JP2014514452A - 高電力スパッタ源 - Google Patents
高電力スパッタ源 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014514452A JP2014514452A JP2014505524A JP2014505524A JP2014514452A JP 2014514452 A JP2014514452 A JP 2014514452A JP 2014505524 A JP2014505524 A JP 2014505524A JP 2014505524 A JP2014505524 A JP 2014505524A JP 2014514452 A JP2014514452 A JP 2014514452A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- power
- supply unit
- power supply
- magnetron
- source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/35—Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/35—Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering
- C23C14/352—Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering using more than one target
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/54—Controlling or regulating the coating process
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
- H01J37/3402—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering using supplementary magnetic fields
- H01J37/3405—Magnetron sputtering
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
- H01J37/3411—Constructional aspects of the reactor
- H01J37/3444—Associated circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
- H01J37/3464—Operating strategies
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
- H01J37/3464—Operating strategies
- H01J37/3467—Pulsed operation, e.g. HIPIMS
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
- H01J37/3488—Constructional details of particle beam apparatus not otherwise provided for, e.g. arrangement, mounting, housing, environment; special provisions for cleaning or maintenance of the apparatus
- H01J37/3497—Temperature of target
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Coating By Spraying Or Casting (AREA)
- Disintegrating Or Milling (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
Description
本明細書の枠内では、「スパッタリング(Sputtern)」と「吹き付け(Zerstaeuben)」とを同義の用語として使用する。
・所定の最大電力を有する給電ユニットを提供する工程と、
・それぞれ所定のレーストラックと所定の温度限界とを有する少なくとも2つのマグネトロンスパッタ源を提供する工程であって、給電ユニットの最大電力がマグネトロンスパッタ源のそれぞれに作用する際には、放電電流密度が、0.2A/cm2を上回るようにレーストラックが小さく設計される工程と、
・給電ユニットを用いて、少なくとも2つのマグネトロンスパッタ源のうちの第1スパッタ源中に、第1時間間隔の間、第1電力を給電する工程であって、第1電力が十分大きく選択されていて、その結果マグネトロンスパッタ源に、少なくとも1つの領域で、局所的に0.2A/cm2を上回る放電電流密度が発生し、かつ、第1時間間隔が十分に短く選択されていて、その結果、第1マグネトロンスパッタ源の所定の温度限界を上回ることがない、工程と
・給電ユニットを用いて、マグネトロンスパッタ源のうちの第2スパッタ源中に、第2時間間隔の間、第2電力を給電する工程であって、第2電力が十分大きく選択されていて、その結果第2マグネトロンスパッタ源に、少なくとも1つの領域で、局所的に0.2A/cm2を上回る放電電流密度が発生し、かつ、第2時間間隔が十分に短く選択されていて、その結果、第2マグネトロンスパッタ源の所定の温度限界を上回ることがない、工程と
を含む方法において、
給電ユニットは、互いにマスタースレーブ構成で接続されている少なくとも2つの発電機を含み、双方の時間間隔は完全には重複しない
ことを特徴とする方法である。
Claims (5)
- 少なくともいくつかの領域で局所的に0.2A/cm2を上回る放電電流密度のプラズマ放電を発生させる方法であって、
・所定の最大電力を有する給電ユニットを提供する工程と、
・それぞれ所定のレーストラックと所定の温度限界とを有する少なくとも2つのマグネトロンスパッタ源を提供する工程であって、前記給電ユニットの最大電力が前記マグネトロンスパッタ源のそれぞれに作用する際には、前記放電電流密度が、0.2A/cm2を上回るように前記レーストラックが小さく選択される工程と、
・前記給電ユニットを用いて、前記少なくとも2つのマグネトロンスパッタ源のうちの第1スパッタ源中に、第1時間間隔の間、第1電力を給電する工程であって、前記第1電力が十分大きく選択されていて、その結果前記マグネトロンスパッタ源に、少なくとも1つの領域で、局所的に0.2A/cm2を上回る放電電流密度が発生し、かつ、前記第1時間間隔が十分に短く選択されていて、その結果、前記第1マグネトロンスパッタ源の前記所定の温度限界を上回ることがない、工程と
・前記給電ユニットを用いて、前記マグネトロンスパッタ源のうちの第2スパッタ源中に、第2時間間隔の間、第2電力を給電する工程であって、前記第2電力が十分大きく選択されていて、その結果前記第2マグネトロンスパッタ源に、少なくとも1つの領域で、局所的に0.2A/cm2を上回る放電電流密度が発生し、かつ、前記第2時間間隔が十分に短く選択されていて、その結果、前記第2マグネトロンスパッタ源の前記所定の温度限界を上回ることがない、工程と
を含む方法において、
前記給電ユニットは、互いにマスタースレーブ構成で接続されている少なくとも2つの発電機を含み、前記双方の時間間隔は完全には重複しない
ことを特徴とする方法。 - それぞれ所定のレーストラックとそれぞれ所定の温度限界とを有する第3のおよび好ましくはさらなるマグネトロンスパッタ源が提供され、前記給電ユニットの最大電力が前記マグネトロンスパッタ源のうちのそれぞれに作用する際には、前記放電電流密度が0.2A/cm2を上回り、かつ、スレーブ発電機とマスター発電機との数が、少なくとも前記マグネトロンスパッタ源の数以上である発電機の数になるように、多くのスレーブ発電機を前記給電ユニットが有するように、前記レーストラックが設計されていることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記時間間隔は、周期的に反復する間隔を合わせた間隔で、したがって、周期的なパルスを形成することを特徴とする請求項1および2のいずれか1項に記載の方法。
- 前記マグネトロンスパッタ源の前記ターゲットのうちの少なくとも1つの後方には、可動で好ましくは回転する磁石システムが設けられていて、前記磁石システムが、移動するレーストラックを発生させ、前記レーストラックの広がりは、前記ターゲット表面よりも明らかに小さいが、しかし、前記ターゲット表面の20%を上回ることを特徴とする上記請求項のいずれか1項に記載の方法。
- 2つ以上のマグネトロンスパッタ源と1つの給電ユニットとを備えたマグネトロンスパッタリング設備であって、前記給電ユニットが、少なくも前記マグネトロンスパッタ源の数に対応する数の発電機と、ある手段とを有し、
前記手段は、一方では、前記給電ユニット中に存在する発電機を、1つのマスターと少なくとも1つのスレーブとを有する発電機として構成することができ、このように構成された給電ユニットの電力を、順次前記グネトロンスパッタ源にかけることができる回路が設けられていて、
前記手段は、他方では、給電ユニットを、若干数の絶縁した発電機として構成することができ、前記回路により、それぞれ少なくとも1つの発電機の前記電力を、各1つのマグネトロンスパッタ源にもたらすことができる
マグネトロンスパッタリング設備。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102011018363A DE102011018363A1 (de) | 2011-04-20 | 2011-04-20 | Hochleistungszerstäubungsquelle |
DE102011018363.9 | 2011-04-20 | ||
PCT/EP2012/001414 WO2012143087A1 (de) | 2011-04-20 | 2012-03-30 | Hochleistungszerstäubungsquelle |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014514452A true JP2014514452A (ja) | 2014-06-19 |
JP6207499B2 JP6207499B2 (ja) | 2017-10-04 |
Family
ID=45974242
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014505524A Active JP6207499B2 (ja) | 2011-04-20 | 2012-03-30 | プラズマ放電を発生させる方法 |
Country Status (19)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9376745B2 (ja) |
EP (1) | EP2700082B1 (ja) |
JP (1) | JP6207499B2 (ja) |
KR (1) | KR101924666B1 (ja) |
CN (1) | CN103620731B (ja) |
AR (1) | AR086193A1 (ja) |
BR (1) | BR112013027022B1 (ja) |
CA (1) | CA2833795C (ja) |
DE (1) | DE102011018363A1 (ja) |
ES (1) | ES2696599T3 (ja) |
HU (1) | HUE041849T2 (ja) |
MX (1) | MX351826B (ja) |
MY (1) | MY175526A (ja) |
PL (1) | PL2700082T3 (ja) |
RU (1) | RU2602571C2 (ja) |
SI (1) | SI2700082T1 (ja) |
TR (1) | TR201816617T4 (ja) |
TW (1) | TWI545218B (ja) |
WO (1) | WO2012143087A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014530772A (ja) * | 2011-10-21 | 2014-11-20 | エリコン・トレーディング・アクチェンゲゼルシャフト,トリュープバッハOerlikon Trading AG,Truebbach | 被覆部を備えたドリル |
JP2018535323A (ja) * | 2015-11-12 | 2018-11-29 | エリコン サーフェス ソリューションズ アーゲー、 プフェフィコン | エネルギーフローの最適化された分配のためのスパッタリング装置及びスパッタリング方法 |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102011117177A1 (de) | 2011-10-28 | 2013-05-02 | Oerlikon Trading Ag, Trübbach | Verfahren zur Bereitstellung sequenzieller Leistungspulse |
KR101537883B1 (ko) | 2011-04-20 | 2015-07-17 | 오를리콘 서피스 솔루션스 아크티엔게젤샤프트, 트뤼프바흐 | 순차적 전력 펄스를 제공하기 위한 방법 |
DE102011121770A1 (de) * | 2011-12-21 | 2013-06-27 | Oerlikon Trading Ag, Trübbach | Homogenes HIPIMS-Beschichtungsverfahren |
WO2014105819A1 (en) * | 2012-12-28 | 2014-07-03 | Sputtering Components, Inc. | Plasma enhanced chemical vapor deposition (pecvd) source |
DE102013208771B4 (de) * | 2013-05-13 | 2019-11-21 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren zur Beeinflussung der Schichtdickenverteilung auf Substraten und Verwendung einer Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
KR102178189B1 (ko) † | 2013-07-03 | 2020-11-13 | 외를리콘 서피스 솔루션즈 아게, 페피콘 | TixSi1-xN 층 및 그의 생산 |
DE102013011075A1 (de) * | 2013-07-03 | 2015-01-08 | Oerlikon Trading Ag | TiB2 Schichten und ihre Herstellung |
DE102013011072A1 (de) * | 2013-07-03 | 2015-01-08 | Oerlikon Trading Ag, Trübbach | Targetpräparation |
EP3056587B1 (de) | 2015-02-13 | 2020-11-18 | Walter AG | VHM-Schaftfräser mit TiAlN-ZrN-Beschichtung |
GEP201606512B (en) * | 2015-05-28 | 2016-07-11 | Planar magnetron sputter | |
RU2619460C1 (ru) * | 2015-11-25 | 2017-05-16 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт электрофизики Уральского отделения Российской академии наук (ИЭФ УрО РАН) | Способ ионно-лучевой обработки изделий с большой площадью поверхности |
DE102016012460A1 (de) * | 2016-10-19 | 2018-04-19 | Grenzebach Maschinenbau Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung definierter Eigenschaften von Gradientenschichten in einem System mehrlagiger Beschichtungen bei Sputter - Anlagen |
RU2657275C2 (ru) * | 2016-11-17 | 2018-06-09 | Государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования Московской области "Университет "Дубна" (Государственный университет "Дубна") | Способ получения пленок теллурида кадмия магнетронным распылением на постоянном токе |
CN111132787B (zh) * | 2017-08-04 | 2023-05-30 | 欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔 | 具有增强性能的螺孔钻及用于制造螺孔钻的方法 |
EP4235742A1 (en) * | 2022-02-28 | 2023-08-30 | TRUMPF Huettinger Sp. Z o. o. | High power generator and method of supplying high power pulses |
EP4235739A1 (en) * | 2022-02-28 | 2023-08-30 | TRUMPF Huettinger Sp. Z o. o. | High power generator and method of supplying high power pulses |
EP4235734A1 (en) * | 2022-02-28 | 2023-08-30 | TRUMPF Huettinger Sp. Z o. o. | High power generator and method of supplying high power pulses |
EP4235741A1 (en) * | 2022-02-28 | 2023-08-30 | TRUMPF Huettinger Sp. Z o. o. | High power generator and method of supplying high power pulses |
EP4235733A1 (en) * | 2022-02-28 | 2023-08-30 | TRUMPF Huettinger Sp. Z o. o. | High power generator and method of supplying high power pulses |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001140070A (ja) * | 1999-08-12 | 2001-05-22 | Applied Materials Inc | イオン化金属堆積用の高密度プラズマ源 |
JP2005151612A (ja) * | 2003-11-11 | 2005-06-09 | Shindengen Electric Mfg Co Ltd | スパッタ用電源 |
DE102006017382A1 (de) * | 2005-11-14 | 2007-05-16 | Itg Induktionsanlagen Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten und/oder zur Behandlung von Oberflächen |
JP2007148540A (ja) * | 2005-11-24 | 2007-06-14 | Shindengen Electric Mfg Co Ltd | システム電源及び電力供給システム |
JP2010065240A (ja) * | 2008-09-08 | 2010-03-25 | Kobe Steel Ltd | スパッタ装置 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU1828142C (ru) * | 1991-01-31 | 1995-06-27 | Научно-исследовательский институт энергетического машиностроени МГТУ им.Н.Э.Баумана | Способ нанесения вакуумных покрытий сложного состава и устройство для его осуществления |
DE19651615C1 (de) * | 1996-12-12 | 1997-07-10 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren zum Aufbringen von Kohlenstoffschichten durch reaktives Magnetron-Sputtern |
US6413382B1 (en) | 2000-11-03 | 2002-07-02 | Applied Materials, Inc. | Pulsed sputtering with a small rotating magnetron |
SE521095C2 (sv) | 2001-06-08 | 2003-09-30 | Cardinal Cg Co | Förfarande för reaktiv sputtring |
EP1580298A1 (fr) * | 2004-03-22 | 2005-09-28 | Materia Nova A.S.B.L | Dépôt par pulverisation cathodique magnétron en régime impulsionnel avec préionisation |
UA77692C2 (en) * | 2004-04-19 | 2007-01-15 | Taras Shevchenko Kyiv Nat Univ | Magnetron spraying mechanism |
US8435388B2 (en) * | 2005-11-01 | 2013-05-07 | Cardinal Cg Company | Reactive sputter deposition processes and equipment |
US20080197015A1 (en) * | 2007-02-16 | 2008-08-21 | Terry Bluck | Multiple-magnetron sputtering source with plasma confinement |
DE102008021912C5 (de) * | 2008-05-01 | 2018-01-11 | Cemecon Ag | Beschichtungsverfahren |
RU2371514C1 (ru) * | 2008-08-20 | 2009-10-27 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Томский политехнический университет" | Дуальная магнетронная распылительная система |
DE202010001497U1 (de) | 2010-01-29 | 2010-04-22 | Hauzer Techno-Coating B.V. | Beschichtungsvorrichtung mit einer HIPIMS-Leistungsquelle |
-
2011
- 2011-04-20 DE DE102011018363A patent/DE102011018363A1/de not_active Withdrawn
-
2012
- 2012-03-30 MY MYPI2013003834A patent/MY175526A/en unknown
- 2012-03-30 RU RU2013151606/02A patent/RU2602571C2/ru active
- 2012-03-30 PL PL12714576T patent/PL2700082T3/pl unknown
- 2012-03-30 WO PCT/EP2012/001414 patent/WO2012143087A1/de active Application Filing
- 2012-03-30 CN CN201280030373.2A patent/CN103620731B/zh active Active
- 2012-03-30 TR TR2018/16617T patent/TR201816617T4/tr unknown
- 2012-03-30 JP JP2014505524A patent/JP6207499B2/ja active Active
- 2012-03-30 EP EP12714576.1A patent/EP2700082B1/de active Active
- 2012-03-30 KR KR1020137027630A patent/KR101924666B1/ko active IP Right Grant
- 2012-03-30 CA CA2833795A patent/CA2833795C/en active Active
- 2012-03-30 BR BR112013027022-5A patent/BR112013027022B1/pt active IP Right Grant
- 2012-03-30 US US14/112,618 patent/US9376745B2/en active Active
- 2012-03-30 ES ES12714576T patent/ES2696599T3/es active Active
- 2012-03-30 SI SI201231446T patent/SI2700082T1/sl unknown
- 2012-03-30 HU HUE12714576A patent/HUE041849T2/hu unknown
- 2012-03-30 MX MX2013012199A patent/MX351826B/es active IP Right Grant
- 2012-04-18 TW TW101113749A patent/TWI545218B/zh active
- 2012-04-20 AR ARP120101357A patent/AR086193A1/es active IP Right Grant
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001140070A (ja) * | 1999-08-12 | 2001-05-22 | Applied Materials Inc | イオン化金属堆積用の高密度プラズマ源 |
JP2005151612A (ja) * | 2003-11-11 | 2005-06-09 | Shindengen Electric Mfg Co Ltd | スパッタ用電源 |
DE102006017382A1 (de) * | 2005-11-14 | 2007-05-16 | Itg Induktionsanlagen Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten und/oder zur Behandlung von Oberflächen |
JP2007148540A (ja) * | 2005-11-24 | 2007-06-14 | Shindengen Electric Mfg Co Ltd | システム電源及び電力供給システム |
JP2010065240A (ja) * | 2008-09-08 | 2010-03-25 | Kobe Steel Ltd | スパッタ装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014530772A (ja) * | 2011-10-21 | 2014-11-20 | エリコン・トレーディング・アクチェンゲゼルシャフト,トリュープバッハOerlikon Trading AG,Truebbach | 被覆部を備えたドリル |
JP2018535323A (ja) * | 2015-11-12 | 2018-11-29 | エリコン サーフェス ソリューションズ アーゲー、 プフェフィコン | エネルギーフローの最適化された分配のためのスパッタリング装置及びスパッタリング方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103620731B (zh) | 2016-10-26 |
BR112013027022B1 (pt) | 2021-09-08 |
CA2833795A1 (en) | 2012-10-26 |
US9376745B2 (en) | 2016-06-28 |
PL2700082T3 (pl) | 2019-01-31 |
WO2012143087A1 (de) | 2012-10-26 |
JP6207499B2 (ja) | 2017-10-04 |
TWI545218B (zh) | 2016-08-11 |
DE102011018363A1 (de) | 2012-10-25 |
BR112013027022A2 (pt) | 2016-12-27 |
AR086193A1 (es) | 2013-11-27 |
KR20140019805A (ko) | 2014-02-17 |
MX2013012199A (es) | 2014-05-27 |
MX351826B (es) | 2017-10-06 |
HUE041849T2 (hu) | 2019-05-28 |
SI2700082T1 (sl) | 2019-02-28 |
RU2602571C2 (ru) | 2016-11-20 |
MY175526A (en) | 2020-07-01 |
CN103620731A (zh) | 2014-03-05 |
EP2700082B1 (de) | 2018-08-15 |
EP2700082A1 (de) | 2014-02-26 |
RU2013151606A (ru) | 2015-05-27 |
CA2833795C (en) | 2018-07-31 |
ES2696599T3 (es) | 2019-01-17 |
KR101924666B1 (ko) | 2018-12-03 |
TW201250036A (en) | 2012-12-16 |
TR201816617T4 (tr) | 2018-11-21 |
US20140061030A1 (en) | 2014-03-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6207499B2 (ja) | プラズマ放電を発生させる方法 | |
US8133359B2 (en) | Methods and apparatus for sputtering deposition using direct current | |
JP5037475B2 (ja) | スパッタ装置 | |
WO2009145094A1 (ja) | バイポーラパルス電源及びこのバイポーラパルス電源を複数台並列接続してなる電源装置 | |
CA2853699C (en) | Method for providing sequential power pulses | |
TWI586825B (zh) | 提供連續功率脈衝之方法 | |
US20130276984A1 (en) | Coating apparatus having a hipims power source | |
JP6966552B2 (ja) | スパッタ堆積源、スパッタ堆積装置、及び基板上に層を堆積させる方法 | |
JP2018040057A (ja) | マグネトロンスパッタリング装置を用いて層を堆積させるための方法 | |
RU2741614C2 (ru) | Компоновочная схема и способ ионно-плазменного распыления для оптимизированного распределения потока энергии | |
US20150184284A1 (en) | Method of coating by pulsed bipolar sputtering | |
KR102539816B1 (ko) | 레이트 강화된 펄스형 dc 스퍼터링 시스템 | |
KR20040005406A (ko) | 동기화된 이온 빔 소스와 듀얼 마그네트론 스퍼터를가지는 박막 형성 장치 | |
JP2018517057A (ja) | 双極性アークコーティング法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150319 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20151217 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160209 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160509 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20161101 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170131 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170404 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170628 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170808 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170905 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6207499 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |