JP2014228461A - マイクロポンプ用流量測定装置及びマイクロポンプ - Google Patents

マイクロポンプ用流量測定装置及びマイクロポンプ Download PDF

Info

Publication number
JP2014228461A
JP2014228461A JP2013109834A JP2013109834A JP2014228461A JP 2014228461 A JP2014228461 A JP 2014228461A JP 2013109834 A JP2013109834 A JP 2013109834A JP 2013109834 A JP2013109834 A JP 2013109834A JP 2014228461 A JP2014228461 A JP 2014228461A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid
micropump
flow rate
tube
flow
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2013109834A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5966167B2 (ja
Inventor
長雄 玉川
Nagao Tamagawa
長雄 玉川
剛士 佐藤
Takeshi Sato
剛士 佐藤
広昭 井上
Hiroaki Inoue
広昭 井上
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Aquatech Ltd
Original Assignee
Aquatech Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Aquatech Ltd filed Critical Aquatech Ltd
Priority to JP2013109834A priority Critical patent/JP5966167B2/ja
Publication of JP2014228461A publication Critical patent/JP2014228461A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5966167B2 publication Critical patent/JP5966167B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Measuring Volume Flow (AREA)

Abstract

【課題】 マイクロポンプにより送液用流路を通して液体を送液している状態においても、送液用流路を通して送液される液体の流量を簡単且つ適切に測定できるようにする。
【解決手段】 マイクロポンプ10により送液用チューブ11を通して送液される液体xの流量を測定するにあたり、マイクロポンプと同期して駆動されるサブマイクロポンプ20を設け、このサブマイクロポンプによって送られる参照用液体xaを循環させる測定用循環チューブ21を設けると共に、この測定用循環チューブ内を循環する参照用液体の流量を検知する参照用流量検知手段40を設け、この参照用流量検知手段により検知された参照用液体の流量に基づき、算出手段50により、送液用チューブを通して送液される液体の流量を算出するようにした。
【選択図】 図1

Description

本発明は、マイクロポンプにより送液用チューブ等の送液用流路を通して送液される液体の流量を測定するマイクロポンプ用流量測定装置に関するものである。特に、どのような種類の液体であっても、マイクロポンプにより送液用送液用流路を通して液体を送液している状態において、送液用流路を通して送液される液体の流量を簡単且つ適切に測定できるようにした点に特徴を有するものである。
従来から、マイクロポンプにより送液用チューブを通して、毎分ナノリットルレベルの微小量の液体を、バイオチップ等の分析用チップに送液させることが行われている。
そして、このようにマイクロポンプにより送液用チューブを通して、分析用チップに微小量の液体を送液させる場合、分析用チップに送液させる液体の流量を適切に管理するため、送液用チューブを通して送液される液体の流量を適切に測定することが必要になる。
ここで、マイクロポンプにより送液用チューブを通して液体を送液させるようにした場合、送液用チューブを通して送液される液体の流路抵抗が大きい一方、マイクロポンプにおける液体の吐出圧力が微小であるため、マイクロポンプにより送液用チューブを通して送液させる液体の流量を測定する場合、流路抵抗の影響を受けやすいという問題があった。
このため、従来においては、マイクロポンプにより送液用チューブを通して送られた液体の重量を精密天秤等により測定し、これに基づいて、単位時間に送液させる液体の流量を算出することが行われている。
しかし、このような方法では、マイクロポンプにより送液用チューブを通して液体を送液している状態で、送液されている液体の流量をリアルタイムに測定することができず、実際に、マイクロポンプにより送液用チューブを通して送液される液体の流量を正確に測定することができないという問題があった。また、マイクロポンプの運転条件等を変更させた場合には、その都度、マイクロポンプにより送液用チューブを通して送られた液体の重量を精密天秤等により測定して、単位時間に送液させる液体の流量を算出することが必要になり、送液される液体の流量を検知する操作が非常に面倒になる等の問題もあった。
また、従来においては、特許文献1に示されるように、送液用チューブを通して送液される液体を、発熱源により部分的に加熱させて液温を部分的に上昇させると共に、この発熱源よりも下流側に設けられた第1の温度検出素子と、この第1の温度検出素子よりも下流側に設けられた第2の温度検出素子とにおいてそれぞれ液温を測定し、温度が変化する時間差に基づいて、送液される液体の流量を求めるようにしたものが提案されている。
また、特許文献2に示されるように、送液用チューブを通して送液される液体に気体を注入させ、気体注入位置よりも下流側に設けられた境界面センサーにより液体と気体との境界面を検知した時点で、再度、送液用チューブを通して送液される液体に気体を注入させ、気体で分断された液体の部分を計測して、送液される液体の流量を求めるようにしたものが提案されている。
しかし、特許文献1に示されるように、発熱源により送液される液体を加熱させて液温を上昇させるようにした場合、液体の種類によっては、加熱によって液体の特性等が喪失したり、変化したりするため、各種の液体における流量を適切に測定することができないという問題があった。
また、特許文献2に示されるように、送液用チューブを通して送液される液体に気体を注入させるようにした場合、気体と一緒に不純物等が注入されて、液体の特性等が喪失したり、変化したりして、各種の液体における流量を適切に測定することができなくなったり、また液体に注入させた気体を取り出す作業が必要になり、マイクロポンプにより送液用チューブを通して液体を送液している状態において、液体の流量を測定するのには適していないという問題があった。
特許第4955159号公報 特開2008−14765号公報
本発明は、マイクロポンプにより送液用チューブ等の送液用流路を通して送液される液体の流量を測定する場合における前記のような問題を解決することを課題とするものである。
すなわち、本発明においては、どのような種類の液体であっても、マイクロポンプにより送液用流路を通して液体を送液している状態において、前記の送液用流路を通して送液される液体の流量を簡単且つ適切に測定できるようにことを課題とするものである。
本発明においては、前記のような課題を解決するため、マイクロポンプにより送液用流路を通して送液される液体の流量を測定するマイクロポンプ用流量測定装置において、前記のマイクロポンプと同期して駆動されるサブマイクロポンプを設け、このサブマイクロポンプによって送られる参照用液体を循環させる測定用循環流路を設けると共に、この測定用循環流路内を循環する参照用液体の流量を検知する参照用流量検知手段を設け、この参照用流量検知手段により検知された測定用循環流路内を循環する参照用液体の流量に基づき、算出手段により送液用流路を通して送液される液体の流量を算出するようにした。
このようにすると、マイクロポンプにより送液用流路を通して送液される液体を加熱したり、送液用流路を通して送液される液体に気体を注入させたりしなくても、サブマイクロポンプによって測定用循環流路内を循環する参照用液体の流量を参照用流量検知手段によって検知することにより、送液用流路を通して送液される液体の流量を適切に測定できるようになる。
ここで、前記のように参照用流量検知手段により検知された測定用循環流路内を循環する参照用液体の流量に基づいて、算出手段により送液用流路を通して送液される液体の流量を算出するにあたっては、前記のマイクロポンプにより送液用流路を通して送液される液体の流量と、前記のサブマイクロポンプにより測定用循環流路を通して送られる参照用液体の流量との関係を記憶手段に記憶させておき、前記のように参照用流量検知手段により検知された参照用液体の流量と、この記憶手段に記憶されたデータとに基づいて、送液用流路を通して送液される液体の流量を算出することができる。
また、前記のマイクロポンプによって液体を送液させる送液用流路に送液用チューブを用いると共に、前記のサブマイクロポンプによって参照用液体を循環させる測定用循環流路に測定用循環チューブを用いるようにすることができる。
そして、このように送液用流路に送液用チューブを用いると共に、測定用循環流路に測定用循環チューブを用いるようにした場合、前記のマイクロポンプとサブマイクロポンプとしては、円形状のチューブ収容部の内壁面に沿わせて送液用チューブや測定用循環チューブを配置させ、この送液用チューブや測定用循環チューブの内周側において回転加圧部材を回転装置により回転させ、この回転加圧部材により、送液用チューブや測定用循環チューブをチューブ収容部の内壁面に押圧変形させる部分を周方向に移動させて、前記の液体や参照用液体を前記の送液用チューブや測定用循環チューブ内を通して送液させるチューブポンプを用いることができる。
また、マイクロポンプとサブマイクロポンプとに前記のようなチューブポンプを用いた場合において、前記のようにマイクロポンプとサブマイクロポンプとを同期して駆動させるにあたっては、前記のマイクロポンプにおける回転加圧部材とサブマイクロポンプにおける回転加圧部材とを同じ回転装置によって回転させるようにすることができる。
また、マイクロポンプによって液体を送液させる送液用流路や、サブマイクロポンプによって参照用液体を循環させる測定用循環流路を、シート状基材に設けるようにすることもできる。
そして、本発明のマイクロポンプにおいては、前記のようなマイクロポンプ用流量測定装置を設け、マイクロポンプにより送液用流路を通して送液される液体の流量を測定するようにした。
本発明においては、前記のようなマイクロポンプ用流量測定装置を用いるようにしたため、従来のように、マイクロポンプにより送液用チューブを通して送液される液体を加熱したり、送液用チューブを通して送液される液体に気体を注入させたりする必要がなく、送液用チューブ等の送液用流路を通して送液される液体がどのような種類の液体であっても、マイクロポンプにより送液用流路を通して液体を送液している状態において、サブマイクロポンプによって測定用循環流路内を循環する参照用液体の流量を参照用流量検知手段によって検知することにより、送液用流路を通して送液される液体の流量を簡単且つ適切に測定できるようになる。
本発明の一実施形態に係るマイクロポンプ用流量測定装置において、マイクロポンプにより送液用チューブを通して送液される液体の流量を、サブマイクロポンプにより測定用循環チューブを通して送液される参照用液体の流量に基づいて算出する構成を示した概略断面説明図である。 前記の実施形態に係るマイクロポンプ用流量測定装置において、マイクロポンプにより送液用チューブを通して液体を送液させる状態を示した概略平面図である。 前記の実施形態に係るマイクロポンプ用流量測定装置において、サブマイクロポンプによって測定用循環チューブ内を循環する参照用液体の流量を参照用流量検知手段によって検知する状態を示した概略平面図である。 本発明の他の実施形態に係るマイクロポンプ用流量測定装置において、マイクロポンプにより送液用流路を通して送液される液体の流量を、サブマイクロポンプにより測定用循環流路を通して送液される参照用液体の流量に基づいて算出する構成を示した概略平面説明図である。
以下、この発明の実施形態に係るマイクロポンプ用流量測定装置を添付図面に基づいて具体的に説明する。なお、この発明に係るマイクロポンプ用流量測定装置は、特に下記の実施形態に示したものに限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲において適宜変更して実施できるものである。
この実施形態に係るマイクロポンプ用流量測定装置においては、図1に示すように、送液用チューブ11を通して液体xを送液させるマイクロポンプ10と、このマイクロポンプ10と同期して駆動されるサブマイクロポンプ20とを同じ回転装置30によって駆動させるようにしている。
また、前記のサブマイクロポンプ20においては、このサブマイクロポンプによって送られる参照用液体xaを循環させる無端状の測定用循環チューブ21を設けると共に、サブマイクロポンプ20によって測定用循環チューブ21内を循環する参照用液体xaの流量を検知する参照用流量検知手段40を設けるようにしている。
ここで、この実施形態においては、前記のマイクロポンプ10としてチューブポンプを用い、前記の送液用チューブ11を収容体Aに設けられた円形状のチューブ収容部12の内壁面に沿わせて配置させると共に、この送液用チューブ11をチューブ収容部12と連通した導出部12aを通して収容体Aの外部に導出させる一方、前記の回転装置30の回転軸31に取り付けられた回転加圧部材13を、チューブ収容部12の内壁面に沿って配置された送液用チューブ11の内周側に配置させている。
そして、このマイクロポンプ10においては、前記の回転加圧部材13を前記の回転装置30により送液用チューブ11の内周側において回転させ、この回転加圧部材13により、送液用チューブ11をチューブ収容部12の内壁面に押圧変形させる部分を周方向に移動させて、この送液用チューブ11内を通して液体xを送液させるようにしている。なお、前記の回転加圧部材13としては、回転装置30における回転軸31の回転により偏芯回転する偏芯ローター13aと、この偏芯ローター13aの外周に設けられて前記の送液用チューブ11を押圧するリング状の押圧部材13bとで構成されたものを用いている。
また、前記のサブマイクロポンプ20としてもチューブポンプを用い、前記の測定用循環チューブ21を収容体Aに設けられた円形状のチューブ収容部22の内壁面に沿わせて配置させると共に、この測定用循環チューブ21をチューブ収容部22と連通した導出部22aを通して収容体Aの外部に導出させる一方、マイクロポンプ10と同じ回転装置30の回転軸31に取り付けられた回転加圧部材23を、チューブ収容部22の内壁面に沿って配置された測定用循環チューブ21の内周側に配置させている。
そして、このサブマイクロポンプ20においても、前記の回転加圧部材23を前記の回転装置30により測定用循環チューブ21の内周側において回転させ、この回転加圧部材23により、測定用循環チューブ21をチューブ収容部22の内壁面に押圧変形させる部分を周方向に移動させて、この測定用循環チューブ21内を通して参照用液体xaを送液させるようにしている。なお、このサブマイクロポンプ20においても、前記の回転加圧部材23として、回転装置30における回転軸31の回転により偏芯回転する偏芯ローター23aと、この偏芯ローター23aの外周に設けられて前記の測定用循環チューブ21を押圧するリング状の押圧部材23bとで構成されたものを用いている。
また、サブマイクロポンプ20によって測定用循環チューブ21内を循環する参照用液体xaの流量を参照用流量検知手段40によって検知するにあたり、この実施形態においては、前記の測定用循環チューブ21内に収容された参照用液体xaの一部に気体pを注入させ、サブマイクロポンプ20によって測定用循環チューブ21内を循環する参照用液体xa中における気体pを、光センサー等の検知センサー41により検知し、この検知センサー41によって検知された結果に基づいて、測定用循環チューブ21内を循環する参照用液体xaの流量を参照用流量検知手段40により検知するようにしている。
ここで、前記の検知センサー41によって検知された結果に基づいて、参照用流量検知手段40により、測定用循環チューブ21内を循環する参照用液体xaの流量を検知するにあたっては、例えば、前記の検知センサー41によって検知された気体pが測定用循環チューブ21内を通して一周する時間を測定し、サブマイクロポンプ20によって測定用循環チューブ21内を循環する参照用液体xaの流量を求めるようにすることができる。また、図示していないが、気体pを検知する検知センサー41を、所要間隔を介して複数設け、検知センサー41間の距離に基づいて、測定用循環チューブ21内を循環する参照用液体xaの流量を求めるようにしたり、測定用循環チューブ21内に所要間隔を介して複数の気体pを注入し、検知センサー41により注入された各気体pを検知し、気体p間の距離に基づいて、測定用循環チューブ21内を循環する参照用液体xaの流量を求めるようにしたりすることができる。さらに、前記の気体pに代えて、測定用循環チューブ21内に収容された参照用液体xaの一部に磁性材料を混入させ、これを磁気センサー等の検知センサーにより検知して、サブマイクロポンプ20によって送液される参照用液体xaの流量を求めるようにすることもできる。
また、前記のように参照用流量検知手段40によって検知された参照用液体xaの流量に基づいて、送液用チューブ11を通して送液される液体xの流量を算出手段50によって算出するにあたっては、前記のようにマイクロポンプ10における回転加圧部材13と、サブマイクロポンプ20における回転加圧部材23とを前記のように同じ回転装置30によって回転させ、マイクロポンプ10における送液用チューブ11を通して送液された液体xの重量を精密天秤等により測定すると共に、前記のようにしてサブマイクロポンプ20によって測定用循環チューブ21内を循環する参照用液体xaの流量を求め、これに基づいて、マイクロポンプ10により送液用チューブ11を通して送液される液体xの流量と、サブマイクロポンプ20によって測定用循環チューブ21内を循環する参照用液体xaの流量との関係を予め求めておき、これを記憶手段51に記憶させるようにする。
そして、前記の回転装置30を回転させて、マイクロポンプ10によって送液用チューブ11を通して送液される液体xの流量を算出手段50によって算出するにあたっては、前記のようにサブマイクロポンプ20によって測定用循環チューブ21内を循環する参照用液体xaの流量を前記の参照用流量検知手段40によって検知し、この結果を算出手段50に出力し、このように出力された参照用液体xaの流量と、前記の記憶手段51に記憶された前記のデータとに基づいて、前記の算出手段50において、マイクロポンプ10によって送液用チューブ11を通して送液される液体xの流量を算出させるようにする。
このようにすると、マイクロポンプ10により送液用チューブ11を通して送液される液体xを加熱したり、送液用チューブ11を通して送液される液体xに気体pを注入させたりする必要がなく、送液用チューブ11を通して送液される液体xがどのような種類の液体であっても、マイクロポンプ10により送液用チューブ11を通して液体xを送液している状態において、サブマイクロポンプ20によって測定用循環チューブ21内を循環する参照用液体xaの流量を参照用流量検知手段40によって検知することにより、送液用チューブ11を通して送液される液体xの流量を簡単且つ適切に測定できるようになる。
ここで、送液用チューブ11を通して送液させる液体xと測定用循環チューブ21を通して送液させる参照用液体xaとは同じ種類のものであっても、異なる種類のものであってもよいが、それぞれ同じような条件で送液されて良好な相関関係が得られるようにするためには、液体xと参照用液体xaとにおける粘性等の流体特性が近いものを用いることが好ましい。
また、前記の送液用チューブ11と測定用循環チューブ21とに関しては、チューブ径が同じものであっても、異なるものであってもよく、前記の液体xや参照用液体xaの種類に応じて、適宜選択して使用することが好ましい。
なお、この実施形態においては、前記のマイクロポンプ10及びサブマイクロポンプ20として、円形状のチューブ収容部12の内壁面に沿わせて配置させた送液用チューブ11や測定用循環チューブ21の内周側において回転加圧部材13、23を回転装置30により回転させ、この回転加圧部材13、23により、送液用チューブ11や測定用循環チューブ21をチューブ収容部12、22の内壁面に押圧変形させる部分を周方向に移動させて、送液用チューブ11や測定用循環チューブ21内を通して液体xや参照用液体xaを送液させるチューブポンプを用いたが、使用するマイクロポンプ10及びサブマイクロポンプ20の種類は、特にこのようなものに限定されない。
例えば、図4に示すように、シート状基材Bに、圧電素子等を用いたマイクロポンプ110と、このマイクロポンプ110と同期して駆動される圧電素子等を用いたサブマイクロポンプ120とを設けると共に、このシート状基材B内に、前記のマイクロポンプ110によって液体xを送液させる送液用流路111と、サブマイクロポンプ120によって参照用液体xaを循環させる測定用循環流路121を設けるようにすることもできる。
そして、前記の実施形態に示す場合と同様に、前記の測定用循環流路121内に収容された参照用液体xaの一部に気体pを注入させ、サブマイクロポンプ120によって測定用循環流路121内を循環する参照用液体xa中における気体pを前記の検知センサー41により検知して、前記の参照用流量検知手段40により、測定用循環流路121内を循環する参照用液体xaの流量を検知すると共に、マイクロポンプ110により送液用流路111を通して送液される液体xの流量と、サブマイクロポンプ120によって測定用循環流路121内を循環する参照用液体xaの流量との関係を記憶手段51に記憶させ、この記憶手段51に記憶されたデータに基づいて、算出手段50により、マイクロポンプ10によって送液用流路111を通して送液される液体xの流量を算出させるようにすることができる。
10 マイクロポンプ
11 送液用チューブ(送液用流路)
12 チューブ収容部、12a 導出部
13 回転加圧部材、13a 偏芯ローター、13b 押圧部材
20 サブマイクロポンプ
21 測定用循環チューブ(測定用循環流路)
22 チューブ収容部、22a 導出部
23 回転加圧部材、23a 偏芯ローター、23b 押圧部材
30 回転装置
31 回転軸
40 参照用流量検知手段
41 検知センサー
50 算出手段
51 記憶手段
110 マイクロポンプ
111 送液用流路
120 サブマイクロポンプ
121 測定用循環流路
A 収容体
B シート状基材
x 液体、xa 参照用液体
p 気体

Claims (6)

  1. マイクロポンプにより送液用流路を通して送液される液体の流量を測定するマイクロポンプ用流量測定装置において、前記のマイクロポンプと同期して駆動されるサブマイクロポンプを設け、このサブマイクロポンプによって送られる参照用液体を循環させる測定用循環流路を設けると共に、この測定用循環流路内を循環する参照用液体の流量を検知する参照用流量検知手段を設け、この参照用流量検知手段により検知された測定用循環流路内を循環する参照用液体の流量に基づき、算出手段により送液用流路を通して送液される液体の流量を算出することを特徴とするマイクロポンプ用流量測定装置。
  2. 請求項1に記載のマイクロポンプ用流量測定装置において、前記の算出手段により送液用流路を通して送液される液体の流量を算出するにあたり、前記のマイクロポンプにより送液用流路を通して送液される液体の流量と、前記のサブマイクロポンプにより測定用循環流路内を循環する参照用液体の流量との関係を記憶手段に記憶させ、前記のように参照用流量検知手段により検知された参照用液体の流量と、この記憶手段に記憶されたデータとに基づいて、送液用流路を通して送液される液体の流量を算出することを特徴とするマイクロポンプ用流量測定装置。
  3. 請求項1又は請求項2に記載のマイクロポンプ用流量測定装置において、前記の送液用流路に送液用チューブを用いると共に、前記の測定用循環流路に測定用循環チューブを用い、前記のマイクロポンプにより送液用チューブを通して液体を送液させると共に、前記のサブマイクロポンプにより測定用循環チューブを通して参照用液体を循環させることを特徴とするマイクロポンプ用流量測定装置。
  4. 請求項3に記載のマイクロポンプ用流量測定装置において、前記のマイクロポンプ及び/又はサブマイクロポンプとして、円形状のチューブ収容部の内壁面に沿わせて送液用チューブ及び/又は測定用循環チューブを配置させ、この送液用チューブ及び/又は測定用循環チューブの内周側において回転加圧部材を回転装置により回転させ、この回転加圧部材により、送液用チューブ及び/又は測定用循環チューブを前記のチューブ収容部の内壁面に押圧変形させる部分を周方向に移動させて、液体及び/又は参照用液体を前記の送液用チューブ及び/又は測定用循環チューブ内を通して送液させるチューブポンプを用いたことを特徴とするマイクロポンプ用流量測定装置。
  5. 請求項4に記載のマイクロポンプ用流量測定装置において、前記のマイクロポンプにおける回転加圧部材とサブマイクロポンプにおける回転加圧部材とを同じ回転装置によって回転させることを特徴とするマイクロポンプ用流量測定装置。
  6. 請求項1〜請求項5の何れか1項に記載のマイクロポンプ用流量測定装置を備えたマイクロポンプ。
JP2013109834A 2013-05-24 2013-05-24 マイクロポンプ用流量測定装置及びマイクロポンプ Expired - Fee Related JP5966167B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013109834A JP5966167B2 (ja) 2013-05-24 2013-05-24 マイクロポンプ用流量測定装置及びマイクロポンプ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013109834A JP5966167B2 (ja) 2013-05-24 2013-05-24 マイクロポンプ用流量測定装置及びマイクロポンプ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2014228461A true JP2014228461A (ja) 2014-12-08
JP5966167B2 JP5966167B2 (ja) 2016-08-10

Family

ID=52128423

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013109834A Expired - Fee Related JP5966167B2 (ja) 2013-05-24 2013-05-24 マイクロポンプ用流量測定装置及びマイクロポンプ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5966167B2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014228509A (ja) * 2013-05-27 2014-12-08 株式会社大林組 スラリー供給装置
CN108303243A (zh) * 2018-01-31 2018-07-20 嘉兴林众电子科技有限公司 微量泵流量测试系统

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012211578A (ja) * 2011-03-18 2012-11-01 Aquatech:Kk チューブポンプ
JP2014213250A (ja) * 2013-04-24 2014-11-17 株式会社大林組 気泡と鉄粉スラリーを用いた汚染地盤の原位置浄化工法、及びシステム

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012211578A (ja) * 2011-03-18 2012-11-01 Aquatech:Kk チューブポンプ
JP2014213250A (ja) * 2013-04-24 2014-11-17 株式会社大林組 気泡と鉄粉スラリーを用いた汚染地盤の原位置浄化工法、及びシステム

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014228509A (ja) * 2013-05-27 2014-12-08 株式会社大林組 スラリー供給装置
CN108303243A (zh) * 2018-01-31 2018-07-20 嘉兴林众电子科技有限公司 微量泵流量测试系统

Also Published As

Publication number Publication date
JP5966167B2 (ja) 2016-08-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Li et al. Syringe-pump-induced fluctuation in all-aqueous microfluidic system implications for flow rate accuracy
Zeng et al. Characterization of syringe-pump-driven induced pressure fluctuations in elastic microchannels
US9383235B2 (en) Fluid flow meter
CN103249486B (zh) 微流体装置、微流体计量供给系统以及用于微流体测量和计量供给的方法
JP4959565B2 (ja) 低流量動作を可能にするためのhplc定流量ポンプの閉ループ流量制御
US20180188101A1 (en) Method for calibrating flow meters for fluid media
JP2012207791A (ja) 調量装置、潤滑システムおよび予め規定された潤滑剤量を送出するための方法
TWI640699B (zh) 滾動軸承裝置及供油單元
JP5966167B2 (ja) マイクロポンプ用流量測定装置及びマイクロポンプ
Zeng et al. Characterization of syringe-pump-driven versus pressure-driven microfluidic flows
KR20110086514A (ko) 토출 펌프의 토출량 개회로 제어 방법
CA2925569C (en) Certification cassette and related methods
US9835482B2 (en) Gear flow meter with out of product sensor
WO2016181294A1 (en) Method and system for minimal continuous-flow air-oil lubrication, with electronic regulation and control
IT201700005714A1 (it) Metodo di utilizzo e controllo di una pompa peristaltica e pompa peristaltica utilizzante tale metodo.
CN107306506B (zh) 用于振荡剪切和压力下的流变实验的压力单元
JP6883325B2 (ja) 液マイクロメータ
US10935407B2 (en) Fluid flow meter with viscosity correction
US20170234307A1 (en) Volumetric pump with bleed mechanism
US11047378B2 (en) Systems and methods for pump slip sensing
US20130030748A1 (en) Method for determining a dosed, or metered, volume of an automatic peristaltic sample taker
US10537676B2 (en) Sensing system for medication delivery device
US10260923B2 (en) Fluid flow meter with normalized output
JP2023087219A (ja) 材料送出装置、三次元造形装置及び射出成形装置
WO2016185815A1 (ja) 流量計付きポンプ及びポンプの流量制御方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20150108

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20151203

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20151215

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20151228

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20160510

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20160608

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5966167

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees