JP2015021778A - 被検査物の検査方法及びその検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】短時間で、かつ、高精度に検査することのできる被検査物の検査方法及びその検査装置の提供を目的とする。
【解決手段】検査装置１ｂは、気体供給手段２、チャンバ３ａ、検出気体用収納部４及び光学的検出手段５ｂを備え、被検査物１０の欠陥部からチャンバ３ａ内の空間に流動体が漏れ出ると、漏れ出た流動体１２の容積に応じて、検出気体用収納部４にチャンバ３ａ内の気体１３が流入し、流入した気体１３の容積に応じて、検出気体用収納部４から検出用気体１４が押し出され、光学的検出手段５ｂが押し出された検出用気体１４を検出する構成としてある。
【選択図】 図３

Description

本発明は、被検査物の検査方法及びその検査装置に関し、特に、容器などの被検査物の漏洩に関する欠陥を、短時間で、かつ、高精度に検査することのできる被検査物の検査方法及びその検査装置に関する。

従来、内容物の漏洩防止、劣化防止、安全性の確保等が要求される食品、薬品、化粧品などは、容器に密閉されてきた。また、前記容器に対して、ピンホールやクラックなどの欠陥を検出するために、欠陥検査が行われてきた。
このような欠陥検査の技術分野においては、検査精度や検査効率などの向上を目的として、様々な技術が提案されている。

たとえば、特許文献１には、透光窓を有する気密性とした閉空間形成部材内に、被検査包装体を入れ、閉空間形成部材内を減圧吸引して、被検査包装体からの気流噴出状態をシャドウグラフ法、シュリーレン法等によって光学的に観測して検査することを特徴とする密封容器等の不良検査方法が開示されている。

また、特許文献２には、検査対象である密封体を覆うための容器と、前記容器の内部空間の気体に特定のガスが含まれているかどうかを分析するためのガス分析部とを有し、前記容器の内部には、前記検査対象を圧迫するための弾性体が配置され、該弾性体は通気性を有し、前記検出対象から押し出された前記ガスは前記弾性体を通過して前記ガス分析部に到達する構成であることを特徴とする漏れ検査装置が開示されている。

また、特許文献３には、袋状容器の漏れを検査する方法において、上記袋状容器の開口にノズルを差し込み、上記ノズルの差し込み状態で、上記袋状容器の開口縁部を一対のシール部材により挟圧することにより、上記ノズルと袋状容器との間をシールし、上記シール状態で、上記ノズルに接続された圧縮気体供給経路から、上記ノズルを介して上記袋状容器に圧縮気体を供給し、この圧縮気体供給経路での圧力または流量を検出することにより、袋状容器の漏れの有無の情報を得ることを特徴とする袋状容器の漏れ検査方法が開示されている。

さらに、特許文献４には、所定の密閉性を要求される被検査物のリークの有無を判断するリークの検査方法であって、被検査物から流出又は被検査物へ流入する気体の流量を測定し、被検査物のリークの有無を判断することを特徴とするリーク検査方法が開示されている。
また、このリーク検査方法は、上記被検査物との間に気体が流通しうるように配置された基準容器を備え、被検査物と基準容器との間の気体の移動の有無及び移動方向を流量計により計測し、被検査物のリークの有無を検査することをも特徴としている。

特開昭６３−２７３０３１号公報 特開２００４−２５７９１７号公報 特開２０１３−２８１２号公報 特開平１０−１８５７４９号公報

しかしながら、上述した特許文献１の密封容器等の不良検査方法によれば、不良箇所が被検査包装体の陰になる位置にある場合、検出できない可能性があり、確実な不良検査ができないといった問題があった。
また、特許文献２の漏れ検査装置によれば、密封体から漏洩した特定のガスがガス分析部に到達するまでの時間が必要であり、検査時間を短縮することができないといった問題があった。また、ヘリウムガスなどの特定のガスが必要であり、ランニングコストを削減することができないといった問題があった。
さらに、特許文献３の袋状容器の漏れ検査方法や特許文献４のリーク検査方法によれば、流量や圧力を検出することにより検査を行っているが、漏れ量が微量である場合、検査精度を向上させることができないといった問題があった。
近年においては、環境低負荷、低コストの製品が求められており、製品に使用する材料の薄肉化が進んでいる。一方で、欠陥品の検査においては、短時間に高精度な検査が求められており、未だ十分に満足する検査方法は得られていない。

本発明は、上記事情に鑑み提案されたものであり、短時間で、かつ、高精度に検査することのできる被検査物の検査方法及びその検査装置の提供を目的とする。

上記目的を達成するため、本発明の被検査物の検査方法は、被検査物の欠陥部の有無を検査する方法において、前記被検査物の検査対象部分を、所定の閉空間を形成するための閉空間形成部材にて覆う工程と、気体検出手段にて前記欠陥部の有無を判別する工程とを有し、前記閉空間形成部材と前記気体検出手段の間に連通して設けられた検出気体用収納部に、検出用気体が収納されている方法としてある。

また、本発明の被検査物の検査装置は、被検査物の少なくとも一部を覆う所定の閉空間を形成するための閉空間形成部材と、前記閉空間形成部材と接続され、内部に検出用気体を収納する検出気体用収納部と、前記検出用気体を検出する気体検出手段とを備えた構成としてある。

本発明の被検査物の検査方法及びその検査装置によれば、被検査物の欠陥部からの微少な漏洩であっても、短時間で、かつ、高精度に検査することができる。
また、被検査物の検査対象部分を閉空間形成部材にて覆うことで、不良箇所が特定されない場合であっても、被検査物を検査することができる。
また、特別な検査用気体を必要としないので気体選定の自由度が大きく、設備投資コストが抑えられる。さらに、万一、被検査物内に有害な物質を含んでいたとしても、検査装置の外部に漏れ出るまえに欠陥部の有無が検出できるので、安全に検査をすることができる。

図１は、本発明の第一実施形態にかかる検査装置の概略図を示している。 図２は、本発明の第二実施形態にかかる検査装置の概略図を示している。 図３は、本発明の第三実施形態にかかる検査装置の概略図を示している。 図４は、本発明の第四実施形態にかかる検査装置の概略図を示している。 図５は、本発明の第五実施形態にかかる検査装置の概略図を示している。

本発明の検査方法は、欠陥部から漏れ出た流動体の容積に応じて所定の空間内から気体が流出し、前記所定の空間の外に設けた検出用気体を押し出すことが特徴であって、短時間に高精度な検査を可能とする。
また、本発明の検査方法に用いる被検査物は、多様な形状に対応できる。形状に特に制限はないが、例えば、フィルム状、コップ状、カップ状、筒状、袋状などがある。用途としては、タンク、フィルム、蓋、容器などがあり、特に、空容器に用いることが好適である。
以下に具体的な実施形態を示すが、本発明の検査方法及び検査装置は、これらに限定されない。

［被検査物の検査方法及びその検査装置の第一実施形態］
図１において、本実施形態の被検査物の検査装置１（適宜、検査装置１と略称する。）は、気体供給手段２、閉空間形成部材３、検出気体用収納部４及び気体検出手段５などを備えた構成としてある。この検査装置１は、被検査物１０を部分的に検査し、ピンホールなどの漏洩の原因となる欠陥を検査する。

（気体供給手段）
気体供給手段２は、被検査物１０に検査用の気体１１を供給する手段であり、本実施形態では、検査用の気体１１として清浄な空気を使用している。この検査用の気体１１は、通常、気体供給手段２からバルブ付きチューブやジョイント（図示せず）などを介して、被検査物１０の内部に供給される。
なお、清浄な空気とは、フィルターなどにより、ほこり等が除去された空気をいう。
また、気体供給手段２としては、通常、オイルレスコンプレッサーや送風機、圧縮気体などが挙げられる。

（閉空間形成部材）
閉空間形成部材３は、被検査物１０の外側の一部を覆う形状（たとえば、底板のない箱形状や、被検査物がカップ状の場合は板形状）としてあり、閉空間形成部材３と被検査物１０との間に、所定の閉空間を形成するための部材である。また、閉空間形成部材３は、所定の閉空間内に気体（適宜、閉空間形成部材３内の気体と呼称する。）を有している。この閉空間形成部材３は、検査する際、被検査物１０に押し付けられるので、閉空間形成部材３内の気体は、通常、被検査物１０の周囲の空気である。また、閉空間形成部材３は、通常、バルブ付きチューブなどを介して検出気体用収納部４と接続されている。ここで、上記のバルブ付きチューブは、閉空間形成部材３に含まれる。
なお、閉空間形成部材３は、被検査物１０と接触する部分に環状のガスケット（図示せず）などを有しており、被検査物１０と閉空間形成部材３との隙間によって、外気と閉空間形成部材３内の気体とが連通するなどという不具合を防いでいる。
また、閉空間形成部材３の形状は、被検査物１０の形状などに応じて、適宜、設定される。

（検出気体用収納部）
検出気体用収納部４は、内部に検出用気体を収納するものであり、気体検出手段５と直接的に連通している。なお、検出用気体については後述する。
ここで、被検査物１０にピンホールなどの欠陥（図示せず）があると、この欠陥から検査用の気体１１が漏れ出る。なお、本実施形態では、検査用の気体１１が漏れ出るが、被検査物１０によっては、被検査物１０の内容物が漏れ出る場合もあることから、漏れ出たものを、適宜、漏れ出た流動体１２と呼称する。
そして、被検査物１０から流動体（漏れ出た流動体１２）が漏れ出ると、検出気体用収納部４は閉空間形成部材３と直接的に連通しているので、漏れ出た量に応じて、かつ、漏れ出た直後に、閉空間形成部材内の気体１３（本実施形態では、閉空間形成部材３と検出気体用収納部４とを接続するチューブの先端付近の気体）が、検出気体用収納部４内に流入する。これにより、上述した特許文献２の漏れ検査装置のように、密封体から漏洩した特定のガスがガス分析部に到達するまでの時間を必要としないので、検査時間を短縮することができる。

（気体検出手段）
気体検出手段５は、検出用気体を検出する手段であり、通常、後述する光学的検出手段５ｂが用いられる。ただし、気体検出手段５は、光学的検出手段５ｂに限定されるものではなく、たとえば、圧力計や流量計、ガス検知器などを用いてもよい。
なお、気体検出手段５として、光学的検出手段５ｂが用いられる場合、検出用気体は、後述するように、光学的検出手段５ｂの内部の雰囲気と屈折率が異なる気体である。また、気体検出手段５として、圧力計や流量計が用いられる場合、検出用気体は、通常、空気であり、ガス検知器を用いる場合は、該ガス検知器により検知可能な気体である。

ここで、被検査物１０から漏れ出た流動体１２（本実施形態では、検査用の気体１１）が漏れ出ると、上述したように、閉空間形成部材内の気体１３が、検出気体用収納部４内に流入する。そして、気体検出手段５は検出気体用収納部４と直接的に連通しているので、検出気体用収納部４内に流入した閉空間形成部材３内の気体１３の量に応じて、かつ、流入した直後に、検出気体用収納部４内の気体（本実施形態では、検出気体用収納部４と気体検出手段５とを接続するチューブの先端付近の検出用気体）が、気体検出手段５内に流入する。なお、図１において、気体検出手段５内に流入した気体を、検出用気体１４で示してある。
これにより、上述した特許文献２の漏れ検査装置のように、密封体から漏洩した特定のガスがガス分析部に到達するまでの時間を必要としないので、検査時間を短縮することができる。
なお、検査装置１は、一般的に、自動検査装置として実用化されるので、気体検出手段５は、気体検出手段５内に流入した検出用気体１４を検出した旨の信号を入力して、欠陥の有無を判定するコンピュータなどからなる判定手段（図示せず）を有している。

次に、上記構成の検査装置１の動作、及び、本実施形態の被検査物の検査方法などについて説明する。
本実施形態の被検査物の検査方法は、被検査物１０の欠陥部（図示せず）の有無を検査する方法としてあり、被検査物１０の検査対象部分を閉空間形成部材３にて覆う工程と、被検査物１０に圧力を付与し、気体検出手段５にて欠陥部の有無を判別する工程とを有し、閉空間形成部材３と気体検出手段５の間に連通して設けられた検出気体用収納部４に、検出用気体１４が収納されている。
すなわち、まず、検査装置１は、図１に示すように、気体供給手段２がバルブ付きチューブを介して被検査物１０と連通され、閉空間形成部材３が被検査物１０に押し付けられ、被検査物１０の一部を覆う。

次に、検査装置１は、バルブが開かれ、被検査物１０の内部に検査用の気体１１を供給する。これにより、被検査物１０の内部は、外気に対して陽圧となり、被検査物１０の検査対象部分に対して圧力が付与される。

そして、被検査物１０にピンホールなどの漏洩の原因となる欠陥部があると、被検査物１０の欠陥部から閉空間形成部材３内の空間に流動体（気体）が漏れ出て、漏れ出た流動体１２によって閉空間形成部材３内の気体が増加する。これにより、漏れ出た流動体１２の容積に応じて、かつ、欠陥部から流動体が漏れ出た直後に、検出気体用収納部４に閉空間形成部材内の気体１３が流入する。

次に、検出気体用収納部４に流入した閉空間形成部材内の気体１３の容積に応じて、かつ、閉空間形成部材内の気体１３が流入した直後に、検出気体用収納部４から気体検出手段５に検出用気体１４が押し出され、気体検出手段５が、押し出された検出用気体１４を検出する。
続いて、検査装置１は、気体検出手段５の判定手段が、気体検出手段５からの信号を入力して、欠陥の有無を判定する。

また、好ましくは、被検査物１０へ検査用の気体１１を供給しながら、欠陥部の有無を判別するとよい。このようにすると、気体検出手段５に検出用気体１４が連続的に押し出されるので、気体検出手段５は、検出用気体１４を確実に検出でき、欠陥の有無の判定の信頼性を向上させることができる。

なお、本実施形態では、閉空間形成部材３と検出気体用収納部４とを連通するバルブ付きチューブのバルブは、通常、開いており、これにより、漏れ出た流動体１２の容積に応じて気体検出手段５に流入する検出用気体１４を連続的に検出する。
ただし、これに限定されるものではなく、たとえば、図示してないが、所定の時間だけ閉じており、所定の時間が経過した後に、バルブを開いてもよい。このようにすると、所定の時間の間に漏れ出た流動体１２が蓄えられるので、バルブが開かれると、蓄えられた多くの漏れ出た流動体１２の容積に応じて気体検出手段５に流入する検出用気体１４を検出することができ、漏れ量が微少である場合でも、漏れを検出でき、検出精度を向上させることができる。

［被検査物の検査方法及びその検査装置の第二実施形態］
図２において、本実施形態の検査装置１ａは、上述した第一実施形態の検査装置１と比べると、閉空間形成部材３が、被検査物１０を密閉状態で収納するチャンバ３ａである点などが相違する。なお、本実施形態の他の構成は、検査装置１とほぼ同様としてある。
したがって、図２において、図１と同様の構成部分については同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。

チャンバ３ａは、被検査物１０を密閉状態で収納する構造としてあり、図示してないが、開閉可能な蓋や、内圧を調整するためのバルブなどを有している。このチャンバ３ａは、被検査物１０を収容しているので、被検査物１０の全面に対する欠陥を検査することができる。

以上説明したように、本実施形態の検査装置１ａ及び被検査物の検査方法によれば、第一実施形態とほぼ同様の効果を奏するとともに、被検査物１０をチャンバ３ａ内に収納することで、被検査物１０の全面に対する欠陥を検査することができ、不良箇所が特定されない場合であっても、被検査物１０を全体的に検査することができる。

［被検査物の検査方法及びその検査装置の第三実施形態］
図３において、本実施形態の検査装置１ｂは、第二実施形態の検査装置１ａと比べると、気体検出手段５として、光学的検出手段５ｂを備えている点などが相違する。なお、本実施形態の他の構成は、検査装置１ａとほぼ同様としてある。
したがって、図３において、図２と同様の構成部分については同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
また、本実施形態の検出用気体は、光学的検出手段５ｂの周囲の大気と屈折率が異なっている。

（光学的検出手段）
光学的検出手段５ｂは、光源５１、レンズ５２、ノズル５３、レンズ５４、ナイフエッジ５５及び観察手段５６などを備え、シュリーレン法を行う構成としてある。すなわち、光学的検出手段５ｂは、屈折率分布を可視化する手段であり、大気に対して検出用気体１４の屈折率分布を可視化して、押し出された検出用気体１４を精度よく検出することができる。

ここで、好ましくは、検出用気体は、温調されることによって、光学的検出手段５ｂの内部の雰囲気と屈折率が異なるとよい。このようにすると、検出用気体の屈折率と光学的検出手段５ｂの内部の雰囲気の屈折率との差を容易に大きくすることができ、検出性能を向上させることができる。
また、好ましくは、検査用の気体１１、チャンバ３ａ内の気体及び検出気体用収納部４内の検出用気体が、空気であるとよい。このようにすると、ヘリウムなどの高価な気体を使用しなくても済むので、ランニング費用のコストダウンを図ることができる。

以上説明したように、本実施形態の検査装置１ｂ及び被検査物の検査方法によれば、第二実施形態とほぼ同様の効果を奏するとともに、光学的検出手段５ｂによって、押し出された検出用気体１４を精度よく検出することができる。すなわち、漏れ出た流動体１２が微少であっても、光学的検出手段５ｂが確実に検出するので、検査精度（検査性能とも呼ばれる。）を大幅に向上させることができる。
なお、光学的検出手段５ｂは、精度よく検出できることから、通常、第一実施形態、後述する第四実施形態及び第五実施形態に適用することができる。

［被検査物の検査方法及びその検査装置の第四実施形態］
図４において、本実施形態の検査装置１ｃは、第一実施形態の検査装置１と比べると、気体供給手段２として液化窒素（適宜、圧縮気体とも呼ばれる。）を用いる点、及び、検出気体用収納部４が温調手段としてヒータ４１を有する点などが相違する。なお、本実施形態の他の構成は、検査装置１とほぼ同様としてある。
したがって、図４において、図１と同様の構成部分については同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。

温調手段としてのヒータ４１は、検出気体用収納部４内の検出用気体を加熱する。これにより、検出気体用収納部４に閉空間形成部材内の気体１３が流入すると、流入した閉空間形成部材内の気体１３は、検出気体用収納部４内で加熱され熱膨張する。したがって、検出気体用収納部４に閉空間形成部材内の気体１３が流入すると、流入した閉空間形成部材内の気体１３の容積と同じ容積の検出用気体と、流入した閉空間形成部材内の気体１３が熱膨張し、熱膨張した分の容積の検出用気体とが、検出用気体１４ｃとして、検出気体用収納部４から気体検出手段５に押し出される。
このようにすると、閉空間形成部材内の気体１３が検出気体用収納部４に流入した際、流入した閉空間形成部材内の気体１３が熱膨張するので、検出気体用収納部４から、熱膨張した分だけ多くの検出用気体が押し出され、これにより、さらに、検出性能を向上させることができる。
なお、温調手段として、通常、加熱手段を用いるが、これに限定されるものではなく、たとえば、冷却手段であってもよい。

また、本実施形態では、被検査物１０がレトルトパウチなどであり、上記気体供給手段２の代わりに、図示してないが、被検査物１０内に液化窒素を滴下する手段と、被検査物１０の開口部を挟むようにして閉じる閉止手段とを有している。このようにすると、密閉状態の被検査物１０の内部で液化窒素が気化し、被検査物１０の内部を陽圧とすることができる。
なお、他の構成や方法などは、第一実施形態とほぼ同様としてある。

以上説明したように、本実施形態の検査装置１ｃ及び被検査物の検査方法によれば、第一実施形態とほぼ同様の効果を奏するとともに、ヒータ４１が、検出気体用収納部４に流入した閉空間形成部材内の気体１３を熱膨張させるので、検出気体用収納部４から、熱膨張した分だけ多くの検出用気体が気体検出手段５に押し出され、検出性能をさらに向上させることができる。なお、第三実施形態では、液体窒素を用いているが、被検査物の内部を陽圧する手段として被検査物に外部から圧力を付加してもよい。
なお、ヒータ４１によれば、検出性能をさらに向上させることができることから、通常、第二実施形態、第三実施形態及び後述する第五実施形態に適用することができる。

［被検査物の検査方法及びその検査装置の第五実施形態］
図５において、本実施形態の検査装置１ｄは、第一実施形態の検査装置１と比べると、気体供給手段２として液化窒素を用いる点、及び、閉空間形成部材３と検出気体用収納部４とが、仕切り部材を介して容積的に連通している点などが相違する。なお、本実施形態の他の構成は、検査装置１とほぼ同様としてある。
したがって、図５において、図１と同様の構成部分については同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。

本実施形態では、仕切り部材として、検出気体用収納部４にダイアフラム４２を設けている。このダイアフラム４２は、上流側に閉空間形成部材内の気体１３が流入すると、ほぼ同じ容積に応じて下流側に変形する。なお、仕切り部材として、ダイアフラム４２を用いているが、これに限定されるものではなく、たとえば、蛇腹状のシート（図示せず）などを用いてもよい。
このようにすると、検出用気体として、たとえば、二酸化炭素を使用し、閉空間形成部材内の気体１３が二酸化炭素と異なる気体である場合であっても、ダイアフラム４２によって仕切られるので、検出気体用収納部４内の二酸化炭素の濃度が低下せず、屈折率が変動するといった不具合を回避することができる。

また、本実施形態は、上述した第四実施形態とほぼ同様に、被検査物１０がレトルトパウチなどであり、上記気体供給手段２の代わりに、図示してないが、被検査物１０内に液化窒素を滴下する手段と、被検査物１０の開口部を挟むようにして閉じる閉止手段とを有している。このようにすると、密閉状態の被検査物１０の内部で液化窒素が気化し、被検査物１０の内部を陽圧とすることができる。
なお、他の構成や方法などは、第一実施形態とほぼ同様としてある。

以上説明したように、本実施形態の検査装置１ｄ及び被検査物の検査方法によれば、第一実施形態とほぼ同様の効果を奏するとともに、閉空間形成部材内の気体１３と検出用気体１４とが異なる場合であっても、混ざり合うことを防止できるので、気体の選定の自由度を大きくすることができ、使い勝手などを向上させることができる。また、閉空間形成部材内の気体１３と検出用気体１４との屈折率が異なる場合、混ざり合うことがないので、検出用気体１４の屈折率が変動するといった不具合を回避することができる。
なお、ダイアフラム４２は、第二実施形態〜第四実施形態にも適用することができる。

以上、本発明の被検査物の検査方法及びその検査装置について、好ましい実施形態を示して説明したが、本発明に係る被検査物の検査方法及びその検査装置は、上述した実施形態にのみ限定されるものではなく、本発明の範囲で種々の変更実施が可能であることは言うまでもない。
例えば、光学的検出手段５ｂは、シュリーレン法を行う構成としてあるが、これに限定されるものではなく、たとえば、シャドウグラフ法やマッハツェンダー法などを行う構成としてもよい。

１、１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ 検査装置
２ 気体供給手段
３ 閉空間形成部材
３ａ チャンバ
４ 検出気体用収納部
５ 気体検出手段
５ｂ 光学的検出手段
１０ 被検査物
１１ 検査用の気体
１２ 漏れ出た流動体
１３ 閉空間形成部材内の気体
１４ 検出用気体
４１ ヒータ
４２ ダイアフラム
５１ 光源
５２ レンズ
５３ ノズル
５４ レンズ
５５ ナイフエッジ
５６ 観察手段

Claims (13)

1. 被検査物の欠陥部の有無を検査する方法において、
   前記被検査物の検査対象部分を、所定の閉空間を形成するための閉空間形成部材にて覆う工程と、
   気体検出手段にて前記欠陥部の有無を判別する工程と
   を有し、
   前記閉空間形成部材と前記気体検出手段の間に連通して設けられた検出気体用収納部に、検出用気体が収納されていることを特徴とする被検査物の検査方法。
2. 前記欠陥部の有無を判別する工程において、前記被検査物に圧力を付与することを特徴とする請求項１に記載の被検査物の検査方法。
3. 前記被検査物へ検査用の気体を供給しながら、前記欠陥部の有無を判別することを特徴とする請求項２に記載の被検査物の検査方法。
4. 前記閉空間形成部材がチャンバであり、前記チャンバに前記被検査物が収納されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の被検査物の検査方法。
5. 前記検出用気体は、前記気体検出手段内部の雰囲気と屈折率が異なっており、前記気体検出手段が、前記気体検出手段内部に押し出された前記検出用気体の屈折率分布を可視化して、この押し出された前記検出用気体を検出することを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の被検査物の検査方法。
6. 前記検出用気体は、温調されることによって、前記気体検出手段内部の雰囲気と屈折率が異なることを特徴とする請求項５に記載の被検査物の検査方法。
7. 前記検出気体用収納部内に流入した前記閉空間形成部材内の気体を前記検出気体用収納部内で加熱して熱膨張させ、熱膨張した容積に応じて、前記検出気体用収納部から前記検出用気体を押し出すことを特徴とする請求項６に記載の被検査物の検査方法。
8. 被検査物の少なくとも一部を覆う所定の閉空間を形成するための閉空間形成部材と、
   前記閉空間形成部材と接続され、内部に検出用気体を収納する検出気体用収納部と、
   前記検出用気体を検出する気体検出手段と
   を備えることを特徴とする被検査物の検査装置。
9. 前記被検査物に検査用の気体を供給する気体供給手段を備えたことを特徴とする請求項８に記載の被検査物の検査装置。
10. 前記閉空間形成部材がチャンバであることを特徴とする請求項８又は９に記載の被検査物の検査装置。
11. 前記検出用気体は、前記気体検出手段内部の雰囲気と屈折率が異なっており、前記気体検出手段が、屈折率分布を可視化する光学的気体検出手段であり、該光学的気体検出手段が、前記気体検出手段内部に押し出された前記検出用気体の屈折率分布を可視化して、押し出された前記検出用気体を検出することを特徴とする請求項８〜１０のいずれか一項に記載の被検査物の検査装置。
12. 前記気体検出手段内部の雰囲気と屈折率が異なるように、前記検出用気体を温調する温調手段を備えたことを特徴とする請求項１１に記載の被検査物の検査装置。
13. 前記検出用気体を加熱する加熱手段を備え、前記検出気体用収納部内に流入した前記閉空間形成部材内の気体を前記検出気体用収納部内で加熱して熱膨張させ、熱膨張した容積に応じて、前記検出気体用収納部から前記検出用気体を押し出すことを特徴とする請求項１２に記載の被検査物の検査装置。

Images