JP2015023253A - ウェハスクライブ用ステージ - Google Patents

Abstract

【課題】 本発明は、薄板状のウェハをスクライブのために載せるウェハスクライブ用ステージに関し、簡易な構造でウェハを容易にスクライブすることのできるウェハスクライブ治具に採用され、ウェハとの間で不用意な擦れが生じることが防止されたウェハスクライブ用ステージを提供する。【解決手段】 ウェハ５０を載せる、ウェハ５０との間の摩擦力を高めるシート材１１１が置かれたウェハ載置部１１ａを有する載置台１１と、ウェハスクライブ用の硬石を先端に備えたスクライブツールが差し込まれる、表裏に貫通して直線状に延びるスリット１２１が形成され、ウェハ載置部１１ａに載せたウェハ５０から離間してウェハ５０に対面し、スリット１２１が延びる方向とは交わる方向にスライド自在に、載置台１１に支持されるガイド板１２とを備えた。【選択図】 図２

Description

本発明は、薄板状のウェハをスクライブのために載せるウェハスクライブ用ステージに関する。

従来より、半導体ウェハをダイシングするダイシング装置について様々な提案がある（例えば特許文献１，２参照）。このダイシング装置はＩＣやＬＳＩといった半導体装置の製造過程において広く用いられている。

特開平０５−２０６２６６号公報 特開平０８−０１７７６５号公報

しかしながら、工業的に用いられているダイシング装置は大がかりな装置であり、小規模な実験室や研究室等には向かない装置である。そのような小規模な実験室や研究室では、例えば半導体ウェハに定規を当てて、先端にダイヤモンドカッタを取り付けたペン形状の治具を用いてスクライブすることが多い。

そのようなダイヤモンドカッタの場合、半導体ウェハに押し当てる角度や押し当ての力を正確に調整する必要があり、これを誤るとスクライブできなかったり、あるいは切断すべきラインから外れた箇所が割れてしまってその大切な半導体ウェハを破壊してしまうおそれがある。すなわち、ペン型の治具で傾き角度や力を正しく調整するにはかなりの熟練を要する。

本発明は、上記事情に鑑み、簡易な構造でウェハを容易にスクライブすることのできるウェハスクライブ治具に採用され、ウェハとの間で不用意な擦れが生じることが防止されたウェハスクライブ用ステージを提供することを目的とする。

上記目的を達成する本発明のウェハスクライブ用ステージは、
ウェハを載せる、ウェハとの間の摩擦力を高めるシート材が置かれたウェハ載置部を有する載置台と、
ウェハスクライブ用の硬石を先端に備えたスクライブツールが差し込まれる、表裏に貫通して直線状に延びるスリットが形成され、ウェハ載置部に載せたウェハから離間してウェハに対面し、スリットが延びる方向とは交わる方向にスライド自在に、載置台に支持されるガイド板とを備えたことを特徴とする。

半導体ウェハに定規を当てるとその半導体ウェハに定規が触れることになる。このため、スクライブの位置を調整しようとして半導体ウェハに触れたまま定規を移動させると半導体ウェハに定規が擦れることになり、半導体ウェハに傷がつくおそれがあり好ましくない。これを避けるには、スクライブ線を形成しようとしている位置に正確に定規を当てる必要があり、作業性が悪い。

本発明のウェハスクライブ用ステージは、ウェハ載置部にウェハとの間の摩擦力を高めるシート材を置いた載置台と、ウェハ載置部に載置されたウェハから離間してウェハに対面し、スライド自在な構成のガイド板を備えたため、ウェハとの間での不用意な擦れを生じさせることなく、定規の代わりとなるガイド板を移動させることができる。

ここで、本発明のウェハスクライブ用ステージにおいて、上記ガイド板が、スリットの両側に形成されてそのスリットと平行に延び、スクライブツールが装着されるツール装着部とツール装着部に装着されたスクライブツールをスリットに差し入れて載置台のウェハに当てたときにガイド板に接してスクライブツールの当て角をあらかじめ定められた角度に規制する一対の脚部とを有するスクライバの、その一対の脚部がそれぞれ入り込んでそれらの脚部それぞれをガイドする一対のガイド溝を有することが好ましい。

この形態のウェハスクライブ用ステージは、スクライブツールが装着されるツール装着部と一対の脚部とを有する支持部材を備えたウェハスクライバとペアになって用いられる。そのウェハスクライバのツール装着部に装着されたスクライブツールはウェハスクライブ用ステージに形成されている上記のスリットに差し入れられてウェハに当てられる。そのとき、上記の一対の脚部は上記の一対のガイド溝にそれぞれ入り込む。これにより、スクライブツールのウェハへの当て角があらかじめ定められた角度に規制されウェハが正しくスクライブされる可能性が大きく上昇する。

また、本発明のウェハスクライブ用ステージにおいて、上記載置台が、正方形の板形状を有し、上記ガイド板が、その載置台の互いに平行に延びる２つの辺にガイドされながらスライドするものであることが好ましい。

この形態のウェハスクライブ用ステージを採用すると、ウェハを載置した状態のまま、ウェハを正確に縦横にスクライブすることが可能である。

さらに、本発明のウェハスクライブ用ステージにおいて、上記載置台が、ウェハ載置部を除く部分からなる基台を備え、上記ウェハ載置部が、そのウェハ載置部に載せたウェハに対する垂線の回りに回転自在に基台に支持され、ユーザの操作を受けて回転するものであることも好ましい態様である。

この形態のウェハスクライブ用ステージを採用すると、ウェハを載置してからスクライブの向きを調整することができる。

以上の本発明によれば、ウェハとの間で不用意の擦れが生じることが防止され、作業性の高いウェハスクライブ用ステージが提供される。

本発明の第１実施形態としてのウェハスクライブ用ステージを採用したウェハスクライブ治具の使用法を示す図である。 ステージを構成する載置台およびガイド板の分解斜視図である。 載置台をその端面形状が分かる角度から見た斜視図である。 ガイド板の一方の端部の側面図である。 ガイド板のもう一方の端部の側面図である。 ガイド板の、図５と同じ側の端部の平面図である。 操作部材を矢印Ｆ方向に引いたときのガイド板の、図５，図６と同じ側の端部を示す平面図である。 載置台とその載置台に支持された状態のガイド板とからなるステージの断面図である。 ステージの平面図である。 ステージの平面図である。 ウェハスクライバの側面図である。 ウェハスクライブ治具の付属品を示した図である。 ツール装着部へのスクライブツールの装着方法を示した図である。 ツール装着部へのスクライブツールの装着方法を示した図である。 差し込まれたスクライブツールを示した図である。 本発明の第２実施形態のウェハスクライブ用ステージを採用したウェハスクライブ治具の斜視図である。 図１６に示す矢印Ｘ−Ｘに沿う断面を示す斜視図である。 図１６に示す矢印Ｙ−Ｙに沿う断面を示す正面図である。

以下、本発明の実施の形態を説明する。

図１は、本発明の第１実施形態としてのウェハスクライブ用ステージを採用したウェハスクライブ治具の使用法を示す図である。

このウェハスクライブ治具１は、ステージ１０とウェハスクライバ２０を有する。ステージ１０は、本発明のウェハスクライブ用ステージの一例に相当する。

ステージ１０は、載置台１１とガイド板１２を有し、ガイド板１２には、スリット１２１と、その両側に一対のガイド溝１２２が形成されている。載置台１１の上には後述するウェハが載せられ、その上に、そのウェハと対面するようにガイド板１２が置かれる。

ウェハスクライバ２０は、支持部材２１と操作部材２２を有する。支持部材２１には、スクライブツール３０が装着されるツール装着部２１１と一対の脚部２１２とを有する。操作部材２２は、その先端で支持部材２１１を支持して棒状に延びるペン形状の部材である。この操作部材２２の先端部にはコイルばね２１３が備えられている。

このウェハスクライバ２０は、操作部材２２を図１に示すように手で持ち、この図１に示すようにスクライブツール３０をスリット１２１に差し込み、一対の脚部２１２を一対のガイド溝１２２に差し入れる。これにより、スクライブツール３０のウェハに対する当て角が一義的に決定される。こうしておいて、操作部材２２を矢印Ａ方向に斜め下向きに押す。すると、その押圧力は、コイルばね２１３を介して支持部材２１に伝えられ、スクライブツール３０がウェハに押し当てられる。そしてそのまま操作部材２２が後方（矢印Ｂ方向）に引かれる。この操作により、載置台１１の上に置かれたウェハがスクライブされる。

以下、各部材について詳細に説明する。

図２は、ステージを構成する載置台およびガイド板の分解斜視図である。この図２には、ウエハ５０も示されている。

本実施形態におけるステージ１０は、載置台１１およびガイド板１２の双方とも、それらの基体はアクリル製である。ただしその材質はアクリル製に限られるものではなく、本発明はその材質の如何を問うものではない。

載置台１１は、その上面中央部分にウェハ５０が載置されるウェハ載置部１１ａを有する。このウェハ載置部１１ａには、ゴム製のシート材１１１が貼り付けられている。このシート材１１１はその上に載せられたウェハ５０との間の摩擦力を高めてウェハ５０を滑り難くするためのものである。また、この載置台１１には、ガイド板１２のスライド位置を測定するための目盛り１１ｂが形成されている。このガイド板１２には、載置台１１に対し縦と横の双方に装着することができるため（図９，図１０参照）、目盛り１１ｂも縦と横の双方に形成されている。

図３は、載置台１１をその端面形状が分かる角度から見た斜視図である。

この載置台１１は、正方形の板形状を有し、その正方形の４辺に相当する４つの側面のいずれにも、ガイド板１２をスライド自在に支持するための支持溝１１ｃが形成されている。

図２に戻って説明を続ける。

ガイド板１２には、上述したように、スリット１２１と、一対のガイド溝１２２を有する。

スリット１２１は、表裏に貫通していて、スクライブツール３０（図１参照）が差し入れられる長孔である。

また、一対のガイド溝１２２は、スリット１２１の両側に形成されていて、そのスリット１２１と平行に延びる２本の溝である。これら一対のガイド溝１２２には、図１に示すように、ウェハスクライバ２０を構成する支持部材２１の一対の脚部２１２が入り込む。

また、このガイド板１２には、その左右両端部に、載置台１１の支持溝１１ｃに嵌り込む、断面山形の押えアーム１２３ａ，１２３ｂが備えられている。

図４は、ガイド板の一方の端部の側面図である。

ここには、左右両端部の押えアーム１２３ａ，１２３ｂのうちの一方の押えアーム１２３ａが示されている。

この押えアーム１２３ａは、支持ブロック１２９ａにネジ止め固定され、その支持ブロック１２９ａが、ガイド板１２の本体部１２Ａにネジ止め固定されている。

図５は、ガイド板のもう一方の端部の側面図である。

また、図６は、ガイド板の、図５と同じ側の端部の平面図である。

図５，図６に示す端部には押えアーム１２３ｂと、その押えアーム１２３ｂに固定された把手１２４が備えられている。

ガイド板１２の本体部１２Ａには支持ブロック１２９ｂがネジ止め固定され、押えアーム１２３ｂと把手１２４は、その支持ブロック１２９ｂに、図示の矢印Ｅ−Ｆ方向にスライド自在に支持されている。また、ここには、図６に示すように圧縮ばね１２５が配置されており、押えアーム１２３ｂと把手１２４は、その圧縮ばね１２５により、矢印Ｅ方向に付勢され、ストッパとして作用するねじ１２６の頭部が支持ブロック１２９ｂに当接している。

図７は、操作部材を矢印Ｆ方向に引いたときのガイド板の、図５，図６と同じ側の端部を示す平面図である。

把手１２４を矢印Ｆ方向に引くと、圧縮ばね１２５がさらに縮まり、押えアーム１２３ｂがＦ方向に移動する。これにより図４に示す押えアーム１２３ａと、図５〜図７に示す押えアーム１２３ｂとの間の距離が広がり、載置台１１の、互いに平行に延びる２つの側面の支持溝１１ｃに、押えアーム１２３ａ，１２３ｂを容易に嵌め込むことができる。また、嵌め込んだ後、把手１２４を矢印Ｆ方向に引いたまま、載置台１１に対しガイド板１２をスライドさせることができる。把手１２４から指を離すと、圧縮ばね１２５の作用により、押えアーム１２３ｂが矢印Ｅ方向に移動し、ガイド板１２が、両側の押えアーム１２３ａ，１２３ｂで載置台１１を両側から挟んだ状態に、載置台１１に支持される。

図８は、載置台とその載置台に支持された状態のガイド板とからなるステージの断面図である。ここには、ウェハ５０も示されている。

上述の通り、ガイド板１２は、その両側の押えアーム１２３ａ，１２３ｂで載置台１１を両側から挟んだ状態に、載置台１１に支持されている。このガイド板１２は、把手１２４を図７に示す矢印Ｆ方向に引くことにより、載置台１１に対し図８の紙面に垂直な方向にスライド自在となっている。

載置台１１のウェハ載置部１１ａにはゴム製のシート材１１１が貼られており、そのシート材１１１の上にウェハ５０が置かれている。ガイド板１２は、載置台１１の上に置かれたウェハ５０と対面する位置に置かれている。ここで、このガイド板１２は、載置台１１側を向いた面であって、その面の、ウェハ載置部１１ａに対面した領域に、窪み１２８を有する。これにより、このガイド板１２は、ウェハ載置部１１ａに載せたウェハ５０から離間した状態に、ウェハ５０と対面している。このガイド板１２は、その窪み１２８以外の領域では載置台１１に接している。

ウェハ載置部１１ａに載置されているウェハ５０は、図１に示すようにしてスクライブされ、その際に図１に示す矢印Ｂ方向の力を受けるが、ウェハ載置部１１ａにはシート材１１１が貼られているため摩擦力が大きく、ウェハ５０が動いてしまうことはない。

また、ガイド板１２には、上記の窪み１２８が形成されているため、このガイド板１２を載置台１１に対しスライドさせても、ウェハ５０が移動したり、ウェハ５０の表面が擦れることもない。

図９，図１０は、ステージの平面図である。

図９では、ガイド板１２が、載置台１１に、横に延びる姿勢に支持されている。

図１０では、ガイド板１２は、載置台１１に、縦に延びる姿勢に支持されている。

この図１０は、図９のステージ１０の全体を９０°回転させたのではなく、載置台１１の向きは動かさずに、ガイド板１２を載置台１１から一旦取り外し、９０°向きを変えて再び載置台１１に取り付けた状態の図である。

本実施形態のステージ１０は、載置台１１が正方形に形成されており、支持溝１１ｃ（図３，図８参照）が４つの側面それぞれに形成されているため、図９，図１０に示すように、ガイド板１２を縦横いずれの向きにも取り付けることができる。

したがって、本実施形態のステージ１０を使えば、ウェハ載置部１１ａに載置されたウェハ５０を動かすことなく、そのウェハ５０を縦横にスクライブし、矩形のチップ形状に切断することができる。

次に、ウェハスクライバ２０について説明する。

図１１は、ウェハスクライバの側面図である。

図１１（Ａ）は力が加えられていない状態を示しており、図１１（Ｂ）は、矢印Ａ方向（図１を合わせて参照）に力が加えられてコイルばね２３が縮んだ状態を示している。

このウェハスクライバ２０は、図１にも示したように、支持部材２１と操作部材２２を有する。支持部材２１には、スクライブツール３０が図１に示すように装着される。スクライブツール３０およびその装着方法についての詳細は後述する。

また支持部材２１には、一対の脚部２１２が設けられている。ただし、この図１１においては、ウェハスクライバ２０を側方から見ているため、一対の脚部２１２のうちの一方しかあらわれていない。上述の通り、これら一対の脚部２１２は、ステージ１０を構成するガイド板１２の、一対のガイド溝１２２にそれぞれ入り込む。

操作部材２２は、支持部材２１を一端側に支持して棒状に延びる部材であり、図１に示すように、支持部材２１をスライドさせる操作を受ける部材である。この操作部材２２には、滑り止め用のゴム筒２２１が装着されている。

この操作部材２２と支持部材２３との間にはコイルばね２３が介在している。

このコイルばね２３は、このウェハスクライバ２０を図１に示すようにして使用する際にＡ方向に押されると、図１１（Ｂ）に示すように縮み、そのコイルばね２３の弾性力を介して支持部材２１に押圧力が伝えられる。

また、このコイルばね２３を図１１（Ｂ）に示すように縮めると、支持部材２１と操作部材２２との間にガタを持ち、支持部材２１を固定したまま操作部材２２を上下方向や紙面に垂直な方向に傾けることができる。したがって図１に示すようにしてウェハ５０を切断する際に操作部材２２が多少傾いても、スクライブツール３０のウェハ５０への当て角に影響はなく、一定角度に保たれる。

図１２は、ウェハスクライブ治具の付属品を示した図である。

ここには２種類のスクライブツール３０ａ，３０ｂが示されている。これらのスクライブツール３０ａ，３０ｂはいずれも棒形状を有する。

これら２種類のスクライブツール３０ａ，３０ｂのうちの一方のスクライブツール３０ａには、その先端３０１ａの、周回方向３箇所に、ウェハスクライブ用の硬石であるダイヤモンド（図示せず）が備えられている。また、このスクライブツール３０ａの棒形状の側面には、周回方向３箇所に平面部３０３ａが形成されている。ここで、先端３０１ａの周回方向３箇所に備えられているダイヤモンドと、側面の周回方向３箇所に形成されている平面部３０３ａは、いずれかの平面部３０３ａを上に向けると、その上を向いた平面部３０３ａに対応するダイヤモンドが下向きに位置するように、その位置が定められている。

また、上記の２種類のスクライブツール３０ａ，３０ｂのうちのもう一方のスクライブツール３０ｂには、ウェハスクライブ用の硬石であるダイヤモンドが、その先端３０１ｂの、周回方向４箇所に備えられている。

また、このスクライブツール３０ｂは、その側面が４つの平面部３０３ｂで構成された４角柱の形状となっている。ここで、このスクライブツール３０ｂにおいても、先端３０１ｂの周回方向４箇所に備えられているダイヤモンドと側面の周回方向４つの平面部３０３ｂは、いずれかの平面部３０３ｂを上に向けるとその上を向いた平面部３０３ｂに対応するダイヤモンドが下向きとなるように構成されている。

また、これら２種類のスクライブツール３０ａ，３０ｂは市販品であり、互いに長さが異なっている。そこで、ここには、さらに付属品として、各スクライブツール３０ａ，３０ｂに合わせて長さが互いに異なる２つの当て部材３１ａ，３１ｂが備えられている。これらの当て部材３１ａ，３１ｂには雄ねじ３１１ａ，３１１ｂが形成されている。

図１３，図１４は、ツール装着部へのスクライブツールの装着方法を示した図である。

ツール装着部２１１には、その前端２１１ａ（図１４参照）と後端２１１ｂ（図１３参照）とに貫通する貫通孔２１１ｄが形成されており、その後端２１１ｂ側には、当て部材３１ａ，３１ｂ（図１２参照）の雄ねじ３１１ａ，３１１ｂと螺合する雌ねじ２１１ｅが形成されている。

ツール装着部２１１に、図１２に示すスクライブツール３０ａ，３０ｂのいずれかを装着しようとするときは、装着しようとするスクライブツール（ここではスクライブツール３０ａとする）に適合した当て部材（ここでは当て部材３１ａ）が、図１３に示すようにツール装着部２１１の後端２１１ｂからその貫通孔２１１ｄにねじ込まれる。

次に、図１４に示すようにそのツール装着部２２１の先端２１１ａから、スクライブツール３０ａが差し込まれる。

図１５は、差し込まれたスクライブツールを示した図である。

スクライブツール３０ａを貫通孔に差し込むにあたっては、図１４に示すように、そのスクライブツール３０ａのいずれかの平面部３０３ａを上向きとした姿勢で差し込まれ、かつ、図１５に示すように、そのスクライブツール３０ａの後端３０２ａが、貫通孔２１１ｄ（図１２，図１３参照）の後端からねじ込まれている当て部材３０ａに突き当たるまで差し込まれる。このツール装着部２１１には、止めねじ２１１ｃが備えられており、スクライブツール３０ａを差し込んだ後、この止めねじ２１１ｃを回してスクライブツール３０ａを抜け止めする。このとき、平面部３０３ａが上向きとなっていることから、止めねじ２１１ｃの先端は平面部３０３ａに押し当てられる。その平面部３０３ａが仮に上向きから少し斜めに向いていても止めねじ２１１ｃの先端がその平面部３０３ａに押し当てられると、その平面部３０３ａが止めねじ２１１ｃを向くように回転し、平面部３０３ａが上向き（止めねじ２１１ｃの向き）となる。

このようにしてスクライブツール３０ａを装着すると、スクライブツール３０ａは、その先端３０１ａに備えられたダイヤモンドがウェハ５０に接する姿勢となっている。このように、本実施形態によれば、スクライブツール３０ａの先端３０１ａに備えられたダイヤモンドの向きを、容易にかつ正確に、載置台１１上のウェハ５０に当たる向きに調整することができる。

また、スクライブツール３０ａをこのようにして装着すると、スクライブツール３０ａの突出量、すなわちスクライブツール３０ａの先端３０１ａの位置が一義的に定まる。したがってこのスクライブツール３０ａ（スクライブツール３０ａ，３０ｂを代表させて図１ではスクライブツール３０と称している）をガイド板１２のスリット１２１に差し込み、かつ一対の脚部２１２を一対のガイド溝１２２に差し入れたときに、スクライブツール３０ａの、ウェハ５０（図２参照）への当て角が、あらかじめ定められた角度に一義的に決定される。すなわち、一対の脚部２１２は、一対のガイド溝１２２にそれぞれ入り込んで、ツール装着部２１１に装着されたスクライブツール３０をスリット１２１に差し入れて載置台１１上のウェハ５０に当てたときのスクライブツール３０の当て角をあらかじめ定められた角度に規制する役割を担っている。

このウェハスクライバ２０を使ってウェハ５０をスクライブするにあたっては、図１に示すように、操作部材２２の、支持部材２１を支持する前端側を斜め下向きにした姿勢で、ツール装着部２１１に装着されたスクライブツール３０の先端を載置台１１上のウェハ５０に押し当てるように支持部材２１を斜め下向き（矢印Ａ方向）に押す。そしてその押した状態のまま操作部材２２を後方（矢印Ｂ方向）に引く。この操作により載置台１１上のウェハ５０がスクライブされる。

この際、スクライブツール３０のウェハ５０への当て角がスクライブに最適な角度に一義的に調整されているため、初心者であってもウェハ５０を容易にスクライブすることができる。

図１６は、本発明の第２実施形態のウェハスクライブ用ステージを採用したウェハスクライブ治具の斜視図である。

また、図１７は、図１６に示す矢印Ｘ−Ｘに沿う断面を示す斜視図である。

さらに、図１８は、図１６に示す矢印Ｙ−Ｙに沿う断面を示す正面図である。

図１６〜図１８に示すウェハスクライブ治具１’は、図１に示すウェハスクライブ治具１と同様、ステージ１０’とウェハスクライバ２０とを有する。ウェハスクライバ２０については、図１に示すウェハスクライバ２０と同一であり、ここでの説明は省略する。

また、ステージ１０’は、これも前述の第１実施形態のステージ１０と同様、載置台１１’とガイド板１２とを有する。ガイド板１２については、前述の第１実施形態のステージ１０を構成するガイド板１２と同一であり、ここでの説明は省略する。

以下では、この第２実施形態のステージ１０’の、第１実施形態のステージ１０と相違する要素である、載置台１１’について説明する。

この載置台１１’は、基台１１２とウェハ載置台１１３を有する。

基台１１２は、その中央に円形の溝１１２ａを有する。また、ウェハ載置台１１３は、円盤形状を有し、その円形の溝１１２ａ内に配置されている。このウェハ載置台１１３は、本発明にいうウェハ載置部の一例に相当する。このウェハ載置台１１３の上面には、ウェハとの間の摩擦力を上げるためのゴム製のシート材１１１が貼付されている。

また、この基台１１２は、操作子１１４とギア列１１５を備えている。操作子１１４は、その一部が基台１１２の１つの側面から食み出た位置に配置され、操作者による回転操作を受ける操作子である。

操作子１１４が回転操作を受けると、その操作子１１４の回転がギア列１１５を構成するギア１１５ａ，１１５ｂ、１１５ｃ、１１５ｄを経由してウエハ載置台１１３に伝達され、ウエハ載置台１１３が、その上面に垂直な回転軸の回りに回転する。

したがって、この第２実施形態のステージ１０’を使用すると、ウェハ載置台１１３上にウェハ５０（図２参照）を置いた後、ウェハ５０を目的の姿勢に回転させてスクライブすることができる。

この回転角度の視認の便宜のために、このステージ１０’の基台１１２には、円形の溝１１２ａの周りに角度目盛り１１２ｂが刻設されている。

この第２実施形態のステージ１０’の場合、基台１１２の１つの側面に操作子１１４が配置されているため、ガイド板１２を支持するための支持溝１１２ｃは、２辺にしか設けられていない。これに対応して、基台１１２上の、ガイド板１２のスライド位置の測定のための目盛り１１２ｄは、そのガイド板１２のスライド方向にのみ設けられている。この第２実施形態の場合、前述の第１実施形態のようにガイド板１２を縦横に取り付ける（図９，図１０参照）ことはできないが、操作子１１４を備えてウェハ載置台１１３を回転可能としたことにより、９０°回転させることで、ウェハ５０を縦横にスクライブすることも可能である。

この第２実施形態のステージ１０’の場合も、ガイド板１２は、ウェハ載置台１１３の上に載置されたウェハ５０とは非接触であって、ガイド板１２をスライドさせてもウェハ５０が動いたりその表面に傷をつけるおそれはない。

上述の第１実施形態又は第２実施形態のステージ１０，１０’を採用すると、例えば図１２〜図１５を参照して説明したウェハスクライバ２０を用いて、ウェハ５０を容易にかつ正確にスクライブすることができる。

１，１’ ウェハスクライブ治具
１０，１０’ ステージ
１１，１１’ 載置台
１０ａ，１１ａ ウェハ載置部
１１ｂ 目盛り
１１ｃ 支持溝
１２ ガイド板
１２Ａ 本体部
２０ ウェハスクライバ
２１ 支持部材
２２ 操作部材
２３ コイルばね
３０，３０ａ，３０ｂ スクライブツール
３１ａ，３１ｂ 当て部材
５０ ウェハ
１１１ シート材
１１２ 基台
１１２ａ 溝
１１２ｂ 角度目盛り
１１２ｃ 支持溝
１１２ｄ 目盛り
１１３ ウェハ載置台
１１４ 操作子
１１５ ギア列
１１５ａ，１１５ｂ，１１５ｃ，１１５ｄ ギア
１２１ スリット
１２２ ガイド溝
１２３ａ，１２３ｂ 押えアーム
１２４ 把手
１２５ 圧縮ばね
１２６ ねじ
１２８ 窪み
１２９ａ，１２９ｂ 支持ブロック
２１１ ツール装着部
２１１ａ 前端
２１１ｂ 後端
２１１ｃ 止めねじ
２１１ｄ 貫通孔
２１１ｅ 雌ねじ
２１２ 脚部
２１３ コイルばね
２２１ ゴム筒
３０１ａ，３０１ｂ 先端
３０２ａ 後端
３０３ａ，３０３ｂ 平面部
３１１ａ，３１１ｂ 雄ねじ

Claims (5)

1. ウェハを載せる、該ウェハとの間の摩擦力を高めるシート材が置かれたウェハ載置部を有する載置台と、
   ウェハスクライブ用の硬石を先端に備えたスクライブツールが差し込まれる、表裏に貫通して直線状に延びるスリットが形成され、前記ウェハ載置部に載せたウェハから離間して該ウェハに対面し、該スリットが延びる方向とは交わる方向にスライド自在に、該載置台に支持されるガイド板とを備えたことを特徴とするウェハスクライブ用ステージ。
2. 前記ガイド板が、前記スリットの両側に形成されて該スリットと平行に延び、前記スクライブツールが装着されるツール装着部と該ツール装着部に装着されたスクライブツールを前記スリットに差し入れて前記載置台のウェハに当てたときに該ガイド板に接して該スクライブツールの当て角をあらかじめ定められた角度に規制する一対の脚部とを有するスクライバの、該一対の脚部がそれぞれ入り込んで該一対の脚部それぞれをガイドする一対のガイド溝を有することを特徴とするウェハスクライブ用ステージ。
3. 前記載置台が、正方形の板形状を有し、
   前記ガイド板が、前記載置台の互いに平行に延びる２つの辺にガイドされながらスライドするものであることを特徴とする請求項１又は２記載のウェハスクライブ用ステージ。
4. 前記載置台が、前記ウェハ載置部を除く部分からなる基台を備え、
   前記ウェハ載置部が、該ウェハ載置部に載せたウェハに対する垂線の回りに回転自在に該基台に支持され、ユーザの操作を受けて回転するものであることを特徴とする請求項１から３のうちいずれか１項記載のウェハスクライブ用ステージ。
5. 前記載置台が、前記ウェハ載置部の回転軸と平行な回転軸の回りに回転自在に前記基台に支持されて該基台の側面から一部が覗き、ユーザによる回転操作を受けて該回転操作を該ウェハ載置部に伝える操作子を備えたことを特徴とする請求項４記載のウェハスクライブ用ステージ。

Images