JP2014508292A5

JP2014508292A5 -

Info

Publication number: JP2014508292A5
Application number: JP2013552884A
Authority: JP
Filing date: 2012-02-08
Publication date: 2015-05-07
Anticipated expiration: 2032-02-08

Description

この課題は、独立請求項１に記載の：
支持体（１２）上に支持された物体（１４）の少なくとも１つの表面部分を測定するための装置であって、
当該装置は、前記支持体（１２）に対して固定可能な少なくとも１つの基準物体（１８，２０）と、前記基準物体（１８，２０）に対して少なくとも１つの第１の方向（ｘ，ｙ）に可動な保持体（２６）とを有し、互いに相対的に回転可能に支持されている基準体（２８）と間隔測定器（３４，３６）とが、前記保持体（２６）に配置されていて、前記物体（１４）の表面部分の第１の点（５２）に対する第１の間隔（３８）と、前記第１の点（５２）に対応する前記基準体（２８）の第２の点（５４）に対する第２の間隔（４０）とを求めるように、前記間隔測定器（３４，３６）が構成されていて、
前記間隔測定器が、前記物体（１４）に面した第１の間隔センサ（３４）と、前記基準体（２８）に面した第２の間隔センサ（３６）とを有し、前記第１の間隔センサ（３４）と前記第２の間隔センサ（３６）とが、直径上で互いに逆に指向されている当該装置によって解決される。
さらに、この課題は、独立請求項１１に記載の：
支持体（１２）上に支持された物体（１４）の少なくとも１つの表面部分を測定するための方法において、
前記物体（１４）が、固定された基準物体（１８，２０）に対向するように固定され、
基準体（２８）と間隔測定器（３４，３６）とが配置されている保持体（２６）が、前記物体（１４）を接触なしに走査する運動中に、前記基準物体（１８，２０）に対して少なくとも１つの第１の方向（ｘ，ｙ）に移動され、
前記間隔測定器（３４，３６）を用いることで、前記物体（１４）の表面部分の第１の点（５２）に対する第１の間隔（３８）が、前記物体に面した第１のセンサ（３４）によって求められ、前記基準体（２８）の前記第１の点（５２）に対応する第２の点（５４）に対する第２の間隔（４０）が、前記基準体（２８）に面した第２のセンサ（３６）によって求められ、この第２の間隔センサ（３６）が、直径上で前記第１の間隔センサ（３４）に対して逆に指向されている当該方法によって解決される。
本発明の有利な構成は、従属請求項の対象である。

Claims

支持体（１２）上に支持された物体（１４）の少なくとも１つの表面部分を測定するための装置であって、
当該装置は、前記支持体（１２）に対して固定可能な少なくとも１つの基準物体（１８，２０）と、前記基準物体（１８，２０）に対して少なくとも１つの第１の方向（ｘ，ｙ）に可動な保持体（２６）とを有し、互いに相対的に回転可能に支持されている基準体（２８）と間隔測定器（３４，３６）とが、前記保持体（２６）に配置されていて、前記物体（１４）の表面部分の第１の点（５２）に対する第１の間隔（３８）と、前記第１の点（５２）に対応する前記基準体（２８）の第２の点（５４）に対する第２の間隔（４０）とを求めるように、前記間隔測定器（３４，３６）が構成されていて、
前記間隔測定器が、前記物体（１４）に面した第１の間隔センサ（３４）と、前記基準体（２８）に面した第２の間隔センサ（３６）とを有し、前記第１の間隔センサ（３４）と前記第２の間隔センサ（３６）とが、直径上で互いに逆に指向されている当該装置。
前記間隔測定器（３４，３６）は、前記保持体（２６）に回転可能に支持されていて、前記基準体（２８）は、前記保持体（２６）に回転しないように配置されている請求項１に記載の装置。
前記基準体（２８）は、前記間隔測定器（３４，３６）の回転運動可能性に合わされた基準面（３０）を有する請求項１又は２に記載の装置。
前記基準面は、円弧状の形状を有する凹面鏡（３０）として構成されていて、この凹面鏡（３０）の中心点が、前記間隔測定器（３４，３６）の回転軸線（４８）と一致する請求項３に記載の装置。
前記基準物体（１８，２０）と前記保持体（２６）との間の間隔（４４，４６）が、少なくとも１つの第３の間隔センサ（５６，５８）によって求めることが可能である請求項１〜４のいずれか１項に記載の装置。
前記支持体（１２）と前記基準物体（１８，２０）とが、互いに機械的に分離されている請求項１〜５のいずれか１項に記載の装置。
前記装置は、制御装置（８４）を更に有し、この制御装置（８４）が、少なくとも前記第１の間隔センサ（３４）を、前記物体（１４）の表面部分の前記第１の点（５２）の面法線に沿って指向させる請求項１〜６のいずれか１項に記載の装置。
前記第１の間隔（３８）の、前記間隔測定器（３４，３６）の回転に起因した変化が、前記第２の間隔（４０）によって補償可能である請求項１〜７のいずれか１項に記載の装置。
すべての間隔センサ（３４，３６，５６，５８）が、光ファイバによって少なくとも１つの光源（６０，６２，６４，６６）に結合されている請求項１〜８のいずれか１項に記載の装置。
前記物体（１４）に対する間隔を多波長測定原理によって求めるため、前記物体（１４）に面した少なくとも前記第１の間隔センサ（３４）が、異なる波長の複数の光源（６０，６２，６４，６６）に結合されている請求項１〜９のいずれか１項に記載の装置。
支持体（１２）上に支持された物体（１４）の少なくとも１つの表面部分を測定するための方法において、
前記物体（１４）が、固定された基準物体（１８，２０）に対向するように固定され、
基準体（２８）と間隔測定器（３４，３６）とが配置されている保持体（２６）が、前記物体（１４）を接触なしに走査する運動中に、前記基準物体（１８，２０）に対して少なくとも１つの第１の方向（ｘ，ｙ）に移動され、
前記間隔測定器（３４，３６）を用いることで、前記物体（１４）の表面部分の第１の点（５２）に対する第１の間隔（３８）が、前記物体に面した第１のセンサ（３４）によって求められ、前記基準体（２８）の前記第１の点（５２）に対応する第２の点（５４）に対する第２の間隔（４０）が、前記基準体（２８）に面した第２のセンサ（３６）によって求められ、この第２の間隔センサ（３６）が、直径上で前記第１の間隔センサ（３４）に対して逆に指向されている当該方法。
前記基準物体（１８，２０）と前記保持体（２６）との間の間隔が、少なくとも１つの第３の間隔センサ（５６，５８）によって求められる請求項１１に記載の方法。
前記基準物体（１８，２０）に対する第１の点（５２）の位置が、前記第１の間隔（３８）と、前記第２の間隔（４０）と、前記基準物体（１８，２０）と前記保持体（２６）との間の間隔とによって求められる請求項１１又は１２に記載の方法。