JP2015029124A

JP2015029124A - Wafer supply device and chip bonding apparatus

Info

Publication number: JP2015029124A
Application number: JP2014191539A
Authority: JP
Inventors: 稔頼木; Minoru Yoriki
Original assignee: Fuji Machine Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Fuji Corp
Priority date: 2014-09-19
Filing date: 2014-09-19
Publication date: 2015-02-12
Anticipated expiration: 2030-08-18
Also published as: JP5921628B2

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a wafer supply device excellent in space saving and chip mountability, and a chip bonding apparatus including the wafer supply device.SOLUTION: A wafer supply device 5 includes a wafer transfer pallet 50. A wafer sheet 61 is mounted on the wafer transfer pallet 50. A wafer 62 composed of a plurality of divided chips 620 is bonded onto the wafer sheet 61. A waste-component storage space 500 for placing the chips 620 to be wasted is partitioned in a portion except for the mounting position of the wafer sheet 61 of the wafer transfer pallet 50. The wafer transfer pallet 50 has a rectangular shape. The wafer 62 has a circular shape. As viewed from circuit boards B1 and B2 on which the chips 620 are to be mounted, the wafer 62 is disposed on the front side and the waste-component storage space 500 is disposed on th rear side.

Description

本発明は、チップをチップボンディング装置に供給するウェハ供給装置、およびチップボンディング装置に関する。 The present invention relates to a wafer supply apparatus that supplies chips to a chip bonding apparatus, and a chip bonding apparatus.

ウェハ供給装置は、例えばダイボンディング装置やフリップチップボンディング装置などの、チップボンディング装置に組み込まれている。ウェハ供給装置は、チップボンディング装置にチップを供給している。 The wafer supply apparatus is incorporated in a chip bonding apparatus such as a die bonding apparatus or a flip chip bonding apparatus. The wafer supply apparatus supplies chips to the chip bonding apparatus.

例えば、特許文献１に示すように、ウェハ供給装置は、ウェハ搬送パレットを備えている。ウェハ搬送パレットには、ウェハグリップリングが載置されている。ウェハグリップリングには、水平方向に伸張された状態で、ウェハシートが配置されている。ウェハシートには、ウェハが貼り付けられている。ウェハは、多数のチップからなる。多数のチップは、円形状のウェハが格子状に裁断されることにより、形成されている。多数のチップには、各々、集積回路が形成されている。集積回路形成後のチップには、集積回路の性能をチェックするために、ウェハテストが実行される。ウェハテストの結果は、チップ毎に、つまりウェハにおける座標毎に、マッピングデータとして記録される。すなわち、マッピングデータには、チップの座標と対応付けられた状態で、チップのグレードが記録されている。 For example, as shown in Patent Document 1, the wafer supply apparatus includes a wafer transfer pallet. A wafer grip ring is placed on the wafer transfer pallet. A wafer sheet is arranged on the wafer grip ring in a state of being stretched in the horizontal direction. A wafer is attached to the wafer sheet. A wafer consists of a number of chips. Many chips are formed by cutting a circular wafer into a lattice shape. An integrated circuit is formed in each of a large number of chips. A wafer test is performed on the chip after forming the integrated circuit in order to check the performance of the integrated circuit. The result of the wafer test is recorded as mapping data for each chip, that is, for each coordinate on the wafer. That is, in the mapping data, the grade of the chip is recorded in a state associated with the coordinates of the chip.

特開２０１０−１２９９４９号公報JP 2010-129949 A

ところで、チップは、吸着ノズルに吸着された状態で、回路基板まで搬送される。搬送途中に、チップはカメラにより撮像される。撮像データの画像処理の結果によっては、チップを回路基板に装着することができない場合がある。このような場合は、一旦、吸着ノズルで吸着したチップを、回路基板に装着せずに、廃棄する必要がある。この点、特許文献１のウェハ供給装置は、ＮＧコンベアを備えている。このため、廃棄対象であるチップを、ＮＧコンベアにより、機外に排出することができる。しかしながら、ＮＧコンベアを配置すると、その分、ウェハ供給装置、延いてはチップボンディング装置が大型化してしまう。 By the way, the chip is conveyed to the circuit board while being sucked by the suction nozzle. During the conveyance, the chip is imaged by the camera. Depending on the result of image processing of the captured data, the chip may not be mounted on the circuit board. In such a case, it is necessary to discard the chip once sucked by the suction nozzle without mounting it on the circuit board. In this regard, the wafer supply apparatus of Patent Document 1 includes an NG conveyor. For this reason, the chip | tip which is a discard object can be discharged | emitted by the NG conveyor outside the apparatus. However, if the NG conveyor is arranged, the wafer supply apparatus and, consequently, the chip bonding apparatus will be enlarged accordingly.

ここで、複数のウェハ搬送パレットのうち一つを、廃棄対象のチップ専用の廃棄パレットとして、割り当てることも考えられる。ところが、この場合、ウェハ供給装置のチップ搭載数が少なくなる。 Here, it is also conceivable to assign one of the plurality of wafer transfer pallets as a dedicated disposal pallet for the chip to be discarded. However, in this case, the number of chips mounted on the wafer supply apparatus is reduced.

本発明のウェハ供給装置およびチップボンディング装置は、上記課題に鑑みて完成されたものである。本発明は、省スペース性、チップ搭載性に優れたウェハ供給装置、および当該ウェハ供給装置を備えたチップボンディング装置を提供することを目的とする。 The wafer supply apparatus and chip bonding apparatus of the present invention have been completed in view of the above problems. An object of this invention is to provide the wafer supply apparatus excellent in space-saving property and chip | tip mounting property, and the chip bonding apparatus provided with the said wafer supply apparatus.

（１）上記課題を解決するため、本発明のウェハ供給装置は、分割された複数のチップからなるウェハが貼り付けられたウェハシートが搭載され、該ウェハシートの搭載位置以外の部分に廃棄される該チップを置く廃棄部品置場が区画されたウェハ搬送パレットを備えるウェハ供給装置であって、前記ウェハ搬送パレットは長方形状であって、前記ウェハは円形状であり、前記チップの装着対象である回路基板から見て、前記ウェハは手前に、前記廃棄部品置場は奥に、配置されていることを特徴とする。 (1) In order to solve the above-described problem, the wafer supply apparatus of the present invention is mounted with a wafer sheet to which a wafer composed of a plurality of divided chips is attached, and is discarded at a portion other than the mounting position of the wafer sheet. A wafer supply apparatus including a wafer transfer pallet in which a waste part storage place for placing the chips is partitioned, wherein the wafer transfer pallet is rectangular, the wafer is circular, and is a target for mounting the chip. When viewed from the circuit board, the wafer is disposed in front and the waste component storage is disposed in the back.

本発明のウェハ供給装置によると、ウェハ搬送パレットに廃棄部品置場が確保されている。このため、別途、ＮＧコンベアなどのチップ排出装置を配置する必要がない。したがって、ウェハ供給装置、延いてはチップボンディング装置が大型化しにくい。このように、本発明のウェハ供給装置は省スペース性に優れている。 According to the wafer supply apparatus of the present invention, a waste part storage area is secured on the wafer transfer pallet. For this reason, it is not necessary to separately arrange a chip discharge device such as an NG conveyor. Therefore, it is difficult to increase the size of the wafer supply apparatus, and thus the chip bonding apparatus. Thus, the wafer supply apparatus of the present invention is excellent in space saving.

また、本発明のウェハ供給装置によると、ウェハ搬送パレットを廃棄パレットとして用いる必要がない。このため、ウェハ供給装置のチップ搭載数が少なくなりにくい。このように、本発明のウェハ供給装置はチップ搭載性に優れている。 Moreover, according to the wafer supply apparatus of the present invention, it is not necessary to use the wafer transfer pallet as a waste pallet. For this reason, it is difficult to reduce the number of chips mounted on the wafer supply apparatus. Thus, the wafer supply apparatus of the present invention is excellent in chip mountability.

また、前記ウェハ搬送パレットは長方形状であって、前記ウェハは円形状である。一例として、ウェハ搬送パレットが電子部品実装機の部品搬送パレットと兼用である場合、ウェハ搬送パレットは長方形状である場合が多い。一方、ウェハは、円柱状のインゴットから作製される場合が多い。このため、ウェハは、円形状である場合が多い。このような場合、ウェハ搬送パレットにデッドスペースが発生しやすい。このため、ウェハ搬送パレットに廃棄部品置場を確保しやすい。 The wafer transfer pallet has a rectangular shape, and the wafer has a circular shape. As an example, when the wafer transfer pallet is also used as a component transfer pallet of an electronic component mounting machine, the wafer transfer pallet is often rectangular. On the other hand, a wafer is often produced from a cylindrical ingot. For this reason, the wafer is often circular. In such a case, a dead space is likely to occur in the wafer transfer pallet. For this reason, it is easy to secure a disposal part place on the wafer transfer pallet.

（１−１）好ましくは、上記（１）の構成において、前記ウェハ搬送パレットは、さらに、前記廃棄部品置場に敷設され、廃棄される前記チップが載置される軟質粘着シートを備える構成とする方がよい。 (1-1) Preferably, in the configuration of the above (1), the wafer transfer pallet further includes a soft adhesive sheet that is laid in the waste component storage place and on which the discarded chips are placed. Better.

ここで、「軟質粘着シート」とは、例えば、ゴム状、ゲル状など柔軟で、ウェハ搬送パレットが移動してもチップがずれない程度の粘着性を有するシートをいう。チップの肉厚は非常に薄い。このため、チップには、「割れ」や「欠け」などの不具合が発生しやすい。この点、本構成によると、チップは軟質粘着シートに載置されている。このため、チップに不具合が発生しにくい。 Here, the “soft adhesive sheet” refers to a sheet that is flexible, such as rubber or gel, and has such adhesiveness that the chip does not shift even when the wafer transfer pallet moves. The thickness of the chip is very thin. For this reason, defects such as “cracks” and “chips” are likely to occur in the chip. In this regard, according to the present configuration, the chip is placed on the soft adhesive sheet. For this reason, it is difficult for the chip to be defective.

（２）好ましくは、上記（１）の構成において、さらに、複数の前記ウェハ搬送パレットが収容されるパレット収容マガジンと、該パレット収容マガジンを移動させ所望の該ウェハ搬送パレットを所定の搬出位置まで移動させるマガジン駆動装置と、該搬出位置から該ウェハ搬送パレットを搬出するパレット搬送コンベアと、を備え、前記回路基板から見て、前記ウェハが手前に、前記廃棄部品置場が奥に、配置されるように、該パレット搬送コンベアは該ウェハ搬送パレットを搬出する構成とする方がよい。 (2) Preferably, in the configuration of (1) above, a pallet storage magazine for storing a plurality of the wafer transfer pallets, and moving the pallet storage magazine to bring the desired wafer transfer pallet to a predetermined unloading position. A magazine driving device to be moved, and a pallet transfer conveyor for unloading the wafer transfer pallet from the unloading position, and the wafer is disposed in front and the waste component storage is disposed in the back as viewed from the circuit board. Thus, the pallet transfer conveyor is preferably configured to carry out the wafer transfer pallet.

本構成によると、パレット収容マガジンに多数のウェハ搬送パレットを収容することができる。つまり、多数のチップを収容することができる。このように、本構成のウェハ供給装置はチップ搭載性に優れている。 According to this configuration, a large number of wafer transfer pallets can be stored in the pallet storage magazine. That is, a large number of chips can be accommodated. As described above, the wafer supply apparatus of this configuration is excellent in chip mountability.

（３）好ましくは、上記（１）または（２）の構成において、前記廃棄部品置場は、廃棄される前記チップの種類に応じて、複数のエリアに区分けされる構成とする方がよい。従来、廃棄対象のチップは、再利用されていなかった。しかしながら、廃棄対象のチップであっても、チップの状態によっては、再利用できる場合がある。ここで、チップのグレードは、前述したように、マッピングデータに記録されている。このため、ウェハシートに貼り付けられた状態であれば、チップの座標から、チップのグレードを判別することができる。ところが、一旦機外に排出されたチップの場合、ウェハシート上の座標は不明である。このため、作業者は、当該チップのグレードを判別できない。したがって、チップの再利用が困難である。 (3) Preferably, in the configuration of the above (1) or (2), the waste component storage area is divided into a plurality of areas according to the type of the chip to be discarded. Conventionally, chips to be discarded have not been reused. However, even a chip to be discarded can be reused depending on the state of the chip. Here, the chip grade is recorded in the mapping data as described above. For this reason, if it is a state affixed on the wafer sheet, the grade of the chip can be determined from the coordinates of the chip. However, in the case of a chip once discharged outside the apparatus, the coordinates on the wafer sheet are unknown. For this reason, the operator cannot determine the grade of the chip. Therefore, it is difficult to reuse the chip.

この点、本構成によると、例えばグレードなど、チップの種類に応じて、廃棄部品置場が複数のエリアに区分けされている。このため、ウェハシート上の座標が不明であっても、廃棄後のチップの種類を判別しやすい。したがって、チップを再利用しやすい。 In this regard, according to the present configuration, the waste component storage area is divided into a plurality of areas according to the type of chip such as a grade. For this reason, even if the coordinates on the wafer sheet are unknown, it is easy to determine the type of chip after disposal. Therefore, it is easy to reuse the chip.

（４）また、上記課題を解決するため、本発明のチップボンディング装置は、上記（２）のウェハ供給装置と、前記パレット搬送コンベア上の前記ウェハ搬送パレットから前記チップを吸着し移動する吸着ノズルと、を備え、前記吸着ノズルが前記チップを吸着するために前記ウェハまで移動する際の、前記ウェハ搬送パレット上における移動距離は、該吸着ノズルが該チップを廃棄するために前記廃棄部品置場まで移動する際の、該ウェハ搬送パレット上における移動距離よりも、短いことを特徴とする。
（５）好ましくは、上記（４）の構成において、さらに、前記吸着ノズルに吸着された前記チップを撮像するカメラと、該カメラに撮像された該チップの画像から該チップの状態を判別し、該チップが不良品の場合、該吸着ノズルに該チップを前記廃棄部品置場まで搬送させる制御装置と、を備える構成とする方がよい。本構成によると、チップが不良品である場合、自動的に当該チップを廃棄部品置場に置くことができる。このため、チップの廃棄作業が容易である。 (4) Moreover, in order to solve the said subject, the chip bonding apparatus of this invention is the wafer supply apparatus of said (2), and the adsorption nozzle which adsorbs and moves the said chip | tip from the said wafer conveyance pallet on the said pallet conveyance conveyor. And the moving distance on the wafer transfer pallet when the suction nozzle moves to the wafer to suck the chip is the distance to the waste component place for the suction nozzle to discard the chip. It is shorter than the moving distance on the wafer transfer pallet when moving.
(5) Preferably, in the configuration of (4), a camera that images the chip adsorbed by the adsorption nozzle, and a state of the chip are determined from an image of the chip imaged by the camera, In the case where the chip is defective, it is preferable to include a control device that causes the suction nozzle to transport the chip to the disposal part storage site. According to this configuration, when a chip is a defective product, the chip can be automatically placed in the disposal part storage area. For this reason, chip disposal is easy.

本発明によると、省スペース性、チップ搭載性に優れたウェハ供給装置、および当該ウェハ供給装置を備えたチップボンディング装置を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a wafer supply device excellent in space saving and chip mounting properties, and a chip bonding apparatus including the wafer supply device.

本発明のチップボンディング装置の一実施形態であるチップボンディング装置の斜視図である。It is a perspective view of the chip bonding apparatus which is one Embodiment of the chip bonding apparatus of this invention. 同チップボンディング装置の上面図である。It is a top view of the same chip bonding apparatus. 同チップボンディング装置の右側面図である。It is a right view of the same chip bonding apparatus. 図３の枠ＩＶ内の拡大図である。FIG. 4 is an enlarged view in a frame IV of FIG. 3. ウェハ搬送パレットの斜視図である。It is a perspective view of a wafer conveyance pallet. 同チップボンディング装置の、チップ吸着時の右側面拡大図である。It is a right side enlarged view at the time of chip | tip adsorption | suction of the same chip bonding apparatus. 同チップボンディング装置の、チップ撮像時の右側面拡大図である。It is a right side enlarged view at the time of chip | tip imaging of the same chip bonding apparatus. 同チップボンディング装置の、チップ廃棄時の右側面拡大図である。It is a right side enlarged view at the time of chip disposal of the chip bonding apparatus. チップを寸法毎に分別する場合のウェハ搬送パレットの斜視図である。It is a perspective view of the wafer conveyance pallet in the case of classifying a chip | tip for every dimension.

以下、本発明のチップボンディング装置の実施の形態について説明する。なお、以下の説明は、本発明のウェハ供給装置の実施の形態に関する説明を、兼ねるものである。 Hereinafter, embodiments of the chip bonding apparatus of the present invention will be described. In addition, the following description serves as the description regarding embodiment of the wafer supply apparatus of this invention.

＜チップボンディング装置の構成＞
まず、本実施形態のチップボンディング装置の構成について説明する。図１に、チップボンディング装置の斜視図を示す。図２に、同チップボンディング装置の上面図を示す。図３に、同チップボンディング装置の右側面図を示す。図１、図３においては、モジュール３のハウジングを透過して示す。図２においては、モジュール３のハウジングを削除して示す。また、Ｙ方向スライダ３１０、Ｙ方向ガイドレール３１２、Ｘ方向ガイドレール３１３を一点鎖線で示す。図１〜図３に示すように、チップボンディング装置１は、ベース２と、モジュール３と、デバイステーブル４と、ウェハ供給装置５と、制御装置（図略）と、を備えている。 <Configuration of chip bonding device>
First, the configuration of the chip bonding apparatus of this embodiment will be described. FIG. 1 is a perspective view of the chip bonding apparatus. FIG. 2 shows a top view of the chip bonding apparatus. FIG. 3 shows a right side view of the chip bonding apparatus. 1 and 3, the housing of the module 3 is shown in a transparent manner. In FIG. 2, the housing of the module 3 is omitted. Further, the Y-direction slider 310, the Y-direction guide rail 312 and the X-direction guide rail 313 are indicated by alternate long and short dashed lines. As shown in FIGS. 1 to 3, the chip bonding apparatus 1 includes a base 2, a module 3, a device table 4, a wafer supply device 5, and a control device (not shown).

［ベース２、モジュール３］
ベース２は、工場の床面Ｆに配置されている。モジュール３は、ベース２の上面に配置されている。モジュール３は、基板搬送装置３０と、ＸＹロボット３１と、装着ヘッド３２と、カメラ３４と、を備えている。 [Base 2, Module 3]
The base 2 is arranged on the floor F of the factory. The module 3 is disposed on the upper surface of the base 2. The module 3 includes a substrate transfer device 30, an XY robot 31, a mounting head 32, and a camera 34.

（基板搬送装置３０）
基板搬送装置３０は、固定壁３００と、前方可動壁３０１ｆと、後方可動壁３０１ｒと、第一バックアップテーブル３０２ｆと、第二バックアップテーブル３０２ｒと、左右一対のガイドレール３０３Ｌ、３０３Ｒと、第一搬送コンベア３０４ｆと、第二搬送コンベア３０４ｒと、基部３０５とを、備えている。 (Substrate transfer device 30)
The substrate transfer device 30 includes a fixed wall 300, a front movable wall 301f, a rear movable wall 301r, a first backup table 302f, a second backup table 302r, a pair of left and right guide rails 303L and 303R, and a first transfer. A conveyor 304f, a second conveyor 304r, and a base 305 are provided.

基部３０５は、長方形板状を呈している。基部３０５は、ベース２の上面に配置されている。左右一対のガイドレール３０３Ｌ、３０３Ｒは、各々、前後方向に延在している。左右一対のガイドレール３０３Ｌ、３０３Ｒは、基部３０５の上面の左縁および右縁に、離間して配置されている。 The base 305 has a rectangular plate shape. The base 305 is disposed on the upper surface of the base 2. Each of the pair of left and right guide rails 303L and 303R extends in the front-rear direction. The pair of left and right guide rails 303L and 303R are spaced apart from the left and right edges of the upper surface of the base 305.

固定壁３００は、基部３０５の上面前縁に立設されている。固定壁３００は、下方に開口するＣ字板状を呈している。固定壁３００のＣ字両端は、左右一対のガイドレール３０３Ｌ、３０３Ｒの前端に連なっている。 The fixed wall 300 is erected on the upper front edge of the base 305. The fixed wall 300 has a C-shaped plate shape that opens downward. The C-shaped ends of the fixed wall 300 are connected to the front ends of a pair of left and right guide rails 303L and 303R.

前方可動壁３０１ｆ、後方可動壁３０１ｒは、各々、固定壁３００の後方に配置されている。前方可動壁３０１ｆ、後方可動壁３０１ｒは、各々、下方に開口するＣ字板状を呈している。前方可動壁３０１ｆのＣ字両端、後方可動壁３０１ｒのＣ字両端は、各々、左右一対のガイドレール３０３Ｌ、３０３Ｒに、前後方向に摺動可能に取り付けられている。固定壁３００と前方可動壁３０１ｆとの間には、第一レーンＬ１が区画されている。前方可動壁３０１ｆと後方可動壁３０１ｒとの間には、第二レーンＬ２が区画されている。 The front movable wall 301f and the rear movable wall 301r are respectively disposed behind the fixed wall 300. Each of the front movable wall 301f and the rear movable wall 301r has a C-shaped plate shape that opens downward. The C-shaped ends of the front movable wall 301f and the C-shaped ends of the rear movable wall 301r are respectively attached to a pair of left and right guide rails 303L and 303R so as to be slidable in the front-rear direction. A first lane L1 is defined between the fixed wall 300 and the front movable wall 301f. A second lane L2 is defined between the front movable wall 301f and the rear movable wall 301r.

このように、前方可動壁３０１ｆ、後方可動壁３０１ｒは、前後方向（固定壁３００に対して、近接−離間する方向）に移動可能である。このため、第一レーンＬ１の搬送幅、第二レーンＬ２の搬送幅は、各々、拡縮可能である。 Thus, the front movable wall 301f and the rear movable wall 301r are movable in the front-rear direction (the direction in which the fixed wall 300 approaches and separates). For this reason, the conveyance width of the first lane L1 and the conveyance width of the second lane L2 can each be expanded or reduced.

第一搬送コンベア３０４ｆ、第二搬送コンベア３０４ｒは、各々、前後一対のコンベアベルトを備えている。合計四つのコンベアベルトは、各々、左右方向に延在している。第一搬送コンベア３０４ｆの前方のコンベアベルトは固定壁３００の後面に、後方のコンベアベルトは前方可動壁３０１ｆの前面に、第二搬送コンベア３０４ｒの前方のコンベアベルトは前方可動壁３０１ｆの後面に、後方のコンベアベルトは後方可動壁３０１ｒの前面に、各々配置されている。第一搬送コンベア３０４ｆには第一回路基板Ｂ１が、第二搬送コンベア３０４ｒには第二回路基板Ｂ２が、各々架設されている。第一回路基板Ｂ１は第一レーンＬ１を、第二回路基板Ｂ２は第二レーンＬ２を、各々左から右に向かって搬送される。 Each of the first conveyor 304f and the second conveyor 304r includes a pair of front and rear conveyor belts. A total of four conveyor belts each extend in the left-right direction. The conveyor belt in front of the first conveyor 304f is on the rear surface of the fixed wall 300, the conveyor belt in the rear is on the front surface of the movable front wall 301f, and the conveyor belt in front of the second conveyor 304r is on the rear surface of the movable front wall 301f. The rear conveyor belt is disposed on the front surface of the rear movable wall 301r. A first circuit board B1 is installed on the first transfer conveyor 304f, and a second circuit board B2 is installed on the second transfer conveyor 304r. The first circuit board B1 is conveyed from the first lane L1 and the second circuit board B2 is conveyed from the left lane to the right in the second lane L2.

第一バックアップテーブル３０２ｆ、第二バックアップテーブル３０２ｒは、各々長方形板状を呈している。第一バックアップテーブル３０２ｆは第一回路基板Ｂ１の下方に、第二バックアップテーブル３０２ｒは第二回路基板Ｂ２の下方に、各々配置されている。第一バックアップテーブル３０２ｆ、第二バックアップテーブル３０２ｒは、各々昇降可能である。第一バックアップテーブル３０２ｆ、第二バックアップテーブル３０２ｒの上面には、各々多数のバックアップピンが配置されている。第一回路基板Ｂ１は第一バックアップテーブル３０２ｆの多数のバックアップピンにより、第二回路基板Ｂ２は第二バックアップテーブル３０２ｒの多数のバックアップピンにより、各々下方から支持される。 Each of the first backup table 302f and the second backup table 302r has a rectangular plate shape. The first backup table 302f is disposed below the first circuit board B1, and the second backup table 302r is disposed below the second circuit board B2. Each of the first backup table 302f and the second backup table 302r can be moved up and down. A large number of backup pins are arranged on the top surfaces of the first backup table 302f and the second backup table 302r, respectively. The first circuit board B1 is supported from below by a large number of backup pins of the first backup table 302f, and the second circuit board B2 is supported by a large number of backup pins of the second backup table 302r.

（ＸＹロボット３１）
Ｘ方向は左右方向に対応している。Ｙ方向は前後方向に対応している。ＸＹロボット３１は、Ｙ方向スライダ３１０と、Ｘ方向スライダ３１１と、左右一対のＹ方向ガイドレール３１２と、上下一対のＸ方向ガイドレール３１３と、を備えている。 (XY robot 31)
The X direction corresponds to the left-right direction. The Y direction corresponds to the front-rear direction. The XY robot 31 includes a Y direction slider 310, an X direction slider 311, a pair of left and right Y direction guide rails 312, and a pair of upper and lower X direction guide rails 313.

左右一対のＹ方向ガイドレール３１２は、モジュール３のハウジング内部空間の上面に配置されている。左右一対のＹ方向ガイドレール３１２は、各々、前後方向に延在している。Ｙ方向スライダ３１０は、左右方向に長いブロック状を呈している。Ｙ方向スライダ３１０は、左右一対のＹ方向ガイドレール３１２に、前後方向に摺動可能に取り付けられている。 The pair of left and right Y-direction guide rails 312 are disposed on the upper surface of the housing internal space of the module 3. Each of the pair of left and right Y-direction guide rails 312 extends in the front-rear direction. The Y-direction slider 310 has a long block shape in the left-right direction. The Y-direction slider 310 is attached to a pair of left and right Y-direction guide rails 312 so as to be slidable in the front-rear direction.

上下一対のＸ方向ガイドレール３１３は、Ｙ方向スライダ３１０の前面に配置されている。Ｘ方向スライダ３１１は、長方形板状を呈している。Ｘ方向スライダ３１１は、上下一対のＸ方向ガイドレール３１３に、左右方向に摺動可能に取り付けられている。 The pair of upper and lower X-direction guide rails 313 is disposed on the front surface of the Y-direction slider 310. The X direction slider 311 has a rectangular plate shape. The X-direction slider 311 is attached to a pair of upper and lower X-direction guide rails 313 so as to be slidable in the left-right direction.

（装着ヘッド３２、カメラ３４）
装着ヘッド３２は、Ｘ方向スライダ３１１に取り付けられている。このため、装着ヘッド３２は、ＸＹロボット３１により、前後左右方向に移動可能である。また、装着ヘッド３２は、Ｘ方向スライダ３１１に対して、下方に摺動可能である。装着ヘッド３２の下面からは、円筒状のホルダ（図略）が突設されている。ホルダは、軸回りに回転可能である。ホルダには、吸着ノズル３２０が取り付けられている。吸着ノズル３２０には、配管（図略）を介して、負圧、または正圧が供給される。カメラ３４は、固定壁３００の前方に配置されている。カメラ３４は、吸着ノズル３２０が吸着した電子部品を撮像するために用いられる。 (Mounting head 32, camera 34)
The mounting head 32 is attached to the X direction slider 311. For this reason, the mounting head 32 can be moved in the front-rear and left-right directions by the XY robot 31. Further, the mounting head 32 can slide downward with respect to the X-direction slider 311. A cylindrical holder (not shown) projects from the lower surface of the mounting head 32. The holder is rotatable about the axis. A suction nozzle 320 is attached to the holder. A negative pressure or a positive pressure is supplied to the suction nozzle 320 via a pipe (not shown). The camera 34 is disposed in front of the fixed wall 300. The camera 34 is used to take an image of the electronic component sucked by the suction nozzle 320.

［デバイステーブル４、ウェハ供給装置５］
デバイステーブル４は、モジュール３の前面に装着されている。ウェハ供給装置５は、デバイステーブル４の上面に取り付けられている。図４に、図３の枠ＩＶ内の拡大図を示す。図１〜図４に示すように、ウェハ供給装置５は、多数のウェハ搬送パレット５０と、パレット収容マガジン５１と、マガジン駆動装置５２と、パレット搬送コンベア５３と、ハウジング５４と、左右一対のアーム５５Ｌ、５５Ｒと、を備えている。 [Device table 4, wafer supply apparatus 5]
The device table 4 is mounted on the front surface of the module 3. The wafer supply apparatus 5 is attached to the upper surface of the device table 4. FIG. 4 shows an enlarged view in the frame IV of FIG. As shown in FIGS. 1 to 4, the wafer supply device 5 includes a number of wafer transfer pallets 50, a pallet storage magazine 51, a magazine drive device 52, a pallet transfer conveyor 53, a housing 54, and a pair of left and right arms. 55L, 55R.

（ハウジング５４、パレット収容マガジン５１）
ハウジング５４は、上下方向に長い、直方体箱状を呈している。ハウジング５４は、台車９の上面に搭載されている。ハウジング５４の後壁（ウェハ搬送パレット５０を搬出する方向の壁）には、パレット搬出口５４０が開設されている。パレット搬出口５４０は、左右方向に長い、スリット状を呈している。ハウジング５４の左壁右面と右壁左面とには、各々、ガイドレール５４１が配置されている。左右一対のガイドレール５４１は、各々、上下方向（パレット収容マガジン５１の移動方向）に延在している。 (Housing 54, pallet housing magazine 51)
The housing 54 has a rectangular parallelepiped box shape that is long in the vertical direction. The housing 54 is mounted on the upper surface of the carriage 9. A pallet unloading port 540 is opened on the rear wall of the housing 54 (the wall in the direction of unloading the wafer transfer pallet 50). The pallet exit 540 has a slit shape that is long in the left-right direction. Guide rails 541 are arranged on the left wall right surface and the right wall left surface of the housing 54, respectively. Each of the pair of left and right guide rails 541 extends in the vertical direction (the moving direction of the pallet housing magazine 51).

パレット収容マガジン５１は、角筒状を呈している。すなわち、パレット収容マガジン５１には、前壁と後壁とが配置されていない。パレット収容マガジン５１は、ハウジング５４の内部に収容されている。パレット収容マガジン５１の左壁右面と右壁左面とには、各々、多数のガイドリブ５１０が配置されている。ガイドリブ５１０は、前後方向（ウェハ搬送パレット５０の移動方向）に延在している。多数のガイドリブ５１０は、上下方向（ウェハ搬送パレット５０の積層方向）に並んで配置されている。左壁のガイドリブ５１０と右壁のガイドリブ５１０とは、同じ高度で対向して配置されている。左右一対のガイドリブ５１０間には、ウェハ搬送パレット５０が架設されている。すなわち、パレット収容マガジン５１には、多数のガイドリブ５１０の上下方向間隔だけ離間して、多数のウェハ搬送パレット５０が、上下方向に積層された状態で収容されている。ウェハ搬送パレット５０は、左右一対のガイドリブ５１０を、前後方向に摺動可能である。ウェハ搬送パレット５０の構成については、後で詳しく説明する。パレット収容マガジン５１の左壁左面と右壁右面とには、各々、被ガイド凹部（図略）が形成されている。左右一対の被ガイド凹部は、各々、上下方向に延在している。被ガイド凹部は、ガイドレール５４１に摺接している。 The pallet housing magazine 51 has a rectangular tube shape. That is, the front wall and the rear wall are not arranged in the pallet storage magazine 51. The pallet housing magazine 51 is housed inside the housing 54. A large number of guide ribs 510 are arranged on the right side and the left side of the pallet storage magazine 51, respectively. The guide rib 510 extends in the front-rear direction (the moving direction of the wafer transfer pallet 50). A large number of guide ribs 510 are arranged side by side in the vertical direction (stacking direction of the wafer transfer pallet 50). The left wall guide rib 510 and the right wall guide rib 510 are arranged to face each other at the same altitude. A wafer transfer pallet 50 is installed between the pair of left and right guide ribs 510. That is, in the pallet accommodation magazine 51, a large number of wafer transfer pallets 50 are accommodated in a state where they are stacked in the vertical direction, with a large number of guide ribs 510 spaced apart in the vertical direction. The wafer transfer pallet 50 can slide in a front-rear direction on a pair of left and right guide ribs 510. The configuration of the wafer transfer pallet 50 will be described in detail later. Guided recesses (not shown) are respectively formed in the left wall left surface and the right wall right surface of the pallet housing magazine 51. Each of the pair of left and right guided recesses extends in the vertical direction. The guided recess is in sliding contact with the guide rail 541.

（マガジン駆動装置５２）
マガジン駆動装置５２は、モータ５２０と、ボールねじ機構部５２１と、を備えている。モータ５２０は、ハウジング５４の底壁上面に配置されている。ボールねじ機構部５２１は、シャフト５２１ａとナット（図略）とを備えている。シャフト５２１ａは、モータ５２０の駆動軸に連結されている。シャフト５２１ａは、上下方向に延在している。シャフト５２１ａは、自身の軸回りに回転可能である。ナットは、パレット収容マガジン５１の左壁左面に、回転可能に取り付けられている。ナットは、シャフト５２１ａの外周面に環装されている。ナットとシャフト５２１ａとは、多数のボールを介して、噛合している。このため、ナットは、シャフト５２１ａに対して、上下方向に移動可能である。したがって、モータ５２０の駆動力によりシャフト５２１ａが自身の軸回りに回転すると、被ガイド凹部がガイドレール５４１に摺接しながら、ナットつまりパレット収容マガジン５１が上下方向に移動する。なお、パレット搬出口５４０の高度に対応する位置が、本発明の「搬出位置」に相当する。 (Magazine drive 52)
The magazine drive device 52 includes a motor 520 and a ball screw mechanism 521. The motor 520 is disposed on the upper surface of the bottom wall of the housing 54. The ball screw mechanism 521 includes a shaft 521a and a nut (not shown). The shaft 521a is connected to the drive shaft of the motor 520. The shaft 521a extends in the vertical direction. The shaft 521a can rotate around its own axis. The nut is rotatably attached to the left wall left surface of the pallet housing magazine 51. The nut is mounted on the outer peripheral surface of the shaft 521a. The nut and the shaft 521a mesh with each other via a large number of balls. For this reason, the nut is movable in the vertical direction with respect to the shaft 521a. Therefore, when the shaft 521a rotates about its own axis by the driving force of the motor 520, the nut, that is, the pallet housing magazine 51 moves in the vertical direction while the guided recess slides on the guide rail 541. The position corresponding to the altitude of the pallet exit 540 corresponds to the “unload position” of the present invention.

（アーム５５Ｌ、５５Ｒ、パレット搬送コンベア５３）
左右一対のアーム５５Ｌ、５５Ｒは、ハウジング５４の後壁後面から、後方に向かって突設されている。左右一対のアーム５５Ｌ、５５Ｒは、パレット搬出口５４０の左右両側に配置されている。 (Arms 55L, 55R, pallet conveyor 53)
The pair of left and right arms 55L and 55R protrudes rearward from the rear surface of the rear wall of the housing 54. The pair of left and right arms 55L and 55R are disposed on the left and right sides of the pallet carry-out port 540.

パレット搬送コンベア５３は、左部５３０と右部とを備えている。左部５３０の構成と右部の構成とは、同様である。左部５３０の部品配置と右部の部品配置とは、左右対称である。よって、以下、左部５３０についてのみ説明し、当該説明をもって右部の説明を兼ねるものとする。左部５３０は、コンベアベルト５３１と、四つの従動ローラ５３２と、駆動ローラ５３３と、モータ５３４と、を備えている。コンベアベルト５３１は、環状を呈している。コンベアベルト５３１は、四つの従動ローラ５３２および駆動ローラ５３３に、巻き架けられている。コンベアベルト５３１の上側部分は、前後方向に延在している。モータ５３４の駆動軸は、駆動ローラ５３３に連結されている。搬出対象のウェハ搬送パレット５０は、左右一対のコンベアベルト５３１間に架設される。モータ５３４の駆動力により、ウェハ搬送パレット５０は、前後方向に移動可能である。 The pallet conveyer 53 includes a left part 530 and a right part. The configuration of the left part 530 and the configuration of the right part are the same. The part arrangement of the left part 530 and the part arrangement of the right part are symmetrical. Therefore, hereinafter, only the left part 530 will be described, and the description will also serve as the right part. The left portion 530 includes a conveyor belt 531, four driven rollers 532, a driving roller 533, and a motor 534. The conveyor belt 531 has an annular shape. The conveyor belt 531 is wound around four driven rollers 532 and a driving roller 533. The upper part of the conveyor belt 531 extends in the front-rear direction. The drive shaft of the motor 534 is connected to the drive roller 533. The wafer transfer pallet 50 to be unloaded is installed between a pair of left and right conveyor belts 531. The wafer transfer pallet 50 can be moved in the front-rear direction by the driving force of the motor 534.

（ウェハ搬送パレット５０、制御装置）
図５に、ウェハ搬送パレットの斜視図を示す。図５に示すように、ウェハ搬送パレット５０は、長方形板状を呈している。ウェハ搬送パレット５０の上面には、ウェハグリップリング６０が載置されている。ウェハグリップリング６０には、水平方向に伸張された状態で、ウェハシート６１が配置されている。ウェハシート６１には、ウェハ６２が貼り付けられている。ウェハ６２は、多数の個片状のチップ６２０からなる。多数のチップ６２０は、円形状のウェハ６２が格子状に裁断されることにより、形成されている。多数のチップ６２０には、各々、集積回路（図略）が形成されている。 (Wafer transfer pallet 50, control device)
FIG. 5 shows a perspective view of the wafer transfer pallet. As shown in FIG. 5, the wafer transfer pallet 50 has a rectangular plate shape. A wafer grip ring 60 is placed on the upper surface of the wafer transfer pallet 50. A wafer sheet 61 is disposed on the wafer grip ring 60 in a state of being stretched in the horizontal direction. A wafer 62 is attached to the wafer sheet 61. The wafer 62 is composed of a large number of individual chips 620. Many chips 620 are formed by cutting a circular wafer 62 into a lattice shape. An integrated circuit (not shown) is formed on each of the many chips 620.

ウェハ搬送パレット５０の上面のうち、ウェハグリップリング６０が載置されている部分の前方には、長方形状の廃棄部品置場５００が区画されている。廃棄部品置場５００には、ジェル状シート５０１が敷設されている。廃棄部品置場５００は、左側から右側に向かって、第一エリア５００ａと、第二エリア５００ｂと、第三エリア５００ｃと、を備えている。三つのエリアは、チップ６２０のグレードに対応している。 A rectangular waste component place 500 is defined in front of the portion of the upper surface of the wafer transfer pallet 50 where the wafer grip ring 60 is placed. A gel-like sheet 501 is laid in the waste parts storage 500. The waste parts storage 500 includes a first area 500a, a second area 500b, and a third area 500c from the left to the right. The three areas correspond to the grade of the chip 620.

制御装置は、演算部と記憶部とを備えている。集積回路形成後のチップ６２０には、集積回路の性能をチェックするために、ウェハテストが実行される。ウェハテストの結果は、チップ６２０毎に、つまりウェハ６２における水平方向の座標毎に、マッピングデータとして記憶部に格納される。すなわち、記憶部のマッピングデータには、チップ６２０の座標と対応付けられた状態で、チップ６２０のグレードが記録されている。また、記憶部には、チップ６２０のグレードと各エリアとが対応付けられた状態で、格納されている。具体的には、粗悪品は第一エリア５００ａに、中間品は第二エリア５００ｂに、良品は第三エリア５００ｃに、対応付けられている。 The control device includes a calculation unit and a storage unit. A wafer test is performed on the chip 620 after the formation of the integrated circuit in order to check the performance of the integrated circuit. The result of the wafer test is stored in the storage unit as mapping data for each chip 620, that is, for each horizontal coordinate on the wafer 62. That is, the grade of the chip 620 is recorded in the mapping data of the storage unit in a state associated with the coordinates of the chip 620. Further, the storage unit stores the grade of the chip 620 and each area in association with each other. Specifically, inferior products are associated with the first area 500a, intermediate products with the second area 500b, and non-defective products with the third area 500c.

＜チップボンディング装置の動き＞
次に、本実施形態のチップボンディング装置１の動きについて説明する。図６に、チップボンディング装置の、チップ吸着時の右側面拡大図を示す。図７に、同チップボンディング装置の、チップ撮像時の右側面拡大図を示す。図８に、同チップボンディング装置の、チップ廃棄時の右側面拡大図を示す。なお、図６〜図８は、図３の枠ＩＶ（つまり図４）に対応している。 <Motion of chip bonding equipment>
Next, the movement of the chip bonding apparatus 1 of this embodiment will be described. FIG. 6 shows an enlarged view of the right side of the chip bonding apparatus during chip adsorption. FIG. 7 shows an enlarged view of the right side of the chip bonding apparatus during chip imaging. FIG. 8 shows an enlarged right side view of the chip bonding apparatus when the chip is discarded. 6 to 8 correspond to the frame IV in FIG. 3 (that is, FIG. 4).

図１、図２に示すように、吸着ノズル３２０つまり装着ヘッド３２は、Ｘ方向スライダ３１１に対して、下方に移動可能である。Ｘ方向スライダ３１１は、上下一対のＸ方向ガイドレール３１３に対して、左右方向に移動可能である。上下一対のＸ方向ガイドレール３１３が取り付けられているＹ方向スライダ３１０は、左右一対のＹ方向ガイドレール３１２に対して、前後方向に移動可能である。このため、装着ヘッド３２は、前後左右上下方向に移動可能である。 As shown in FIGS. 1 and 2, the suction nozzle 320, that is, the mounting head 32, can move downward relative to the X-direction slider 311. The X-direction slider 311 is movable in the left-right direction with respect to the pair of upper and lower X-direction guide rails 313. The Y-direction slider 310 to which the pair of upper and lower X-direction guide rails 313 are attached is movable in the front-rear direction with respect to the pair of left and right Y-direction guide rails 312. For this reason, the mounting head 32 is movable in the front-back, left-right, up-down directions.

回路基板生産時においては、まず、ウェハ供給装置５から所望のチップ６２０が搭載された、ウェハ搬送パレット５０を搬出する。具体的には、図４に示すように、まず、マガジン駆動装置５２により、パレット収容マガジン５１を上下方向に移動させる。そして、所望のウェハ搬送パレット５０を、パレット搬出口５４０の高度に対応する位置、つまり搬出位置に持ってくる。次に、図示しないロボットにより、ウェハ搬送パレット５０を、パレット搬出口５４０を介して、パレット収容マガジン５１から取り出す。続いて、取り出したウェハ搬送パレット５０を、左右一対のコンベアベルト５３１に乗せる。それから、図６に示すように、コンベアベルト５３１を駆動し、ウェハ搬送パレット５０をモジュール３のハウジング内まで移動させる。そして、装着ヘッド３２を駆動し、吸着ノズル３２０でチップ６２０を吸着する。続いて、図７に示すように、吸着ノズル３２０で吸着したチップ６２０を、カメラ３４の真上（カメラ３４の撮像可能エリア）に持ってくる。それから、カメラ３４により、チップ６２０を撮像する。そして、画像処理装置（図略）により、撮像データを画像処理する。 At the time of circuit board production, first, the wafer transfer pallet 50 on which a desired chip 620 is mounted is unloaded from the wafer supply device 5. Specifically, as shown in FIG. 4, first, the pallet storage magazine 51 is moved up and down by the magazine driving device 52. Then, the desired wafer transfer pallet 50 is brought to a position corresponding to the altitude of the pallet carry-out port 540, that is, the carry-out position. Next, the wafer transfer pallet 50 is taken out from the pallet accommodation magazine 51 via the pallet carry-out port 540 by a robot (not shown). Subsequently, the taken wafer transport pallet 50 is placed on a pair of left and right conveyor belts 531. Then, as shown in FIG. 6, the conveyor belt 531 is driven to move the wafer transfer pallet 50 into the housing of the module 3. Then, the mounting head 32 is driven, and the chip 620 is sucked by the suction nozzle 320. Subsequently, as shown in FIG. 7, the chip 620 sucked by the suction nozzle 320 is brought directly above the camera 34 (an imageable area of the camera 34). Then, the chip 620 is imaged by the camera 34. Then, the imaging data is subjected to image processing by an image processing device (not shown).

画像処理の結果、チップ６２０に問題がなければ、図２、図３に示すように、吸着ノズル３２０により、チップ６２０を第一回路基板Ｂ１、または第二回路基板Ｂ２に装着する。これに対して、画像処理の結果、チップ６２０に問題がある場合は、図８に示すように、吸着ノズル３２０により、チップ６２０を廃棄部品置場５００に廃棄する。この際、チップ６２０のグレードにより、第一エリア５００ａ、第二エリア５００ｂ、第三エリア５００ｃのいずれかが選択される。 If there is no problem with the chip 620 as a result of the image processing, the chip 620 is mounted on the first circuit board B1 or the second circuit board B2 by the suction nozzle 320 as shown in FIGS. On the other hand, if there is a problem with the chip 620 as a result of the image processing, the chip 620 is discarded into the waste component storage 500 by the suction nozzle 320 as shown in FIG. At this time, one of the first area 500a, the second area 500b, and the third area 500c is selected according to the grade of the chip 620.

＜作用効果＞
次に、本実施形態のチップボンディング装置１の作用効果について説明する。本実施形態のチップボンディング装置１のウェハ供給装置５によると、ウェハ搬送パレット５０に廃棄部品置場５００が確保されている。このため、別途、ＮＧコンベアなどのチップ排出装置を配置する必要がない。したがって、ウェハ供給装置５、延いてはチップボンディング装置１が大型化しにくい。このように、ウェハ供給装置５は省スペース性に優れている。 <Effect>
Next, the effect of the chip bonding apparatus 1 of this embodiment is demonstrated. According to the wafer supply device 5 of the chip bonding apparatus 1 of the present embodiment, the waste component place 500 is secured on the wafer transfer pallet 50. For this reason, it is not necessary to separately arrange a chip discharge device such as an NG conveyor. Therefore, the wafer supply device 5 and thus the chip bonding device 1 are difficult to increase in size. Thus, the wafer supply device 5 is excellent in space saving.

また、本実施形態のウェハ供給装置５によると、ウェハ搬送パレット５０を廃棄パレットとして用いる必要がない。このため、ウェハ供給装置５のチップ搭載数が少なくなりにくい。このように、ウェハ供給装置５はチップ搭載性に優れている。 Moreover, according to the wafer supply apparatus 5 of this embodiment, it is not necessary to use the wafer conveyance pallet 50 as a disposal pallet. For this reason, it is difficult to reduce the number of chips mounted on the wafer supply device 5. Thus, the wafer supply apparatus 5 is excellent in chip mounting property.

また、本実施形態のウェハ供給装置５によると、ウェハ搬送パレット５０の廃棄部品置場５００に、ジェル状シート５０１が敷設されている。このため、チップ６２０に「割れ」や「欠け」などの不具合が発生しにくい。 Further, according to the wafer supply device 5 of the present embodiment, the gel-like sheet 501 is laid on the waste component storage 500 of the wafer transfer pallet 50. For this reason, defects such as “cracking” and “chip” are unlikely to occur in the chip 620.

また、本実施形態のウェハ供給装置５によると、ウェハ搬送パレット５０は長方形状である。また、ウェハ６２は円形状である。このため、ウェハ搬送パレット５０にデッドスペースが発生しやすい。したがって、ウェハ搬送パレット５０に廃棄部品置場５００を確保しやすい。 Moreover, according to the wafer supply apparatus 5 of this embodiment, the wafer conveyance pallet 50 is rectangular shape. Further, the wafer 62 has a circular shape. For this reason, a dead space is likely to occur in the wafer transfer pallet 50. Therefore, it is easy to secure the waste parts storage 500 on the wafer transfer pallet 50.

また、本実施形態のウェハ供給装置５によると、廃棄部品置場５００が、チップ６２０のグレードに応じて、第一エリア５００ａ、第二エリア５００ｂ、第三エリア５００ｃの三つに区分けされている。すなわち、廃棄対象のチップ６２０は、グレードに応じて、第一エリア５００ａ、第二エリア５００ｂ、第三エリア５００ｃのいずれかに、分別して置かれている。このため、作業者は、ウェハシート６１上の座標が不明であっても、廃棄後のチップ６２０のグレードを判別しやすい。したがって、チップ６２０を再利用しやすい。 Further, according to the wafer supply apparatus 5 of the present embodiment, the waste component storage 500 is divided into three areas of the first area 500a, the second area 500b, and the third area 500c according to the grade of the chip 620. That is, the chips 620 to be discarded are placed separately in one of the first area 500a, the second area 500b, and the third area 500c depending on the grade. For this reason, even if the coordinates on the wafer sheet 61 are unknown, the operator can easily determine the grade of the chip 620 after disposal. Therefore, the chip 620 can be easily reused.

また、本実施形態のウェハ供給装置５によると、パレット収容マガジン５１に多数のウェハ搬送パレット５０を収容することができる。つまり、多数のチップ６２０を収容することができる。この点においても、本実施形態のウェハ供給装置５はチップ搭載性に優れている。 Further, according to the wafer supply device 5 of the present embodiment, a large number of wafer transfer pallets 50 can be accommodated in the pallet accommodating magazine 51. That is, a large number of chips 620 can be accommodated. Also in this point, the wafer supply apparatus 5 of this embodiment is excellent in chip mounting property.

また、本実施形態のチップボンディング装置１によると、チップ６２０が不良品である場合、自動的にチップ６２０を廃棄部品置場５００に置くことができる。このため、チップ６２０の廃棄作業が容易である。 Further, according to the chip bonding apparatus 1 of the present embodiment, when the chip 620 is a defective product, the chip 620 can be automatically placed in the waste component storage 500. For this reason, the disposal work of the chip 620 is easy.

＜その他＞
以上、本発明のウェハ供給装置およびチップボンディング装置の実施の形態について説明した。しかしながら、実施の形態は上記形態に特に限定されるものではない。当業者が行いうる種々の変形的形態、改良的形態で実施することも可能である。 <Others>
The embodiments of the wafer supply apparatus and the chip bonding apparatus according to the present invention have been described above. However, the embodiment is not particularly limited to the above embodiment. Various modifications and improvements that can be made by those skilled in the art are also possible.

上記実施形態においては、廃棄部品置場５００において、同一の集積回路を有するチップ６２０を、グレード毎に分別した。グレードの種類は特に限定しない。例えば、発光ダイオードの場合、輝度クラスをグレードとしてもよい。また、グレード毎ではなく、チップ６２０の寸法毎に分別してもよい。図９に、チップを寸法毎に分別する場合のウェハ搬送パレットの斜視図を示す。なお、図５と対応する部位については、同じ符号で示す。図９に示すように、廃棄部品置場５００の第一エリア５００ａには、当該ウェハ搬送パレット５０に搭載されたチップ６２０の不良品が配置されている。しかしながら、第二エリア５００ｂにはチップ６３０の不良品が、第三エリア５００ｃにはチップ６４０の不良品が、それぞれ配置されている。チップ６３０、６４０は、別のウェハ搬送パレット５０に搭載されている。このように、チップ６２０、６３０、６４０を、寸法毎に分別してもよい。 In the above embodiment, the chip 620 having the same integrated circuit is sorted by grade in the waste component storage 500. The type of grade is not particularly limited. For example, in the case of a light emitting diode, the luminance class may be graded. Moreover, you may classify | categorize for every dimension of the chip | tip 620 instead of every grade. FIG. 9 is a perspective view of the wafer transfer pallet when the chips are sorted according to size. In addition, about the site | part corresponding to FIG. 5, it shows with the same code | symbol. As shown in FIG. 9, defective products of chips 620 mounted on the wafer transfer pallet 50 are arranged in the first area 500 a of the waste component storage 500. However, defective products of the chip 630 are arranged in the second area 500b, and defective products of the chip 640 are arranged in the third area 500c. Chips 630 and 640 are mounted on another wafer transfer pallet 50. In this manner, the chips 620, 630, and 640 may be sorted according to size.

また、全てのウェハ搬送パレット５０に、共通の廃棄部品置場５００を設置してもよい。すなわち、回路基板の生産時においては、ダウンタイムを短くするため、前のチップ６２０を画像処理している間に、次のチップ６２０を用意している。つまり、前のチップ６２０が搭載されたウェハ搬送パレット５０をパレット収容マガジン５１に戻し、次のチップ６２０が搭載されたウェハ搬送パレット５０をパレット収容マガジン５１から搬出している。このため、画像処理の結果、チップ６２０が不良品であると判別されても、当該チップ６２０が搭載されていたウェハ搬送パレット５０が、既にパレット収容マガジン５１に収容されている場合がある。この場合、収容済みのウェハ搬送パレット５０を再度パレット収容マガジン５１から搬出すると、ダウンタイムが却って長くなってしまう。この点、全てのウェハ搬送パレット５０に共通の廃棄部品置場５００を設置すると、全てのウェハ搬送パレット５０において廃棄部品置場５００のレイアウトが共通であるため、収容済みのウェハ搬送パレット５０を再度パレット収容マガジン５１から搬出する必要がない。このため、ダウンタイムが長くなりにくい。 Further, a common waste parts storage 500 may be installed on all wafer transfer pallets 50. In other words, during the production of the circuit board, the next chip 620 is prepared while the previous chip 620 is image-processed in order to shorten the downtime. That is, the wafer transfer pallet 50 on which the previous chip 620 is mounted is returned to the pallet storage magazine 51, and the wafer transfer pallet 50 on which the next chip 620 is mounted is unloaded from the pallet storage magazine 51. For this reason, even if it is determined that the chip 620 is a defective product as a result of the image processing, the wafer transfer pallet 50 on which the chip 620 is mounted may already be stored in the pallet storage magazine 51. In this case, if the stored wafer transport pallet 50 is unloaded from the pallet storage magazine 51 again, the downtime will become longer. In this regard, if a common waste parts storage 500 is installed in all the wafer transfer pallets 50, the layout of the waste parts storage 500 is common in all the wafer transfer pallets 50. Therefore, the stored wafer transfer pallets 50 are again stored in the pallet. There is no need to carry out the magazine 51. For this reason, the downtime is unlikely to become long.

また、ウェハ搬送パレット５０における、廃棄部品置場５００の位置は特に限定しない。例えば、ウェハ搬送パレット５０のコーナー部に廃棄部品置場５００を配置してもよい。すなわち、ウェハ搬送パレット５０が長方形状であり、ウェハグリップリング６０が円形状であるため、コーナー部（四隅）には不可避的にデッドスペースができる。当該デッドスペースを利用して、廃棄部品置場５００を配置してもよい。 Further, the position of the waste component storage 500 on the wafer transfer pallet 50 is not particularly limited. For example, the waste component storage 500 may be arranged at the corner portion of the wafer transfer pallet 50. That is, since the wafer transfer pallet 50 is rectangular and the wafer grip ring 60 is circular, dead spaces are inevitably formed in the corner portions (four corners). The waste parts storage 500 may be arranged using the dead space.

記憶部に格納されるマッピングデータの内容は特に限定しない。例えば、ウェハ６２毎の識別子であるウェハ識別子、ウェハ６２の大きさを示すウェハサイズ、チップ６２０、６３０、６４０の大きさを示すチップサイズ（Ｘ、Ｙ）、隣接するチップ６２０、６３０、６４０間の間隔を示すチップ間隔（Ｘ、Ｙ）、ウェハ６２上の基準座標（Ｘ、Ｙ）、チップ６２０、６３０、６４０毎のウェハ６２上の座標（Ｘ、Ｙ）、チップ６２０、６３０、６４０毎のチップ情報（チップ良否（グレード含む）、チップ６２０、６３０、６４０の有無、リファレンスチップ識別など）が含まれていてもよい。 The content of the mapping data stored in the storage unit is not particularly limited. For example, a wafer identifier that is an identifier for each wafer 62, a wafer size that indicates the size of the wafer 62, a chip size (X, Y) that indicates the size of the chips 620, 630, and 640, and between adjacent chips 620, 630, and 640 Chip interval (X, Y) indicating the interval of the wafer, reference coordinates (X, Y) on the wafer 62, coordinates (X, Y) on the wafer 62 for each of the chips 620, 630, 640, and each chip 620, 630, 640 Chip information (chip quality (including grade), presence / absence of chips 620, 630, 640, reference chip identification, etc.) may be included.

チップボンディング装置１の種類は特に限定しない。ダイボンディング装置、フリップチップボンディング装置であってもよい。ウェハ供給装置５は、電子部品実装機の部品供給装置と兼用でもよい。また、ウェハ搬送パレット５０は、当該部品供給装置の部品搬送パレットと兼用でもよい。こうすると、チップボンディング専用機を配置する場合と比較して、ウェハ供給装置５、ウェハ搬送パレット５０の汎用性が高い。 The type of the chip bonding apparatus 1 is not particularly limited. A die bonding apparatus or a flip chip bonding apparatus may be used. The wafer supply device 5 may also be used as a component supply device for an electronic component mounting machine. Further, the wafer transfer pallet 50 may also be used as the component transfer pallet of the component supply apparatus. In this way, the versatility of the wafer supply device 5 and the wafer transfer pallet 50 is higher than when a dedicated chip bonding machine is arranged.

１：チップボンディング装置、２：ベース、３：モジュール、４：デバイステーブル、５：ウェハ供給装置、９：台車。
３０：基板搬送装置、３１：ロボット、３２：装着ヘッド、３４：カメラ、５０：ウェハ搬送パレット、５１：パレット収容マガジン、５２：マガジン駆動装置、５３：パレット搬送コンベア、５４：ハウジング、５５Ｌ：アーム、５５Ｒ：アーム、６０：ウェハグリップリング、６１：ウェハシート、６２：ウェハ。
３００：固定壁、３０１ｆ：前方可動壁、３０１ｒ：後方可動壁、３０２ｆ：第一バックアップテーブル、３０２ｒ：第二バックアップテーブル、３０３Ｌ：ガイドレール、３０３Ｒ：ガイドレール、３０４ｆ：第一搬送コンベア、３０４ｒ：第二搬送コンベア、３０５：基部、３１０：Ｙ方向スライダ、３１１：Ｘ方向スライダ、３１２：Ｙ方向ガイドレール、３１３：Ｘ方向ガイドレール、３２０：吸着ノズル、５００：廃棄部品置場、５００ａ：第一エリア、５００ｂ：第二エリア、５００ｃ：第三エリア、５０１：ジェル状シート、５１０：ガイドリブ、５２０：モータ、５２１：ボールねじ機構部、５２１ａ：シャフト、５３０：左部、５３１：コンベアベルト、５３２：従動ローラ、５３３：駆動ローラ、５３４：モータ、５４０：パレット搬出口、５４１：ガイドレール、６２０：チップ、６３０：チップ、６４０：チップ。
Ｂ１：第一回路基板（回路基板）、Ｂ２：第二回路基板（回路基板）、Ｆ：床面、Ｌ１：第一レーン、Ｌ２：第二レーン。 1: chip bonding apparatus, 2: base, 3: module, 4: device table, 5: wafer supply apparatus, 9: carriage.
30: Substrate transfer device, 31: Robot, 32: Mounting head, 34: Camera, 50: Wafer transfer pallet, 51: Pallet storage magazine, 52: Magazine drive device, 53: Pallet transfer conveyor, 54: Housing, 55L: Arm 55R: arm, 60: wafer grip ring, 61: wafer sheet, 62: wafer.
300: fixed wall, 301f: front movable wall, 301r: rear movable wall, 302f: first backup table, 302r: second backup table, 303L: guide rail, 303R: guide rail, 304f: first transport conveyor, 304r: Second conveyor, 305: base, 310: Y-direction slider, 311: X-direction slider, 312: Y-direction guide rail, 313: X-direction guide rail, 320: suction nozzle, 500: waste part place, 500a: first Area, 500b: second area, 500c: third area, 501: gel sheet, 510: guide rib, 520: motor, 521: ball screw mechanism, 521a: shaft, 530: left, 531: conveyor belt, 532 : Driven roller, 533: driving roller, 534: motor, 54 : Pallet unloading opening, 541: guide rail, 620: chip, 630: chip, 640: chip.
B1: first circuit board (circuit board), B2: second circuit board (circuit board), F: floor surface, L1: first lane, L2: second lane.

Claims

A wafer provided with a wafer transfer pallet on which a wafer sheet on which a wafer composed of a plurality of divided chips is attached is mounted and a disposal part place for placing the chip to be discarded at a portion other than the mounting position of the wafer sheet is partitioned A feeding device,
The wafer transfer pallet is rectangular, and the wafer is circular.
A wafer supply apparatus in which the wafer is disposed in front and the waste component storage is disposed in the back as viewed from a circuit board to which the chip is mounted.

Furthermore, a pallet storage magazine for storing a plurality of the wafer transfer pallets, a magazine driving device for moving the pallet storage magazine and moving the desired wafer transfer pallet to a predetermined unloading position, and the wafer transfer from the unloading position A pallet conveyor for unloading the pallet,
2. The wafer supply apparatus according to claim 1, wherein the pallet transfer conveyor carries out the wafer transfer pallet so that the wafer is positioned in front of the circuit board and the waste component storage is positioned in the back.

3. The wafer supply apparatus according to claim 1, wherein the waste component storage is divided into a plurality of areas according to the type of the chip to be discarded.

The wafer supply apparatus according to claim 2,
A suction nozzle for sucking and moving the chips from the wafer transport pallet on the pallet transport conveyor;
With
The moving distance on the wafer transfer pallet when the suction nozzle moves to the wafer to suck the chip is the moving distance on the wafer transfer pallet when the suction nozzle moves to the waste component place to discard the chip. A chip bonding apparatus shorter than the moving distance on the wafer transfer pallet.

Furthermore, a camera that images the chip adsorbed to the adsorption nozzle;
A controller that determines the state of the chip from the image of the chip imaged by the camera, and, when the chip is defective, causes the suction nozzle to transport the chip to the waste component storage;
A chip bonding apparatus according to claim 4.