JP2014512989A - 流体排出装置のノズルを形成する方法 - Google Patents
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Abstract
Description
ウェットエッチング処理は、前記底面に向かって分岐する前記キャビティ部の部分を形成するために、前記基板の上面からも適用され、前記底面からエッチングされる部分及び前記上面からエッチングされる部分は結合する、
ことを特徴とするノズル形成方法によって達成される。
(a)前記基板の表面において溝を、該溝が前記口部の壁の所望の位置に位置付けられるように、形成するステップと、
(b)前記溝をエッチング抵抗性材料により満たすステップと、
(c)前記基板の前記表面上にエッチング抵抗性マスク層を適用するステップと、
(d)前記エッチング抵抗性マスク層においてマスク開口を、該マスク開口の端が前記溝に配置された前記エッチング抵抗性材料の上に位置付けられるように、設けるステップと、
(e)前記マスク開口を介して前記基板のドライエッチングを行い、結果として得られる口部が前記溝に配置された前記エッチング抵抗性材料によって位置付けられるようにするステップと
を有する。
Claims (7)
- 流体排出装置のノズルを形成する方法であって、前記ノズルは直通口部及びキャビティ部を有し、前記口部は基板の底面において形成され、前記口部の壁を不動態化した後に、ウェットエッチング処理が、前記口部から分岐する壁を備えた前記キャビティ部の部分を形成するために、前記基板の前記底面から適用される、ノズル形成方法において、
ウェットエッチング処理は、前記底面に向かって分岐する前記キャビティ部の部分を形成するために、前記基板の上面からも適用され、前記底面からエッチングされる部分及び前記上面からエッチングされる部分は結合する、
ことを特徴とするノズル形成方法。 - 前記基板は、前記基板の上側及び下側から同時にウェットエッチング処理を行うためにエッチング液につけられる、
請求項1に記載のノズル形成方法。 - 前記基板の上面から延在する直通路の形で前記キャビティ部の上部分を形成するステップと、
エッチングマスク層により前記上部の壁を不動態化するステップと、
前記直通路の底端面を覆う前記エッチングマスク層の部分を除去するステップと、
前記基板の前記上面から前記ウェットエッチング処理を適用するステップと
を有する請求項1又は2に記載のノズル形成方法。 - 前記口部の壁が不動態化されている場合に、エッチング処理は、前記基板により深く入る前記口部の伸長部を形成するために適用され、それにより、後の前記ウェットエッチング処理に必要とされる時間を制御する、
請求項1乃至3のうちいずれか一項に記載のノズル形成方法。 - 前記キャビティ部の前記上部分を形成する前記直通路の深さ及び前記口部の前記伸長部の深さは、前記伸長部が前記上部分から離されたままであるように制御される、
請求項3及び4に記載のノズル形成方法。 - 前記口部は、前記基板の前記底面に溝をエッチングし、エッチングマスク層により前記溝の内壁を不動態化し、前記溝によって囲まれる前記基板の材料を除去することによって形成される、
請求項1乃至5のうちいずれか一項に記載のノズル形成方法。 - (a)前記基板の表面において溝を、該溝が前記口部の壁の所望の位置に位置付けられるように、形成するステップと、
(b)前記溝をエッチング抵抗性材料により満たして、エッチングマスク層により前記溝の内壁を不動態化するステップと、
(c)前記基板の前記表面上にエッチング抵抗性マスク層を適用するステップと、
(d)前記エッチング抵抗性マスク層においてマスク開口を、該マスク開口の端が前記溝に配置された前記エッチング抵抗性材料の上に位置付けられるように、設けるステップと、
(e)前記マスク開口を介して前記基板のドライエッチングを行い、結果として得られる口部が前記溝に配置された前記エッチング抵抗性材料によって位置付けられるようにするステップと
を有する請求項1乃至5のうちいずれか一項に記載のノズル形成方法。
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