JP2015004532A - センサ、センサを調整する方法及びセンサを用いて測定する方法 - Google Patents

Abstract

【課題】腐食の程度を正確に評価できるセンサを提供する。【解決手段】センサ１０は、水晶板１１と、水晶板１１の第１面上に配置される第１センサ電極１２ａ、及び第２面上に配置される第２センサ電極１２ｂと、第１センサ電極１２ａと間隔をあけて対向する第１対向板１３ａ、及び第２センサ電極１２ｂと間隔をあけて対向する第２対向板１３ｂと、第１対向板１３ａ及び第２対向板１３ｂを水晶板１１側に押圧することにより、第１対向板１３ａと第１センサ電極１２ａとの間隔及び第２対向板１３ｂと第２センサ電極１２ｂとの間隔を変化させる間隔調整部２０と、を備える。【選択図】図３

Description

本発明は、センサ、センサを調整する方法及びセンサを用いて測定する方法に関する。

従来、電子機器等の金属部品の腐食による劣化を調べるための腐食センサが用いられている。

例えば、電子機器の故障原因の多くは、機器内部の金属部品の腐食であるという報告がなされている。硫化水素等の腐食性ガスは、電子機器等が設置される環境中の大気に含まれており、このような腐食性ガスはたとえ低濃度であっても電子機器の劣化を促進するなどの影響を及ぼすことが知られている。

硫化水素等の腐食性ガスに起因する金属部品の腐食は、腐食性ガスの濃度と共に、電子機器の設置環境における温度又は湿度等の条件によって、腐食の速度が促進される場合がある。そこで、電子機器の腐食が起こりやすい状態又は環境を調べて、設置環境を改善する等の対策を行うことにより、電子機器の信頼性を向上させることが望ましい。

このため、電子機器の設置環境では雰囲気中に含まれる腐食性ガスの影響を監視することが求められている。

従来、このような電子機器の設置環境の腐蝕性ガスを監視するために、腐食センサが用いられている。

図１（Ａ）は、従来例の腐食センサを示す平面図であり、図１（Ｂ）は、正面図である。

図１に示す腐食センサは、水晶微小天秤型のセンサの例である。

センサ１１０は、厚み滑りモードで振動する水晶板１１１と、水晶板１１１の第１面上に配置される第１センサ電極１１２ａ、及び第２面上に配置される第２センサ電極１１２ｂを備える。第１センサ電極１１２ａ及び第２センサ電極１１２ｂは、金属により形成されており、円板状の水晶板１１１の中央部に配置される。

水晶板１１１の一方の端部からは、第１センサ電極１１２ａに電力を供給する電極配線１１２ｃが第１センサ電極１１２ａに延びている。同様に、水晶板１１１の他方の端部からは、第２センサ電極１１２ｂに電力を供給する電極配線１１２ｄが第２センサ電極１１２ｂに延びている。

水晶板１１１の両端部は、縦長の板バネである一対のバネ支持部１１６ａ、１１６ｂによって支持される。一対のバネ支持部１１６ａ、１１６ｂは、基部１１７に立設される。一対のバネ支持部１１６ａ、１１６ｂは、電気導電性を有しており、それぞれと接続する端子線１１８ａ、１１８ｂが延びている。

第１センサ電極１１２ａ及び第２センサ電極１１２ｂに対して、図示しない駆動回路から駆動信号が印加されることにより、水晶板１１１が厚み滑りモードで共振周波数において振動するように駆動される。

第１センサ電極１１２ａ又は第２センサ電極１１２ｂが腐食すると質量が変化するので、水晶板１１１の共振周波数が変化する。

センサ１１０が出力する共振周波数を測定することにより、第１センサ電極１１２ａ又は第２センサ電極１１２ｂの腐食の程度を調べて、設置環境の腐蝕性ガスを監視することができる。

特開２００５−１３４１６１号公報

図１に示すセンサ１１０は、電子機器の設置環境の腐食性の高さを評価できるが、電子機器自体の腐食の程度を必ずしも正しく評価するものではない。

これは、電子機器の金属部品の腐食には、腐食性ガス、温度又は湿度等の設置環境の腐食性と共に、腐食する部分の形状も影響するためである。

図２は、電子機器の配線構造を示す図である。

電子機器の配線構造１５０は、配線１５１の配線端子１５２が、ねじ１５４によって、電極端子１５３と接続されている。

ここで、配線端子１５２と電極端子１５３との間には隙間が存在する。同様に、ねじ１５４と配線端子１５２との間にも隙間が存在する。

このような隙間には、水分が吸着し易い。また、隙間には、塵埃等がたまり易いので、隙間にたまった塵埃等に水分が吸着されることもある。また、隙間は、水分が吸着すると、平面部と比べて乾きにくいので、水分が滞留し易い部位である。

従って、隙間を有する部分は、平面部と比べて腐食し易い部位であるといえる。電子機器は、配線構造等の隙間を有する多くの金属部品を有している。

そこで、隙間等の腐食を起こし易い部位における腐食の程度を精確に評価できるセンサが求められている。

本明細書では、上述した課題を解決し得るセンサを提供することを目的とする。

また、本明細書では、上述した課題を解決し得るセンサを調整する方法を提供することを目的とする。

更に、本明細書では、上述した課題を解決し得るセンサを用いて測定する方法を提供することを目的とする。

本明細書に開示するセンサの一形態によれば、水晶板と、上記水晶板の第１面上に配置される第１センサ電極、及び第２面上に配置される第２センサ電極と、上記第１センサ電極と間隔をあけて対向する第１対向板、及び上記第２センサ電極と間隔をあけて対向する第２対向板と、上記第１対向板及び上記第２対向板を上記水晶板側に押圧することにより、上記第１対向板と上記第１センサ電極との間隔及び上記第２対向板と上記第２センサ電極との間隔を変化させる間隔調整部と、を備える。

また、本明細書に開示するセンサを調整する方法の一形態によれば、水晶板と、上記水晶板の第１面上に配置される第１センサ電極、及び第２面上に配置される第２センサ電極と、上記第１センサ電極と間隔をあけて対向する第１対向板、及び上記第２センサ電極と間隔をあけて対向する第２対向板と、上記第１対向板及び上記第２対向板を上記水晶板側に押圧することにより、上記第１対向板と上記第１センサ電極との間隔及び上記第２対向板と上記第２センサ電極との間隔を変化させる間隔調整部と、を備えるセンサにおける上記第１対向板と上記第１センサ電極との間隔及び上記第２対向板と上記第２センサ電極との間隔を調整する方法であって、上記センサの共振周波数を測定しながら、上記間隔調整部を用いて、上記第１対向板と上記第１センサ電極との間隔及び上記第２対向板と上記第２センサ電極との間隔を調整する。

更に、本明細書に開示するセンサを用いて測定する方法の一形態によれば、水晶板と、上記水晶板の第１面上に配置される第１センサ電極、及び第２面上に配置される第２センサ電極と、上記第１センサ電極と間隔をあけて対向する第１対向板、及び上記第２センサ電極と間隔をあけて対向する第２対向板と、上記第１対向板及び上記第２対向板を上記水晶板側に押圧することにより、上記第１対向板と上記第１センサ電極との間隔及び上記第２対向板と上記第２センサ電極との間隔を変化させる間隔調整部と、を備えるセンサにおける上記第１対向板と上記第１センサ電極との間隔、又は上記第２対向板と上記第２センサ電極との間隔を、測定対象の隙間と等しくして、上記センサの共振周波数を測定する。

上述した本明細書に開示するセンサの一形態によれば、腐食の程度を精確に評価できる。

また、本明細書に開示するセンサを調整する方法の一形態によれば、隙間等の腐食を起こし易い部位に対応する空間を、センサ電極と対向板との間に形成することができる。

更に、本明細書に開示するセンサを用いて測定する方法の一形態によれば、腐食の程度を精確に評価できる。

本発明の目的及び効果は、特に請求項において指摘される構成要素及び組み合わせを用いることによって認識され且つ得られるだろう。

前述の一般的な説明及び後述の詳細な説明の両方は、例示的及び説明的なものであり、特許請求の範囲に記載されている本発明を制限するものではない。

（Ａ）は、従来例の腐食センサを示す平面図であり、（Ｂ）は、正面図である。 電子機器の配線構造を示す図である。 （Ａ）は、本明細書に開示するセンサの第１実施形態の正面図であり、（Ｂ）は、側面図である。 対向板とセンサ電極との間に吸着した水滴を示す図である。 対向板とセンサ電極との間隔の寸法を説明する図である。 （Ａ）〜（Ｃ）は、対向板とセンサ電極との間隔を調整する方法の第１実施形態を説明する図である。 対向板とセンサ電極との間隔を調整する方法の第２実施形態を説明する図（その１）である。 （Ａ）〜（Ｃ）は、対向板とセンサ電極との間隔を調整する方法の第１実施形態を説明する図（その２）である。 （Ａ）は、本明細書に開示するセンサの第２実施形態の正面図であり、（Ｂ）は、断面図である。 （Ａ）は、本明細書に開示するセンサの第３実施形態の平面図であり、（Ｂ）は、正面図である。 本明細書に開示するセンサの使用例を説明する図である。

以下、本明細書で開示するセンサの好ましい第１実施形態を、図を参照して説明する。但し、本発明の技術範囲はそれらの実施形態に限定されず、特許請求の範囲に記載された発明とその均等物に及ぶものである。

図３（Ａ）は、本明細書に開示するセンサの第１実施形態の正面図であり、図３（Ｂ）は、側面図である。

本実施形態のセンサ１０は、水晶微小天秤型の腐食センサである。センサ１０は、金属部品を有する電子機器等の設置環境における電子機器自体の腐食の程度を測定する。

センサ１０は、第１面１１ａ及び第２面１１ｂを有する水晶板１１と、水晶板１１の第１面１１ａ上に配置される第１センサ電極１２ａ、及び第２面１１ｂ上に配置される第２センサ電極１２ｂを備える。圧電体である水晶板１１は、厚み滑りモードで振動するようにカットされている。厚み滑りモードで振動する水晶板１１としては、例えば、ＡＴカット又はＢＴカットされた水晶を用いることができる。本実施形態では、水晶板１１は、円板状にＡＴカットされている。

また、センサ１０は、第１センサ電極１２ａと間隔をあけて対向する第１対向板１３ａ、及び第２センサ電極１２ｂと間隔をあけて対向する第２対向板１３ｂを備える。

水晶板１１の一方の端部からは、第１センサ電極１２ａに電力を供給する電極配線１２ｃが第１センサ電極１２ａに延びている。同様に、水晶板１１の他方の端部からは、第２センサ電極１２ｂに電力を供給する電極配線１２ｄが第２センサ電極１２ｂに延びている。

水晶板１１は、縦長の板バネである一対のバネ支持部１６ａ、１６ｂによって、厚み滑りモードで振動可能に支持される。バネ支持部１６ａは、電極配線１２ｄが積層された水晶板１１の他方の端部が嵌めこまれるスリット１６ｃを有する。同様に、バネ支持部１６ｂは、電極配線１２ｃが積層された水晶板１１の一方の端部が嵌めこまれるスリット１６ｃを有する。このように、水晶板１１は、対向する端部が一対のバネ支持部１６ａ、１６ｂによって支持される。

一対のバネ支持部１６ａ、１６ｂは、基部１７に立設される。一対のバネ支持部１６ａ、１６ｂは電気導電性を有しており、それぞれと接続する端子線１８ａ、１８ｂが基部１７の下方に延びている。

第１センサ電極１２ａ及び第２センサ電極１２ｂに対しては、端子線１８ａ、１８ｂ及び一対のバネ支持部１６ａ、１６ｂを介して、図示しない駆動回路から駆動信号が印加される。第１センサ電極１２ａ及び第２センサ電極１２ｂにより駆動信号が印加された水晶板１１は、厚み滑りモードで共振周波数において振動するように駆動される。この共振周波数は、水晶板１１のカット形状による固有周波数並びに第１センサ電極１２ａ及び第２センサ電極１２ｂの質量並びに駆動回路が有する容量（図示せず）等の条件によって決定され得る。

圧電体である水晶板１１は、共振周波数で振動すると共に、共振周波数で発電して電気的な信号を出力する。水晶板１１が出力する共振周波数は、図示しない外部測定回路で測定される。

第１センサ電極１２ａ又は第２センサ電極１２ｂが腐食すると、センサ電極の質量が変化する。通常、腐食により電極の質量は増加する。このように、第１センサ電極１２ａ及び第２センサ電極１２ｂの質量が変化すると、水晶板１１が発振する共振周波数も変化する。この共振周波数の変化を測定することにより、第１センサ電極１２ａ及び第２センサ電極１２ｂの腐食の程度を調べることができる。通常、センサ電極１２ａ、１２ｂの質量が増加すると、共振周波数は減少するように変化する。

センサ１０では、第１センサ電極１２ａ及び第２センサ電極１２ｂの質量変化に対する共振周波数の変化の感度を向上するために、第１センサ電極１２ａ及び第２センサ電極１２ｂが、水晶板１１の中央部に配置される。

センサ１０は、電子機器の腐食の程度を正しく評価するために、腐食する部分の隙間の空間を再現する構造を有する。

具体的には、センサ１０は、第１対向板１３ａ及び第２対向板１３ｂを水晶板１１側に押圧することにより、第１対向板１３ａと第１センサ電極１２ａとの間隔ｄ１及び第２対向板１３ｂと第２センサ電極１２ｂとの間隔ｄ２を変化させる間隔調整部２０を備える。

センサ１０では、間隔調整部２０を用いて、第１対向板１３ａと第１センサ電極１２ａとの間隔ｄ１、及び／又は第２対向板１３ｂと第２センサ電極１２ｂとの間隔ｄ２が、測定対象である電子機器の金属部品が有する隙間と等しくなるように調整される。

次に、上述した第１対向板１３ａ及び第２対向板１３ｂについて、更に説明する。

第１対向板１３ａ及び第２対向板１３ｂは、縦長であり、それらの長手方向の一方の端部は、電気絶縁性のスペーサ１５を介して、接合されている。第１対向板１３ａ及び第２対向板１３ｂにおける長手方向の他方の端部は、間隔調整部２０を用いて、基部１７を挟むようにして、基部１７に固定される。

第１対向板１３ａ及び第２対向板１３ｂは、板を貫通する複数の貫通孔１４ａ、１４ｂを有する。具体的には、第１対向板１３ａは、第１の貫通孔１４ａと、第１の貫通孔１４ａに対して、点対称に配置される複数の第２の貫通孔１４ｂを有する。同様に、第２対向板１３ｂも、第１の貫通孔１４ａと、第１の貫通孔１４ａに対して、点対称に配置される複数の第２の貫通孔１４ｂを有する。第１の貫通孔１４ａは、第１センサ電極１２ａ及び第２センサ電極１２ｂの中央と対向するように配置される。

上述した貫通孔１４ａ、１４ｂは、大気中の水蒸気又は埃塵等が、第１対向板１３ａ又は第２対向板１３ｂを通り抜けて、第１センサ電極１２ａ又は第２センサ電極１２ｂに吸着できるように設けられている。

第１対向板１３ａ及び第２対向板１３ｂに貫通孔１４ａ、１４ｂを設けた理由を、更に説明する。

仮に、第１対向板１３ａ及び第２対向板１３ｂに貫通孔１４ａ、１４ｂが設けられていない場合、第１センサ電極１２ａ又は第２センサ電極１２ｂの腐食は、第１対向板１３ａ又は第２対向板１３ｂの側部と対向するセンサ電極１２ａ、１２ｂの部分から生じ易い。一方、対向板に覆われた第１センサ電極１２ａ又は第２センサ電極１２ｂの部分は、水蒸気又は埃塵等の供給が妨げられるので、電極の腐食は生じ難い。

第１対向板１３ａ又は第２対向板１３ｂの側部と対向するセンサ電極１２ａ、１２ｂの腐食生成物が成長すると、対向板の内側への水蒸気又は埃塵等の供給が妨げられるので、依然として、対向板に覆われた第１センサ電極１２ａ又は第２センサ電極１２ｂの部分の腐食は生じ難い。特に、質量変化に対する感度が高い第１センサ電極１２ａ又は第２センサ電極１２ｂの中央部における腐食が生じ難くなる。また、第１対向板１３ａ又は第２対向板１３ｂの側部と対向する電極との間に水滴が吸着しても、対向板１３ａ、１３ｂの内側への水蒸気又は埃塵等の供給が妨げられる。

そこで、センサ１０では、第１対向板１３ａ及び第２対向板１３ｂに覆われている第１センサ電極１２ａ又は第２センサ電極１２ｂの部分に対して、大気中の水蒸気又は埃塵等が供給されるように、貫通孔１４ａ、１４ｂが設けられている。特に、第１センサ電極１２ａ及び第２センサ電極１２ｂの中央と対向する対向板の部分に第１の貫通孔１４ａを配置することにより、第１センサ電極１２ａ及び第２センサ電極１２ｂの中央部への水蒸気又は埃塵等の供給が妨げられないようにしている。

図４は、対向板とセンサ電極との間に吸着した水滴を示す図である。

図４に示すように、大気中の水蒸気等が、貫通孔１４ａ、１４ｂを通って、第１センサ電極１２ａと第１対向板１３ａとの間に水滴Ｗを形成し得るようになされている。そして、大気中に腐食性ガスが存在すると、腐食性ガスが水滴Ｗに溶解して、第１センサ電極１２ａを腐食させることになり得る。

また、センサ１０では、上述したように、第１の貫通孔１４ａに対して、複数の第２の貫通孔１４ｂが点対称に配置される。これは、第１センサ電極１２ａ及び第２センサ電極１２ｂの表面が均一に腐食されるようにするためである。

図３（Ａ）に示すように、複数の貫通孔１４ａ、１４ｂを、第１対向板１３ａ及び第２対向板１３ｂに設けることにより、対向板１３ａ、１３ｂに覆われたセンサ電極１２ａ、１２ｂの部分に対しても、大気中の水蒸気又は埃塵等が均一に拡散して供給される。その結果、第１センサ電極１２ａ及び第２センサ電極１２ｂの表面が均一に腐食され得る。

例えば、第１センサ電極１２ａ又は第２センサ電極１２ｂが、腐食により同じ量の質量変化が生じた時でも、均一に腐食した時と、不均一に腐食した時とでは、共振周波数の変化量が異なり、センサ１０の腐食に対する感度が異なり得る。そこで、第１センサ電極１２ａ及び第２センサ電極１２ｂが均一に腐食されるようにして、センサ１０の腐食に対する感度を同じにしている。

また、センサ１０では、第１対向板１３ａ及び第２対向板１３ｂは電気導電性を有している。第１対向板１３ａは、配線１３ｄを用いてバネ支持部１６ｂと電気的に接続されており、第１センサ電極１２ａと等電位にある。同様に、第２対向板１３ｂは、配線１３ｅを用いてバネ支持部１６ａと電気的に接続されており、第２センサ電極１２ｂと等電位にある。

これは、センサ電極１２ａ、１２ｂ又は対向板１３ａ、１３ｂの内の何れか一方に対して、埃塵等が選択的に吸着することを防止して、両者の腐食が同様に生じるようにするためである。

腐食のメカニズムとして、金属部品に対して、まず、静電気を帯びた埃塵等が吸着し、次に、腐食性ガスが、金属部品に吸着した埃塵等に吸着して、金属部品の腐食が進行する場合がある。ここで、センサ電極と対向板との間で、帯電の極性又は電位が異なると、埃塵等の吸着の仕方が異なり得る。そこで、対向するセンサ電極１２ａ、１２ｂ及び対向板１３ａ、１３ｂを等電位にして、静電気を帯びた埃塵等が同様に吸着するようにしている。

センサ電極１２ａ、１２ｂ及び対向板１３ａ、１３ｂの形成材料としては、測定対象である電子機器における隙間を形成する材料と同じ材料を用いることが、センサ１０の腐食の状態を、測定対象と近づける上で好ましい。

金属部品と金属部品とにより、電子機器の隙間が形成される場合には、センサ電極１２ａ、１２ｂ及び対向板１３ａ、１３ｂそれぞれは、対応する金属部品の材料により形成され得る。一方、金属部品と、樹脂等の非導電性部品とにより、電子機器の隙間が形成される場合には、センサ電極１２ａ、１２ｂが金属部品の材料により形成され、対向板１３ａ、１３ｂが非導電性部品の材料により形成されることが好ましい。

次に、間隔調整部２０について、以下に説明する。

間隔調整部２０は、ねじ部２１と、ねじ部２１とら合するナット部２２を有する。ねじ部２１は、ナット部２２とら合するねじ山が形成されたねじ本体２１ａと、第１対向板１３ａを押圧する押圧部２１ｂと、ねじ本体２１ａを回転させるために用いられるつまみ部２１ｃを有する。

第１対向板１３ａにおける長手方向の他方の端部と、第２対向板１３ｂにおける長手方向の他方の端部には、それぞれ、対応するねじ孔１３ｃが設けられている。

ねじ部２１は、ねじ部２１のねじ本体２１ａを、第１対向板１３ａのねじ孔１３ｃ及び第２対向板１３ｂのねじ孔１３ｃに挿通させて、ナット部２２とら合している。つまみ部２１ｃを所定の方向に回転することにより、押圧部２１ｂとナット部２２との間に挟まれた第１対向板１３ａ及び第２対向板１３ｂが水晶板１１側に押圧される。このようにして、第１対向板１３ａと第１センサ電極１２ａとの間隔ｄ１及び第２対向板１３ｂと第２センサ電極１２ｂとの間隔ｄ２が調整される。

また、つまみ部２１ｃを所定の方向とは逆方向に回転することにより、一方の端部がスペーサ１５に固定された対向板１３ａ、１３ｂの反力によって、第１対向板１３ａ及び第２対向板１３ｂが水晶板１１から離れる。

センサ１０では、つまみ部２１ｃを回転することにより、第１対向板１３ａと第１センサ電極１２ａとの間隔は、第２対向板１３ｂと第２センサ電極１２ｂとの間隔と、同じ量変化する。

図５は、対向板とセンサ電極との間隔の寸法を説明する図である。

第１対向板１３ａ及び第２対向板１３ｂにおける長手方向の一方の端部の間隔は、スペーサ１５により固定されている。一方、第１対向板１３ａ及び第２対向板１３ｂにおける長手方向の他方の端部の間隔は、間隔調整部２０を用いて調整可能である。

そのため、間隔調整部２０を用いて、第１対向板１３ａ及び第２対向板１３ｂにおける長手方向の他方の端部の間隔が狭められた状態では、第１センサ電極１２ａと第１対向板１３ａとの間隔は一定ではない。即ち、第１センサ電極１２ａと第１対向板１３ａとの間隔は、スペーサ１５に近い方が、間隔調整部２０に近い方よりも広い。

ここで、図５に示すように、第１対向板１３ａの長手方向の一方の端部と第１センサ電極１２ａとの間の距離を６．５ｍｍとし、第１センサ電極１２ａの寸法を３．５ｍｍとする。また、第１対向板１３ａの長手方向の他方の端部と第１センサ電極１２ａとの間の距離を６．５ｍｍとする。また、第１対向板１３ａと第１センサ電極１２ａとが平行な状態における両者の間隔を０．０５ｍｍとする。

そして、間隔調整部２０を用いて、第１対向板１３ａの長手方向の他方の端部と、水晶板１１とが接するように間隔を調整した場合、第１センサ電極１２ａと第１対向板１３ａとの間隔は、最大で約０．０３０ｍｍとなり、最小で約０．０２０ｍｍとなる。

この場合、第１センサ電極１２ａと第１対向板１３ａとの間隔には、場所によって約０．０１０ｍｍの差が生じるが、通常、電子機器の金属部品が有する隙間の寸法に対しては、この程度の差は、誤差として無視できる場合が多い。第２センサ電極１２ｂと第２対向板１３ｂとの間隔についても同様である。

次に、センサ１０において、間隔調整部２０を用いて、対向するセンサ電極１２ａ、１２ｂと対向板１３ａ、１３ｂの間隔を調整する方法の第１実施形態を、図６を参照して、以下に説明する。

本実施形態の方法は、センサ１０の共振周波数を測定しながら、間隔調整部２０を用いて、第１対向板１３ａと第１センサ電極１２ａとの間隔ｄ１及び第２対向板１３ｂと第２センサ電極１２ｂとの間隔ｄ２を調整する。

まず、図６（Ａ）に示すように、間隔調整部２０を用いて、第１対向板１３ａと第１センサ電極１２ａとが離れた状態にあり、第２対向板１３ｂと第２センサ電極１２ｂとが離れた状態になるように、センサ１０が調整される。

そして、センサ１０の共振周波数の測定が開始される。ここで、センサ１０の共振周波数の測定として、予め測定しておいた共振周波数と、間隔を調整する時に測定される共振周波数との差である差周波数Δｆが測定される。

そして、間隔調整部２０を用いて、第１対向板１３ａと第１センサ電極１２ａとの間隔及び第２対向板１３ｂと第２センサ電極１２ｂとの間隔を狭めていく。

次に、図６（Ｂ）に示すように、センサ１０の差周波数Δｆが低下した時点に基づいて、第１対向板１３ａと第１センサ電極１２ａが接触し、且つ第２対向板１３ｂと第２センサ電極１２ｂが接触したことを判断する。対向するセンサ電極１２ａ、１２ｂと対向板１３ａ、１３ｂとが接触することは、センサ電極１２ａ、１２ｂの質量の増加に対応するので、センサ１０の共振周波数が低下する。

次に、図６（Ｃ）に示すように、間隔調整部２０を用いて、第１対向板１３ａと第１センサ電極１２ａとの間隔及び第２対向板１３ｂと第２センサ電極１２ｂとの間隔を広げて、第１対向板１３ａと第１センサ電極１２ａとの間隔及び第２対向板１３ｂと第２センサ電極１２ｂとの間隔を所定の間隔に調整する。ここで、つまみ部２１ｃの回転量と、対向するセンサ電極１２ａ、１２ｂに対する対向板１３ａ、１３ｂの移動量との関係は、予め調べておく。

このようにして、間隔調整部２０を用いて、第１対向板１３ａと第１センサ電極１２ａとの間隔ｄ１、及び第２対向板１３ｂと第２センサ電極１２ｂとの間隔ｄ２が、測定対象である電子機器の金属部品が有する隙間と等しくなるように調整される。

次に、センサ１０において、間隔調整部２０を用いて、対向するセンサ電極１２ａ、１２ｂと対向板１３ａ、１３ｂの間隔を調整する方法の第２実施形態を、図７及び図８を参照して、以下に説明する。

まず、図７に示すように、第１対向板１３ａと第１センサ電極１２ａとの間に第１スペーサ１９ａが配置され、且つ第２対向板１３ｂと第２センサ電極１２ｂとの間に第２スペーサ１９ｂが配置される。第１スペーサ１９ａ及び第２スペーサ１９ｂの厚さは、測定対象である電子機器の金属部品が有する隙間と等しい。

次に、図８（Ａ）に示すように、センサ１０の差周波数Δｆの測定が開始される。そして、間隔調整部２０を用いて、第１対向板１３ａと第１センサ電極１２ａとの間隔及び第２対向板１３ｂと第２センサ電極１２ｂとの間隔を狭めていく。

次に、図８（Ｂ）に示すように、センサ１０の差周波数Δｆが低下した時点に基づいて、第１対向板１３ａが第１スペーサ１９ａを介して第１センサ電極１２ａと接触し、且つ第２対向板１３ｂが第２スペーサ１９ｂを介して第２センサ電極１２ｂと接触したことを判断する。

次に、図８（Ｃ）に示すように、第１対向板１３ａと第１センサ電極１２ａとの間から第１スペーサ１９ａを除去し、且つ第２対向板１３ｂと第２センサ電極１２ｂとの間から第２スペーサ１９ｂを除去する。

このようにして、間隔調整部２０及びスペーサ１９ａ、１９ｂを用いて、第１対向板１３ａと第１センサ電極１２ａとの間隔及び第２対向板１３ｂと第２センサ電極１２ｂとの間隔が、測定対象である電子機器の金属部品が有する隙間と等しくなるように調整される。

第１スペーサ１９ａ及び第２スペーサ１９ｂの形成材料は、対向するセンサ電極１２ａ、１２ｂと対向板１３ａ、１３ｂとの間から除去するときに、センサ電極等を傷つけにくいものを用いることが好ましい。具体的には、第１スペーサ１９ａ及び第２スペーサ１９ｂの形成材料として、ＰＥ樹脂シートやフッ素樹脂シート等を用いることができる。

上述した本実施形態のセンサ１０によれば、対向するセンサ電極１２ａ、１２ｂと対向板１３ａ、１３ｂとの間隔を、測定対象である電子機器の金属部品が有する隙間と等しくできるので、腐食の程度を正確に評価できる。

測定対象である電子機器の内部には多数の金属部品が配置されて重なり合い、多数の隙間が存在する。それら隙間の大きさは、金属部品の形状又は配置のされ方等によってさまざまである。また、隙間の大きさの違いにより、腐食が進行する速さも異なる。

センサ１０は、対向するセンサ電極１２ａ、１２ｂと対向板１３ａ、１３ｂとの間隔を調整することにより、測定対象である電子機器の内部に存在する腐食し易い隙間の空間を擬似的に再現して、その腐食の程度を測定することができる。

次に、上述したセンサの他の実施形態を、図９及び図１０を参照しながら以下に説明する。他の実施形態について特に説明しない点については、上述の第１実施形態に関して詳述した説明が適宜適用される。また、同一の構成要素には同一の符号を付してある。

図９（Ａ）は、本明細書に開示するセンサの第２実施形態の正面図であり、図９（Ｂ）は、図９（Ａ）のＸ−Ｘ線に沿った断面図である。

本実施形態のセンサ１０は、上述した第１実施形態と同様に、水晶板１１と、第１センサ電極１２ａと間隔をあけて対向する第１対向板３１と、第２センサ電極１２ｂと間隔をあけて対向する第２対向板３２を備える。

第１対向板３１及び第２対向板３２は、板を貫通する複数の貫通孔３４ａ、３４ｂを有する。具体的には、第１対向板３１は、第１の貫通孔３４ａと、第１の貫通孔３４ａに対して、点対称に配置される複数の第２の貫通孔３４ｂを有する。同様に、第２対向板３２も、第１の貫通孔３４ａと、第１の貫通孔３４ａに対して、点対称に配置される複数の第２の貫通孔３４ｂを有する。第１の貫通孔３４ａは、第１センサ電極１２ａ及び第２センサ電極１２ｂの中央と対向するように配置される。

センサ１０における水晶板１１及び水晶板１１上に配置された各電極配線の構成は、上述した第１実施形態と同様である。図９（Ａ）及び図９（Ｂ）には、これらの構成要素に対する符号の全ては記載されていないが、記載されていない構成要素に対する符号については、第１実施形態の図面を参照されたい。

本実施形態のセンサ１０では、３つの間隔調整部２０ａ、２０ｂ、２０ｃを用いて、第１対向板３１と第１センサ電極１２ａとの間隔ｄ１、及び／又は第２対向板３２と第２センサ電極１２ｂとの間隔ｄ２が、測定対象である電子機器の金属部品が有する隙間と等しくなるように調整される。

そして、本実施形態のセンサ１０では、３つの間隔調整部２０ａ、２０ｂ、２０ｃを用いて、対向するセンサ電極１２ａ、１２ｂと対向板３１、３２との間隔を一定に調整することができる。

３つの間隔調整部２０ａ、２０ｂ、２０ｃの構成は、上述した第１実施形態の間隔調整部と同じである。

一対のバネ支持部１６ａ、１６ｂによって支持される水晶板１１は、開口部３６を有する支持枠３５の内部に支持されている。支持枠３５は、第１支持枠３５ａと第２支持枠３５ｂとが、それぞれの開口部を一致させて、基部１７を挟むように重ね合わされて、ねじ３７により接合されて形成される。

一対のバネ支持部１６ａ、１６ｂによって支持される水晶板１１は、開口部３６内に配置されており、第１センサ電極１２ａ及び第２センサ電極１２ｂには、大気中の水蒸気又は塵埃等が拡散して供給可能になされている。

センサ１０における第１対向板３１は、対向板の中心に対して、回転対称に延びる３つの延出部３１ａ、３１ｂ、３１ｃを有しており、延出部それぞれには、ねじ孔３３が設けられている。３つの延出部３１ａ、３１ｂ、３１ｃは、対向板の中心に対して、１２０度の中心角を有するように間隔をあけて配置される。

同様に、第２対向板３２は、対向板の中心に対して、回転対称に延びる３つの延出部３２ａ、３２ｂ、３２ｃを有しており、延出部それぞれには、ねじ孔３３が設けられている。

第１対向板３１の延出部３１ａは、第２対向板３２の延出部３２ａと対向するように配置される。同様に、第１対向板３１の延出部３１ｂは、第２対向板３２の延出部３２ｂと対向するように配置され、第１対向板３１の延出部３１ｃは、第２対向板３２の延出部３２ｃと対向するように配置される。

第１対向板３１の３つの延出部３１ａ、３１ｂ、３１ｃに設けられたねじ孔３３それぞれは、第２対向板３２の３つの延出部３２ａ、３２ｂ、３２ｃのねじ孔３３と対応するように配置される。

間隔調整部２０ａは、第１対向板３１の延出部３１ａと、第２対向板３２の延出部３２ａとを、水晶板１１側に押圧する。具体的には、間隔調整部２０ａのねじ部２１は、ねじ部２１のねじ本体２１ａを、第１対向板３１の延出部３１ａのねじ孔３３及び第２対向板３２の延出部３２ａのねじ孔３３に挿通させて、ナット部２２とら合している。つまみ部２１ｃを所定の方向に回転することにより、押圧部２１ｂとナット部２２との間に挟まれた第１対向板３１の延出部３１ａ及び第２対向板３２の延出部３２ａが水晶板１１側に押圧される。

同様に、間隔調整部２０ｂは、第１対向板３１の延出部３１ｂ及び第２対向板３２の延出部３２ｂを水晶板１１側に押圧し、間隔調整部２０ｃは、第１対向板３１の延出部３１ｃ及び第２対向板３２の延出部３２ｃを水晶板１１側に押圧する。

このようにして、３つの延出部３１ａ、３１ｂ、３１ｃを有する第１対向板１３ａと第１センサ電極１２ａとの間隔ｄ１、及び３つの延出部３２ａ、３２ｂ、３２ｃを有する第２対向板１３ｂと第２センサ電極１２ｂとの間隔ｄ２が調整される。

第１対向板３１における３つの延出部３１ａ、３１ｂ、３１ｃの端部には係止部３１ｄが形成されており、水晶板１１側に押圧された延出部３１ａ、３１ｂ、３１ｃの係止部３１ｄは、開口部３６の縁に係止される。同様に、第２対向板３２における３つの延出部３２ａ、３２ｂ、３２ｃの端部には係止部３２ｄが形成されており、水晶板１１側に押圧された延出部３２ａ、３２ｂ、３２ｃの係止部３２ｄは、開口部３６の縁に係止される。

本実施形態のセンサ１０は、３つの間隔調整部２０ａ、２０ｂ、２０ｃを用いて、第１対向板３１と第１センサ電極１２ａとが平行になり、且つ第２対向板３２と第２センサ電極１２ｂとが実質的に平行になるように調整可能である。即ち、本実施形態のセンサ１０では、対向する対向板３１，３２とセンサ電極１２ａ、１２ｂとの間隔が、上述した第１実施形態よりも一定になるように調整可能である。

また、第１対向板３１と第１センサ電極１２ａとの間隔ｄ１、及び第２対向板３２と第２センサ電極１２ｂとの間隔ｄ２は、測定対象である電子機器の金属部品が有する隙間に対応させて、狭い間隔から広い間隔まで調整可能である。

本実施形態のセンサ１０は、３つの間隔調整部を有しているが、センサ１０は、２つの間隔調整部又は４つ以上の間隔調整部を有していても良い。

本実施形態のセンサ１０では、センサ１０の共振周波数を測定しながら、３つの間隔調整部２０ａ、２０ｂ、２０ｃを用いて、第１対向板３１と第１センサ電極１２ａとの間隔ｄ１及び第２対向板３２と第２センサ電極１２ｂとの間隔ｄ２が調整される。

具体的には、各間隔調整部の調整に対して、図６に示す方法又は図７及び図８に示す方法を用いることができる。例えば、まず、間隔調整部２０ａを用いて間隔の調整を行った後、次に、間隔調整部２０ｂ及び間隔調整部２０ｃの間隔の調整を順番に行うことができる。この際、間隔調整部２０ａ〜２０ｃの調整を行った後、更に、間隔調整部２０ａ〜２０ｃの調整を少なくとも１回以上繰り返すことが、間隔ｄ１及び間隔ｄ２を精度良く設定する上で好ましい。

上述した本実施形態のセンサ１０によれば、対向するセンサ電極１２ａ、１２ｂと対向板３１、３２とが実質的に平行になるように、間隔ｄ１及び間隔ｄ２を調整することができる。

また、本実施形態のセンサ１０によれば、上述した第１実施形態と同様の効果が得られる。

次に、本明細書に開示するセンサの第３実施形態を、図面を参照して、以下に説明する。

図１０（Ａ）は、本明細書に開示するセンサの第３実施形態の平面図であり、図１０（Ｂ）は、正面図である。

本実施形態のセンサ１０における間隔調整部４０は、上述した各実施形態とは構造が異なっている。

本実施形態のセンサ１０は、第１対向板１３ａ及び第２対向板１３ｂがねじ孔を有さないことと、間隔調整部４０の構造を除いては、水晶板１１及び水晶板１１上に配置された各電極配線の構成は、上述した第１実施形態と同様である。

本実施形態のセンサ１０の間隔調整部４０は、縦長の押圧本体４１と、押圧本体４１から間隔をあけて延びる一対の押圧部４２を有する。一対の押圧部４２の間に、第１対向板１３ａ及び第２対向板１３ｂが挟まれて、第１対向板１３ａ及び第２対向板１３ｂが水晶板１１側に押圧される。

具体的には、センサ１０では、押圧本体４１の長手方向に間隔をあけて、２組の一対の押圧部４２が配置される。なお、１組の一対の押圧部４２又は３組以上の一対の押圧部４２を、押圧本体４１に配置しても良い。

押圧部４２は、板バネとして機能しており、押圧部４２の内側の面が対向板１３ａ、１３ｂを水晶板１１側に押圧するようになされている。

第１対向板１３ａ及び第２対向板１３ｂは、押圧部４２に押されることにより、水晶板１１側に撓む可撓性を有する。

押圧部４２と押圧部４２との間隔は、第１対向板１３ａと第１センサ電極１２ａとの間隔ｄ１及び第２対向板１３ｂと第２センサ電極１２ｂとの間隔ｄ２が、所定の間隔になるように設定される。

測定対象である電子機器の金属部品が有する隙間に対応させて、押圧部４２と押圧部４２との間隔が決定され得る。測定対象の隙間に対応させて、押圧部４２と押圧部４２との間隔が異なる間隔調整部４０を用いることにより、第１対向板１３ａと第１センサ電極１２ａとの間隔ｄ１及び第２対向板１３ｂと第２センサ電極１２ｂとの間隔ｄ２を調整できる。

センサ１０の基部１７は、押圧本体４１を嵌合するための嵌合凸部１７ａを有する。また、押圧本体４１は、嵌合凸部１７ａと嵌合する嵌合凹部４１ａを有する。

間隔調整部４０は、押圧本体４１の嵌合凹部４１ａを、基部１７の嵌合凸部１７ａと嵌合させて、一対の押圧部４２の間に第１対向板１３ａ及び第２対向板１３ｂが挟まれた状態で、基部１７に脱着自在に固定される。

押圧部４２には、押圧部４２と押圧部４２との間隔を広げるためのつまみ部４２ａが設けられている。間隔調整部４０を基部１７に固定するか、又は脱着する時には、つまみ部４２ａを用いて、押圧部４２と押圧部４２との間隔を広げて、一対の押圧部４２を、対向板１３ａ、１３ｂから取り外す。

上述した本実施形態のセンサ１０によれば、間隔調整部４０を基部１７に固定することにより、間隔ｄ１及び間隔ｄ２が調整されるので、上述した各実施形態において行われた間隔を調整するための作業は不要となる。

また、本実施形態のセンサ１０によれば、上述した第１実施形態と同様の効果が得られる。

次に、上述した本明細書に開示するセンサを用いて、電子機器自体の腐食の程度と共に、電子機器の設置環境の腐食性を評価する一形態を、図１１を参照して、以下に説明する。

図１１は、本明細書に開示するセンサの使用例を説明する図である。

上述した第１〜第３実施形態の内の何れかのセンサＡが、電子機器の内部に配置される。電子機器は、空調装置を有する部屋に配置されている。また、この部屋には、他の電子機器等である発熱体も配置されている。

センサＡは、対向板とセンサ電極との間の間隔が、電子機器の金属部品が有する隙間の寸法と一致するように調整されている。また、対向板及びセンサ電極の形成材料は、対応する金属部品の材料により形成されている。センサＡは、主に電子機器自体の腐食の程度を評価することを目的に使用される。

また、図１に示すような従来の複数のセンサＢ１〜Ｂ３が、同じ部屋の中に配置されている。センサＢ１は、センサＡと共に、電子機器の内部に配置される。センサＢ２は、電子機器近傍に配置される。センサＢ３は、空調装置からの送風が直接吹き付けられる室内の位置に配置される。センサＢ１〜Ｂ３は、主に電子機器の設置環境の腐食性を評価することを目的に使用される。

図１１には、センサＡ及びセンサＢ１〜Ｂ３の測定結果の例がグラフで示されている。各グラフの縦軸は、センサから出力される共振周波数の変化量を腐食量に換算した値を示している。

例えば、センサＢ１とセンサＢ２又はセンサＢ３の測定結果を比較することにより、腐食の原因が、電子機器の内部の環境によるものなのか、又は、室内の環境によるものなのかを調べることができる。

また、センサＡとセンサＢ１の測定結果を比較することにより、腐食の原因が、隙間のような部品の形状と関連する水蒸気若しくは埃塵等の吸着によるものなのか、又は、腐食性ガス若しくは温度等のような部品の形状とは関係の低いものなのかを調べることができる。

このようにして、腐食の原因を明確にすることにより、各原因に対して、腐食を防止するための具体的な対策をたてることが可能となる。

本発明では、上述した実施形態のセンサ、センサを調整する方法及びセンサを用いて測定する方法は、本発明の趣旨を逸脱しない限り適宜変更が可能である。また、一の実施形態が有する構成要件は、他の実施形態にも適宜適用することができる。

例えば、上述した各実施形態では、センサの第１対向板及び第２対向板の両方が、板を貫通する貫通孔を有していたが、第１対向板及び第２対向板の内の何れか一方が、貫通孔を有していても良い。

また、上述した各実施形態では、第１対向板と第１センサ電極との間隔ｄ１及び第２対向板と第２センサ電極との間隔ｄ２が同じになるように調整されていたが、間隔ｄ１と間隔ｄ２とは異なるように調整しても良い。

ここで述べられた全ての例及び条件付きの言葉は、読者が、発明者によって寄与された発明及び概念を技術を深めて理解することを助けるための教育的な目的を意図する。ここで述べられた全ての例及び条件付きの言葉は、そのような具体的に述べられた例及び条件に限定されることなく解釈されるべきである。また、明細書のそのような例示の機構は、本発明の優越性及び劣等性を示すこととは関係しない。本発明の実施形態は詳細に説明されているが、その様々な変更、置き換え又は修正が本発明の精神及び範囲を逸脱しない限り行われ得ることが理解されるべきである。

１０ センサ
１１ 水晶板
１１ａ 第１面
１１ｂ 第２面
１２ａ 第１センサ電極
１２ｂ 第２センサ電極
１２ｃ、１２ｄ 電極配線
１３ａ 第１対向板
１３ｂ 第２対向板
１３ｃ ねじ孔
１３ｄ、１３ｅ 配線
１４ａ 第１の貫通孔
１４ｂ 第２の貫通孔
１５ スペーサ
１６ａ、１６ｂ バネ支持部
１６ｃ スリット
１７ 基部
１７ａ 嵌合凸部
１８ａ、１８ｂ 端子線
１９ａ 第１スペーサ
１９ｂ 第２スペーサ
２０、２０ａ、２０ｂ、２０ｃ 間隔調整部
２１ ねじ部
２１ａ ねじ本体
２１ｂ 押圧部
２１ｃ つまみ部
２２ ナット部
３１ 第１対向板
３１ａ、３１ｂ、３１ｃ 延出部
３１ｄ 係止部
３２ 第２対向板
３２ａ、３２ｂ、３２ｃ 延出部
３２ｄ 係止部
３３ ねじ孔
３４ａ 第１の貫通孔
３４ｂ 第２の貫通孔
３５ 支持枠
３５ａ 第１支持枠
３５ｂ 第２支持枠
３６ 開口部
３７ ねじ
４０ 間隔調整部
４１ 押圧本体
４１ａ 嵌合凹部
４２ 押圧部
４２ａ つまみ部
１５０ 電子機器の配線構造
１５１ 配線
１５２ 配線端子
１５３ 電極端子
１５４ ねじ

Claims (13)

1. 水晶板と、
   前記水晶板の第１面上に配置される第１センサ電極、及び第２面上に配置される第２センサ電極と、
   前記第１センサ電極と間隔をあけて対向する第１対向板、及び前記第２センサ電極と間隔をあけて対向する第２対向板と、
   前記第１対向板及び前記第２対向板を前記水晶板側に押圧することにより、前記第１対向板と前記第１センサ電極との間隔及び前記第２対向板と前記第２センサ電極との間隔を変化させる間隔調整部と、
   を備えるセンサ。
2. 前記第１対向板又は前記第２対向板は、板を貫通する貫通孔を有する請求項１に記載のセンサ。
3. 前記第１対向板又は前記第２対向板は、第１の前記貫通孔と、第１の前記貫通孔に対して、点対称に配置される複数の第２の前記貫通孔を有する請求項２に記載のセンサ。
4. 前記第１対向板及び前記第２対向板は、電気導電性を有し、
   前記第１対向板は、前記第１センサ電極と等電位であり、前記第２対向板は、前記第２センサ電極と等電位である請求項１〜３の何れか一項に記載のセンサ。
5. 前記第１センサ電極及び前記第２センサ電極は、前記水晶板の中央部に配置される請求項１〜４の何れか一項に記載のセンサ。
6. 前記第１対向板及び前記第２対向板には、対応するねじ孔が設けられており、
   前記間隔調整部は、ねじ部と、ねじ部とら合するナット部を有し、
   前記ねじ部は、前記第１対向板のねじ孔及び前記第２対向板のねじ孔を挿通して、前記ナット部とら合している請求項１〜５の何れか一項に記載のセンサ。
7. 前記第１対向板の一方の端部は、スペーサを挟んで、前記第２対向板の一方の端部と接合しており、
   前記第１対向板の他方の端部と、前記第２対向板の他方の端部には、対応する前記ねじ孔が設けられている請求項６に記載のセンサ。
8. 前記第１対向板及び前記第２対向板は、板の中心に対して、回転対称に延びる複数の延出部を有しており、
   前記延出部それぞれには、前記ねじ孔が設けられている請求項６に記載のセンサ。
9. 前記間隔調整部は、押圧本体と、前記押圧本体から間隔をあけて延びる一対の押圧部を有しており、
   前記一対の押圧部の間に、前記第１対向板及び前記第２対向板が挟まれて、前記第１対向板及び前記第２対向板は、前記水晶板側に押圧される請求項１〜５の何れか一項に記載のセンサ。
10. 水晶板と、
    前記水晶板の第１面上に配置される第１センサ電極、及び第２面上に配置される第２センサ電極と、
    前記第１センサ電極と間隔をあけて対向する第１対向板、及び前記第２センサ電極と間隔をあけて対向する第２対向板と、
    前記第１対向板及び前記第２対向板を前記水晶板側に押圧することにより、前記第１対向板と前記第１センサ電極との間隔及び前記第２対向板と前記第２センサ電極との間隔を変化させる間隔調整部と、
    を備えるセンサにおける前記第１対向板と前記第１センサ電極との間隔及び前記第２対向板と前記第２センサ電極との間隔を調整する方法であって、
    前記センサの共振周波数を測定しながら、前記間隔調整部を用いて、前記第１対向板と前記第１センサ電極との間隔及び前記第２対向板と前記第２センサ電極との間隔を調整する方法。
11. 前記間隔調整部を用いて、前記第１対向板と前記第１センサ電極との間隔及び前記第２対向板と前記第２センサ電極との間隔を狭めていき、前記センサの共振周波数が低下した時点に基づいて、前記第１対向板と前記第１センサ電極が接触し、且つ前記第２対向板と前記第２センサ電極が接触したことを判断し、
    前記間隔調整部を用いて、前記第１対向板と前記第１センサ電極との間隔及び前記第２対向板と前記第２センサ電極との間隔を広げて、前記第１対向板と前記第１センサ電極との間隔及び前記第２対向板と前記第２センサ電極との間隔を所定の間隔に調整する請求項１０に記載の方法。
12. 前記第１対向板と前記第１センサ電極との間に第１スペーサを配置し、且つ前記第２対向板と前記第２センサ電極との間に第２スペーサを配置し、
    前記間隔調整部を用いて、前記第１対向板と前記第１センサ電極との間隔及び前記第２対向板と前記第２センサ電極との間隔を狭めていき、前記センサの共振周波数が低下した時点に基づいて、前記第１対向板が第１スペーサを介して前記第１センサ電極と接触し、且つ前記第２対向板が第２スペーサを介して前記第２センサ電極と接触したことを判断し、
    前記第１対向板と前記第１センサ電極との間から前記第１スペーサを除去し、且つ前記第２対向板と前記第２センサ電極との間から前記第２スペーサを除去する請求項１０に記載の方法。
13. 水晶板と、
    前記水晶板の第１面上に配置される第１センサ電極、及び第２面上に配置される第２センサ電極と、
    前記第１センサ電極と間隔をあけて対向する第１対向板、及び前記第２センサ電極と間隔をあけて対向する第２対向板と、
    前記第１対向板及び前記第２対向板を前記水晶板側に押圧することにより、前記第１対向板と前記第１センサ電極との間隔及び前記第２対向板と前記第２センサ電極との間隔を変化させる間隔調整部と、
    を備えるセンサにおける前記第１対向板と前記第１センサ電極との間隔、又は前記第２対向板と前記第２センサ電極との間隔を、測定対象の隙間と等しくして、前記センサの共振周波数を測定する方法。

Images