JP2014522175A - クロスループアンテナ - Google Patents

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Abstract

アンテナが、集積回路(IC106)に固定されたパッケージ(104)内に含まれる(これによって放射を印刷回路基板(PCB)から離れて伝搬させて干渉を低減する)。このアンテナは2つのループアンテナ及び「ビアウォール」を含む。2つのループアンテナは、接地に短絡され、且つ、「重なる」。IC106は、メタライゼーション層404及びIC基板402を含んで、ICを覆う保護オーバーコート(406)を有する。スタッドバンプ(302−1)がICとアンテナパッケージ(104)との間に固定される。アンテナパッケージ(104)は、後に、PCBに固定され得る。開示された構成を用いて、入力信号の相対的位相を変更することにより円偏波が達成され得、表面波を低減することによって「ビアウォール」が効率を改善する。

Description

本願は、全般的にループアンテナに関し、より特定的にはテラヘルツ周波数範囲で用いるためのループアンテナに関する。
ループアンテナは長年多種多様な用途に用いられてきた。しかしながら、高周波数用途(即ち、テラヘルツ放射)に関して、及びモノリシック集積アンテナに関して、ループアンテナの使用に対して種々の障壁が存在し得る。例えば、アンテナと伝送媒体との間のパッケージング材料に関連する損失があり得る。別の例は、印刷回路基板又はPCBのトランスからの寄生放射及び干渉に起因する損失である。従って、改善されたシステムが必要とされている。従来のシステムの幾つかの例が下記文献に記載されている。
米国特許第7,545,329号 J. Grzyb, D. Liu, U. Pfeiffer, and B. Gaucher, "Wideband cavity-backed folded dipole superstate antenna for 60 GHz applications," Proceedings of the 2006 IEEE AP-S International Symposium and UNSC/URSI and AMEREM Meetings, pp.3939-3942, Albuquerque, New Mexico, July 9-14, 2006
例示の実施形態において、或る装置が提供される。この装置は、第1の端子と第2の端子と第3の端子と第4の端子とを有する基板、基板の上に配置される第1のメタライゼーション層、第1のメタライゼーション層の上に配置される第2のメタライゼーション層、及び第2のメタライゼーション層の上に配置される第3のメタライゼーション層を含む。第1のメタライゼーション層は、第1のウィンドウ領域と、第1の端子の上に配置され、第1の端子に電気的に接触する第1の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、第1のウィンドウ領域内に位置する第1の導電領域と、第2の端子の上に配置され、第2の端子に電気的に接触する第2の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、第1のウィンドウ領域内に位置する第2の導電領域と、第3の端子の上に配置され、第3の端子に電気的に接触する第3の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、第1のウィンドウ領域内に位置する第3の導電領域と、第4の端子の上に配置され、第4の端子に電気的に接触する第4の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、第1のウィンドウ領域内に位置する第4の導電領域とを含む。第2のメタライゼーション層は、第1のウィンドウ領域に実質的に整合される第2のウィンドウ領域と、第1の導電領域の上に配置され、第1の導電領域に電気的に接触する第5の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、第2のウィンドウ領域内に位置する第5の導電領域と、第2の導電領域の上に配置され、第2の導電領域に電気的に接触する第6の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、第2のウィンドウ領域内に位置する第6の導電領域と、第3の導電領域の上に配置され、第3の導電領域に電気的に接触する第7の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、第2のウィンドウ領域内に位置する第7の導電領域と、第4の導電領域の上に配置され、第4の導電領域に電気的に接触する第8の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、第2のウィンドウ領域内に位置する第8の導電領域と、第5と第8の導電領域の間に延び、第5及び第8の導電領域に電気的に接触する第9の導電領域とを含む。第3のメタライゼーション層は、第2のウィンドウ領域に実質的に整合される第3のウィンドウ領域と、第5の導電領域の上に配置され、第5の導電領域に電気的に接触する第10の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、第3のウィンドウ領域内に位置する第10の導電領域と、第6の導電領域の上に配置され、第6の導電領域に電気的に接触する第11の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、第3のウィンドウ領域内に位置する第11の導電領域と、第7の導電領域の上に配置され、第7の導電領域に電気的に接触する第12の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、第3のウィンドウ領域内に位置する第12の導電領域と、第8の導電領域の上に配置され、第8の導電領域に電気的に接触する第13の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、第3のウィンドウ領域に位置する第13の導電領域と、第11と第12の導電領域の間に延び、第11及び第12の導電領域に電気的に接触する第14の導電領域であって、第9の領域に重なる第14の導電領域とを含む。
例示の実施形態において、第1、第2、及び第3のウィンドウ領域は実質的に矩形である。
例示の実施形態において、この装置は、ビアの第1のセットとビアの第2のセットを更に含む。ビアの第1のセットの各ビアは、第1と第5の導電領域、第2と第6の導電領域、第3と第7の導電領域、及び第4と第8の導電領域の少なくとも1つの間に延びる。ビアの第2のセットの各ビアは、第10と第5の導電領域、第11と第6の導電領域、第12と第7の導電領域、及び第13と第8の導電領域の少なくとも1つの間に延びる。
例示の実施形態において、基板は複数のボーター端子を更に含む。第1のメタライゼーション層は第15の導電領域を更に含み、第15の導電領域は、第1のウィンドウ領域を実質的に囲み、且つ、ボーダー端子と電気的に接触する。第2のメタライゼーション層は第16の導電領域を更に含み、第16の導電領域は、第2のウィンドウ領域を実質的に囲み、且つ、第15の導電領域と電気的に接触する。第3のメタライゼーション層は第17の導電領域を更に含み、第17の導電領域は、第3のウィンドウ領域を実質的に囲み、且つ、第16の導電領域と電気的に接触する。
例示の実施形態において、装置はビアの第3のセットとビアの第4のセットを更に含む。ビアの第3のセットからの各ビアは第15と第16の導電領域の間に延び、ビアの第4のセットからの各ビアは第16と第17の導電領域の間に延びる。
例示の実施形態において、第1及び第2の端子は接地に結合される。
例示の実施形態において、第1、第2、第3、及び第4の端子はスタッドバンプである。
例示の実施形態において、或る装置が提供される。この装置は、集積回路(IC)及びアンテナパッケージを含む。ICは、無線周波数(RF)回路要素と、RF回路要素に結合されるスタッドバンプと、RF回路要素に結合される第2のスタッドバンプと、RF回路要素に結合され、接地に結合される第3のスタッドバンプと、RF回路要素に結合され、接地に結合される第4のスタッドバンプとを有する。アンテナパッケージは、誘電体層であって、第1、第2、第3、及び第4のスタッドバンプが誘電体層を介して延びる誘電体層と、誘電体層とICとの間に配置されるアンダーフィル層と、基板の上に配置される第1のメタライゼーション層と、パッケージ基板と、パッケージ基板の上に配置される第2のメタライゼーション層と、第1のメタライゼーション層の上に配置される第2のメタライゼーション層と、第2のメタライゼーション層の上に配置される第3のメタライゼーション層とを有する。基板の上に配置される第1のメタライゼーション層は、第1のウィンドウ領域と、第1のスタッドバンプの上に配置され、第1のスタッドバンプに電気的に接触する第1の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、第1のウィンドウ領域内に位置する第1の導電領域と、第2のスタッドバンプの上に配置され、第2のスタッドバンプに電気的に接触する第2の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、第1のウィンドウ領域内に位置する第2の導電領域と、第3のスタッドバンプの上に配置され、第3のスタッドバンプに電気的に接触する第3の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、第1のウィンドウ領域内に位置する第3の導電領域と、第4のスタッドバンプの上に配置され、第4のスタッドバンプに電気的に接触する第4の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、第1のウィンドウ領域内に位置する第4の導電領域とを含む。パッケージ基板の上に配置される第2のメタライゼーション層は、第1のウィンドウ領域に実質的に整合される第2のウィンドウ領域と、第1の導電領域上に配置され、第1の導電領域に電気的に接触する第5の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、第2のウィンドウ領域内に位置する第5の導電領域と、第2の導電領域上に配置され、第2の導電領域に電気的に接触する第6の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、第2のウィンドウ領域内に位置する第6の導電領域と、第3の導電領域の上に配置され、第3の導電領域に電気的に接触する第7の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、第2のウィンドウ領域内に位置する第7の導電領域と、第4の導電領域の上に配置され、第4の導電領域に電気的に接触する第8の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、第2のウィンドウ領域内に位置する第8の導電領域と、ビアのセットとを含む。ビアのセットからの各ビアは、第1と第5の導電領域、第2と第6の導電領域、第3と第7の導電領域、及び第4と第8の導電領域の少なくとも1つの間のパッケージ基板を介して延びる。第1のメタライゼーション層の上に配置される第2のメタライゼーション層は、第2のウィンドウ領域に実質的に整合される第3のウィンドウ領域と、第5の導電領域の上に配置され、第5の導電領域に電気的に接触する第9の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、第3のウィンドウ領域内に位置する第9の導電領域と、第6の導電領域の上に配置され、第6の導電領域に電気的に接触する第10の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、第3のウィンドウ領域内に位置する第10の導電領域と、第7の導電領域の上に配置され、第7の導電領域に電気的に接触する第11の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、第3のウィンドウ領域内に位置する第11の導電領域と、第8の導電領域の上に配置され、第8の導電領域に電気的に接触する第12の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、第3のウィンドウ領域内に位置する第12の導電領域と、第9と第12の導電領域の間に延び、第9と第12の導電領域に電気的に接触する第13の導電領域とを含む。第2のメタライゼーション層の上に配置される第3のメタライゼーション層は、第3のウィンドウ領域に実質的に整合される第4のウィンドウ領域と、第9の導電領域の上に配置され、第9の導電領域に電気的に接触する第14の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、第4のウィンドウ領域内に位置する第14の導電領域と、第10の導電領域の上に配置され、第10の導電領域に電気的に接触する第15の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、第4のウィンドウ領域内に位置する第15の導電領域と、第11の導電領域の上に配置され、第11の導電領域に電気的に接触する第16の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、第4のウィンドウ領域内に位置する第16の導電領域と、第12の導電領域の上に配置され、第12の導電領域に電気的に接触する第17の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、第4のウィンドウ領域内に位置する第17の導電領域と、第15と第16の導電領域の間に延び、第15と第16の導電領域に電気的に接触する第18の導電領域であって、第13の領域に重なる第18の導電領域とを含む。
例示の実施形態において、第1、第2、第3、及び第4のウィンドウ領域は実質的に矩形である。
例示の実施形態において、ビアのセットが、ビアの第1のセットを更に含む。アンテナパッケージは、ビアの第2のセットとビアの第3のセットを更に含む。ビアの第2のセットからの各ビアは、第9と第5の導電領域、第10と第6の導電領域、第11と第7の導電領域、及び第12と第8の導電領域の少なくとも1つの間に延びる。ビアの第3のセットからの各ビアは、第9と第14の導電領域、第10と第15の導電領域、第11と第16の導電領域、及び第12と第17の導電領域の少なくとも1つの間に延びる。
例示の実施形態において、ICは複数のボーダースタッドバンプを更に含む。第1のメタライゼーション層は第19の導電領域を更に含む。第19の導電領域は、第1のウィンドウ領域を実質的に囲み、且つ、ボーダースタッドバンプと電気的に接触する。第2のメタライゼーション層は第20の導電領域を更に含み、第20の導電領域は、第2のウィンドウ領域を実質的に囲み、且つ、第19の導電領域と電気的に接触する。第3のメタライゼーション層は第21の導電領域を更に含む。第21の導電領域は、第3のウィンドウ領域を実質的に囲み、且つ、第20の導電領域と電気的に接触する。
例示の実施形態において、アンテナパッケージは、ビアの第4のセットとビアの第5のセットを更に含む。ビアの第4のセットからの各ビアは、第19と第20の導電領域の間に延び、ビアの第5のセットからの各ビアは、第20と第21の導電領域の間に延びる。
例示の実施形態において、第1、第2、第3、及び第4のメタライゼーション層は、銅又はアルミニウムで形成される。誘電体層はポリイミドで形成される。第1、第2、第3、第4、及びボーダースタッドバンプの各々は、金ニッケルめっきを用いて金で形成される。
実施形態において、或る装置が提供される。この装置は、複数のRFトランシーバと複数のスタッドバンプとを有する集積回路(IC)、アンテナパッケージ、及び高インピーダンス表面(HIS))を含む。スタッドバンプの各セットはRFトランシーバの少なくとも1つに関連する。スタッドバンプの各セットは、関連するRFトランシーバに結合される第1のスタッドバンプと、関連するRFトランシーバに結合される第2のスタッドバンプと、関連するRFトランシーバに結合され、且つ、接地に結合される第3のスタッドバンプと、関連するRFトランシーバに結合され、且つ、接地に結合される第4のスタッドバンプとを含む。アンテナパッケージは、誘電体層であって、スタッドバンプの複数のセットの各セットからの各スタッドバンプがこの誘電体層を介して延びる誘電体層と、誘電体層とICとの間に配置されるアンダーフィル層と、パッケージ基板と、アンテナのアレイとを含む。各アンテナは、RFトランシーバの少なくとも1つに関連する。各アンテナは、基板の上に配置される第1のメタライゼーション層と、パッケージ基板の上に配置される第2のメタライゼーション層と、第1のメタライゼーション層の上に配置される第2のメタライゼーション層と、ビアのセットと、第1のメタライゼーション層の上に配置される第2のメタライゼーション層と、第2のメタライゼーション層の上に配置される第3のメタライゼーション層とを有する。第1のメタライゼーション層は、第1のウィンドウ領域と、第1のスタッドバンプの上に配置され、第1のスタッドバンプに電気的に接触する第1の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、第1のウィンドウ領域内に位置する第1の導電領域と、第2のスタッドバンプの上に配置され、第2のスタッドバンプに電気的に接触する第2の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、第1のウィンドウ領域内に位置する第2の導電領域と、第3のスタッドバンプの上に配置され、第3のスタッドバンプに電気的に接触する第3の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、第1のウィンドウ領域内に位置する第3の導電領域と、第4のスタッドバンプの上に配置され、第4のスタッドバンプに電気的に接触する第4の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、第1のウィンドウ領域内に位置する第4の導電領域とを含む。パッケージ基板の上に配置される第2のメタライゼーション層は、第1のウィンドウ領域に実質的に整合される第2のウィンドウ領域と、第1の導電領域上に配置され、第1の導電領域に電気的に接触する第5の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、第2のウィンドウ領域内に位置する第5の導電領域と、第2の導電領域上に配置され、第2の導電領域に電気的に接触する第6の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、第2のウィンドウ領域内に位置する第6の導電領域と、第3の導電領域の上に配置され、第3の導電領域に電気的に接触する7の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、第2のウィンドウ領域内に位置する第7の導電領域と、第4の導電領域の上に配置され、第4の導電領域に電気的に接触する第8の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、第2のウィンドウ領域内に位置する第8の導電領域とを含む。ビアのセットからの各ビアは、第1と第5の導電領域、第2と第6の導電領域、第3と第7の導電領域、及び第4と第8の導電領域の少なくとも1つの間のパッケージ基板を介して延びる。第1のメタライゼーション層の上に配置される第2のメタライゼーション層は、第2のウィンドウ領域に実質的に整合される第3のウィンドウ領域と、第5の導電領域の上に配置され、第5の導電領域に電気的に接触する第9の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、第3のウィンドウ領域内に位置する第9の導電領域と、第6の導電領域の上に配置され、第6の導電領域に電気的に接触する第10の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、第3のウィンドウ領域内に位置する第10の導電領域と、第7の導電領域の上に配置され、第7の導電領域に電気的に接触する第11の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、第3のウィンドウ領域内に位置する第11の導電領域と、第8の導電領域の上に配置され、第8の導電領域に電気的に接触する第12の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、第3のウィンドウ領域内に位置する第12の導電領域と、第9と第12の導電領域の間に延び、第9と第12の導電領域に電気的に接触する第13の導電領域とを含む。第2のメタライゼーション層の上に配置される第3のメタライゼーション層は、第3のウィンドウ領域に実質的に整合される第4のウィンドウ領域と、第9の導電領域の上に配置され、第9の導電領域に電気的に接触する第14の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、第4のウィンドウ領域内に位置する第14の導電領域と、第10の導電領域の上に配置され、第10の導電領域に電気的に接触する第15の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、第4のウィンドウ領域内に位置する第15の導電領域と、第11の導電領域の上に配置され、第11の導電領域に電気的に接触する第16の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、第4のウィンドウ領域内に位置する第16の導電領域と、第12の導電領域の上に配置され、第12の導電領域に電気的に接触する第17の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、第4のウィンドウ領域内に位置する第17の導電領域と、第15と第16の導電領域の間に延び、第15と第16の導電領域に電気的に接触する第18の導電領域であって、第13の領域に重なる、第18の導電領域とを含む。HISは、基板上に配置され、アンテナのアレイを実質的に囲む。
後述の本発明の詳細な説明をより良好に理解するために、ここまでは本発明の特徴及び技術的利点をむしろ概略的に説明してきた。ここからは本発明の特許請求の範囲の主題を構成する本発明の追加的特徴及び利点を説明する。なお、当業者であれば、開示された概念及び特定の実施形態が、本発明と同じ目的を実行するため他の構造を改変又は設計するための基礎として容易に利用され得ることを理解すべきであろう。そのような同等の構造が、添付の請求の範囲に記載される本発明の趣旨及び範囲から逸脱しないことを当業者は理解するべきであろう。
以下の添付図面を参照して例示の実施形態を説明する。
好ましい例示の実施形態に従ったシステムである。
図1のアンテナパッケージの平面図である。
図2のアンテナのための底部誘電体層の平面図である。
図3の切断線I−Iに沿った断面図である。
図2のアンテナのためのメタライゼーション層の平面図である。 図5の切断線II−IIに沿った断面図である。 図2のアンテナのためのメタライゼーション層の平面図である。 図7の切断線III−IIIに沿った断面図である。 図2のアンテナのためのメタライゼーション層の平面図である。 図9の切断線IV−IVに沿った断面図である。 図2のアンテナのためのメタライゼーション層の平面図である。
図11の切断線V−Vに沿った断面図である。
図2のアンテナの放射パターンの例を示す図である。
図1はシステム100の例示の実施形態を示す。このシステム100は概して、印刷回路基板(PCB)102、アンテナパッケージ104、及び集積回路(IC)106を含む。IC106は概して、無線周波数(RF)回路要素を含む。例えば、IC106は、多数のトランシーバを含むテラヘルツ位相アレイシステムであり得る。そのようなICの例は、同時継続中の2010年9月9日出願の米国特許出願番号第12/878,484号、発明の名称「テラヘルツ位相アレイシステム」(公開番号US2012/0062286A1)において見出され、これは、参照として本明細書に採り込まれている。IC106は、各トランシーバが(例えば)アンテナパッケージ104上に含まれるアンテナと通信できるように、その後、アンテナパッケージ104に固定される。典型的に、IC106は、(図4、図6、図8、図10、及び図12に示すように)メタライゼーション層404及びIC基板402を含んで、IC106を覆う保護オーバーコート406を有し、スタッドバンプ302−1〜302−20(これらは、図3、図4、図6、図8、図10、及び図12で見ることができる)がIC106とアンテナパッケージ104との間に固定される。アンテナパッケージ104は、その後、PCB102に固定され得る(これは典型的に、半田ボール108を介してボンドパッドを互いに固定することを経て達成される)。この配置を用いることによって、クロストークやロスが低減され得る。
米国特許出願番号第12/878,484号
図2は、アンテナパッケージ104の例をより詳細に示す。図示されるように、アンテナパッケージは、高インピーダンス表面(HIS)によって実質的に囲まれた位相アレイ204を含む。そのようなHISの例は、2011年5月26日出願の米国特許出願番号第13/116,885号、発明の名称「高インピーダンス表面」に見出すことができ、これはあらゆる目的のために参照として本明細書に採り込まれている。また、図示されるように、位相アレイ204はアンテナ206−1〜206−4を含むが、任意の数のアンテナが可能である。この位相アレイ204は、その後、放射ビームの方向を制御するために用いられ得る。
米国特許出願番号第13/116,885号
図3〜図12は、アンテナ206−1〜206−4(以下206で示す)の各々の構造の例を示す。アンテナ206は、(例えば)160GHzで動作するように構成され得る。この例示の動作周波数の場合、(図3〜図12に示すような)アンテナによって占有される面積は、1020μm×1020μmであり得る。また、アンテナパッケージ106の「コア」は、パッケージ基板420(これは例えば厚みが約160μmであり得る)であり得る。このパッケージ基板420は、高弾性係数、低熱膨張係数のポリマーで形成され得る。この例がMCL−E679GT(これはHitachi Chemical Co.America,Ltd社から入手可能)であり得る。その後、異なる材料の層がパッケージ基板402上に形成され得る。
パッケージ基板402の下側(すなわち、パッケージ基板402とIC106との間)に誘電体層414が形成される。図3及び図4に示すように、誘電体層414(底部誘電体層とも称する)は、例えば、厚み約10μmのポリイミドで形成され得る。スタッドバンプ302−1〜302−20が、誘電体層を介して延び、例えば、金ニッケルコンタクト層410を有する金で形成され得る。図示されるように、スタッドバンプ302−5〜302−20がアンテナ206の周囲に沿って(互いに、例えば約200μm離れて)配置され、一方、スタッドバンプ302−1〜302−4は、互いに(例えば)約220μm離れて、アンテナ206の中心辺りに対称的に配置される。また、スタッドバンプ302−1及び302−2は、典型的に、IC106内の対応するRFトランシーバの差動フィード端子に結合され、スタッドバンプ302−3及び302−4は、典型的に、接地に結合される。
また、メタライゼーション層416が(図5及び図6に示すように)、誘電体層414とパッケージ基板420との間に形成される。このメタライゼーション層416は、(例えば)厚みが約17μmのアルミニウム又は銅で形成され得る。図示されるように、メタライゼーション層416は、ウィンドウ領域502を囲む導電領域504(これは例えば幅が約180μmであり得る)を有し、ウィンドウ領域502内に、それぞれスタッドバンプ302−1〜302−4と概して整合される導電領域506−1〜506−4を有する。これらの導電領域506−1〜506−4は、(例えば)直径が約100μmの概して円形であり得る。パッケージ基板402は、また、ビア418−1〜418−20(これらは概して、導電領域504及びスタッドバンプ302−1〜302−20と整合され、且つ、導電領域504及びスタッドバンプ302−1〜302−20と電気的に接触する)を含む。典型的に、アンテナパッケージ104の製造において、最初にメタライゼーション層416がパッケージ基板420の下側に形成され、誘電体層414はメタライゼーション層416の上に形成される。IC106及びアンテナパッケージ104のアセンブリの間、IC106と誘電体層414(これは例えば、誘電率約3.2C/V*m及び導電率0.011S/mを有し得る)との間にアンダーフィル層412が形成され得る。このアンダーフィル層412は、アセンブリの前に貼られるフィルムでもよく、或いはアンダーフィル化合物の注入によって形成されてもよい。
図7及び図8はメタライゼーション層422を示す。このメタライゼーション層422(メタライゼーション層416に類似)は、ウィンドウ領域602(ウィンドウ領域602はウィンドウ領域502と実質的に整合され得る)を実質的に囲む導電領域604を有する。このメタライゼーション層422は、(例えば)厚みが約17μmのアルミニウム又は銅で形成され得る。ウィンドウ領域602内に、導電領域606−1〜606−4があり、導電領域606−1〜606−4は、それぞれ、ビア418−1〜418−4と実質的に整合され、それぞれ、ビア418−1〜418−4を介して導電領域506−1〜506−4と電気的に接触する。これらの導電領域606−1〜606−4の各々は、また、(例えば)直径が約180μmの概して円形であり得る。
メタライゼーション層428が図9及び図10に示される。このメタライゼーション層428(これは例えば、厚みが約17μmのアルミニウム又は銅で形成され得る)は、ウィンドウ領域702を実質的に囲む導電領域704(これは幅が約180μmであり得る)を有し、ウィンドウ領域702内に導電領域706−1〜706−5を有する。メタライゼーション層422と428を分離するのは、誘電体層426(これは例えば厚みが約20μmのポリイミドフィルムであり得る)であり、それを介して延びるビア424−1〜424−20を備える。導電領域706−1〜706−4は、また、(例えば)直径が約180μmの概して円形であり得、これらは、それぞれ、導電領域606−1〜606−4及びビア424−1〜424−4と整合されている。また、IC106内のRFトランシーバからの1つのフィード端子(即ち、スタッドバンプ302−1を介する)と、接地(即ち、スタッドバンプ302−4を介する)との間の接続を形成するように、導電領域706−5(これは例えば幅が約60μmであり得る)が、導電領域706−1及び706−4の間に延び、導電領域706−1及び706−4と電気的に接触する。
図11及び図12はメタライゼーション層434を示す。他のメタライゼーション層(即ち、422)と同様に、メタライゼーション層434は、ウィンドウ領域802を実質的に囲み、ビア430−5〜430−20を介して導電領域704と電気的に接触する導電領域804(これは幅が例えば180μmであり、厚みが例えば17μmであり得る)を有する。メタライゼーション層434は、また、導電領域806−1〜806−4(これらは例えば、概して円形であり、直径が約100μmであり得る)を含む。導電領域806−1〜806−4は、それぞれ、導電領域706−1〜706−4と概して整合され、それぞれ、ビア430−1〜430−4を介して電気的に接触する。また、IC106内のRFトランシーバからの1つのフィード端子(即ち、スタッドバンプ302−2を介する)と、接地(即ち、スタッドバンプ302−3を介する)との間の接続を形成するように、導電領域806−2と806−3との間に延び、導電領域806−2と806−3と電気的に接触する導電領域806−5がある。導電領域806−5及び706−5の向きのため、導電領域806−5が導電領域706−5に重なり「クロスループ」になる。
例えば、160GHzの放射を生成するために、この構造を用いることにより、図13に示す放射パターンが生成され得る。この例に示されるように、これは指向性が5.2dBi、利得が4.0dBi、及び効率が76%の広帯域ビームである。また、システム100の配置の理由で、放射がPCB102から離れて伝搬して、そのため、PCBトランスからの寄生放射及び干渉が低減され得、また、ループアンテナ(即ち、アンテナ206)は、入力信号の位相を変化させることによって円偏波(circular planarization)を可能にし得る。また、「ビアウォール」(これは概して、ビア418−5〜418−20、424−5〜424−20、及び430−5〜430−20によって形成される)は、表面波を低減することによって放射効率を改善する。更に、アンテナ利得を増加させるように、反射器及び導波器を形成するために、アンテナパッケージ104及びIC106の両方において金属層が用いられ得る。
本発明が関連する分野の当業者であれば、本発明の特許請求の範囲から逸脱することなく、記載された実施形態に変更が行なわれ得ること、及び他の多くの実施形態が可能であることが理解されるであろう。

Claims (13)

  1. 装置であって、
    第1の端子と第2の端子と第3の端子と第4の端子とを有する基板、
    前記基板の上に配置される第1のメタライゼーション層、
    前記第1のメタライゼーション層の上に配置される第2のメタライゼーション層、
    及び
    前記第2のメタライゼーション層の上に配置される第3のメタライゼーション層、
    を含み、
    前記第1のメタライゼーション層が、
    第1のウィンドウ領域と、
    前記第1の端子の上に配置され、前記第1の端子と電気的に接触する第1の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、前記第1のウィンドウ領域内に位置する、前記第1の導電領域と、
    前記第2の端子の上に配置され、前記第2の端子と電気的に接触する第2の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、前記第1のウィンドウ領域内に位置する、前記第2の導電領域と、
    前記第3の端子の上に配置され、前記第3の端子と電気的に接触する第3の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、前記第1のウィンドウ領域内に位置する、前記第3の導電領域と、
    前記第4の端子の上に配置され、前記第4の端子と電気的に接触する第4の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、前記第1のウィンドウ領域内に位置する、前記第4の導電領域と、
    を含み、
    前記第2のメタライゼーション層が、
    前記第1のウィンドウ領域と実質的に整合される第2のウィンドウ領域と、
    前記第1の導電領域の上に配置され、前記第1の導電領域と電気的に接触する第5の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、前記第2のウィンドウ領域内に位置する、前記第5の導電領域と、
    前記第2の導電領域の上に配置され、前記第2の導電領域と電気的に接触する第6の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、前記第2のウィンドウ領域内に位置する、前記第6の導電領域と、
    前記第3の導電領域の上に配置され、前記第3の導電領域と電気的に接触する第7の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、前記第2のウィンドウ領域内に位置する、前記第7の導電領域と、
    前記第4の導電領域の上に配置され、前記第4の導電領域と電気的に接触する第8の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、前記第2のウィンドウ領域内に位置する、前記第8の導電領域と、
    前記第5と第8の導電領域の間に延び、前記第5及び第8の導電領域と電気的に接触する第9の導電領域と、
    を含み、
    前記第3のメタライゼーション層が、
    前記第2のウィンドウ領域と実質的に整合される第3のウィンドウ領域と、
    前記第5の導電領域の上に配置され、前記第5の導電領域と電気的に接触する第10の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、前記第3のウィンドウ領域内に位置する、前記第10の導電領域と、
    前記第6の導電領域の上に配置され、前記第6の導電領域と電気的に接触する第11の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、前記第3のウィンドウ領域内に位置する、前記第11の導電領域と、
    前記第7の導電領域の上に配置され、前記第7の導電領域と電気的に接触する第12の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、前記第3のウィンドウ領域内に位置する、前記第12の導電領域と、
    前記第8の導電領域の上に配置され、前記第8の導電領域と電気的に接触する第13の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、前記第3のウィンドウ領域に位置する、前記第13の導電領域と、
    前記第11と第12の導電領域の間に延び、前記第11及び第12の導電領域と電気的に接触する第14の導電領域であって、前記第9の領域に重なる、前記第14の導電領域と、
    を含む、装置。
  2. 請求項1に記載の装置であって、前記第1、第2、及び第3のウィンドウ領域が実質的に矩形である装置。
  3. 請求項2に記載の装置であって、前記装置が、
    ビアの第1のセットと、
    ビアの第2のセットと、
    を更に含み、
    前記ビアの第1のセットの各ビアが、前記第1と第5の導電領域、前記第2と第6の導電領域、前記第3と第7の導電領域、及び前記第4と第8の導電領域の少なくとも1つの間に延び、
    前記ビアの第2のセットの各ビアが、前記第10と第5の導電領域、前記第11と第6の導電領域、前記第12と第7の導電領域、及び前記第13と第8の導電領域の少なくとも1つの間に延びる、
    装置。
  4. 請求項3に記載の装置であって、
    前記基板が複数のボーター端子を更に含み、
    前記第1のメタライゼーション層が、前記第1のウィンドウ領域を実質的に囲み、且つ、前記ボーダー端子と電気的に接触する第15の導電領域を更に含み、
    前記第2のメタライゼーション層が、前記第2のウィンドウ領域を実質的に囲み、且つ、前記第15の導電領域と電気的に接触する第16の導電領域を更に含み、
    前記第3のメタライゼーション層が、前記第3のウィンドウ領域を実質的に囲み、且つ、前記第16の導電領域と電気的に接触する第17の導電領域を更に含む、
    装置。
  5. 請求項4に記載の装置であって、前記装置が、
    ビアの第3のセットと、
    ビアの第4のセットと、
    を更に含み、
    前記ビアの第3のセットからの各ビアが、前記第15と第16の導電領域の間に延び、
    前記ビアの第4のセットからの各ビアが、前記第16と第17の導電領域の間に延びる、
    装置。
  6. 請求項5に記載の装置であって、前記第1及び第2の端子が接地に結合される装置。
  7. 請求項6に記載の装置であって、前記第1、第2、第3、及び第4の端子がスタッドバンプである装置。
  8. 装置であって、
    集積回路(IC)、及び、
    アンテナパッケージ、
    を含み、
    前記ICが、
    無線周波数(RF)回路要素と、
    前記RF回路要素に結合されるスタッドバンプと、
    前記RF回路要素に結合される第2のスタッドバンプと、
    前記RF回路要素に結合され、且つ、接地に結合される第3のスタッドバンプと、
    前記RF回路要素に結合され、且つ、接地に結合される第4のスタッドバンプと、
    を有し、
    前記アンテナパッケージが、
    誘電体層であって、前記第1、第2、第3、及び第4のスタッドバンプが前記誘電体層を介して延びる、前記誘電体層と、
    前記誘電体層と前記ICとの間に配置されるアンダーフィル層と、
    前記基板の上に配置される第1のメタライゼーション層と、
    パッケージ基板と、
    前記パッケージ基板の上に配置される第2のメタライゼーション層と、
    前記第1のメタライゼーション層の上に配置される第2のメタライゼーション層と、
    前記第2のメタライゼーション層の上に配置される第3のメタライゼーション層と、
    を有し、
    前記基板の上に配置される前記第1のメタライゼーション層が、
    第1のウィンドウ領域と、
    前記第1のスタッドバンプの上に配置され、前記第1のスタッドバンプと電気的に接触する第1の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、前記第1のウィンドウ領域内に位置する、前記第1の導電領域と、
    前記第2のスタッドバンプの上に配置され、前記第2のスタッドバンプと電気的に接触する第2の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、前記第1のウィンドウ領域内に位置する、前記第2の導電領域と、
    前記第3のスタッドバンプの上に配置され、前記第3のスタッドバンプと電気的に接触する第3の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、前記第1のウィンドウ領域内に位置する、前記第3の導電領域と、
    前記第4のスタッドバンプの上に配置され、前記第4のスタッドバンプと電気的に接触する第4の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、前記第1のウィンドウ領域内に位置する、前記第4の導電領域と、
    を含み、
    前記パッケージ基板の上に配置される前記第2のメタライゼーション層が、
    前記第1のウィンドウ領域と実質的に整合される第2のウィンドウ領域と、
    前記第1の導電領域の上に配置され、前記第1の導電領域と電気的に接触する第5の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、前記第2のウィンドウ領域内に位置する、前記第5の導電領域と、
    前記第2の導電領域の上に配置され、前記第2の導電領域と電気的に接触する第6の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、前記第2のウィンドウ領域内に位置する、前記第6の導電領域と、
    前記第3の導電領域の上に配置され、前記第3の導電領域と電気的に接触する第7の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、前記第2のウィンドウ領域内に位置する、前記第7の導電領域と、
    前記第4の導電領域の上に配置され、前記第4の導電領域と電気的に接触する第8の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、前記第2のウィンドウ領域内に位置する、前記第8の導電領域と、
    ビアのセットであって、前記ビアのセットからの各ビアが、前記第1と第5の導電領域、前記第2と第6の導電領域、前記第3と第7の導電領域、及び前記第4と第8の導電領域の少なくとも1つの間の前記パッケージ基板を介して延びる、前記ビアのセットと、
    を含み、
    前記第1のメタライゼーション層の上に配置される前記第2のメタライゼーション層が、
    前記第2のウィンドウ領域と実質的に整合される第3のウィンドウ領域と、
    前記第5の導電領域の上に配置され、前記第5の導電領域と電気的に接触する第9の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、前記第3のウィンドウ領域内に位置する、前記第9の導電領域と、
    前記第6の導電領域の上に配置され、前記第6の導電領域と電気的に接触する第10の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、前記第3のウィンドウ領域内に位置する、前記第10の導電領域と、
    前記第7の導電領域の上に配置され、前記第7の導電領域と電気的に接触する第11の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、前記第3のウィンドウ領域内に位置する、前記第11の導電領域と、
    前記第8の導電領域の上に配置され、前記第8の導電領域と電気的に接触する第12の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、前記第3のウィンドウ領域内に位置する、前記第12の導電領域と、
    前記第9と第12の導電領域の間に延び、前記第9と第12の導電領域と電気的に接触する第13の導電領域と、
    を含み、
    前記第2のメタライゼーション層の上に配置される前記第3のメタライゼーション層が、
    前記第3のウィンドウ領域と実質的に整合される第4のウィンドウ領域と、
    前記第9の導電領域の上に配置され、前記第9の導電領域と電気的に接触する第14の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、前記第4のウィンドウ領域内に位置する、前記第14の導電領域と、
    前記第10の導電領域の上に配置され、前記第10の導電領域と電気的に接触する第15の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、前記第4のウィンドウ領域内に位置する、前記第15の導電領域と、
    前記第11の導電領域の上に配置され、前記第11の導電領域と電気的に接触する第16の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、前記第4のウィンドウ領域内に位置する、前記第16の導電領域と、
    前記第12の導電領域の上に配置され、前記第12の導電領域と電気的に接触する第17の導電領域であって、実質的に円形であり、且つ、前記第4のウィンドウ領域内に位置する、前記第17の導電領域と、
    前記第15と第16の導電領域の間に延び、前記第15と第16の導電領域と電気的に接触する第18の導電領域であって、前記第13の領域に重なる、前記第18の導電領域と、
    を含む、装置。
  9. 請求項8に記載の装置であって、前記第1、第2、第3、及び第4のウィンドウ領域が実質的に矩形である、装置。
  10. 請求項9に記載の装置であって、
    前記ビアのセットが、ビアの第1のセットを更に含み、
    前記アンテナパッケージが、
    ビアの第2のセットと、
    ビアの第3のセットと、
    を更に含み、
    前記ビアの第2のセットからの各ビアが、前記第9と第5の導電領域、前記第10と第6の導電領域、前記第11と第7の導電領域、及び前記第12と第8の導電領域の少なくとも1つの間に延び、
    前記ビアの第3のセットからの各ビアが、前記第9と第14の導電領域、前記第10と第15の導電領域、前記第11と第16の導電領域、及び前記第12と第17の導電領域の少なくとも1つの間に延びる、
    装置。
  11. 請求項10に記載の装置であって、
    前記ICが複数のボーダースタッドバンプを更に含み、
    前記第1のメタライゼーション層が、前記第1のウィンドウ領域を実質的に囲み、且つ、前記ボーダースタッドバンプと電気的に接触する第19の導電領域を更に含み、
    前記第2のメタライゼーション層が、前記第2のウィンドウ領域を実質的に囲み、且つ、前記第19の導電領域と電気的に接触する第20の導電領域を更に含み、
    前記第3のメタライゼーション層が、前記第3のウィンドウ領域を実質的に囲み、且つ、前記第20の導電領域と電気的に接触する第21の導電領域を更に含む、
    装置。
  12. 請求項11に記載の装置であって、
    前記アンテナパッケージが、
    ビアの第4のセットと、
    ビアの第5のセットと、
    を更に含み、
    前記ビアの第4のセットからの各ビアが、前記第19と第20の導電領域の間に延び、
    前記ビアの第5のセットからの各ビアが、前記第20と第21の導電領域の間に延びる、
    装置。
  13. 請求項12に記載の装置であって、
    前記第1、第2、第3、及び第4のメタライゼーション層が銅又はアルミニウムで形成され、
    前記誘電体層がポリイミドで形成され、前記第1、第2、第3、第4、及びボーダースタッドバンプの各々が、金ニッケルめっきを用いて金で形成される、
    装置。
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