JP2014228723A - 高精細カラーフィルタの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】現像によるブラックマトリクス線9幅の額縁付近における細りやくびれを抑えた高精細カラーフィルタの製造方法を提供する。
【解決手段】ブラックフォトレジスト2からなる塗膜に、パターン照射を行い、現像により画素と画素とを区分するブラックマトリックス線9と、その周囲を囲む額縁部からなるブラックマトリックス20を形成し、前記ブラックマトリックス上に着色画素を設けるカラーフィルタの製造方法であって、前記ブラックフォトレジスト2からなる塗膜の、ブラックマトリックスの額縁部7に相当する部分に、露光量の異なる箇所を設け、露光量の異なる箇所を現像除去することにより、額縁部近傍の現像液の活性を減少させ、額縁部近傍に位置するブラックマトリックスの線幅の細り31やくびれ32の発生を防止する。
【選択図】図1
【解決手段】ブラックフォトレジスト2からなる塗膜に、パターン照射を行い、現像により画素と画素とを区分するブラックマトリックス線9と、その周囲を囲む額縁部からなるブラックマトリックス20を形成し、前記ブラックマトリックス上に着色画素を設けるカラーフィルタの製造方法であって、前記ブラックフォトレジスト2からなる塗膜の、ブラックマトリックスの額縁部7に相当する部分に、露光量の異なる箇所を設け、露光量の異なる箇所を現像除去することにより、額縁部近傍の現像液の活性を減少させ、額縁部近傍に位置するブラックマトリックスの線幅の細り31やくびれ32の発生を防止する。
【選択図】図1
Description
高精細カラーフィルタを構成するブラックマトリクス(BM)の線幅を均一にパターン形成するための露光パターンを工夫したカラーフィルタの製造方法に関し、ブラックマトリクス線幅の細りやくびれの発生がない、ブラックマトリクス線幅の面内分布に優れた高精細カラーフィルタの製造方法に関する。
スマートフォン、タブレットPCの普及に伴い、モバイル向け液晶パネルの出荷数が年々増加しており、今後も高い成長率が見込まれている。また、この市場における高精細化への要求は高く、カラーフィルタ(CF)についても同様に高精細化が求められている。
CFにおける高精細化の主要な課題としては、ブラックマトリクス線幅の細線化および面内分布均一化、RGBレイヤーからなる着色画素との重ね合わせ精度の向上があげられる。
図5は、ブラックフォトレジストからなる塗膜に、パターン照射を行い、現像により画素と画素とを区分するブラックマトリックス線9と、その周囲を囲む額縁部7からなるブラックマトリックスを形成する時の、現像工程における現像液の未消費領域21、消費領域22を示しており、画素10はブラックフォトレジスト2が除去されるため、現像液が疲労し消費領域22となるが、額縁部7はブラックフォトレジスト2が除去されないため、現像液の疲労がなく、未消費領域21となり、現像がすすむことにより、ブラックマトリクス線9部の細り31や、くびれ32が発生することを示している。
図6は、ブラックマトリクス線9の細り31を示しており、額縁部7に近づくに従い、現像液が活性化するため、中央部のブラックマトリクス線9の線幅と比較して現像がすすみ、細くなってしまう。
図7は、ブラックマトリクス線9のくびれ32を示しており、31と同様に、額縁部7に近接する部分の、現像がすすみ、線幅の特に細くなるくびれ32が生じる。
ブラックマトリクスパターン形成用のマスクにおいて、CFの額縁近傍領域のブラックマトリクスの線幅を、あらかじめ現像工程でチップ内部領域の線幅に対して細くなる分だけ太くする補正を施しておくという方法が開示されている(特許文献1)。
しかしながら、上記現像工程にてブラックマトリクスの線幅がCFの内部領域に対して細くなるCFの額縁近傍領域は、ブラックマトリクスパターンの形状によって異なる。
そのため、ブラックマトリクス線幅が細線化しない内部領域にまで露光マスクにおけるブラックマトリクス線幅を太くする補正を施すことにより、ブラックマトリクスをパターン加工した際に、露光マスクにて補正を施した領域の一部のブラックマトリクス線幅が、補正を施していないCFの内部領域と比較して逆に太くなり、不連続に線幅が変化する境界部分が線状のムラとなって見えてしまうという危険がある。
そのため、現像工程においてブラックマトリクス線幅が実際に細るCF額縁近傍領域を正確に把握しておく必要がある。
しかしながら、様々な形状のブラックマトリクスパターンを有するカラーフィルタ基板
に対して、セル額縁近傍領域を正確に把握して、上記の露光マスク補正を適正に施すことは膨大な手間と困難を有する。
に対して、セル額縁近傍領域を正確に把握して、上記の露光マスク補正を適正に施すことは膨大な手間と困難を有する。
またチップ形状も、用途によっては単純な四角形から例えば円形のような複雑なものも登場しており、その点においても、上記の露光マスクの補正を施す実際の作業に対して大きな障壁となる。
ブラックマトリクス線幅の細線化については、線幅が細線化されるに従い、セル額縁近傍においてブラックマトリクス線幅が細るという問題が顕在化している。
額縁近傍における細りは、ブラックマトリックスの剥がれや、ブラックマトリクス線幅面内分布の悪化の要因となり、表示品質の悪化の原因となっている。
CFの額縁近傍におけるブラックマトリクス線幅の細りは、現像時のセル中央部と額縁近傍における現像液の活性の差異に起因すると考えられている。
ネガレジストを用いる場合、額縁部では現像液が消費されないため、額縁近傍における現像液の活性が高い状態となる。一方、中央部ではパターンにより現像液が消費され、活性が低くなっている。
大型基板上の現像処理均一化(現像液分布、置換効率の均一化)については、傾斜搬送、現像液スプレーノズルの揺動などの対策が行われている。この対策は、基板全面に対する現像処理の均一化には寄与するものの、局所的な額縁部とセル中央部の現像液均一化への効果は乏しいと考えられている。
また、額縁部にハーフトーンマスクを用い、ブラックマトリクス線部と比較して、額縁部に光が照射されるように露光を調整し、額縁部の厚みをかえることにより、物理的に現像液の流れを変え、滞留を防止する提案がなされている(特許文献2)。
しかしながら、ハーフトーンマスクを用いる方法は、ブラックマトリクス線幅の細りやくびれを防止することができるが、額縁部の光学濃度が規定の濃度より、下がってしまい、補正として額縁部にブラックマトリクス層を積層することがあるが、剥がれることも可能性としてありえる。
現像によるブラックマトリクスの額縁付近における線幅の細りやくびれが抑えられ、ブラックマトリクス線幅の面内分布に優れ、しかも、額縁部の光学濃度や平坦性の調整を行うための、積層膜の膜剥がれがない、高精細カラーフィルタの製造方法を提供する。
上記の課題を解決するための手段として、請求項1に記載の発明は、ブラックフォトレジストからなる塗膜に、パターン照射を行い、現像により画素と画素とを区分するブラックマトリックス線と、その周囲を囲む額縁部からなるブラックマトリックスを形成し、前記ブラックマトリックス上に着色画素を設ける高精細カラーフィルタの製造方法であって
、前記ブラックフォトレジストからなる塗膜の、ブラックマトリックスの額縁部に相当する部分に、露光量の異なる箇所を設け、露光量の異なる箇所を現像除去することにより、額縁部に凹凸パターンを形成し、額縁部近傍の現像液の活性を減少させ、額縁部近傍に位置するブラックマトリックスの線幅の細りやくびれの発生を防止することを特徴とする高精細カラーフィルタの製造方法である。
、前記ブラックフォトレジストからなる塗膜の、ブラックマトリックスの額縁部に相当する部分に、露光量の異なる箇所を設け、露光量の異なる箇所を現像除去することにより、額縁部に凹凸パターンを形成し、額縁部近傍の現像液の活性を減少させ、額縁部近傍に位置するブラックマトリックスの線幅の細りやくびれの発生を防止することを特徴とする高精細カラーフィルタの製造方法である。
また、請求項2に記載の発明は、前記ブラックフォトレジストからなる塗膜に、ハーフトーンマスクを用い、額縁部に相当する部分に露光量の異なる箇所を設け、額縁部に凹凸パターンを形成したことを特徴とする請求項1に記載の高精細カラーフィルタの製造方法である。
また、請求項3に記載の発明は、前記ブラックフォトレジストからなる塗膜に、直描露光により、額縁部に相当する部分に露光量の異なる箇所を設け、額縁部に凹凸パターンを形成したことを特徴とする請求項1に記載の高精細カラーフィルタの製造方法である。
現像時にCF額縁部においても現像液が消費されるため、額縁近傍とセル中央部での現像液の活性の差異が小さく、額縁近傍での線幅の細りやくびれが発生しにくい。額縁近傍での細りがないため、ブラックマトリクス線はがれが発生しにくくなり、高精細化のための、ブラックマトリクス線幅の細線化が可能となる。
また、ブラックマトリクス層の上層にカラーフィルタ構成層のうちの1層以上を積層することで、額縁の凹凸化に伴う、光学密度(OD値)の低下、平坦性の悪化を補填することが可能で、ハーフトーンマスクを使用することで、従来設備を使用しての高精細化が可能となり、ブラックマトリクス線幅の面内分布に優れた高精細カラーフィルタの製造方法を提供できる。
以下本発明を実施するための形態を、図面を用いて詳細に説明する。図1は本発明の製造方法を示しており、基板1上に、ブラックフォトレジスト2が塗布され、プレベークにより乾燥させた後、マスク3を介して紫外線を照射する。
ブラックフォトレジスト2にはネガ型とレジストとポジ型があるが、ネガ型のレジスト
を用いた例にて説明する。ネガ型のレジストは光硬化タイプのレジストであり、画素10は遮光部6にあたり、未硬化のままで、ブラックマトリクス線9は透過部5にあたり硬化する。
を用いた例にて説明する。ネガ型のレジストは光硬化タイプのレジストであり、画素10は遮光部6にあたり、未硬化のままで、ブラックマトリクス線9は透過部5にあたり硬化する。
額縁部に相当する部分のマスク3は、ハーフトーン部4が設けられており、露光量の異なる箇所8を設け、硬化度合いが不十分な部分をパターン状に形成し、現像によりその部分を現像除去し、凹凸パターンを形成する。
図2は、図1におけるブラックマトリックス20の直角方向の断面図であり、着色画素10はそれぞれ、ブラックマトリクス線9により囲まれている。
図3は、額縁部の凹凸化に伴う、光学密度(OD値)の低下や平坦性の悪化を補填するために、レジスト11を積層した状態を示している。レジストは必要に応じて、濃度調整レジストや透明レジストを積層することも可能である。
図4は、本発明の額縁部7に、マスク3のハーフトーン部4により、露光量の異なる箇所8を設けることにより、光照射の少ない部分を形成することにより、部分的にブラックフォトレジスト2が除去され、現像液が使われ、現像液の活性が落ちることから、細り31や、くびれ32が発生しなくなる。
続く現像工程にて、UV光照射の行われていない画素10は現像除去され、ブラックマトリクス線9は硬化して残る。額縁部7にハーフトーン部4により、硬化度合いを抑えた部分は、現像液により、画素10と比較して除去される度合いは低いものの、現像がすすみ、現像液の活性が低下するため、額縁部7近傍で、発生してしまうブラックマトリクス線9の細り31や、くびれ32は発生しない。
額縁部7に相当する部分に硬化度合いが不十分な部分を形成する方法としては、ハーフトーン部4を用いずに、直描露光により、額縁部に露光量の異なる箇所を設けることも可能である。
額縁部全てを、ハーフトーンとし、現像時、額縁部7における現像液の消費がすすむようにし、ブラックマトリクス線9と比較して、額縁部7全体を薄く除去すると、額縁部7の遮光が不十分となり、補正として、保証用ブラックフォトレジストを積層しなければならない場合があるが、全体を薄く除去した場合は、積層したブラックフォトレジストとの接着性が問題となり、剥離してしまうことも可能性としてある。
本発明では、額縁部7近傍の、現像液の活性を低下させるため、パターン状に額縁部の一部を薄く除去し、額縁部には凹凸を形成するが、額縁部に凹凸のパターンを形成するため、補正として保証用ブラックフォトレジストを積層しても、凹凸のパターンにより接着性があがり、補正として積層したブラックフォトレジスト2が剥離してしまうことはない。
額縁部に、露光強度を変化させ、部分を設けることにより、額縁近傍での線幅の細り31やくびれ32が発生しにくく、ブラックマトリクス線9のはがれのない20を持つ高精細カラーフィルタの製造方法を提供できる。
1・・・基板
2・・・ブラックフォトレジスト
3・・・マスク(石英)
4・・・ハーフトーン部
5・・・透過部
6・・・遮光部
7・・・額縁部
8・・・露光量の異なる箇所
9・・・ブラックマトリクス線
10・・・画素
11・・・透明レジスト(濃度調整レジスト)
20・・・ブラックマトリックス
21・・・未消費領域
22・・・消費領域
31・・・細り
32・・・くびれ
2・・・ブラックフォトレジスト
3・・・マスク(石英)
4・・・ハーフトーン部
5・・・透過部
6・・・遮光部
7・・・額縁部
8・・・露光量の異なる箇所
9・・・ブラックマトリクス線
10・・・画素
11・・・透明レジスト(濃度調整レジスト)
20・・・ブラックマトリックス
21・・・未消費領域
22・・・消費領域
31・・・細り
32・・・くびれ
Claims (3)
- ブラックフォトレジストからなる塗膜に、パターン照射を行い、現像により画素と画素とを区分するブラックマトリックス線と、その周囲を囲む額縁部からなるブラックマトリックスを形成し、前記ブラックマトリックス上に着色画素を設けるカラーフィルタの製造方法であって、
前記ブラックフォトレジストからなる塗膜の、ブラックマトリックスの額縁部に相当する部分に、露光量の異なる箇所を設け、露光量の異なる箇所を現像除去することにより、額縁部に凹凸パターンを形成し、額縁部近傍の現像液の活性を減少させ、額縁部近傍に位置するブラックマトリックスの線幅の細りやくびれの発生を防止することを特徴とする高精細カラーフィルタの製造方法。 - 前記ブラックフォトレジストからなる塗膜に、ハーフトーンマスクを用い、額縁部に相当する部分に露光量の異なる箇所を設け、額縁部に凹凸パターンを形成したことを特徴とする請求項1に記載の高精細カラーフィルタの製造方法。
- 前記ブラックフォトレジストからなる塗膜に、直描露光により、額縁部に相当する部分に露光量の異なる箇所を設け、額縁部に凹凸パターンを形成したことを特徴とする請求項1に記載の高精細カラーフィルタの製造方法。
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US9893321B2 (en) | 2016-02-29 | 2018-02-13 | Japan Display Inc. | Display device and method of manufacturing a display device |
US10114283B2 (en) * | 2015-09-25 | 2018-10-30 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Mask plate, exposure device, and exposure method |
JP2019045572A (ja) * | 2017-08-30 | 2019-03-22 | 凸版印刷株式会社 | カラーフィルタおよびその製造方法 |
JP2020038283A (ja) * | 2018-09-04 | 2020-03-12 | 凸版印刷株式会社 | フォトマスク、及びそれを用いたカラーフィルタの製造方法 |
-
2013
- 2013-05-23 JP JP2013108762A patent/JP2014228723A/ja active Pending
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US10114283B2 (en) * | 2015-09-25 | 2018-10-30 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Mask plate, exposure device, and exposure method |
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