JP2015000770A - 着磁性材料の巻き取り搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】基材の蛇行や変形不良の発生を防ぐことが可能な着磁性材料の巻き取り搬送装置を提供する。【解決手段】帯状着磁性材料1を巻き出し機構21から搬送ロール23a及び23bを経由して、巻き取り機構22まで搬送する間に、基材非接触保持手段24a及び24bによって帯状着磁性材料1を非接触で撓みが無い様、保持しながら、帯状着磁性材料1の幅Lの間隔で設けられているEPCセンサ25a及び25bにて帯状着磁性材料1の幅方向の両端部を検出し、その検出結果から位置制御手段26a及び26bが材料非接触保持手段24a及び24bを基材1の両端位置を保持する様、制御して搬送する。【選択図】図4
Description
本発明は、着磁性材料の巻き取り搬送装置であって、更に詳しくは着磁性材料を蛇行や撓みを発生することなく搬送する装置に関する。
リードフレームやメタルマスク製造において、着磁性がある金属箔材料をロールtoロール搬送してフォトエッチング法を用いてプロセス処理する場合がある。
上記着磁性がある金属箔材料(以下、材料)を用いたディスプレイ装置用のメタルマスクは近年高精細化が進んでいる。その高精細化に対応するために、材料厚は薄板化しており20μm程度まで薄くなって来ており、その形状もすだれ状に加工されているものもある。
図1はメタルマスクの中でもこのような薄板の材料をロールtoロール搬送して処理する場合の材料の様子を模式的に示す図である。
図1(a)は材料1を搬送ロール2によって矢印3で示す方向に搬送しながら例えばエッチング、水洗、レジスト剥膜等の処理を行う状態を示すもので、材料1の自重により材料1にはロール間で撓みが見られる。
図1(b)は図1(a)のA―A´断面を見た場合の材料1の撓みの状態の一例を示すものである。
図1(c)はB―B´断面を見た搬送ロール2上の材料1の状態を示すもので、図1(b)の状態の材料1が搬送されて搬送ロールへの接触が、材料1の撓んでいる端部5bが最初で、続けて端部5bから中央部5aに向かって搬送ロール2へ接触して行く。ここで材料1の端部5bは撓みにより本来搬送ロール2に接触する位置よりも中央部に寄っているため、材料1にシワ4が発生する。
このシワ4が生じる事で材料1が搬送ロール2で搬送される際に、折れ・捩れが発生し、それによって変形不良が生ずるといった問題がある。
また、上記材料1は例えば材料1の両端のテンションの違い、巻き出し機構と巻き取り機構の平行度の違い等の搬送中に起こる様々な搬送条件によって蛇行が発生することがある。
図2は材料が鋼鈑のような着磁性材料6を磁力で保持する状態を示したもので、特許文献1で示されるように例えば溶鉱炉の入り口の手前で電磁石による磁力の強弱を利用した板厚方向の変位を計測し板厚方向の着磁性材料の矢印7,8,9,10の方向で示されるヒープ・ピッチング・ローリング・捩れをコントローラで制御し、溶鉱炉部材との接触を防いでいる。
しかしながら、特許文献1で示される方法では、上記のような薄板であったり、すだれ状の材料に対する撓みや蛇行を制御することが困難であった。
そこで上記問題に対して、図3に示すような傾斜型搬送ロール11によって材料を搬送することがある。この傾斜型搬送ロール11はその中央部が端部に比較して径が大きなロールとなっている。しかしながら傾斜型搬送ロール11による従来の搬送では材料に擦り傷が発生してしまうといった問題がある。
そこで本発明は上記問題に鑑みて、材料の蛇行や変形不良の発生を防ぐことが可能な着磁性材料の巻き取り搬送装置を提供することを課題とする。
そこで本発明の請求項1に記載の発明は、
帯状着磁性材料を搬送する巻き取り搬送装置であって、
巻き出し機構と、巻き取り機構と、搬送ロールと、エッジ検出手段と、材料非接触保持手段と、位置制御手段と、を備え、
前記帯状着磁性材料を前記巻き出し機構より巻き出し、複数の前記搬送ロールを経由して搬送され、巻き取り機構まで搬送する間に、前記材料非接触保持手段が前記帯状着磁性材料を撓みなく保持し、
前記エッジ検出手段にて前記帯状着磁性材料の両端の位置を検出し、
前記位置制御手段は、前記帯状着磁性材料の両端の位置に基づいて、前記材料非接触保持手段を制御し、
前記帯状着磁性材料の幅方向位置を調整しながら搬送することを特徴とする着磁性材料の巻き取り搬送装置である。
帯状着磁性材料を搬送する巻き取り搬送装置であって、
巻き出し機構と、巻き取り機構と、搬送ロールと、エッジ検出手段と、材料非接触保持手段と、位置制御手段と、を備え、
前記帯状着磁性材料を前記巻き出し機構より巻き出し、複数の前記搬送ロールを経由して搬送され、巻き取り機構まで搬送する間に、前記材料非接触保持手段が前記帯状着磁性材料を撓みなく保持し、
前記エッジ検出手段にて前記帯状着磁性材料の両端の位置を検出し、
前記位置制御手段は、前記帯状着磁性材料の両端の位置に基づいて、前記材料非接触保持手段を制御し、
前記帯状着磁性材料の幅方向位置を調整しながら搬送することを特徴とする着磁性材料の巻き取り搬送装置である。
本発明の請求項2の発明は、
前記材料非接触保持手段は磁力が制御可能な電磁石であることを特徴とする請求項1に記載の着磁性材料の巻き取り搬送装置である。
前記材料非接触保持手段は磁力が制御可能な電磁石であることを特徴とする請求項1に記載の着磁性材料の巻き取り搬送装置である。
本発明の請求項3の発明は、
前記材料非接触保持手段は永久磁石であることを特徴とする請求項1に記載の着磁性材料の巻き取り搬送装置である。
前記材料非接触保持手段は永久磁石であることを特徴とする請求項1に記載の着磁性材料の巻き取り搬送装置である。
本発明の着磁性材料の巻き取り搬送装置によれば、材料の撓みや蛇行の発生を起こすことなく搬送することが出来るため、材料の折れ・捩れの発生を防ぐことが可能となる。その結果、変形不良の発生を防止することが可能となる。
以下、図面を参照して本発明の着磁性材料の巻き取り搬送装置を実施するための形態を説明する。
図4は本発明の着磁性材料の巻き取り搬送装置の概略構成の一例を示す図である。本発明の着磁性材料の巻き取り搬送装置20は巻き出し機構21と、巻き取り機構22と、搬送ロール23a及び23bと、材料非接触保持手段24a及び24bと、エッジ検出手段25a及び25bと、位置制御手段26a及び26bと、を備えている。
材料1を巻き出し機構21から巻き出し、複数の搬送ロール(図4では2本の搬送ロール23a及び23b)で矢印27で示される方向に搬送した後、巻き取り機構22にて巻き取る。この材料1を搬送する途中で、図示しない例えばエッチング、水洗、レジスト剥膜等の処理が行われる。
図5は、材料1とエッジ検出手段のEPC(Edge Position Control)センサ25a及び25bの位置関係を示したものであり、材料1の撓みが無い場合の幅Lに対して、EPCセンサ25a及び25bは材料1の幅Lのエッジを検出する様に設定してある。
図6は材料非接触保持手段である電磁石24a及び24bの動作を示したものであり、本発明の着磁性材料の巻き取り搬送装置では、材料1を搬送する前に先ず撓みのある材料1の両端を(図6(a))、電磁石24a及び24bに電圧を印加することによって非接触に保持し(図6(b))、更に保持した状態で位置制御手段26a及び26bによって電磁石24a及び24bを矢印29a及び29bで示す方向に移動して(図6(c))、材料1の撓みの無い状態とする(図6(d))。このようにして材料1の幅方向の両端は電磁石24a及び24bによって撓みの無い状態でかつ、非接触で保持される。
図7は上記非接触で保持した材料1の幅方向の位置を正しい位置に調整する方法を示したものである。まず、材料1の幅方向の両端が電磁石24a及び24bによって非接触で保持された状態で、EPCセンサ25a及び25bによって材料の1の幅方向の両端部を検出する。図7(a)は材料1の正しい位置30が紙面に向かって右方向にΔdだけ変わり、蛇行した場合を示す図である。この場合は、EPCセンサ25bは材料の1の端部を検出することが出来ているが、EPCセンサ25aは材料の1の端部を検出することが出来ない。従ってこの場合は、図7(b)に示すように電磁石24a及び24b共に矢印31で示す方向にΔdだけ移動することによって、材料の1の幅方向位置を正しい位置に調整することが出来る。
このようにして材料の1の幅方向位置を正しい位置に調整することによって、蛇行がなく、しかも撓みの無い状態で搬送することが出来る。
図8は、位置制御手段26aの構成を示す側面図である。位置制御手段26aは、図6に示したように材料1の撓みがなくなる様に。電磁石24aを移動させている。即ち、架台28上に固定されたサーボモーター32によってボールネジ33を矢印34の方向に回転させ、電磁石24aを固定した移動ステージ35を架台28上に設けられた図示しないスライドレール上を矢印36の方向にスライドさせることによって電磁石24aを精度良く移動することが出来る。そして、位置制御手段26bは位置制御手段26aの構成の左右が反転しているだけであり、両者は同様な動作が可能となっている。
また、電磁石24a及び24bは、それに印加する電圧を制御することによってその磁力が制御可能な電磁石を用いることによって、非接触であっても安定して保持することが出来る。
上記説明では、材料非接触保持手段として電磁石を例として説明したが、永久磁石であっても構わない。永久磁石の場合の保持方法を説明する。先ず材料1に幅方向の撓みがある状態で、巻き取り機構22(図4参照)を回転させることによって材料1に張力が加えられ、材料1は永久磁石24a及び24bに接近することが出来る。その結果、永久磁石24a及び24bは材料1のそれぞれの幅方向の端部を非接触で保持することが出来る。非接触で材料1を非接触で保持した後は、電磁石の場合と同じ動作で良い。
上記材料非接触保持手段と、エッジ検出手段と、位置制御手段は、2つの搬送ロール間に1つ(1組)設けられた場合を説明したが、搬送ロールが2つ以上の場合は、2つ以上設けても良い。その結果、搬送装置内の材料を蛇行することなく、安定して搬送することが出来る。
以上のように本発明の着磁性材料の巻き取り搬送装置によれば、材料を非接触で保持しながら蛇行することなく搬送することが可能となるので、材料に折れ・捩れが発生すること無く、さらに、それらによって生ずる変形不良の発生を抑制することが出来る。
1・・・着磁性材料
2・・・搬送ロール
3・・・材料の搬送方向
4・・・シワ
5a・・・搬送ロールの中央部
5b・・・搬送ロールの端部
6・・・着磁性材料
7,8,9,10・・・帯状磁性体のヒープ・ピッチング・ローリング・捩れを示す方向11・・・傾斜型搬送ロール
20・・・本発明の着磁性材料の巻き取り搬送装置
21・・・巻き出し機構
22・・・巻き取り機構
23a、23b・・・搬送ロール
24a、24b・・・材料非接触保持手段(電磁石、永久磁石)
25a、25b・・・エッジ検出手段(EPCセンサ)
26a、26b・・・位置制御手段
27・・・材料の搬送方向
28・・・架台
29a、29b・・・電磁石を移動する方向
30・・・材料の正しい位置
31・・・電磁石を移動する方向
32・・・サーボモーター
33・・・ボールネジ
34・・・ボールネジの回転方向
35・・・移動ステージ
36・・・移動ステージの移動方向
L・・・撓みの無い材料の幅方向の長さ
2・・・搬送ロール
3・・・材料の搬送方向
4・・・シワ
5a・・・搬送ロールの中央部
5b・・・搬送ロールの端部
6・・・着磁性材料
7,8,9,10・・・帯状磁性体のヒープ・ピッチング・ローリング・捩れを示す方向11・・・傾斜型搬送ロール
20・・・本発明の着磁性材料の巻き取り搬送装置
21・・・巻き出し機構
22・・・巻き取り機構
23a、23b・・・搬送ロール
24a、24b・・・材料非接触保持手段(電磁石、永久磁石)
25a、25b・・・エッジ検出手段(EPCセンサ)
26a、26b・・・位置制御手段
27・・・材料の搬送方向
28・・・架台
29a、29b・・・電磁石を移動する方向
30・・・材料の正しい位置
31・・・電磁石を移動する方向
32・・・サーボモーター
33・・・ボールネジ
34・・・ボールネジの回転方向
35・・・移動ステージ
36・・・移動ステージの移動方向
L・・・撓みの無い材料の幅方向の長さ
Claims (3)
- 帯状着磁性材料を搬送する巻き取り搬送装置であって、
巻き出し機構と、巻き取り機構と、搬送ロールと、エッジ検出手段と、材料非接触保持手段と、位置制御手段と、を備え、
前記帯状着磁性材料を前記巻き出し機構より巻き出し、複数の前記搬送ロールを経由して搬送され、巻き取り機構まで搬送する間に、前記材料非接触保持手段が前記帯状着磁性材料を撓みなく保持し、
前記エッジ検出手段にて前記帯状着磁性材料の両端の位置を検出し、
前記位置制御手段は、前記帯状着磁性材料の両端の位置に基づいて、前記材料非接触保持手段を制御し、
前記帯状着磁性材料の幅方向位置を調整しながら搬送することを特徴とする着磁性材料の巻き取り搬送装置。 - 前記材料非接触保持手段は磁力が制御可能な電磁石であることを特徴とする請求項1に記載の着磁性材料の巻き取り搬送装置。
- 前記材料非接触保持手段は永久磁石であることを特徴とする請求項1に記載の着磁性材料の巻き取り搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013124496A JP2015000770A (ja) | 2013-06-13 | 2013-06-13 | 着磁性材料の巻き取り搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013124496A JP2015000770A (ja) | 2013-06-13 | 2013-06-13 | 着磁性材料の巻き取り搬送装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015000770A true JP2015000770A (ja) | 2015-01-05 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013124496A Pending JP2015000770A (ja) | 2013-06-13 | 2013-06-13 | 着磁性材料の巻き取り搬送装置 |
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Country | Link |
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2013
- 2013-06-13 JP JP2013124496A patent/JP2015000770A/ja active Pending
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