JP2014232036A - 検査装置及び検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】設備コストを低減することができる検査装置及び検査方法を提供すること。
【解決手段】本発明にかかる検査装置１は、照明部１３と、反射板１２と、撮像部１１２と、画像処理部１１３と、を備える。照明部１３は、検査対象物の第１の面に光を照射する。反射板１２は、検査対象物の第１の面とは反対側の第２の面側に配置され、照明部１３からの光を検査対象物の第２の面に向かって反射させる。撮像部１１２は、検査対象物の第１の面を撮像する。画像処理部１１３は、撮像部１１２が撮像した撮像画像に含まれる明部及び暗部に基づいて、検査対象物に存在する異物を検出する。また、画像処理部１１３は、暗部を異物として検出する第１の検出モードと、明部を異物として検出する第２の検出モードと、を切り替え可能である。
【選択図】図１

Description

本発明は検査装置及び検査方法に関する。

検査対象物に存在する異物や欠陥を検査する種々の方法が提案されている。例えば、特許文献１には、検査対象物（プリント配線基板）の背面から散乱光を照射して、検査対象物を透過した光をカメラで撮像することにより、気泡や打痕等の影響を受けずに、検査対象物に存在する異物を検出する方法が開示されている。

特開２００９−１８０６０１号公報

しかしながら、特許文献１に記載の検査方法は、検査対象物が光を透過する（透明な）部材である必要がある。このため、光が透過しない（不透明な）検査対象物を検査する場合には、異なる構成の検査装置が別途必要となる。したがって、透明の検査対象物と不透明の検査対象物の両方を検査したい場合、それぞれ専用の検査装置を用意しなければならず、設備コストが増加してしまうという問題があった。

本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、設備コストを低減することができる検査装置及び検査方法を提供することを目的としている。

本発明の一態様にかかる検査装置は、検査対象物の第１の面に光を照射する照明手段と、前記検査対象物の前記第１の面とは反対側の第２の面側に配置され、前記照明手段からの前記光を前記検査対象物の前記第２の面に向かって反射させる反射部材と、前記検査対象物の前記第１の面を撮像する撮像手段と、前記撮像手段が撮像した撮像画像に含まれる明部及び暗部に基づいて、前記検査対象物に存在する異物を検出する検出手段と、を備え、前記検出手段は、前記暗部を前記異物として検出する第１の検出モードと、前記明部を前記異物として検出する第２の検出モードと、を切り替え可能であるものである。これにより、検査対象物が透明である場合でも、不透明である場合でも、検出手段の判定条件を変更するだけでよく、検査装置の他の構成は同一のものを使用できる。その結果、性状の異なる検査対象物を同一の検査装置で検査することができ、設備コストを低減することができる。

また、前記検出手段は、前記検査対象物が光を透過する透明部材である場合、前記第１の検出モードを用いて前記異物を検出し、前記検査対象物が光を透過しない不透明部材である場合、前記第２の検出モードを用いて異物を検出してもよい。

また、前記反射部材は、前記照明手段からの前記光を拡散反射させる拡散反射部材を用いて形成されてもよい。これにより、検査対象物の裏面から拡散光が照射されるため、検査対象物の凹凸や気泡等の検査不要の状態を異物として誤検出することを抑制できる。

また、前記反射部材は、乳白色またはマット調の樹脂で形成された薄板であってもよい。これにより、装置スペースを削減でき、装置の設置位置の自由度を向上させることができる。

また、前記照明手段は、前記第１の面に平行光を照射してもよい。これにより、検査対象物と照明手段との距離に拘わらず、安定した光強度で検査対象物に光を照射することができる。

本発明の一態様にかかる検査方法は、検査対象物の第１の面に光を照射するステップと、前記検査対象物の前記第１の面とは反対側の第２の面側において、前記検査対象物に照射された前記光を前記検査対象物の前記第２の面に向かって反射させるステップと、前記検査対象物の前記第１の面を撮像するステップと、撮像した撮像画像に含まれる明部及び暗部に基づいて、前記検査対象物に存在する異物を検出するステップと、を備え、前記異物を検出するステップは、前記暗部を前記異物として検出する第１の検出モードと、前記明部を前記異物として検出する第２の検出モードと、を切り替え可能であるものである。これにより、検査対象物が透明である場合でも、不透明である場合でも、検出手段の判定条件を変更するだけでよく、検査装置の他の構成は同一のものを使用できる。その結果、性状の異なる検査対象物を同一の検査装置で検査することができ、設備コストを低減することができる。

本発明により、設備コストを低減することができる検査装置及び検査方法を提供することができる。

実施の形態にかかる検査装置の構成を示す図である。 実施の形態にかかる電解質膜の拡大図である。 実施の形態にかかる電解質膜の拡大図である。 実施の形態にかかるカメラのブロック図である。 実施の形態にかかる画像処理部の異物検出処理を説明するための図である。 実施の形態にかかる画像処理部の異物検出処理を説明するための図である。 実施の形態にかかる二値化処理後の撮像画像の模式図である。 実施の形態にかかる二値化処理後の撮像画像の模式図である。 実施の形態にかかる検査装置の動作を説明するためのフローチャートである。 比較例にかかる検査装置の構成を示す図である。 比較例にかかる検査装置の構成を示す図である。

実施の形態
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１は、本実施の形態にかかる検査装置１の外観図である。検査装置１は、カメラ１１と、反射板１２と、照明部１３と、を備える。本実施の形態においては、検査装置１は、燃料電池に用いられる電解質膜を検査対象物として検査する。具体的には、検査装置１は、電解質膜に存在する異物（ゴミやホコリ等）を検出する。また、燃料電池の製造工程では、透明の電解質膜に不透明の電極触媒を塗工する前と後において異物検査をする必要がある。そのため、検査装置１は、光を透過する透明の電解質膜上の異物及び光を透過しない不透明の電極触媒上の異物を検査する。

＜検査装置１の構成＞
図１に示すように、カメラ１１と反射板１２と間に、検査対象物が位置する。より具体的には、カメラ１１の光軸Ｌ上に、電解質膜９０及び反射板１２が位置する。カメラ１１は、固定台１４に固定されており、電解質膜９０に合焦している。このとき、電解質膜９０は、ローラ８１、８２に巻きつけられている。カメラ１１は、ラインセンサカメラであり、ローラ８１、８２が回転することにより搬送される電解質膜９０の表面（カメラ１１側の面、第１の面）を連続的に撮像（走査）する。

ここで、図２及び図３に、電解質膜９０の断面拡大図を示す。図２は、電極触媒９２の塗工前の状態である。図３は、電極触媒９２の塗工後の状態である。電解質膜９０は、例えば、数十μｍの厚さの透明な薄膜である。電解質膜９０の表面と反対側の面である裏面（反射板１２側の面、第２の面）には、電解質膜９０を支持及び保護するための透明な保護シート９１が貼り付けられている。また、図３に示すように、電極触媒９２の塗工後においては、電解質膜９０の表面に電極触媒９２の層が形成される。

反射板１２（反射部材）は、電解質膜９０の裏面側に設けられている。反射板１２は、電解質膜９０に近接して設けられている。電解質膜９０から反射板１２までの距離は、電解質膜９０からカメラ１１までの距離よりも短く、例えば１０ｍｍ程度である。反射板１２は、照明部１３が出射する光を電解質膜９０に反射させる。反射板１２は、照明部１３からの光を拡散反射させる拡散反射部材を用いて形成される。これにより、反射板１２により反射した光は、拡散光となる。例えば、反射板１２は、乳白色やマット調の薄板や白い白紙等が用いられる。

照明部１３は、レンズ１１１よりも電解質膜９０側に設けられている。照明部１３は、ラインセンサのラインに沿ったライン状の光を出射する。照明部１３は、電解質膜９０の表面に光を照射する。本実施の形態においては、照明部１３から出射される光は略平行光である。もちろん、照明部１３から出射される光は平行光に限られないが、反射光の光量確保の観点から、電解質膜９０の膜面で結像する光であることが好ましい。なお、照明部１３から出射される光が平行光である場合には、照明部１３と電解質膜９０との距離に拘わらず光強度が一定のため、照明部１３と電解質膜９０との距離は、任意の距離でよい。つまり、照明部１３から出射される光が平行光である場合、照明部１３と電解質膜９０との距離に拘わらず、照明部１３は、安定した光強度で電解質膜９０を照射することができる。一方、照明部１３から出射される光が膜面で結像する光の場合、照明部１３と電解質膜９０との距離は、焦点距離であることが好ましい。

ここで、照明部１３から出射された光の経路について図２及び図３を参照して具体的に説明する。図２に示すように、電極触媒９２の塗工前においては、検査対象物である電解質膜９０は光を透過させる。このため、照明部１３から出射された平行光は、電解質膜９０及び保護シート９１を透過し、反射板１２に到達する。反射板１２に反射して拡散光となった光は、再度電解質膜９０及び保護シート９１を透過し、カメラ１１に到達する。一方、図３に示すように、電極触媒９２の塗工後においては、検査対象物である電極触媒９２は光を透過させない。このため、照明部１３から出射された平行光は、電極触媒９２に反射して、カメラ１１に到達する。

次に、カメラ１１の詳細な構成について説明する。図４は、本実施の形態にかかるカメラ１１のブロック図である。カメラ１１は、レンズ１１１と、撮像部１１２と、画像処理部１１３と、を備える。

レンズ１１１は、例えば、ズームレンズやフォーカスレンズ等の複数のレンズを含み、光を撮像部１１２へ導く。撮像部１１２は、例えばＣＣＤ（Charge Coupled Device）やＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）等のイメージセンサである。本実施の形態においては、撮像部１１２は、ラインセンサである。撮像部１１２は、撮像処理により、電解質膜９０を透過した透過光または電極触媒９２に反射した反射光を撮像し、電解質膜９０（電極触媒９２）の表面の撮像画像を生成する。

画像処理部１１３（検出手段）は、撮像部１１２により生成された撮像画像に基づいて、電解質膜９０（電極触媒９２）上の異物を検出する。具体的には、画像処理部１１３は、所定の閾値を用いて撮像画像を二値化する。例えば、画像処理部１１３は、撮像画像の各画素に対して、画素の輝度が所定の閾値以上である場合、当該画素を白（明部）に変換し、画素の輝度が所定の閾値未満の場合、当該画素を黒（暗部）に変換する処理を行う。そして、画像処理部１１３は、二値化した撮像画像の明部及び暗部に基づいて、異物を検出する。なお、撮像画像の二値化処理については、公知の技術を用いることができる。例えば、輝度値を２５６段階とすると、画像処理部１１３は、画素の輝度値が１２８以上の場合、当該画素を明部とし、画素の輝度値が１２８未満の場合、当該画素を暗部とする。

ここで、図５及び図６を参照して、画像処理部１１３の異物の検出処理について詳細に説明する。図５は、電極触媒９２の塗工前における検出処理を説明するための図である。図６は、電極触媒９２の塗工後における検出処理を説明するための図である。

まず、図５を参照して、電極触媒９２の塗工前における異物の検出処理について説明する。上述したように、電極触媒９２の塗工前においては、照明部１３からの平行光は、検査対象物である電解質膜９０を透過し、反射板１２によって反射し、拡散光となって電解質膜９０の裏面（保護シート９１側）から電解質膜９０に入射する。そして、撮像部１１２は、電解質膜９０を透過した光を撮像し、撮像画像を生成する。

このとき、電解質膜９０の表面（カメラ１１側の面）に異物９３が存在する場合、電解質膜９０を透過する拡散光の一部は、異物９３に遮断され、カメラ１１に到達しない。そのため、撮像部１１２により生成された撮像画像においては、異物９３が存在する位置に影が生じる。そして、画像処理部１１３が撮像画像を所定の閾値を用いて二値化すると、撮像画像において、異物９３が無い領域は白（明部）になり、異物９３が存在する領域は黒（暗部）になる。したがって、画像処理部１１３は、二値化処理後の撮像画像に暗部が存在する場合、電解質膜９０の表面に異物９３が存在することを検出できる。

撮像部１１２により生成された二値化処理後の撮像画像の模式図を図７に示す。図７に示すように、撮像画像は全体的に明部８３となっているが、暗部８４が一部存在する。上記のように、暗部８４は電解質膜９０上に存在する異物の影であるため、画像処理部１１３は、暗部８４に異物が存在すると判定する。つまり、画像処理部１１３は、撮像画像の暗部を異物として検出する第１の検出モードを実行する。

なお、保護シート９１を電解質膜９０に貼り付ける際に、保護シート９１の裏面に凹凸が形成されてしまったり、保護シート９１と電解質膜９０との間に気泡が入り込んだりしてしまうことがある。これらの凹凸や気泡は、電解質膜９０の品質に影響を与えるものではないため、検出する必要は無い。しかし、電解質膜９０の裏面から凹凸や気泡に平行光が当たると、凹凸や気泡において光学レンズのような光の屈折が生じ、凹凸や気泡が撮像画像に影（暗部）となって現れてしまう。そのため、検査装置１は凹凸や気泡を異物として誤検出してしまう。

これに対して、本実施の形態にかかる検査装置１は、反射板１２を用いて電解質膜９０に拡散光を透過させている。このため、凹凸や気泡により屈折した光（拡散光）が目立たない。つまり、検出不要な（異物ではない）保護シート９１の凹凸や気泡において光の屈折が生じたとしても、凹凸や気泡により屈折した光が撮像画像に影（暗部）となって現れることを抑制でき、異物の誤検出を防止できる。

次に、図６を参照して、電極触媒９２の塗工後における異物の検出処理について説明する。上述したように、電極触媒９２の塗工後においては、照明部１３からの平行光は、検査対象物である電解質膜９０を透過しない。平行光の一部は、黒色の電極触媒９２の表面で吸収され、残った光は反射してカメラ１１に到達する。撮像部１１２は、電極触媒９２に反射した光を撮像し、撮像画像を生成する。

このとき、電極触媒９２の表面（カメラ１１側の面）に異物９３が存在する場合、電極触媒９２に照射された平行光は、異物９３に当たり吸収されることなく拡散反射する。つまり、異物９３に反射した光は、拡散光となってカメラ１１に到達する。そのため、撮像部１１２により生成された撮像画像においては、異物９３が存在する位置が明るくなる。一方、異物９３が存在しない領域においては、電極触媒９２に到達した平行光は、一部が黒色の電極触媒９２に吸収され、反射光の光量は減少する。そのため、撮像部１１２により生成された撮像画像においては、異物９３が存在しない領域は暗くなる。

そして、画像処理部１１３が撮像画像を所定の閾値を用いて二値化すると、撮像画像において、異物が無い領域は黒（暗部）になり、異物が存在する領域は白（明部）になる。したがって、画像処理部１１３は、二値化処理後の撮像画像に明部が存在する場合、電極触媒９２の表面に異物が存在することを検出できる。

撮像部１１２により生成された二値化処理後の撮像画像の模式図を図８に示す。図８に示すように、撮像画像は全体的に暗部８５となっているが、明部８６が一部存在する。上記のように、明部８６は電極触媒９２上に存在する異物により拡散反射した拡散光である。このため、画像処理部１１３は、明部８６に異物が存在すると判定する。つまり、画像処理部１１３は、撮像画像の明部を異物として検出する第２の検出モードを実行する。このように、画像処理部１１３は、第１の検出モードと第２の検出モードを有しており、検査対象物の光透過性の有無に合わせて、第１の検出モードと第２の検出モードとを切り替えることができる。なお、検出モードの切り替えは、検査装置１の操作者によって行われてもよいし、二値化処理後の平均輝度等に応じて自動で行われてもよい。

＜検査装置１の動作＞
続いて、本実施の形態にかかる検査装置１の動作について図９のフローチャートを参照して説明する。まず、電極触媒９２の塗工前の電解質膜９０が検査対象物として検査装置１にセットされる（ステップＳ１０１）。ここで、検査装置１の操作者は、画像処理部１１３の判定処理の条件を設定する。具体的には、操作者は、二値化処理後の画像に暗部が存在する場合に画像処理部１１３が当該暗部を異物として検出するように設定する（第１の検出モード）。

次に、検査装置１は、照明部１３を用いて、電解質膜９０の表面に光を照射する（ステップＳ１０２）。電解質膜９０に照射された光は電解質膜９０を透過する。

検査装置１は、反射板１２を用いて、電解質膜９０を透過した光を電解質膜９０の裏面へ反射する（ステップＳ１０３）。これにより、拡散光が電解質膜９０の裏面から電解質膜９０に入射する。

そして、撮像部１１２は、電解質膜９０を透過して、電解質膜９０の表面から出射した光を撮像する（ステップＳ１０４）。撮像部１１２は、電解質膜９０の表面の撮像画像を生成し、画像処理部１１３に出力する。

画像処理部１１３は、所定の閾値を用いて、取得した撮像画像に対して二値化処理を行う。そして、画像処理部１１３は、二値化後の撮像画像に基づいて、異物を検出する（ステップＳ１０５）。具体的には、画像処理部１１３は、第１の検出モードに設定されているため、二値化後の撮像画像に暗部が存在する場合、異物が存在すると判定する。以上の動作により、電極触媒９２の塗工前の電解質膜９０の検査が終了する。その後、電解質膜９０に電極触媒９２が塗工され、電解質膜９０の表面に電極触媒９２の層が形成される。

次に、電極触媒９２の塗工後の電解質膜９０が検査対象物として検査装置１にセットされる（ステップＳ１０６）。ここで、検査装置１の操作者は、画像処理部１１３の判定処理の条件を変更する。具体的には、操作者は、二値化処理後の画像に明部が存在する場合に画像処理部１１３が当該明部を異物として検出するように設定する（第２の検出モード）。

検査装置１は、照明部１３を用いて、電極触媒９２の表面に光を照射する（ステップＳ１０７）。照射された光は、電極触媒９２に反射する。

そして、撮像部１１２は、電極触媒９２に反射した光を撮像する（ステップＳ１０８）。撮像部１１２は、電極触媒９２の表面の撮像画像を生成し、画像処理部１１３に出力する。

画像処理部１１３は、所定の閾値を用いて、取得した撮像画像に対して二値化処理を行う。そして、画像処理部１１３は、二値化後の撮像画像に基づいて、異物を検出する（ステップＳ１０９）。具体的には、画像処理部１１３は、第２の検出モードに設定されているため、二値化後の撮像画像に明部が存在する場合、異物が存在すると判定する。以上の動作により、電極触媒９２の塗工後の電解質膜９０の検査が終了する。

以上のように、本実施の形態にかかる検査装置１の構成によれば、照明部１３が、検査対象物である電解質膜９０の表面に光を照射する。また、反射板１２が、電解質膜９０を透過した光を拡散光として反射させる。そして、画像処理部１１３が、撮像部１１２により生成された画像の明部及び暗部に基づいて、異物を検出する。さらに、画像処理部１１３は、異物の検出モードとして、第１の検出モードと第２の検出モードとを切り替え可能である。このため、検査対象物が透明である場合でも、不透明である場合でも、画像処理部１１３の検出モードを変更するだけでよく、検査装置１の他の構成は同一のものを使用できる。つまり、画像処理部１１３のソフト（検出条件）のみを切り替えれば、ハード（反射板１２、照明部１３、レンズ１１１、撮像部１１２等）の変更は不要である。その結果、光透過性の異なる検査対象物（電解質膜９０）を同一の検査装置１で検査することができ、設備コストを低減することができる。

＜比較例＞
ここで、本発明にかかる比較例について説明する。比較例にかかる検査装置の構成例を図１０及び図１１に示す。図１０に示す検査装置は、電極触媒９２の塗工前の電解質膜９０を検査するための装置である。図１１に示す検査装置は、電極触媒９２の塗工後の電解質膜９０を検査するための装置である。

図１０に示す検査装置は、カメラ１１と、照明部１３と、を有する。カメラ１１は、電解質膜９０の表面側に配置され、電解質膜９０の表面を撮像する。一方、照明部１３は、電解質膜９０の裏面側に配置される。つまり、照明部１３は、電解質膜９０を介して、カメラ１１と反対側に配置される。照明部１３は、電解質膜９０の裏面に光を照射する。カメラ１１は、照明部１３から出射され、電解質膜９０を透過した光を撮像する。そして、カメラ１１は、撮像画像に含まれる暗部を異物として検出する。

しかし、図１０に示す検査装置は、照明部１３が電解質膜９０の裏面側に配置されている。このため、電極触媒９２の塗工後においては、照明部１３から出射した光は、電極触媒９２に遮られてしまい、カメラ１１に届かない。その結果、電極触媒９２に混入した異物を検出することができない。

一方、図１１に示す検査装置は、カメラ１１と、照明部１３と、を有するが、照明部１３は、電解質膜９０の表面側（カメラ１１側）に配置されている。つまり、電解質膜９０の裏面側には、照明部１３が設けられていない。これは、電極触媒９２の塗工後においては、裏面側から光を照射しても電極触媒９２によって遮られ、カメラ１１に光が到達しないからである。このため、照明部１３は電極触媒９２の表面に光を照射し、カメラ１１は、電極触媒９２の表面に反射した光を撮像する。そして、カメラ１１は、撮像画像に含まれる明部を異物として検出する。

しかし、図１１に示す検査装置は、照明部１３が電解質膜９０の表面側に配置され、電解質膜９０の裏面側には何も存在していない。このため、電極触媒９２の塗工前においては、照明部１３から出射した光は、電解質膜９０を透過した後、反射してカメラ１１に戻ってくることはない。その結果、電解質膜９０に混入した異物を検出することができない。

このように、比較例にかかる検査装置の構成によれば、光を透過する検査対象物及び光を透過しない検査対象物の両方を検査する場合、検査対象物の透過性の有無に対応した２種類の検査装置が必要となる。そのため、設備コストや装置スペースが増大してしまう。

これに対して、本実施の形態にかかる検査装置の構成によれば、上記の通り、検査対象物が光を透過する場合であっても、光を透過しない場合であっても、同一の装置で検査対象物に存在する異物を検査することができる。このため、設備コストを低減することができる。また、電解質膜９０の裏面側に配置する部品は、照明部１３よりも小型（薄型）の反射板１２である。そのため、ローラとローラの限られたスペースに反射板１２を配置可能であり、反射板１２を電解質膜９０に近接して配置できる。したがって、装置スペースを削減することができる。また、装置の設置位置の自由度を向上させることができる。

なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更及び組み合わせをすることが可能である。例えば、上述の実施の形態においては、検査対象物として電解質膜９０を用いていたが、これに限られるものではない。本発明は、任意の加工等により光の透過性が変化する検査対象物に適用することができる。例えば、本発明は、ウインドシールドガラスやヘッドライト等の透明樹脂部品のシーラ塗布前後の検査にも適用できる。

１ 検査装置
１１ カメラ
１２ 反射板
１３ 照明部
８１、８２ ローラ
９０ 電解質膜
９１ 保護シート
９２ 電極触媒
９３ 異物
１１１ レンズ
１１２ 撮像部
１１３ 画像処理部

Claims (6)

1. 検査対象物の第１の面に光を照射する照明手段と、
   前記検査対象物の前記第１の面とは反対側の第２の面側に配置され、前記照明手段からの前記光を前記検査対象物の前記第２の面に向かって反射させる反射部材と、
   前記検査対象物の前記第１の面を撮像する撮像手段と、
   前記撮像手段が撮像した撮像画像に含まれる明部及び暗部に基づいて、前記検査対象物に存在する異物を検出する検出手段と、を備え、
   前記検出手段は、前記暗部を前記異物として検出する第１の検出モードと、前記明部を前記異物として検出する第２の検出モードと、を切り替え可能である検査装置。
2. 前記検出手段は、前記検査対象物が光を透過する透明部材である場合、前記第１の検出モードを用いて前記異物を検出し、前記検査対象物が光を透過しない不透明部材である場合、前記第２の検出モードを用いて異物を検出する請求項１に記載の検査装置。
3. 前記反射部材は、前記照明手段からの前記光を拡散反射させる拡散反射部材を用いて形成される請求項１または２に記載の検査装置。
4. 前記反射部材は、乳白色またはマット調の樹脂で形成された薄板である請求項３に記載の検査装置。
5. 前記照明手段は、前記第１の面に平行光を照射する請求項１〜４のいずれか一項に記載の検査装置。
6. 検査対象物の第１の面に光を照射するステップと、
   前記検査対象物の前記第１の面とは反対側の第２の面側において、前記検査対象物に照射された前記光を前記検査対象物の前記第２の面に向かって反射させるステップと、
   前記検査対象物の前記第１の面を撮像するステップと、
   撮像した撮像画像に含まれる明部及び暗部に基づいて、前記検査対象物に存在する異物を検出するステップと、を備え、
   前記異物を検出するステップは、前記暗部を前記異物として検出する第１の検出モードと、前記明部を前記異物として検出する第２の検出モードと、を切り替え可能である検査方法。