JP2014216408A - 半導体製造装置及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レシピに従って処理対象の基板の成膜処理を行う成膜装置と、成膜処理に起因して変化する処理情報を取得する情報取得装置と、成膜処理によって基板に形成される膜の膜厚が常に一定であるように、処理情報を用いて成膜処理に使用されるパラメータの値を算出するパラメータ算出装置と、算出されたパラメータの値を用いて、レシピに含まれるパラメータの値を変更するレシピ変更装置とを備え、変更されたパラメータの値が設定されたレシピに従って成膜処理を行う。
【選択図】図1
Description
T1=T0+tu/A ・・・(1)
レシピ変更装置104は、パラメータ算出装置103によって算出された新たな成膜時間T1を成膜処理に使用されるパラメータの値として、レシピ110に含まれるパラメータの値を変更する。そして、変更されたパラメータの値が設定されたレシピ110に従って、成膜装置101による成膜処理が行われる。
上記のように、本発明は実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
10…サンプルホルダ
20…チャンバー
30…カソード電極
40…ガス供給装置
50…交流電源
60…排気装置
100…基板
101…成膜装置
102…情報取得装置
103…パラメータ算出装置
104…レシピ変更装置
110…レシピ
Claims (14)
- レシピに従って処理対象の基板の成膜処理を行う成膜装置と、
前記成膜処理に起因して変化する処理情報を取得する情報取得装置と、
前記成膜処理によって前記基板に形成される膜の膜厚が常に一定であるように、前記処理情報を用いて前記成膜処理に使用されるパラメータの値を算出するパラメータ算出装置と、
算出された前記パラメータの値を用いて、前記レシピに含まれる前記パラメータの値を変更するレシピ変更装置と
を備え、変更された前記パラメータの値が設定された前記レシピに従って成膜処理を行うことを特徴とする半導体製造装置。 - 前記成膜装置が、プラズマ化学気相成長装置であることを特徴とする請求項1に記載の半導体製造装置。
- 前記処理情報が、前記プラズマ化学気相成長装置でのプラズマの形成に使用される電極の使用時間であることを特徴とする請求項2に記載の半導体製造装置。
- 前記パラメータが、前記プラズマ化学気相成長装置でのプラズマの形成に使用される電源のパワー、前記成膜処理において前記基板が格納される前記プラズマ化学気相成長装置のチャンバー内の圧力、及び前記成膜処理において前記チャンバー内に導入される材料ガスの流量のいずれかであることを特徴とする請求項2又は3に記載の半導体製造装置。
- 前記処理情報が、前記基板に形成された膜の膜厚であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の半導体製造装置。
- 前記処理情報が、前記基板を搭載して前記成膜装置に格納されるサンプルホルダの使用時間であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の半導体製造装置。
- 前記パラメータが、前記基板の成膜処理の時間であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の半導体製造装置。
- レシピに従って処理対象の基板の成膜処理を行う成膜装置を用いた半導体装置の製造方法であって、
前記成膜処理に起因して変化する処理情報を取得するステップと、
前記成膜処理によって前記基板に形成される膜の膜厚が一定であるように、前記処理情報を用いて前記成膜処理に使用されるパラメータの値を算出するステップと、
算出された前記パラメータの値を用いて、前記レシピに含まれる前記パラメータの値を変更するステップと、
変更された前記パラメータの値が設定された前記レシピに従って前記成膜処理を行うステップと
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記成膜装置が、プラズマ化学気相成長装置であることを特徴とする請求項8に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記処理情報が、前記プラズマ化学気相成長装置でのプラズマの形成に使用される電極の使用時間であることを特徴とする請求項9に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記パラメータが、前記プラズマ化学気相成長装置でのプラズマの形成に使用される電源のパワー、前記成膜処理において前記基板が格納される前記プラズマ化学気相成長装置のチャンバー内の圧力、及び前記成膜処理において前記チャンバー内に導入される材料ガスの流量のいずれかであることを特徴とする請求項9又は10に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記処理情報が、前記基板に形成された膜の膜厚であることを特徴とする請求項8乃至11のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記処理情報が、前記基板を搭載して前記成膜装置に格納されるサンプルホルダの使用時間であることを特徴とする請求項8乃至12のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記パラメータが、前記基板の成膜処理の時間であることを特徴とする請求項8乃至13のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
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