JP2014518456A5 - - Google Patents

Description

段階３０５で電圧がＶＭＩＮより大きくない場合に、段階３０６で、増幅器レーザチャンバガスを抽気して固定の量で圧力を低減する。ガスを抽気すると、圧力が低減し、それによって放電電圧が増大する。遷移を可能にするための数秒、一実施形態においては３秒の待機の後に、工程は、段階３０２に戻り、電圧及び圧力を再び測定する。段階３０５に再び到達した時に、放電電圧がこの時点で在ＶＭＩＮよりも大きいか又はそれに等しい（かつ圧力がＰＭＩＮより大きい）場合に、工程は、段階３０７で第２の設定シーケンスに再び移動する。

放電電圧が依然としてＶＭＩＮ未満である場合に、段階３０６を繰返し、ガスを再び抽気し、工程は、再び放電電圧及び圧力の測定に向けて段階３０２に戻る。一実施形態において、ガスは、毎回同じ量で抽気され、他の実施形態において、抽気量は、毎回の反復時に、例えば、以前の抽気の結果としての放電電圧の変化に基づいて変更することができる。段階３０２、３０３、３０５、及び３０６は、段階３０７及び第２の設定シーケンスに進む条件の１つが発生するまで、すなわち、圧力がＰＭＩＮ未満であり、又は圧力がＰＭＩＮよりも大きいか又はそれに等しく、放電電圧がＶＭＩＮよりも大きいか又はそれに等しくなるまで繰り返すことになる。

しかし、増幅器レーザチャンバ内の圧力が依然としてＰＭＩＮに等しいか又はそれよりも大きい場合に、段階５０９で、増幅器レーザチャンバのガスを再び固定量で抽気する。上述したように、これは、一定期間にわたって充填弁を開くことによって行うことができる。放電電圧は、圧力が減少する時に再び増加し、それによってここでもまた主発振器チャンバエネルギが増加する。遷移を落ち着かせるための短い、例えば、５秒の待機後に、工程は、段階５０２に戻り、放電電圧が再び測定される。段階５０２から５０９は、出口点の１つに到達するまで繰り返される。

Claims (2)

1. 前記最適化方式は、ガスを決定された量で前記増幅器チャンバから抽気することを更に含むことを特徴とする請求項１に記載の二重チャンバガス放電レーザ光源。
   
2. 最適化方式が、前記第２のシーケンス中に前記増幅器チャンバの前記圧力を測定し、該圧力が所定の値を下回った場合に、該第２のシーケンスを停止して前記第３のシーケンスを開始する段階を更に含むことを特徴とする請求項１０に記載の方法。