JP2014529972A5 - 物理量を検出する容量性変換器システム - Google Patents

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  1. 物理量を検出する容量性変換器システムであって、
    前記容量性変換器システムは、
    前記物理量に基づいてコア出力を生成する容量性コアであって、第1の可変キャパシタ、第2の可変キャパシタ、前記第1の可変キャパシタに結合された第1のコア入力、前記第2の可変キャパシタに結合された第2のコア入力、及び、前記第1の可変キャパシタと前記第2の可変キャパシタとの間の共通ノードに結合されたコア出力、を備えた、容量性コアと、
    増幅器入力と増幅器出力とを有する増幅器であって、前記増幅器入力は前記コア出力を受信するために前記共通ノードに切り替え可能に結合され、前記増幅器出力は変換器出力を提供する、増幅器と、
    前記変換器出力を前記容量性コアの前記共通ノードに切り替え可能に結合するフィードバックパスと、
    第1のフェーズと第2のフェーズとを有するメインクロックであって、前記容量性変換器システムの部品を結合するスイッチの開閉を制御する、メインクロックと、を備え、
    前記メインクロックが前記第1のフェーズのときに、前記容量性コアの前記第1の入力は正の基準電圧に結合され、前記容量性コアの前記第2の入力は負の基準電圧に結合され、前記容量性コアの前記共通ノードは前記変換器出力に結合され、前記負の基準電圧は前記正の基準電圧と実質的に同じ振幅及び反対の極性を有し、
    前記メインクロックが前記第2のフェーズのときに、前記容量性コアの前記第1及び第2の入力はグラウンドに結合され、前記容量性コアの前記共通ノードは前記増幅器入力に結合される、
    容量性変換器システム。
  2. 請求項1の容量性変換器システムにおいて、
    前記増幅器は、前記容量性変換器システムにおける単一の増幅器である、
    容量性変換器システム。
  3. 請求項1の容量性変換器システムにおいて、
    中和キャパシタをさらに備え、
    前記中和キャパシタは、前記容量性変換器システムにおけるフィードスルー容量及び寄生容量を除去する、
    容量性変換器システム。
  4. 請求項3の容量性変換器システムにおいて、
    前記中和キャパシタは、前記容量性変換器システムにおけるフィードスルー容量及び寄生容量をオフセットするために調整される、
    容量性変換器システム。
  5. 請求項3の容量性変換器システムにおいて、
    前記中和キャパシタは、前記増幅器入力及び前記変換器出力に切り替え可能に結合され、前記メインクロックが前記第1のフェーズのときに、前記中和キャパシタは、前記変換器出力に結合され、前記メインクロックが前記第2のフェーズのときに、前記中和キャパシタは、前記増幅器入力に結合される前記容量性コアの前記共通ノードに結合される、
    容量性変換器システム。
  6. 請求項5の容量性変換器システムにおいて、
    前記増幅器は、前記容量性変換器システムにおける単一の増幅器である、
    容量性変換器システム。
  7. 請求項6の容量性変換器システムにおいて、
    前記容量性コアは、第1の静止容量性プレート、第2の静止容量性プレート、第1の可動容量性プレート、及び、第2の可動容量性プレート、を含み、
    前記第1の可動容量性プレートは、前記第2の可動容量性プレートに結合されて前記共通ノードを形成し、
    前記第1の可変キャパシタは、前記第1の静止容量性プレートと前記第1の可動容量性プレートとによって形成され、
    前記第2の可変キャパシタは、前記第2の静止容量性プレートと前記第2の可動容量性プレートとによって形成される、
    容量性変換器システム。
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