JP2014513441A5 - - Google Patents

Description

本発明の好ましい実施形態において、電極は、離されており、互いに対して平行であり、セラミック管は、対応する電極の溝において電極間に位置している。セラミック管は、電極を一緒に促すばね力によって継ぎ合わされて一緒であるように保持されている。
本願明細書は、例えば、以下の項目も提供する。
（項目１）
ガス放電レーザであって、該ガス放電レーザは、
レージングガスを含むレーザ筐体と、
該レーザ筐体の中に位置している複数のセラミック管であって、該複数のセラミック管は、該レージングガスで満たされ、該セラミック管のうちの隣接したセラミック管は、互いに対して鋭角をなし、該セラミック管のうちの隣接したセラミック管の端部は、一緒に成形されて、継ぎ合わされ、共通のアパーチャを提供する、複数のセラミック管と、
該筐体の中に位置している第１および第２の電極であって、該第１および第２の電極は、電力が該電極に印加された場合、該セラミック管の中の該レージングガスの中でガス放電を引き起こすように配列されている、第１および第２の電極と、
レーザ共振器を形成するように配列されている複数のミラーであって、該レーザ共振器は、該複数のセラミック管を通って延びている長手方向軸を有する、複数のミラーと
を備えている、ガス放電レーザ。
（項目２）
継ぎ合わされた前記複数のセラミック管において、Ｚ字形状で一緒に３つのセラミック管が存在する、項目１に記載のレーザ。
（項目３）
前記セラミック管のうちの隣接したセラミック管の間の角度は、約２度と約１０度との間である、項目２に記載のレーザ。
（項目４）
前記電極は、離されており、互いに対して平行であり、前記セラミック管は、該電極の間にあり、該電極における対応する溝の中に位置している、項目１に記載のレーザ。
（項目５）
前記セラミック管は、前記電極を互いの方に向かって促すばね力によって継ぎ合わされて一緒に保持されている、項目４に記載のレーザ。
（項目６）
前記第２の電極は、前記筐体のベース上に載っており、前記ばね力は、前記第１の電極と該筐体との間で圧縮された１つ以上のばねによって上部電極に与えられる、項目５に記載のレーザ。
（項目７）
前記電極の対向する側面に沿い間隔をあけられた緊張されたばねの形態における複数のインダクタンスコイルがあり、該複数のインダクタンスコイルの各々は、該ばねの張力が、該電極を互いの方に促す前記ばね力を提供するように前記第１の電極を前記第２の電極に接続する、項目５に記載のレーザ。
（項目８）
前記筐体の内部は、圧力が大気圧より低く、該筐体および前記電極は、該筐体が、該筐体の外側の大気圧により該電極に圧力を与え、それによって、前記セラミック管が継ぎ合われて一緒であるように保持するように構成および配列されている、項目４に記載のレーザ。
（項目９）
ガス放電レーザであって、該ガス放電レーザは、
レージングガスを含むレーザ筐体と、
該レーザ筐体の中に位置している複数のセラミック管であって、該複数のセラミック管は、該レージングガスで満たされ、該セラミック管のうちの隣接したセラミック管は、互いに対して鋭角をなしている、複数のセラミック管と、
該筐体の中に位置している第１および第２の電極であって、該第１および第２の電極は、電力が該電極に印加された場合、該セラミック管の中の該レージングガスの中でガス放電を引き起こすように配列され、該電極は、該複数のセラミック管を互いに整列して保持するようにさらに配列されている、第１および第２の電極と、
レーザ共振器を形成するように配列されている複数のミラーであって、該レーザ共振器は、該複数のセラミック管を通って延びている長手方向軸を有する、複数のミラーと
を備えている、ガス放電レーザ。
（項目１０）
前記セラミック管のうちの隣接したセラミック管の端部は、一緒に成形されて、継ぎ合わされ、共通のアパーチャを提供する、項目９に記載のレーザ。
（項目１１）
前記複数のセラミック管において、３つのセラミック管が存在し、該３つのセラミック管は、Ｚ字形状に配列されている、項目９に記載のレーザ。
（項目１２）
前記セラミック管のうちの隣接したセラミック管の間の角度は、約２度と約１０度との間である、項目１１に記載のレーザ。
（項目１３）
前記電極は、離されており、互いに対して平行であり、前記セラミック管は、該電極の間にあり、該電極における対応する溝の中に位置している、項目９に記載のレーザ。
（項目１４）
前記セラミック管は、前記電極を互いの方に向かって促すばね力によって継ぎ合わされて一緒に保持されている、項目１３に記載のレーザ。
（項目１５）
ガスレーザであって、該ガスレーザは、
ガス密筐体と、
一対の間隔を開けられた細長い電極と、
該電極間に位置決めされている折りたたまれた導波管であって、該導波管は、少なくとも３つの管状セラミックセグメントから形成され、該セグメントのうちの２つは、互いに対して平行に配向され、かつ、該電極の細長い側面エッジの近くに位置決めされ、該セグメントのうちの少なくとも１つは、該２つのセグメントに対して非垂直な角度で該２つのセグメントの間に位置している、導波管と、
少なくとも２つの端部ミラーを含む複数のミラーによって画定されている光共振器とを備え、該端部ミラーのうちの一方は、該２つのセグメントのうちの一方の端部に隣接して位置決めされ、該端部ミラーのうちの他方は、該２つのセグメントのうちの他方の端部に隣接して位置決めされ、該光共振器は、少なくとも２つの折りたたみミラーを含み、該少なくとも２つの折りたたみミラーは、該１つのセグメントから発生するレーザ放射を折りたたみ、隣接するセグメントの中に戻すために、該少なくとも１つのセグメントの対向する端部に位置決めされている、ガスレーザ。
（項目１６）
前記電極のうちの一方は、前記管状セグメントを据え付けおよび整列させるための複数の溝を含む、項目１５に記載のレーザ。
（項目１７）
前記電極のうちの他方は、複数の突出部を含み、各突出部は、前記管状セグメントを保持し、整列させるための溝を含む、項目１６に記載のレーザ。
（項目１８）
前記隣接した管状セグメントの端部は、一緒に継ぎ合わされ、共通のアパーチャを画定する、項目１５に記載のレーザ。

Claims (16)

1. ガス放電レーザであって、該ガス放電レーザは、
   レージングガスを含むレーザ筐体と、
   該レーザ筐体の中に位置している複数のセラミック管であって、該複数のセラミック管は、該レージングガスで満たされ、該セラミック管のうちの隣接したセラミック管は、互いに対して鋭角をなし、該セラミック管のうちの該隣接したセラミック管の端部は、斜角をつけられ、または面取りされ、そして、継ぎ合わされ、共通のアパーチャを提供する、複数のセラミック管と、
   該筐体の中に位置している第１および第２の電極であって、該第１および第２の電極は、電力が該電極に印加された場合、該セラミック管の中の該レージングガスの中でガス放電を引き起こすように配列されている、第１および第２の電極と、
   レーザ共振器を形成するように配列されている複数のミラーであって、該レーザ共振器は、該複数のセラミック管を通って延びている長手方向軸を有する、複数のミラーと
   を備えている、ガス放電レーザ。
2. 前記複数のセラミック管において、Ｚ字形状に継ぎ合わされた３つのセラミック管が存在する、請求項１に記載のレーザ。
3. 前記セラミック管のうちの隣接したセラミック管の間の角度は、約２度と約１０度との間である、請求項２に記載のレーザ。
4. 前記電極は、間隔をあけられており、互いに対して平行であり、前記セラミック管は、該電極の間にあり、該電極における対応する溝の中にある、請求項１に記載のレーザ。
5. 前記セラミック管は、前記電極を互いの方に向かって促すばね力によって継ぎ合わされて保持されている、請求項４に記載のレーザ。
6. 前記第２の電極は、前記筐体のベース上に載っており、前記ばね力は、前記第１の電極と該筐体との間で圧縮された１つ以上のばねによって上部電極に与えられる、請求項５に記載のレーザ。
7. 前記電極の対向する側面に沿い間隔をあけられた緊張されたばねの形態での複数のインダクタンスコイルが存在し、該複数のインダクタンスコイルの各々は、該ばねの張力が、該電極を互いの方に促す前記ばね力を提供するように前記第１の電極を前記第２の電極に接続する、請求項５に記載のレーザ。
8. 前記筐体の内部は、圧力が大気圧より低く、該筐体および前記電極は、該筐体が、該筐体の外側の大気圧により該電極に圧力を与え、それによって、前記セラミック管が継ぎ合わされて保持されるように構成および配列されている、請求項４に記載のレーザ。
9. ガス放電レーザであって、該ガス放電レーザは、
   レージングガスを含むレーザ筐体と、
   該レーザ筐体の中に位置している複数のセラミック管であって、該複数のセラミック管は、該レージングガスで満たされ、該セラミック管のうちの隣接したセラミック管は、互いに対して鋭角をなし、該セラミック管のうちの該隣接したセラミック管の端部は、斜角をつけられ、または面取りされ、そして、継ぎ合わされ、共通のアパーチャを提供する、複数のセラミック管と、
   該筐体の中に位置している第１および第２の電極であって、該第１および第２の電極は、電力が該電極に印加された場合、該セラミック管の中の該レージングガスの中でガス放電を引き起こすように配列され、該電極は、該複数のセラミック管を互いに整列して保持するようにさらに配列されている、第１および第２の電極と、
   レーザ共振器を形成するように配列されている複数のミラーであって、該レーザ共振器は、該複数のセラミック管を通って延びている長手方向軸を有する、複数のミラーと
   を備えている、ガス放電レーザ。
10. 前記複数のセラミック管において、Ｚ字形状に配列された３つのセラミック管が存在する、請求項９に記載のレーザ。
11. 前記セラミック管のうちの隣接したセラミック管の間の角度は、約２度と約１０度との間である、請求項１０に記載のレーザ。
12. 前記電極は、間隔をあけられており、互いに対して平行であり、前記セラミック管は、該電極の間にあり、該電極における対応する溝の中にある、請求項９に記載のレーザ。
13. 前記セラミック管は、前記電極を互いの方に向かって促すばね力によって継ぎ合わされて保持されている、請求項１２に記載のレーザ。
14. ガスレーザであって、該ガスレーザは、
    ガス密筐体と、
    一対の間隔をあけられた細長い電極と、
    該電極間に位置決めされている折りたたまれた導波管であって、該導波管は、少なくとも３つの管状セラミックセグメントから形成され、該セグメントのうちの２つは、互いに対して平行に配向され、かつ、該電極の細長い側面エッジの近くに位置決めされ、該セグメントのうちの少なくとも１つは、該２つのセグメントに対して非垂直な角度で該２つのセグメントの間に位置し、該セグメントのうちの隣接したセグメントの端部は、斜角をつけられ、または面取りされ、そして、継ぎ合わされ、共通のアパーチャを提供する、導波管と、
    少なくとも２つの端部ミラーを含む複数のミラーによって画定されている光共振器と
    を備え、
    該端部ミラーのうちの一方は、該２つのセグメントのうちの一方の端部に隣接して位置決めされ、該端部ミラーのうちの他方は、該２つのセグメントのうちの他方の端部に隣接して位置決めされ、該光共振器は、少なくとも２つの折りたたみミラーを含み、該少なくとも２つの折りたたみミラーは、該少なくとも１つのセグメントから発生するレーザ放射を折りたたみ、隣接するセグメントの中に戻すために、該１つのセグメントの対向する端部に位置決めされている、ガスレーザ。
15. 前記電極のうちの一方は、前記管状セグメントを据え付けおよび整列させるための複数の溝を含む、請求項１４に記載のレーザ。
16. 前記電極のうちの他方は、複数の突出部を含み、各突出部は、前記管状セグメントを保持し、整列させるための溝を含む、請求項１５に記載のレーザ。