JP2014228930A - サーボ制御装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ステージ制御装置100は、ステージ200の位置を計測する位置計測器120と、位置計測器によって計測された位置フィードバック信号とステージ200の軌道指令との偏差を演算する位置偏差演算器130と、位置偏差演算器によって演算された位置偏差信号に基づいてサーボ系の補償を施すための補償信号を生成するPID補償器140と、補償信号と外乱信号とを加算する加算器160と、ステージ200を駆動するモータ210を加算器160によって演算された加算演算信号に応じて駆動するドライバアンプ170と、を備える。
【選択図】図1
Description
幅値を有し所定の周波数範囲でスイープされたスイープ信号である場合、前記スイープ信号の周波数に対する前記加算演算信号と前記補償信号との振幅値の比を測定することによってサーボ系の開ループの周波数伝達関数の実測定を行うために、前記外乱信号を入力し、かつ前記補償信号と前記加算演算信号とをそれぞれ外部に出力する、ことができる。
ージ200の位置及び速度制御を行なう。ここで、PID補償器140のPは比例を、Iは積分を、Dは微分動作をそれぞれ意味し、位置及び速度等のサーボ制御の補償器として好適に用いられている。PID補償器140の各ゲイン項に関しては、サーボ系の設計ツール等を活用して得た設計値を設定していることが多い。しかし、現実には所望の性能が得られるように各ゲイン項の調整を要すことになり、サーボ系の安定性あるいは設定ゲイン等の実態は不明のままである。
0を設けて開ループの周波数伝達関数を取得することによって、例えば図2のようなボード線図などで周波数伝達特性をグラフ化することで、サーボ系のゲイン余裕α及び位相余裕βによる安定性判別あるいは設定ゲイン等の実態を確認することができる。
120 位置計測器
130 位置偏差演算器
140 PID補償器
150 サーボ評価器
160 加算器
170 ドライバアンプ
200 ステージ
210 モータ
300 周波数解析システム
(A) 観測用信号A
(B) 観測用信号B
Claims (3)
- 制御対象物の位置あるいは速度の制御を行なうサーボ制御装置であって、
前記制御対象物の位置を計測する位置計測器と、
前記位置計測器によって計測された位置信号と前記制御対象物の目標位置信号との偏差を演算する偏差演算器と、
前記偏差演算器によって演算された位置偏差信号に基づいてサーボ系の補償を施すための補償信号を生成する制御補償器と、
前記補償信号と外乱信号とを加算する加算器と、
前記制御対象物を駆動する駆動装置を前記加算器によって演算された加算演算信号に応じて駆動するドライバアンプと、
を備えたことを特徴とするサーボ制御装置。 - 請求項1のサーボ制御装置のサーボ制御動作の実行中において、
前記外乱信号は、所定の振幅値を有し所定の周波数範囲でスイープされたスイープ信号であり、
前記スイープ信号の周波数に対する前記加算演算信号と前記補償信号との振幅値の比を測定することによってサーボ系の開ループの周波数伝達関数の実測定を行うために、前記外乱信号を入力し、かつ前記補償信号と前記加算演算信号とをそれぞれ外部に出力する、
ことを特徴とするサーボ制御装置。 - 請求項1又は2のサーボ制御装置において、
前記外乱信号は、所定の振幅値を有し所定の周波数範囲でスイープされたスイープ信号であり、
前記スイープ信号の周波数に対する前記外乱信号と前記補償信号との振幅値の比を測定することによってサーボ系の閉ループの周波数伝達関数の実測定を行うために、前記外乱信号を入力し、かつ前記補償信号を外部に出力する、
ことを特徴とするサーボ制御装置。
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JP2013106041A JP2014228930A (ja) | 2013-05-20 | 2013-05-20 | サーボ制御装置 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106406123A (zh) * | 2016-11-30 | 2017-02-15 | 中国兵器装备集团自动化研究所 | 一种基于传递函数的转台指标分解方法 |
CN109039194A (zh) * | 2018-08-23 | 2018-12-18 | 成都信息工程大学 | 一种永磁同步电机转速跟踪控制方法 |
CN110018671B (zh) * | 2019-04-16 | 2021-02-05 | 南京工大数控科技有限公司 | 基于小位移直驱力矩转台伺服参数优化方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59226907A (ja) * | 1983-06-08 | 1984-12-20 | Toshiba Corp | 閉ル−プ制御系のサ−ボ特性評価装置 |
JPS60253982A (ja) * | 1984-05-31 | 1985-12-14 | Fujitsu Ten Ltd | サ−ボ回路特性測定用回路 |
JP2002304219A (ja) * | 2001-04-04 | 2002-10-18 | Yaskawa Electric Corp | モータ制御装置およびメカ特性測定方法 |
JP2006221404A (ja) * | 2005-02-10 | 2006-08-24 | Yaskawa Electric Corp | 電動機制御装置およびその機械特性測定方法並びに制御器調整方法 |
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2013
- 2013-05-20 JP JP2013106041A patent/JP2014228930A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59226907A (ja) * | 1983-06-08 | 1984-12-20 | Toshiba Corp | 閉ル−プ制御系のサ−ボ特性評価装置 |
JPS60253982A (ja) * | 1984-05-31 | 1985-12-14 | Fujitsu Ten Ltd | サ−ボ回路特性測定用回路 |
JP2002304219A (ja) * | 2001-04-04 | 2002-10-18 | Yaskawa Electric Corp | モータ制御装置およびメカ特性測定方法 |
JP2006221404A (ja) * | 2005-02-10 | 2006-08-24 | Yaskawa Electric Corp | 電動機制御装置およびその機械特性測定方法並びに制御器調整方法 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
"FFT・アナライザ(サーボ・アナライザ)とアクセサリを用いた制御システムの測定の基礎", アプリケーション・ノート, JPN7017001175, 27 June 2002 (2002-06-27) * |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106406123A (zh) * | 2016-11-30 | 2017-02-15 | 中国兵器装备集团自动化研究所 | 一种基于传递函数的转台指标分解方法 |
CN109039194A (zh) * | 2018-08-23 | 2018-12-18 | 成都信息工程大学 | 一种永磁同步电机转速跟踪控制方法 |
CN109039194B (zh) * | 2018-08-23 | 2021-05-11 | 成都信息工程大学 | 一种永磁同步电机转速跟踪控制方法 |
CN110018671B (zh) * | 2019-04-16 | 2021-02-05 | 南京工大数控科技有限公司 | 基于小位移直驱力矩转台伺服参数优化方法 |
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