JP2014238400A - 露光制御が強化された構造化照明投影 - Google Patents
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Abstract
Description
画像の露光を自動で調節可能な方法を開発することは、高精度の三次元形状測定に極めて重要である。投影される干渉縞の強度を調節することは選択肢の1つである。・・・しかし、干渉縞は典型的には8ビット(256グレイスケール値)に制限される。更に、最大グレイスケール値を変更することは、縞コントラストが変わるので、測定の信号対雑音比(SNR)に通常影響を与える。・・・従って、カメラの露光時間を調節するのが最良の選択肢であるように思われる。しかし、デジタル光処理「DLP」プロジェクタ上で表示される従来の正弦波干渉縞については、0から255までのグレイスケール値を生成するためにプロジェクタが時間変調を使用するので、カメラの露光時間を任意に選択することはできない。・・・カメラの露光時間を調節する最小ステップは、そのチャネル投影時間(例えば120Hzのプロジェクタでは8.33ms)である。このステップサイズは、典型的には実際の露光調節に必要なステップサイズよりも1〜2桁大きい。
本発明の上記の態様及び付随する利点の多くは、添付図面と併せて解釈するとき、以下の詳細な説明を参照することによってより良く理解されるため、より容易に理解される。
12 ビジョン構成要素部
14 制御コンピュータシステム
16 ディスプレイ
18 プリンタ
20 ワークピース
22 ジョイスティック
24 キーボード
26 マウス
32 可動式ワークピースステージ
34 光学撮像系
100 マシンビジョン検査システム
120 制御システム部
125 コントローラ
130 入出力装置
131 撮像制御インタフェース
132 移動制御インタフェース
132a 位置制御要素
132b 速度/加速度制御要素
133 照明制御インタフェース
133a 照明制御要素
133n 照明制御要素
133sip 照明制御要素
134 レンズ制御インタフェース
136 表示装置
138 入力装置
140 メモリ
140sim SIM/SIPメモリ部
141 画像ファイルメモリ部
142 ワークピースプログラムメモリ部
143 ビデオツール部
143a ビデオツール部
143n ビデオツール部
143z Z高さ測定ツール部
143zt Z高さツール
143af オートフォーカスツール
143maf マルチポイントオートフォーカスツール
143sim SIM/SIPモードコントロール
143roi 関心領域生成器
170 ワークピースプログラム生成・実行器
190 電源部
200 ビジョン構成要素部
205 光学アセンブリ部
210 ワークピースステージ
212 中央透明部
220 透過照明光
221 信号線
222 光源光
230 落射照明光
231 信号線
232 光源光
232’ SIP光源光
240 斜め照明光
241 信号線
242 光源光
250 交換式対物レンズ
255 ワークピース光
260 カメラ系
280 ターレットレンズアセンブリ
281 信号線
284 軸
286 レンズ
288 レンズ
290 ビームスプリッタ
294 制御可能モータ
296 信号線
300 構造化照明パターン生成部
310 光発生器
314 光
330 SIPコントローラ
331 信号線
332 SLMコントローラ部
332’ グレイスケールパターンシーケンサ
333 信号線
333’ ライン
333’’ ライン
334 信号線
336 タイミング及び同期部(TSP)
338 信号線
350 空間光変調器(SLM)
351 ピクセルアレイ
360 SIP光学部
430 パターン細分露光シーケンス
710 第1のタイムスライス表現
720 第2のタイムスライス表現
730 第3のタイムスライス表現
740 第4のタイムスライス表現
810 第1のタイムライン
815 画像取得トリガ信号
820 第2のタイムライン
825 カメラ合成持続時間
830 第3のタイムライン
835 照明パターントリガ信号
840 タイムライン
850 タイムライン
855 位置ラッチ信号
Claims (17)
- 精密マシンビジョン検査システム内のカメラ部による画像の取得中に、構造化照明パターンによってワークピースを照らすために使用される構造化照明パターン生成部を制御するための方法であって、
前記構造化照明パターン(SIP)生成部は、
SIPコントローラと、
前記構造化照明パターンを生成するために制御される制御可能な空間光変調器(SLM)と、
前記SLMに光を放射する光発生器とを含み、
前記方法は、
前記カメラの画像合成期間中に画像を取得するステップと、
グレイレベルの変化を含む第1の完全な構造化照明パターンの反復を生成することにより、前記画像合成期間中の全体的な露光を第1の露光増分だけ高めるステップと、
グレイレベルの変化を含む少なくとも第2の完全な構造化照明パターンの反復を生成することにより、前記画像合成期間中の前記全体的な露光を少なくとも第2の露光増分だけ高めるステップと
を含む、方法。 - 前記第2の露光増分と前記第1の露光増分とがほぼ同じである、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の及び第2の完全な構造化照明パターンの反復中にほぼ同じ放射強度を発するように前記光発生器を動作させるステップを含む、請求項2に記載の方法。
- 前記第1の及び第2の露光増分よりも低い最下位ビット(LSB)露光増分を更に含む、請求項3に記載の方法。
- 前記第1の及び第2の完全な構造化照明パターンの反復中に第1の放射強度を発し、前記LSB露光増分に対応する前記完全な構造化照明パターンの反復中に、前記第1の放射強度を下回るLSB放射強度を発するように前記光発生器を動作させるステップを含む、請求項4に記載の方法。
- 前記カメラの前記画像合成期間は期間TIPであり、該期間TIP内にグレイレベルの変化を含む各完全な構造化照明パターンの反復を生成する期間TCPiを複数含み、前記期間TCPiの少なくとも1つは、前記構造化照明パターン生成部によって認められる最短期間に相当する、請求項1に記載の方法。
- 前記カメラの前記画像合成期間がN個の等しい副期間TCPnを含む期間TIPであり、前記方法が、グレイレベルの変化を含む各完全な構造化照明パターンの反復を複数の副期間TCPn内で生成し、少なくとも1つの副期間TCPn内で露光増分が生じないように、前記構造化照明パターン(SIP)生成部を動作させる、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の完全な構造化照明パターンの反復を生成するステップは、第1のパターン細分露光シーケンスを生成するステップを含み、前記第1のパターン細分露光シーケンスは、複数の第1の反復細分時間において前記複数の第1の反復細分時間の各々に対応する複数のパターン部を露光することであって、前記複数の第1の反復細分時間の各々において、前記光発生器からの第1の反復強度の光をそれぞれ用いて、対応する前記パターン部を露光する、ことを含み、
前記第2の完全な構造化照明パターンの反復を生成するステップは、第2のパターン細分露光シーケンスを生成するステップを含み、前記第2のパターン細分露光シーケンスは、複数の第2の反復細分時間において前記複数の第2の反復細分時間の各々に対応する複数のパターン部を露光することであって、前記複数の第2の反復細分時間の各々において、前記光発生器からの第2の反復強度の光をそれぞれ用いて、対応する前記パターン部を露光する、ことを含む、請求項1に記載の方法。 - 少なくとも前記第1の及び第2のパターン細分露光シーケンスが同一である、請求項8に記載の方法。
- 前記第1の及び第2の露光増分と異なるLSB露光増分を含み、
前記方法が、LSBパターン細分露光シーケンスを生成することでグレイレベルの変化を含む完全な構造化照明パターンの反復を生成することにより、前記LSB露光増分を生成するステップを含み、前記LSBパターン細分露光シーケンスは、複数の反復細分時間において前記複数のLSB反復時間の各々に対応する複数のパターン部を露光することであって、前記複数のLSB反復時間の各々において、前記光発生器からのLSB反復強度の光をそれぞれ用いて、対応する前記パターン部を露光する、ことである、
請求項9に記載の方法。 - (a)前記それぞれのLSB反復強度を前記対応するそれぞれの第1の及び第2の反復強度未満にするステップ、及び(b)前記それぞれのLSB反復細分時間を前記対応する第1の及び第2の反復細分時間未満にするステップの少なくとも1つを含む、請求項10に記載の方法。
- (a)前記それぞれのLSB反復強度を前記対応するそれぞれの第1の及び第2の反復強度を上回るようにするステップ、及び(b)前記それぞれのLSB反復細分時間を前記対応する第1の及び第2の反復細分時間を上回るようにするステップの少なくとも1つを含む、請求項10に記載の方法。
- 前記カメラの前記画像合成期間がNの副期間TCPnを含む期間TIPであり、前記第1の及び第2の完全な構造化照明パターンの反復が約100%のデューティサイクルに対応し、それぞれ1つの副期間TCPnの間に行われ、
0%又は100%のデューティサイクルに対応する構造化照明パターンが前記期間TIPの残りの副期間TCPnの間に与えられる状態で、0%から100%の間のデューティサイクルに対応するLSB構造化照明パターンが1つの副期間TCPnの間に与えられる、請求項1に記載の方法。 - 前記SLMがデジタル光処理アレイを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記精密マシンビジョン検査システムが構造化照明顕微鏡(SIM)モードの画像取得及び測定を含み、前記画像が前記SIMモードの画像取得及び測定中に取得される画像のスタックの1つである、請求項1に記載の方法。
- カメラ部と、
構造化照明パターン(SIP)生成部であって、 SIPコントローラ、
構造化照明パターンを生成するために制御される制御可能な空間光変調器(SLM)、及び
前記SLMに光を放射する光発生器
を含む、構造化照明パターン(SIP)生成部と、
プログラムされた命令を記憶するためのメモリと、
プロセッサであって、前記プログラムされた命令を実行し、
前記カメラ部の画像合成期間中に画像を取得すること、
グレイレベルの変化を含む第1の完全な構造化照明パターンの反復を生成することにより、前記画像合成期間中の全体的な露光を第1の露光増分だけ高めること、及び
グレイレベルの変化を含む少なくとも第2の完全な構造化照明パターンの反復を生成することにより、前記画像合成期間中の前記全体的な露光を少なくとも第2の露光増分だけ高めること
を含む動作を実行するように構成されるプロセッサと
を含む、マシンビジョン検査システム。 - カメラ部の画像合成期間中にワークピースの画像を取得する動作と、
構造化照明パターン生成部を制御して前記カメラ部の前記画像合成期間中に構造化照明パターンによって前記ワークピースを照らす動作であって、
グレイレベルの変化を含む第1の完全な構造化照明パターンの反復を生成することにより、前記画像合成期間中の全体的な露光を第1の露光増分だけ高めること、及び
グレイレベルの変化を含む少なくとも第2の完全な構造化照明パターンの反復を生成することにより、前記画像合成期間中の前記全体的な露光を少なくとも第2の露光増分だけ高めること
を含む、動作と
を実行するための、前記カメラ部及び前記構造化照明パターン生成部を有する精密検査システム内のプロセッサによって実行可能な命令が記憶された、非一時的コンピュータ可読記憶媒体。
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