at the long side portion, a piezoelectric vibrator having excellent vibration characteristics can be obtained.
また前記複数の振動腕は、一対の振動腕を含み、前記長辺部は、前記一対の振動腕の外側において、前記第1の短辺部から前記振動腕の延びる方向に向かって前記振動腕の前記先端より先まで形成されている第1の長辺部および第2の長辺部を含み、第1の長辺部および第2の長辺部は、前記振動腕の先端側において、前記第2の短辺部により互いに接続されていることを特徴とする構成である。第1、第2の短辺部と第1、第2の長辺部により枠部が形成されたことにより、音叉型圧電振動片をパッケージベースに実装するときは枠部をマウントすることができる。音叉型圧電振動片に衝撃が加わった場合は、長辺部が衝撃緩和部となって湾曲しながら上下に振動するので衝撃を緩和することができる。そして音叉型圧電振動片本体は僅かに上下に動くだけなので、音叉型圧電振動片本体がパッケージに衝突するのを防止することができる。 The plurality of resonating arms include a pair of resonating arms, and the long side portion is outside the pair of resonating arms, and the resonating arm extends in a direction in which the resonating arm extends from the first short side portion. Including a first long side portion and a second long side portion formed from the tip end to the tip end side of the vibrating arm. The second short sides are connected to each other. Since the frame portion is formed by the first and second short side portions and the first and second long side portions, the frame portion can be mounted when the tuning fork type piezoelectric vibrating piece is mounted on the package base. . When an impact is applied to the tuning fork type piezoelectric vibrating piece, the long side portion becomes an impact relaxation portion and vibrates up and down while curving, so that the impact can be reduced. Since the tuning fork type piezoelectric vibrating piece main body only slightly moves up and down, it is possible to prevent the tuning fork type piezoelectric vibrating piece main body from colliding with the package.
また前記長辺部は、穴部または凹部を設けることにより形成された衝撃緩和部とすることもできる。音叉型圧電振動片の大きさや重心位置等に応じて衝撃緩和部の太さや厚さ、または穴部や凹部の大きさ等を設計することにより、音叉型圧電振動片に衝撃が加わっても、この衝撃を衝撃緩和部で緩和することができる。 Further, the long side portion may be an impact relaxation portion formed by providing a hole or a recess. Even if an impact is applied to the tuning fork type piezoelectric vibrating piece by designing the thickness and thickness of the impact relaxation part, the size of the hole or the recess, etc. according to the size and position of the center of gravity of the tuning fork type piezoelectric vibrating piece, This impact can be mitigated by the impact mitigating portion.
また前記振動腕と前記長辺部との間隔は、圧電振動子に衝撃が加わったときに前記振動腕が振動する振幅よりも広いことを特徴としてもよい。マウント部は音叉型圧電振動片の重心よりも振動腕の先端側に位置することになる。したがって音叉型圧電振動片に加わった衝撃を長辺部で緩和することができ、音叉型圧電振動片本体がパッケージに衝突するのを防止できる。振動腕が長辺部に衝突してワレ、カケ等の破損が生じることがない。さらに音叉型圧電振動片は基部を有しないので、小型化にすることができる。 Further, the distance between the vibrating arm and the long side portion may be wider than an amplitude at which the vibrating arm vibrates when an impact is applied to the piezoelectric vibrator. The mount portion is positioned closer to the tip side of the vibrating arm than the center of gravity of the tuning fork type piezoelectric vibrating piece. Therefore, the impact applied to the tuning fork type piezoelectric vibrating piece can be mitigated at the long side portion, and the tuning fork type piezoelectric vibrating piece body can be prevented from colliding with the package. The vibrating arm does not collide with the long side portion and damage such as cracks or chipping occurs. Further, since the tuning fork type piezoelectric vibrating piece does not have a base portion, it can be miniaturized.
以下に、本発明に係る圧電振動子の実施形態について説明する。なお、以下に記載するものは本発明の実施の一形態にすぎず、本発明はこれに限定されるものでない。まず本発明に関連する実施形態について説明する。図1に第1の関連実施形態に係る音叉型圧電振動片および音叉型圧電振動子の説明図を示す。図1(a)は音叉型圧電振動片の平面図、図1(b)は音叉型圧電振動子の断面図、図1(c)は音叉型圧電振動子に加わった衝撃を、音叉型圧電振動片が緩和する説明図である。 Hereinafter, embodiments of the piezoelectric vibrator according to the present invention will be described. In addition, what is described below is only one embodiment of the present invention, and the present invention is not limited to this. First, an embodiment related to the present invention will be described. FIG. 1 is an explanatory diagram of a tuning fork type piezoelectric vibrating piece and a tuning fork type piezoelectric vibrator according to a first related embodiment. FIG. 1A is a plan view of a tuning fork type piezoelectric vibrating piece, FIG. 1B is a cross-sectional view of the tuning fork type piezoelectric vibrator, and FIG. 1C shows an impact applied to the tuning fork type piezoelectric vibrator. It is explanatory drawing which a vibration piece eases.
音叉型圧電振動片10は基部12の一端から振動腕14が延びてなる音叉型圧電振動片本体16を有している。この音叉型圧電振動片本体16には、音叉型圧電振動片本体16の長手方向と交わる方向に沿う短辺部18と、該短辺部18の両端から音叉型圧電振動片本体16の長手方向に沿って形成した長辺部20からなる衝撃緩和部22が接続されている。そして振動腕14と長辺部20の間隔は、音叉型圧電振動片10に衝撃が加わったときに振動腕14が振動する左右方向の振幅よりも広く形成してある。
The tuning fork type
前記長辺部20には、音叉型圧電振動片10をパッケージベース24へ実装するためのマウント部26が形成されている。このマウント部26は音叉型圧電振動片10の長手方向の重心位置に対応して設けられ、マウント部26の下面には接続電極(不図示)が形成されている。マウント部26は、音叉型圧電振動片本体16、短辺部18および長辺部20とを合わせた音叉型圧電振動片10の重心位置よりも振動腕14の先端側に設けるのが好ましい。なお本実施形態では長辺部20の先端にマウント部26を設けた構成としているが、必ずしも先端に設ける必要はない。
The
またマウント部26から基部12側に位置する衝撃緩和部22は厚さおよび幅が調整され、音叉型圧電振動片10に衝撃が加わったときに衝撃を緩和する機能を有している。
そして音叉型圧電振動片本体16の上下面には励振電極(不図示)が形成され、該励振電極と前記接続電極とが衝撃緩和部22に設けられた引出し電極(不図示)により導通した構成となっている。
Further, the
Excitation electrodes (not shown) are formed on the upper and lower surfaces of the tuning-fork type piezoelectric vibrating
このような構成の音叉型圧電振動片10は、マウント部26に設けられた前記接続電極と、パッケージベース24に設けられたパッケージ側マウント電極28とが接合材30により接合固着されてパッケージベース24に実装される。そして接合材30には導電性接着剤、導電性シート、導電性フィルム、金バンプまたは金−錫合金のロウ材等が用いられる。特にシリコーン系の導電性接着剤を用いると耐熱性が向上し、前記導電性接着剤から発生するガスを抑えることができる。
また金バンプを用いるとガスが発生しないので、パッケージ32を真空封止するのに好適となる。なお所望の電気伝導度が得られない場合には、ボンディングワイヤを介して導電性を得るようにしてもよい。そしてパッケージベース24の上端面に低融点ガラスを介してまたはシーム溶接によりリッド34を接合し、音叉型圧電振動子36を構成する。
In the tuning fork type
Further, when gold bumps are used, no gas is generated, which is suitable for vacuum-sealing the
次に、音叉型圧電振動子36に落下等による衝撃が加わったときの音叉型圧電振動片10の作用について説明する。音叉型圧電振動子36に衝撃が加わると、衝撃が音叉型圧電振動片10に伝搬される。そして音叉型圧電振動片10は衝撃により振動することになるが、衝撃を緩和する機能を有している衝撃緩和部22が主に振動する。すなわち、音叉型圧電振動片10に衝撃が加わると、衝撃緩和部22がマウント部26を中心として湾曲しながら上下に振動して衝撃を緩和する。このとき音叉型圧電振動片本体16はパッケージベース24の底面に対して平行を保ったまま上下に動くだけなので、音叉型圧電振動片本体16がパッケージ32に衝突することはない(図1(c)参照)。また振動腕14と長辺部20が衝突することもない。
Next, the operation of the tuning fork type
このような構成において、音叉型圧電振動片10の衝撃緩和部22は衝撃を緩和する機能を有しているので、音叉型圧電振動子36に衝撃が加わった場合でも、音叉型圧電振動片10がパッケージ32に衝突してワレ、カケ等の破損を生じることがない。また音叉型圧電振動片を小型化・薄型化しても衝突による破損が発生することはない。このため、衝撃により周波数特性等が変わることがなく、信頼性の高い音叉型圧電振動片10を提供することができる。
In such a configuration, the
また衝撃緩和部22は衝撃、すなわち振動を緩和する機能を有しているので、音叉型圧電振動片10の屈曲振動から伝搬する振動漏れを減衰することができる。このためクリスタルインピーダンス値が減少するとともに、振動特性の優れた音叉型圧電振動子36にすることができる。
Further, since the
また振動腕14と長辺部20の間隔は、音叉型圧電振動片10に衝撃が加わったときに振動腕14が左右に振れても長辺部20へ衝突しない距離を有しているので、振動腕14と長辺部20が衝突してカケやワレ等の破損を生じることがない。
そして、上述した音叉型圧電振動片10を用いて音叉型圧電発振器やリアルタイムクロックを形成することができる。
Further, the distance between the vibrating
A tuning fork type piezoelectric oscillator and a real time clock can be formed using the tuning fork type
本実施の形態では長辺部20にマウント部26を設けた構成としているが、一方の長辺部20に1箇所のマウント部を設け、他方の長辺部20に2箇所のマウント部を設ける構成にすることもできる。また片側の長辺部20に2箇所以上のマウント部を設け、全体として4箇所以上のマウント部を設ける構成にすることもできる。このような構成とすることで、パッケージベース24の底面に対し確実に平行となるよう実装できる。
In the present embodiment, the
次に、第2の関連実施形態について説明する。図2(a)は音叉型圧電振動片の平面図、図2(b)は音叉型圧電振動子の断面図、図2(c)は音叉型圧電振動子に加わった衝撃を、音叉型圧電振動片が緩和する説明図である。音叉型圧電振動片50は基部52の一端から振動腕54が延びてなる音叉型圧電振動片本体56を有している。この音叉型圧電振動片本体56には、音叉型圧電振動片本体56の長手方向と交わる方向に沿う短辺部57と、該短辺部57の両端から音叉型圧電振動片本体56の長手方向に沿って形成した長辺部58からなる衝撃緩和部72が接続されている。そして長辺部58の振動腕54の先端側には、音叉型圧電振動片本体56の長手方向と交わる方向に沿う支持部59が接続されている。この支持部59と衝撃緩和部72で音叉型圧電振動片本体56を囲繞する構成となっている。
Next, a second related embodiment will be described. 2A is a plan view of the tuning-fork type piezoelectric vibrating piece, FIG. 2B is a cross-sectional view of the tuning-fork type piezoelectric vibrator, and FIG. 2C is a tuning fork type piezoelectric vibrator. It is explanatory drawing which a vibration piece eases. The tuning fork type
前記長辺部58にはそれぞれマウント部が設けられ、このマウント部の下面には音叉型圧電振動片50をパッケージベース60に実装するときに用いられる接続電極(不図示)が形成されている。この接続電極を設けたマウント部は、音叉型圧電振動片50の長手方向の重心位置よりも振動腕54に近い側(振動腕54の先端側)に設けられている。また前記接続電極は音叉型圧電振動片本体56に設けられた励振電極(不図示)と、衝撃緩和部72に設けられた引出し電極(不図示)を介して導通している。また支持部59は、音叉型圧電振動片50をパッケージベース60に実装するためのマウント部となる。このマウント部は前記接続電極よりも振動腕54先端側の長辺部58に複数設けてもよい。
Each of the
そして振動腕54と長辺部58の間隔は、音叉型圧電振動片50に衝撃が加わったときに振動腕54が振動する左右方向の振幅よりも広く形成してある。また衝撃緩和部72は厚さおよび幅が調整され、音叉型圧電振動片50に衝撃が加わったときに衝撃を緩和する機能を有している。
The interval between the vibrating
このような構成の音叉型圧電振動片50は、長辺部58に設けられた前記接続電極と、パッケージベース60に設けられたパッケージ側マウント電極62とが接合材64により接合固着されている。また支持部59の下面は、接合材64を介してパッケージベース60に接合固着されている。支持部59とパッケージベース60を接合するときは、支持部59の下面両端の2箇所に接合材64を塗布して接合してもよく、また支持部59の下面全体の1箇所に接合材64を塗布して接合してもよい。そして前記接続電極とパッケージ側マウント電極62を接合させる接合材64には導電性接着剤、導電性シート、導電性フィルム、金バンプまたは金−錫合金のロウ材等が用いられる。特にシリコーン系の導電性接着剤を用いると耐熱性が向上し、前記導電性接着剤から発生するガスを抑えることができる。また金バンプを用いるとガスが発生しないので、パッケージ66を真空封止するのに好適となる。なお所望の電気伝導度が得られない場合には、ボンディングワイヤを介して導電性を得るようにしてもよい。また支持部59とパッケージベース60を接合する接合材64には上述した接合材を用いることもでき、さらに導電性を有しない接合材を用いることもできる。そしてパッケージベース60の上端面に低融点ガラスを介して、またはシーム溶接によりリッド68を接合し、音叉型圧電振動子70を構成する。
In the tuning fork type
次に、音叉型圧電振動子70に落下等による衝撃が加わったときの音叉型圧電振動片50の作用について説明する。音叉型圧電振動子70に衝撃が加わると、衝撃が音叉型圧電振動片50に伝搬される。すると、衝撃緩和部72は衝撃を緩和する機能を有しているので、衝撃緩和部72が前記接続電極の位置を中心として湾曲しつつ上下に振動する。この振動によって音叉型圧電振動片50に伝搬される衝撃が緩和される。このため音叉型圧電振動片50は振動腕54の先端が僅かに上下に動くだけなので、音叉型圧電振動片本体56がパッケージ66に衝突することはない(図2(c)参照)。また振動腕54と長辺部58が衝突することもない。
Next, the operation of the tuning fork type
このような構成において、音叉型圧電振動片50の衝撃緩和部72は衝撃を緩和する機能を有しているので、音叉型圧電振動子70に衝撃が加わった場合でも衝撃緩和部72が衝撃を緩和し、音叉型圧電振動片本体56が激しく振られることがない。このため音叉型圧電振動片50がパッケージ66に衝突してワレ、カケ等の破損を生じることがない。また音叉型圧電振動片は衝撃を緩和する機能を有しているので、音叉型圧電振動片を小型化・薄型化しても破損することがない。さらに衝撃により周波数特性等が変わることがなく、信頼性の高い音叉型圧電振動片50を提供することができる。
In such a configuration, the
また衝撃緩和部72は、音叉型圧電振動片50の屈曲振動から伝搬する振動漏れも減衰することができる。このためクリスタルインピーダンス値が減少するとともに、振動特性の優れた音叉型圧電振動子70にすることができる。
Further, the
また振動腕54と長辺部58の間隔は、音叉型圧電振動片50に衝撃が加わったときに振動腕54が左右に振れても長辺部58へ衝突しない距離を有しているので、振動腕54と長辺部58が衝突してカケやワレ等の破損を生じることがない。
Further, the distance between the vibrating
また長辺部58に設けられたマウント部を音叉型圧電振動片50の長手方向の重心位置よりも振動腕54に近い側に設けることで基部52側の変位が優先的に起こり、衝撃が加わった際に音叉型圧電振動片50自体の変位量が抑制され、音叉型圧電振動片50がパッケージに衝突してワレやカケを発生することがない。
Further, by providing the mount portion provided on the
また第2の実施形態に係る音叉型圧電振動片50には、音叉型圧電振動片50を囲繞する枠部が形成されているので、この枠部を有していない音叉型圧電振動片に比べて機械強度を向上させることができる。
そして、上述した音叉型圧電振動片50を用いて音叉型圧電発振器やリアルタイムクロックを形成することができる。
In addition, the tuning fork type
A tuning fork type piezoelectric oscillator and a real time clock can be formed using the tuning fork type
次に、音叉型圧電振動子70の衝撃試験について説明する。この衝撃試験には上述した音叉型圧電振動子70と、衝撃緩和部72を備えていない従来技術に係る音叉型圧電振動子とを用いた。衝撃試験は、音叉型圧電振動子を治具にセットしたあと、150cmの高さから、音叉型圧電振動子の長さ、幅および高さ方向について各10回落下させた。図6に衝撃試験の結果を示す。衝撃試験前の音叉型圧電振動子の発振周波数を基準とし、衝撃試験後の発振周波数がどれ位ずれたかを周波数変化率で示したものである。図6(a)は上述した音叉型圧電振動子70の試験結果を示し、図6(b)は従来技術に係る音叉型圧電振動子の衝撃試験の結果を示す。上述した音叉型圧電振動子70は、図6(a)より衝撃試験後においても発振周波数がほとんどずれてないことがわかり、衝撃試験後の発振周波数のばらつきを求めるとσ=0.221であった。これに対し、従来技術に係る音叉型圧電振動子は、図6(b)より衝撃試験後に発振周波数が大きくずれていることがわかり、衝撃試験後の発振周波数のばらつきを求めるとσ=2.061であった。このことより上述した音叉型圧電振動子70は、音叉型圧電振動片50の衝撃緩和部72により衝撃を緩和したので、発振周波数にほとんどずれが生じなかったといえる。また従来技術に係る音叉型圧電振動子は、衝撃緩和部を備えていないので基部や振動腕に衝撃が加わり、発振周波数が大きくずれたといえる。
Next, an impact test of the tuning fork type
なお第2の関連実施形態に係る音叉型圧電振動子70は、音叉型圧電振動片50とパッケージ側マウント電極62とを電気的および機械的に接続する前記マウント部と、音叉型圧電振動片50とパッケージベース60側とを機械的に接続する支持部59とでパッケージベース60に実装した構成であるが、音叉型圧電振動片50を前記マウント部のみでパッケージベース60に実装してもよい。図7に第2の実施形態に係る音叉型圧電振動子の変形例の説明図を示す。図7(a)は音叉型圧電振動子の平面図であり、図7(b)は音叉型圧電振動子の断面図である。なお図7(a)はリッドを省略した形態で記載している。長辺部58において、音叉型圧電振動片50の重心位置よりも振動腕54の先端側にマウント部74を設ける。このマウント部74は長辺部58に沿って長く形成され、パッケージベース60と線状に接続されるようにする。すなわち図7(a)の点線で囲む部分に接合材64を設け、音叉型圧電振動片50をパッケージベース60に実装する。これにより2箇所で音叉型圧電振動片50を支持しても、音叉型圧電振動片50はパッケージベース60の底面に対して平行に実装される。したがって音叉型圧電振動子70に衝撃が加わっても、音叉型圧電振動片50がパッケージベース60に衝突することはない。
The tuning fork type
次に、第2の関連実施形態に係る音叉型圧電振動片の変形例を示す。図3に音叉型圧電振動片の変形例の説明図を示す。図3(a)および図3(b)は第1の変形例を示す図であり、図3(a)は平面図、図3(b)は側面図である。第1の変形例は、第2の実施形態に係る音叉型圧電振動片50と外形が同じであるが、長辺部80の接続電極82(マウント部85)から短辺部81までを薄く形成したものである。この長辺部80を薄くする加工はハーフエッチング等を用いればよい。また図3(c)は第2の変形例を示す図である。第2の変形例は、長辺部80に設けられたマウント部85から短辺部81までの間を細く形成し、マウント部85から支持部84までの間の長辺部80を内側に太く形成したものである。また図3(d)は第3の変形例を示す図である。第3の変形例は長辺部80を細く形成し、接続電極を設けたマウント部85のみを太く形成したものである。また図3(e)は第4の変形例を示す図である。第4の変形例は、長辺部80に設けられたマウント部85から短辺部81までの間を細く形成し、マウント部85から支持部84までの間を外側に太く形成したものである。また図3(f)は第5の変形例を示す図である。第5の変形例は、長辺部80に設けられたマウント部85から短辺部81までの間を細く形成し、マウント部85から支持部84までの間を内側および外側に太く形成したものである。また図3(g)は第6の変形例を示す図である。第6の変形例は長辺部80を細く形成し、接続電極を設けたマウント部85を内側に太く形成するとともに、基部と振動腕との接続箇所近傍から支持部84までの間を外側に太く形成したものである。第1〜第6の変形例のマウント部85は音叉型圧電振動片の重心位置よりも振動腕先端側に設けられている。またマウント部85は接合材が設けられる箇所、すなわち接続電極よりも長く形成されている。したがって衝撃緩和部が衝撃によって振動すると、振動の応力は接合材の端部上に位置する長辺部80に集中するが、この応力が加わる位置の長辺部80の幅は太く形成されているので、長辺部80が折れることはない。このような第1〜第6の変形例は第2の実施形態に係る音叉型圧電振動片50と同様の作用および効果を奏することができる。
Next, a modification of the tuning fork type piezoelectric vibrating piece according to the second related embodiment will be described. FIG. 3 is an explanatory view of a modification of the tuning fork type piezoelectric vibrating piece. 3 (a) and 3 (b) are views showing a first modification, FIG. 3 (a) is a plan view, and FIG. 3 (b) is a side view. The first modified example has the same outer shape as the tuning-fork type
次に、本発明の実施形態について説明する。図8に本発明の実施形態に係る音叉型圧電振動片の説明図を示す。本発明の実施形態に係る音叉型圧電振動片は、音叉型圧電振動片本体に基部を設けない形態である。そして図8(a)は枠部を有する音叉型圧電振動片の平面図であり、図8(b)は枠部を有しない音叉型圧電振動片の平面図である。図8(a)に示す音叉型圧電振動片200は矩形の枠部202を有し、この枠部202における一方の短辺部204の内側に他方の短辺部206へ向かって延びる振動腕208が設けられた構成である。また他方の短辺部206の幅は広く形成され、この下面に音叉型圧電振動片200をパッケージベース(不図示)へ実装するためのマウント部209が形成されている。そして枠部202の長辺部210は衝撃緩和部となっており、この長辺部210は振動腕の大きさや重心位置等に対応して厚さや幅が調整され、音叉型圧電振動片200に衝撃が加わったときに、この衝撃を緩和する機能(衝撃緩和部)を有している。また当該衝撃緩和機能を長辺部の一部分に設けてもよく、この場合、衝撃緩和機能の長さ、幅、厚さが調整される。さらに長辺部210は、第2の関連実施形態の変形例で説明した長辺部80の形状にされてもよい。このような音叉型圧電振動片200の振動腕208には励振電極(不図示)が形成され、マウント部209には前記パッケージベースに形成されたパッケージ側マウント電極(不図示)と接続する接続電極(不図示)が形成されている。そして前記励振電極と前記マウント電極とは、長辺部210に設けられた引出し電極(不図示)を介して接続されている。そして図8(a)に示す点線で囲んだ部分に接合材が設けられ、前記接続電極と前記マウント電極が導通して、前記パッケージベース上に音叉型圧電振動片200が実装される。前記接合材は、第1の実施形態で説明した接合材30を用いればよい。このようにして音叉型圧電振動子が形成される。
Next, an embodiment of the present invention will be described. FIG. 8 is an explanatory diagram of a tuning-fork type piezoelectric vibrating piece according to an embodiment of the present invention. The tuning fork type piezoelectric vibrating piece according to the embodiment of the present invention is a form in which the base is not provided on the tuning fork type piezoelectric vibrating piece main body. 8A is a plan view of a tuning fork type piezoelectric vibrating piece having a frame portion, and FIG. 8B is a plan view of a tuning fork type piezoelectric vibrating piece having no frame portion. A tuning fork-type
また図8(b)に示す音叉型圧電振動片220は平行に並ぶ2本の振動腕222を有し、これらの振動腕222の一端が短辺224により接続されている。そして振動腕222の間に、振動腕222に沿って長辺部226が設けられている。この長辺部226の先端は、振動腕222に沿う方向と交わる方向に延設されて短辺部228を形成している。この長辺部226と短辺部228とから足部が形成され、この足部はT字形状をなしている。前記短辺部228の下面はマウント部230となる。そして長辺部226は衝撃緩和部となっており、振動腕222の大きさや重心位置等に対応して厚さや幅が調整されている。また長辺部226は、衝撃が加わったときに振動腕222がねじれるのを防止するために、振動腕222の大きさや重心位置が考慮されて厚さや幅が設計されてもよい。このような音叉型圧電振動片220の振動腕222には励振電極(不図示)が形成され、マウント部230にはパッケージベース(不図示)に形成されたパッケージ側マウント電極(不図示)と接続する接続電極(不図示)が形成されている。そして前記励振電極と前記マウント電極とは、長辺部226に設けられた引出し電極(不図示)を介して接続されている。そして図8(b)に示す点線で囲んだ部分に接合材が設けられ、前記接続電極と前記マウント電極が導通して、前記パッケージベース上に音叉型圧電振動片220が実装される。前記接合材は、第1の実施形態で説明した接合材30を用いればよい。このようにして音叉型圧電振動子が形成される。
A tuning fork type
図8(a)または図8(b)に示す音叉型圧電振動片200,220を搭載した音叉型圧電振動子に落下等による衝撃が加わった場合、音叉型圧電振動片200,220にはマウント部209,230を介して前記パッケージベースから衝撃が伝わるが、厚さや幅が調整された長辺部210,226によって衝撃が緩和され、振動腕208,222が激しく振られることがない。これにより音叉型圧電振動片200,220は衝撃を緩和することができ、振動腕208,222にワレ、カケ等の破損が生じることがない。また振動腕208,222と長辺部210,226との間は、音叉型圧電振動片200,220に衝撃が加わったときに振動腕208,222が振動する振幅よりも広い距離を有しているので、振動腕208,222が長辺部210,226に衝突してワレ、カケ等の破損が生じることがない。さらに音叉型圧電振動片200,220は基部を有しないので、小型化にすることができる。
When an impact due to dropping or the like is applied to the tuning-fork type piezoelectric vibrator mounting the tuning-fork type
また振動腕208,222とマウント部209,230との間に長辺部210,226が設けられているので、振動腕208,222から漏れた振動を長辺部210,226において減衰させることができる。したがって振動特性の優れた音叉型圧電振動子を得ることができる。
そして上述した音叉型圧電振動子に音叉型圧電振動片200,220を発振させる回路を搭載すると、音叉型圧電発振器を得ることができる。
In addition, since the
When a circuit for oscillating the tuning fork type
次に、第3の関連実施形態について説明する。図9に第3の関連実施形態に係る音叉型圧電振動片および音叉型圧電振動子の説明図を示す。第3の関連実施形態に係る音叉型圧電振動片240は基部242と、この基部242の一端から延設された複数の振動腕244とからなる音叉型圧電振動片本体246を有し、この音叉型圧電振動片本体246の周囲に矩形の枠部248が設けられた構成である。そして枠部248の一方の短辺部250は、基部242の他端と接続されている。また枠部248の長辺部252には衝撃緩和部254と、音叉型圧電振動片240の重心位置よりも振動腕244の先端側においてマウント部256が設けられている。
Next, a third related embodiment will be described. FIG. 9 is an explanatory view of a tuning fork type piezoelectric vibrating piece and a tuning fork type piezoelectric vibrator according to a third related embodiment. A tuning fork type
前記衝撃緩和部254はマウント部256から一方の短辺部250にかけて形成され、この部分を図9(a)に示すように細く、かつ薄くして形成することにより構成されている。また衝撃緩和部254は、図9(b)に示すように長辺部252の一部、すなわち長辺部252におけるマウント部256から一方の短辺部250までの一部分に細く、かつ薄く形成した部分を設けて構成されてもよい。この細く、かつ薄く形成した部分、すなわち括れた部分は、マウント部256と一方の短辺部250との中央部付近に設ければよい。なお括れ部分は長辺部252に複数形成されてもよい。また細くかつ薄く形成した部分の太さ、厚さ、長さは、音叉型圧電振動片240の大きさや重心位置等に応じて設計される。
The
前記マウント部256の下面には接続電極(不図示)が設けられており、この接続電極は点状に形成されてもよく、長辺部252に沿って線状に形成されてもよい。そして図9(a)または図9(b)に示す音叉型圧電振動片240をパッケージベース258に実装するときは、接合材260を介してマウント部256とパッケージベース258とが接合される。この接合材260には、第1の実施形態で説明した接合材30を用いればよい。図9(c)は音叉型圧電振動子の断面図である。なお図9(c)は、同図(b)に示す音叉型圧電振動片240をパッケージに搭載した形態である。接合材260はマウント部256と、細くかつ薄く形成した部分との接続箇所よりも振動腕244の先端側に設けられる。すなわち前記接続箇所から離れた位置において音叉型圧電振動片240とパッケージベース258とが接合される。ところで接合材260の端部が前記接続箇所の下面に位置していると、音叉型圧電振動片240に衝撃が加わって衝撃緩和部254が振れたときに、振れによる応力が前記接続箇所に集中する。そして長辺部252を細くかつ薄く形成した部分の強度は弱いので、前記応力により前記接続箇所が折れてしまう。しかし本実施の形態では、接合材260の端部の上側にマウント部256があるので、衝撃緩和部254の振れによって応力が集中しても折れることはない。音叉型圧電振動片240はパッケージベース258上に各マウント部256において線状に接合されるので、音叉型圧電振動片240をパッケージベース258の底面に対して平行に実装することができる。また前記接続電極を点状に設けた場合は、振動腕244の先端側における短辺部262の下面を支持部とすればよい。これにより音叉型圧電振動片240はパッケージベース258上に各マウント部256と支持部とにおいて接合され、音叉型圧電振動片240をパッケージベース258の底面に対して平行に実装することができる。
A connection electrode (not shown) is provided on the lower surface of the
また衝撃緩和部254は、図9(d)に示すように、長辺部252に穴部264を設けることにより形成されてもよい。前記穴部264の形状は、衝撃緩和部254の設計に応じて如何なる形状を用いてもよく、例えば円形、楕円、四角形、三角形等を用いることができる。また穴部264の大きさや配置間隔も、衝撃緩和部254の設計に応じて任意に設定することができる。なお穴部は、音叉型圧電振動片240をエッチングにより形成するのと同時に形成されればよい。また穴部264のかわりとして凹部を用いることもできる。前記凹部は振動腕244に設けられる溝と同時に形成されればよい。そして前記凹部の深さは、前記溝をエッチングで形成している途中で前記凹部のみエッチングを止めることで、任意に調整することができる。前記凹部は長辺部252の上面または下面のいずれかにのみ形成してもよく、両面に形成してもよい。
Moreover, the
そして上述した音叉型圧電振動片240を搭載した音叉型圧電振動子に落下等による衝撃が加わった場合、音叉型圧電振動片240にはマウント部256を介してパッケージから衝撃が伝わるが、長辺部252が振動することによって衝撃が緩和されて音叉型圧電振動片本体246が激しく振られることがない。これにより音叉型圧電振動片240は衝撃を緩和することができ、振動腕244にワレ、カケ等の破損が生じることがない。また振動腕244と長辺部252との間は、音叉型圧電振動片240に衝撃が加わったときに振動腕244が振動する振幅よりも広い距離を有しているので、振動腕244が長辺部252に衝突してワレ、カケ等の破損が生じることがない。
When an impact due to dropping or the like is applied to the tuning fork type piezoelectric vibrator mounting the tuning fork type
また振動腕244とマウント部256との間に長辺部252が設けられているので、振動腕244から漏れた振動を長辺部252において減衰させることができる。したがって振動特性の優れた音叉型圧電振動子を得ることができる。
そして上述した音叉型圧電振動子に音叉型圧電振動片240を発振させる回路を搭載すると、音叉型圧電発振器を得ることができる。
Further, since the
When a circuit for oscillating the tuning fork type
次に、前記溝について説明する。前記溝は振動腕に設けられるので、音叉型圧電振動片の形状に関係なく全ての音叉型圧電振動片の振動腕に設けることができる。したがって前記溝を、第1〜第4の実施形態に係る音叉型圧電振動片に形成することができる。図10に振動腕に設けられる溝の説明図を示す。図10(a)は音叉型圧電振動片本体の平面図であり、図10(b)はA−A線における断面図である。なお図10では、励振電極等は省略して記載している。溝266は振動腕268の上下それぞれの面に、振動腕268の長手方向に沿って形成されている。したがって振動腕268の断面形状はH型となっている。溝266を振動腕268に設けると、前記励振電極に印加される電圧による振動腕268の電界効率が向上し、振動腕268を短くおよび/または細くして小型化しても、屈曲振動の振動損失が低くクリスタルインピーダンス値を低く抑えることができる。
Next, the groove will be described. Since the groove is provided in the vibrating arm, it can be provided in the vibrating arms of all tuning fork type piezoelectric vibrating pieces regardless of the shape of the tuning fork type piezoelectric vibrating piece. Therefore, the groove can be formed in the tuning fork type piezoelectric vibrating piece according to the first to fourth embodiments. FIG. 10 is an explanatory diagram of grooves provided in the vibrating arm. 10A is a plan view of the tuning-fork type piezoelectric vibrating piece main body, and FIG. 10B is a cross-sectional view taken along the line AA. In FIG. 10, the excitation electrode and the like are omitted. The
上述した実施形態では、それぞれ衝撃緩和部について説明したが、これらの衝撃緩和部のかわりに、次に説明する形態の衝撃緩和部を用いることもできる。図11に衝撃緩和部の説明図を示す。なお、この衝撃緩和部270が適用される音叉型圧電振動片の一例として、音叉型圧電振動片本体274と、この本体の周囲を取り囲む矩形の枠部276とを有する音叉型圧電振動片272を用いた形態について説明する。この衝撃緩和部270は枠部276の長辺部278におけるマウント部280と基部側の短辺部282との間に設けられている。そして長辺部278の長さ方向に沿って、長辺部278の内側と外側とから交互に切れ込みを入れることにより形成されている。すなわち衝撃緩和部270をばね状に形成している。そして衝撃緩和部270の長さや、前記切れ込みの幅や長さは、音叉型圧電振動片272の大きさや重心位置等によって適宜設計される。このような衝撃緩和部270は、音叉型圧電振動片272をエッチングにより形成するのと同時に形成すればよい。このような音叉型圧電振動片272をパッケージ(不図示)に搭載すると音叉型圧電振動子が形成される。そして音叉型圧電振動子に衝撃が加わると音叉型圧電振動片272に衝撃が伝わるが、衝撃緩和部270が振れて、衝撃を緩和することができる。また音叉型圧電振動片本体274からマウント部280までの距離が遠くなるので、屈曲振動の振動漏れを減衰させることができ、振動特性の優れた音叉型圧電振動子を得ることができる。
In the above-described embodiments, the impact mitigating portions have been described. However, instead of these impact mitigating portions, an impact mitigating portion having a form described below can be used. FIG. 11 is an explanatory diagram of the impact relaxation portion. Note that, as an example of a tuning fork type piezoelectric vibrating piece to which the
10………音叉型圧電振動片、12………基部、14………振動腕、16………音叉型圧電振動片本体、18………短辺部、20………長辺部、22………衝撃緩和部、26………マウント部、50………音叉型圧電振動片、52………基部、54………振動腕、56………音叉型圧電振動片本体、58………長辺部、72………衝撃緩和部。 10 ......... Tuning Fork Type Piezoelectric Vibrating Piece, 12 ......... Base, 14 ......... Vibrating Arm, 16 ......... Tuning Fork Type Piezoelectric Vibrating Body, 18 ......... Short Side, 20 ......... Long Side, 22 ......... Shock mitigating portion, 26 ......... Mounting portion, 50 ......... Tuning fork type piezoelectric vibrating piece, 52 ......... Base, 54 ......... Vibrating arm, 56 ......... Tuning fork type piezoelectric vibrating piece main body, 58 ......... long side, 72 ......... impact mitigating part.
本発明は振動片、振動子、発振器及びリアルタイムクロックに係り、特に衝撃により振動片が破損するのを防止するのに好適な振動片、振動子、発振器、及びリアルタイムクロックに関する。 The present invention relates to a resonator element, a resonator, an oscillator, and a real-time clock , and more particularly to a resonator element, a resonator, an oscillator, and a real-time clock that are suitable for preventing the resonator element from being damaged by an impact.
本発明は、上記問題点を解決するためになされたもので、パッケージの底面に対して平行に実装するとともに、振動腕がパッケージに衝突するのを防止することができる振動片、振動子、発振器、及びリアルタイムクロックを提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above-described problems , and is a resonator element, vibrator, and oscillator that can be mounted in parallel to the bottom surface of the package and can prevent the vibrating arm from colliding with the package. And to provide a real time clock .
本発明は、上記の目的の少なくとも一部を達成するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
本発明のある形態に係る振動片は、基部、及び前記基部の一方の端部から延出し、前記延出方向と直交する方向に沿って並び、且つ、平面視で互いに接近と離反とを交互に繰り返して屈曲振動する一対の振動腕を含む本体と、前記基部の前記一方の端部とは反対側の他方の端部側に接続し、前記直交する方向に沿って延出している短辺部と、平面視で、前記一対の振動腕と並ぶように、前記短辺部から前記延出方向に沿って延出している長辺部と、を含み、前記長辺部は、平面視で、前記振動腕と並んでおり、且つ、前記振動腕の前記延出方向の先端よりも前記基部側にあるマウント部と、前記マウント部と前記短辺部との間にあり、前記マウント部よりも前記直交する方向に沿った幅が狭い部分と、を含むことを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記短辺部は、一方の側へ延出している第1の延出部と、他方の側へ延出している第2の延出部と、を備えていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記長辺部は、前記第1の延出部の先端と、前記第2の延出部の先端と、の夫々に設けられていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記マウント部は、前記本体と、前記短辺部と、前記長辺部と、を含む系の重心よりも前記振動腕の延出されている方向の先端側に設けられていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記振動腕と前記長辺部との間隔は、前記振動腕の前記直交する方向へ振動する振幅よりも広いことを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記マウント部は、前記長辺部に2箇所以上設けられているはことを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記振動腕に溝が設けられていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記振動腕に設けられている励振電極と、前記マウント部に設けられている接続電極と、前記長辺部に設けられ、前記励振電極と前記接続電極とに接続されている引出し電極と、を含むことを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動子は、前記振動片と、前記振動片が実装されているパッケージと、を含むことを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動子は、前記マウント部に接続電極が設けられ、前記パッケージにマウント電極が設けられ、前記マウント電極と前記接続電極とが接合材により接続されていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動子は、前記接合材は、導電性接着剤、導電性シート、導電性フィルム、金バンプ、及び合金のいずれかであることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動子は、前記接合材は、シリコーン系の導電性接着剤であることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動子は、前記パッケージが真空封止されていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る発振器は、前記振動片を含むことを特徴とする。
本発明のある別の形態に係るリアルタイムクロックは、前記振動片を含むことを特徴とする。
〔適用例1〕音叉型圧電振動片をパッケージに収容した圧電振動子であって、前記音叉型圧電振動片は、複数の振動腕を有する音叉型圧電振動片本体と、前記振動腕の延びる方向と交わる方向に沿って形成され、前記圧電振動片本体に接続する第1の短辺部と、前記第1の短辺部から前記振動腕の延びる方向に向かって前記振動腕の先端より先まで前記振動腕の延びる方向に沿って形成された長辺部と、前記長辺部の先端を、前記振動腕の前記先端より先において前記振動腕の延びる方向と交わる方向に沿って延設して形成された第2の短辺部と、を備え、前記第2の短辺部の下面が前記パッケージに固定されていることを特徴とする圧電振動子。
適用例1によれば、圧電振動子に衝撃が加わった場合は、長辺部が衝撃緩和部となって湾曲しながら上下に振動することにより衝撃を緩和することができる。このため音叉型圧電振動片本体は激しく振られることがなく、僅かに上下に動くだけなので、パッケージに衝突することがない。よって音叉型圧電振動片本体がパッケージに衝突するのを防止できる。
SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to achieve at least a part of the above object, and the invention can be implemented as the following forms or application examples.
The resonator element according to an embodiment of the present invention extends from the base and one end of the base, is aligned along a direction orthogonal to the extending direction, and alternately approaches and separates in plan view. A main body including a pair of resonating arms that bend and vibrate repeatedly, and a short side connected to the other end of the base opposite to the one end and extending along the orthogonal direction And a long side portion extending along the extending direction from the short side portion so as to be aligned with the pair of vibrating arms in plan view, and the long side portion in plan view The mounting portion that is aligned with the vibrating arm and that is closer to the base side than the distal end of the vibrating arm in the extending direction, and between the mounting portion and the short side portion, from the mounting portion And a portion having a narrow width along the orthogonal direction.
In the resonator element according to another aspect of the invention, the short side portion includes a first extension portion extending to one side, and a second extension portion extending to the other side. It is characterized by providing.
In the resonator element according to another aspect of the invention, the long side portion is provided on each of a tip end of the first extension portion and a tip end of the second extension portion. Features.
In the resonator element according to another aspect of the invention, the mounting portion extends from the center of gravity of a system including the main body, the short side portion, and the long side portion. It is provided in the front end side of the direction.
In a resonator element according to another aspect of the invention, a distance between the vibrating arm and the long side portion is wider than an amplitude of the vibrating arm that vibrates in the orthogonal direction.
A vibrating piece according to another embodiment of the present invention is characterized in that the mount portion is provided at two or more locations on the long side portion.
A vibrating piece according to another embodiment of the present invention is characterized in that a groove is provided in the vibrating arm.
A resonator element according to another aspect of the invention includes an excitation electrode provided on the vibrating arm, a connection electrode provided on the mount portion, a long side portion, the excitation electrode, And an extraction electrode connected to the connection electrode.
A vibrator according to another aspect of the invention includes the vibrating piece and a package on which the vibrating piece is mounted.
In the vibrator according to another aspect of the invention, a connection electrode is provided in the mount portion, a mount electrode is provided in the package, and the mount electrode and the connection electrode are connected by a bonding material. Features.
In the vibrator according to another aspect of the invention, the bonding material is any one of a conductive adhesive, a conductive sheet, a conductive film, a gold bump, and an alloy.
A vibrator according to another aspect of the present invention is characterized in that the bonding material is a silicone-based conductive adhesive.
A vibrator according to another embodiment of the present invention is characterized in that the package is vacuum-sealed.
An oscillator according to another aspect of the invention includes the resonator element.
A real-time clock according to another aspect of the invention includes the resonator element.
Application Example 1 A piezoelectric vibrator in which a tuning fork type piezoelectric vibrating piece is housed in a package, wherein the tuning fork type piezoelectric vibrating piece includes a tuning fork type piezoelectric vibrating piece body having a plurality of vibrating arms, and a direction in which the vibrating arm extends. A first short side portion connected to the piezoelectric vibrating reed body, and extending from the first short side portion to the tip of the vibrating arm toward the extending direction of the vibrating arm. A long side portion formed along the extending direction of the vibrating arm, and a tip of the long side portion extending along a direction intersecting with the extending direction of the vibrating arm before the tip of the vibrating arm. And a second short side portion formed, and a lower surface of the second short side portion is fixed to the package .
According to the first application example, when an impact is applied to the piezoelectric vibrator, the impact can be reduced by vibrating up and down while curving while the long side portion becomes an impact relaxation portion. For this reason, the tuning fork type piezoelectric vibrating reed main body is not vibrated vigorously and only moves up and down slightly, so that it does not collide with the package. Therefore, it is possible to prevent the tuning fork type piezoelectric vibrating reed body from colliding with the package.
〔適用例2〕前記複数の振動腕は、一対の振動腕を含み、前記長辺部は、前記一対の振動腕の間において、前記第1の短辺部から前記振動腕の延びる方向に向かって前記振動腕の前記先端より先まで形成されていることを特徴とする圧電振動子。
適用例2によれば、衝撃が加わった際に長辺部が衝撃緩和部となって優先的に湾曲し、音叉型圧電振動片自体の変位が抑えられるため、音叉型圧電振動片がパッケージに衝突するのを防止することができる。また、振動腕から漏れた振動を長辺部において減衰させることができるので、振動特性の優れた圧電振動子とすることができる。
Application Example 2 The plurality of resonating arms include a pair of resonating arms, and the long side portion extends between the pair of resonating arms in a direction in which the resonating arm extends from the first short side portion. The piezoelectric vibrator is formed beyond the tip of the vibrating arm .
According to the application example 2, when an impact is applied , the long side portion is preferentially curved as an impact relaxation portion, and displacement of the tuning fork type piezoelectric vibrating piece itself is suppressed, so that the tuning fork type piezoelectric vibrating piece is attached to the package. Collisions can be prevented. In addition, since the vibration leaking from the vibrating arm can be attenuated at the long side portion, a piezoelectric vibrator having excellent vibration characteristics can be obtained.
〔適用例3〕前記複数の振動腕は、一対の振動腕を含み、前記長辺部は、前記一対の振動腕の外側において、前記第1の短辺部から前記振動腕の延びる方向に向かって前記振動腕の前記先端より先まで形成されている第1の長辺部および第2の長辺部を含み、第1の長辺部および第2の長辺部は、前記振動腕の先端側において、前記第2の短辺部により互いに接続されていることを特徴とする圧電振動子。
適用例3によれば、第1、第2の短辺部と第1、第2の長辺部により枠部が形成されたことにより、音叉型圧電振動片をパッケージベースに実装するときは枠部をマウントすることができる。音叉型圧電振動片に衝撃が加わった場合は、長辺部が衝撃緩和部となって湾曲しながら上下に振動するので衝撃を緩和することができる。そして音叉型圧電振動片本体は僅かに上下に動くだけなので、音叉型圧電振動片本体がパッケージに衝突するのを防止することができる。
Application Example 3 The plurality of resonating arms include a pair of resonating arms, and the long side portion is located outside the pair of resonating arms in a direction in which the resonating arm extends from the first short side portion. A first long side portion and a second long side portion that are formed beyond the tip of the vibrating arm, the first long side portion and the second long side portion being the tip of the vibrating arm. On the side, the piezoelectric vibrators are connected to each other by the second short side portion .
According to Application Example 3, when the tuning fork type piezoelectric vibrating piece is mounted on the package base, the frame is formed by the first and second short sides and the first and second long sides. The part can be mounted. When an impact is applied to the tuning fork type piezoelectric vibrating piece, the long side portion becomes an impact relaxation portion and vibrates up and down while curving, so that the impact can be reduced. Since the tuning fork type piezoelectric vibrating piece main body only slightly moves up and down, it is possible to prevent the tuning fork type piezoelectric vibrating piece main body from colliding with the package.
〔適用例4〕前記長辺部は、穴部または凹部を設けることにより形成された衝撃緩和部とすることを特徴とする圧電振動子。
適用例4によれば、音叉型圧電振動片の大きさや重心位置等に応じて衝撃緩和部の太さや厚さ、または穴部や凹部の大きさ等を設計することにより、音叉型圧電振動片に衝撃が加わっても、この衝撃を衝撃緩和部で緩和することができる。
[Application Example 4] A piezoelectric vibrator , wherein the long side portion is an impact relaxation portion formed by providing a hole or a recess .
According to the application example 4, the tuning fork type piezoelectric vibrating piece is designed by designing the thickness and thickness of the impact relaxation portion or the size of the hole and the concave portion according to the size and the center of gravity position of the tuning fork type piezoelectric vibrating piece. Even if an impact is applied, the impact can be mitigated by the impact mitigating portion.
〔適用例5〕前記振動腕と前記長辺部との間隔は、圧電振動子に衝撃が加わったときに前記振動腕が振動する振幅よりも広いことを特徴とする圧電振動子。
適用例5によれば、マウント部は音叉型圧電振動片の重心よりも振動腕の先端側に位置することになる。したがって音叉型圧電振動片に加わった衝撃を長辺部で緩和することができ、音叉型圧電振動片本体がパッケージに衝突するのを防止できる。振動腕が長辺部に衝突してワレ、カケ等の破損が生じることがない。さらに音叉型圧電振動片は基部を有しないので、小型化にすることができる。
Application Example 5 A piezoelectric vibrator characterized in that an interval between the vibrating arm and the long side portion is wider than an amplitude at which the vibrating arm vibrates when an impact is applied to the piezoelectric vibrator.
According to the fifth application example, the mount portion is positioned closer to the distal end side of the vibrating arm than the center of gravity of the tuning fork type piezoelectric vibrating piece. Therefore, the impact applied to the tuning fork type piezoelectric vibrating piece can be mitigated at the long side portion, and the tuning fork type piezoelectric vibrating piece body can be prevented from colliding with the package. The vibrating arm does not collide with the long side portion and damage such as cracks or chipping occurs. Further, since the tuning fork type piezoelectric vibrating piece does not have a base portion, it can be miniaturized.
Claims (5)
前記音叉型圧電振動片は、
複数の振動腕を有する音叉型圧電振動片本体と、
前記振動腕の延びる方向と交わる方向に沿って形成され、前記圧電振動片本体に接続する第1の短辺部と、
前記第1の短辺部から前記振動腕の延びる方向に向かって前記振動腕の先端より先まで前記振動腕の延びる方向に沿って形成された長辺部と、
前記長辺部の先端を、前記振動腕の前記先端より先において前記振動腕の延びる方向と交わる方向に沿って延設して形成された第2の短辺部と、
を備え、
前記第2の短辺部の下面が前記パッケージに固定されていることを特徴とする圧電振動子。 A piezoelectric vibrator in which a tuning fork type piezoelectric vibrating piece is housed in a package,
The tuning fork type piezoelectric vibrating piece is
A tuning-fork type piezoelectric vibrating piece main body having a plurality of vibrating arms;
A first short side portion formed along a direction intersecting with the extending direction of the vibrating arm and connected to the piezoelectric vibrating piece main body;
A long side portion formed along the extending direction of the vibrating arm from the first short side portion toward the extending direction of the vibrating arm to the tip of the vibrating arm;
A second short side portion formed by extending a tip of the long side portion along a direction intersecting with a direction in which the vibrating arm extends before the tip of the vibrating arm;
With
The piezoelectric vibrator having a lower surface of the second short side portion fixed to the package.
前記複数の振動腕は、一対の振動腕を含み、
前記長辺部は、前記一対の振動腕の間において、前記第1の短辺部から前記振動腕の延びる方向に向かって前記振動腕の前記先端より先まで形成されている
ことを特徴とする圧電振動子。 The piezoelectric vibrator according to claim 1,
The plurality of vibrating arms includes a pair of vibrating arms,
The long side portion is formed between the pair of vibrating arms from the first short side portion to the tip of the vibrating arm in a direction in which the vibrating arm extends. Piezoelectric vibrator.
前記複数の振動腕は、一対の振動腕を含み、
前記長辺部は、前記一対の振動腕の外側において、前記第1の短辺部から前記振動腕の延びる方向に向かって前記振動腕の前記先端より先まで形成されている第1の長辺部および第2の長辺部を含み、
第1の長辺部および第2の長辺部は、前記振動腕の先端側において、前記第2の短辺部により互いに接続されている
ことを特徴とする圧電振動子。 The piezoelectric vibrator according to claim 1,
The plurality of vibrating arms includes a pair of vibrating arms,
The long side portion is formed on the outer side of the pair of vibrating arms from the first short side portion to the tip of the vibrating arm toward the extending direction of the vibrating arm. Part and a second long side part,
The first long side portion and the second long side portion are connected to each other by the second short side portion on the distal end side of the vibrating arm.
前記長辺部は、穴部または凹部を設けることにより形成された衝撃緩和部であることを特徴とする圧電振動子。 The piezoelectric vibrator according to any one of claims 1 to 3,
The piezoelectric vibrator according to claim 1, wherein the long side portion is an impact relaxation portion formed by providing a hole portion or a concave portion.
前記振動腕と前記長辺部との間隔は、圧電振動子に衝撃が加わったときに前記振動腕が振動する振幅よりも広い
ことを特徴とする圧電振動子。 The piezoelectric vibrator according to any one of claims 1 to 4,
The piezoelectric vibrator according to claim 1, wherein an interval between the vibrating arm and the long side portion is wider than an amplitude at which the vibrating arm vibrates when an impact is applied to the piezoelectric vibrator.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014224960A JP5768924B2 (en) | 2003-08-19 | 2014-11-05 | Vibrating piece, vibrator, oscillator, and real-time clock |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003295606 | 2003-08-19 | ||
JP2003295606 | 2003-08-19 | ||
JP2014224960A JP5768924B2 (en) | 2003-08-19 | 2014-11-05 | Vibrating piece, vibrator, oscillator, and real-time clock |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013088265A Division JP5672332B2 (en) | 2003-08-19 | 2013-04-19 | Vibrating piece, vibrator, and oscillator |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015035829A true JP2015035829A (en) | 2015-02-19 |
JP5768924B2 JP5768924B2 (en) | 2015-08-26 |
Family
ID=42306422
Family Applications (7)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010004339A Pending JP2010119128A (en) | 2003-08-19 | 2010-01-12 | Tuning-fork type piezoelectric vibrator piece |
JP2010043479A Expired - Lifetime JP5056870B2 (en) | 2003-08-19 | 2010-02-26 | Piezoelectric vibrator |
JP2012130019A Expired - Lifetime JP5500207B2 (en) | 2003-08-19 | 2012-06-07 | Oscillator, oscillator, and real-time clock |
JP2013057799A Expired - Lifetime JP5633591B2 (en) | 2003-08-19 | 2013-03-21 | Resonator, oscillator and real-time clock |
JP2013088265A Expired - Lifetime JP5672332B2 (en) | 2003-08-19 | 2013-04-19 | Vibrating piece, vibrator, and oscillator |
JP2014015289A Expired - Lifetime JP5737437B2 (en) | 2003-08-19 | 2014-01-30 | Vibrating piece, vibrator, and oscillator |
JP2014224960A Expired - Lifetime JP5768924B2 (en) | 2003-08-19 | 2014-11-05 | Vibrating piece, vibrator, oscillator, and real-time clock |
Family Applications Before (6)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010004339A Pending JP2010119128A (en) | 2003-08-19 | 2010-01-12 | Tuning-fork type piezoelectric vibrator piece |
JP2010043479A Expired - Lifetime JP5056870B2 (en) | 2003-08-19 | 2010-02-26 | Piezoelectric vibrator |
JP2012130019A Expired - Lifetime JP5500207B2 (en) | 2003-08-19 | 2012-06-07 | Oscillator, oscillator, and real-time clock |
JP2013057799A Expired - Lifetime JP5633591B2 (en) | 2003-08-19 | 2013-03-21 | Resonator, oscillator and real-time clock |
JP2013088265A Expired - Lifetime JP5672332B2 (en) | 2003-08-19 | 2013-04-19 | Vibrating piece, vibrator, and oscillator |
JP2014015289A Expired - Lifetime JP5737437B2 (en) | 2003-08-19 | 2014-01-30 | Vibrating piece, vibrator, and oscillator |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (7) | JP2010119128A (en) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP6155897B2 (en) | 2013-06-24 | 2017-07-05 | セイコーエプソン株式会社 | Vibrating piece, vibrator, electronic device, electronic device, and moving object |
JP6216213B2 (en) * | 2013-10-29 | 2017-10-18 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | Piezoelectric vibrating piece and piezoelectric vibrator |
JP6375622B2 (en) | 2013-12-27 | 2018-08-22 | セイコーエプソン株式会社 | Vibrating piece, vibrator, oscillator, electronic device, sensor and moving body |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP5056870B2 (en) | 2012-10-24 |
JP5768924B2 (en) | 2015-08-26 |
JP2012209957A (en) | 2012-10-25 |
JP5672332B2 (en) | 2015-02-18 |
JP2010119148A (en) | 2010-05-27 |
JP5500207B2 (en) | 2014-05-21 |
JP2013141324A (en) | 2013-07-18 |
JP5737437B2 (en) | 2015-06-17 |
JP2013132079A (en) | 2013-07-04 |
JP2014112914A (en) | 2014-06-19 |
JP5633591B2 (en) | 2014-12-03 |
JP2010119128A (en) | 2010-05-27 |
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Date | Code | Title | Description |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141204 |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20141204 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150224 |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150424 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150526 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150608 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5768924 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |