JP2014215168A - 放射線測定装置、放射線測定方法及び放射線測定プログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】放射線測定装置を、蒸気を満たした空間内の測定試料5の表面及びその近傍を撮影した画像を用いて測定試料の表面から延びる放射線の飛跡を追跡する追跡部10と、追跡部で追跡した放射線の飛跡に基づいて放射線種を選別する選別部12と、選別部で選別した一の放射線の数をカウントするカウント部13と、カウント部で測定時間内にカウントされた一の放射線の数を測定時間で除算して一の放射線の線量率を算出する線量率算出部14とを備えるものとする。
【選択図】図1
Description
例えば、半導体デバイスの分野では、放射線の一種であるアルファ線が半導体チップの動作に影響を与える、いわゆるソフトエラーに対する対策が必要になっている。
このような関心に応じ、対策をとるためには、放射線を測定することが必要である。
そこで、高感度、高精度かつ即時的に放射線を測定できるようにしたい。
本実施形態にかかる放射線測定装置は、例えば放射線測定システムに備えられる。
本実施形態では、放射線測定システムは、図2に示すように、容器(チャンバ)1と、カメラ2、3と、放射線測定装置4とを備える。なお、放射線測定装置4を、放射線評価装置又は放射線検出装置ともいう。
まず、放射線測定装置4のハードウェア構成について、図3を参照しながら説明する。
本放射線測定装置は、コンピュータを用いて実現することができ、そのハードウェア構成は、例えば図3に示すように、CPU(Central Processing Unit)102、メモリ101、通信制御部109、入力装置106、表示制御部103、表示装置104、記憶装置105、可搬型記録媒体108のドライブ装置107、カメラ制御部111、バッファメモリ112を備え、これらがバス110によって相互に接続された構成になっている。なお、本装置のハードウェア構成はこれに限られるものではない。
メモリ101は、例えばRAMなどの主記憶装置であり、プログラムの実行、データの書き換え等を行なう際に、プログラム又はデータを一時的に格納するものである。
通信制御部109(通信インターフェース)は、例えばLANやインターネットなどのネットワークを介して、他の装置と通信するために用いられるものである。この通信制御部109は、コンピュータに元から組み込まれていても良いし、後からコンピュータに取り付けられたNIC(Network Interface Card)でも良い。
表示装置104は、例えば液晶ディスプレイなどの表示装置である。
表示制御部103は、例えば線量率や発生分布などを表示装置104に表示させるための制御を行なうものである。
ドライブ装置107は、例えばフラッシュメモリ等の半導体メモリ、光ディスク、光磁気ディスク等の可搬型記録媒体108の記憶内容にアクセスするためのものである。
つまり、図1に示すように、本放射線測定装置4は、追跡部10と、判定部11と、選別部12と、カウント部13と、線量率算出部14と、特定部15と、発生分布作成部16と、消去部17とを備える。
ここで、追跡部10は、カメラ(ここでは第1カメラ2)によって撮影された画像を取り込み、それを用いて、測定試料5の表面から延びる放射線の飛跡を追跡する。つまり、蒸気を満たした空間内の測定試料5の表面及びその近傍を撮影した画像を用いて測定試料5の表面から延びる放射線の飛跡を追跡する。
そして、追跡部10は、判定部11によって測定試料5の表面から延びる放射線の飛跡があると判定された場合に、放射線の飛跡の追跡を開始するようになっている。なお、放射線測定装置4は、判定部11を備えないものとして構成することもできる。
ここで、放射線種としては、アルファ線、ベータ線、ガンマ線がある。そして、アルファ線の飛跡は、太くて直線的で、長さが短い。つまり、アルファ線(例えば正の荷電を有するアルファ線)は、他の放射線と比較して、その飛跡が明瞭で太く、その分エネルギを失いやすいため、飛跡の長さ、即ち、飛程は、例えば数センチメートルと短い。これに対し、ベータ線やガンマ線(あるいは2次電子線)の飛跡は、細くて曲がっており(曲がる回数が多く)、長さが長い。このため、容器1内に各種の放射線が存在していたとしても、放射線の飛跡又は飛程に基づいて放射線種を区別でき、放射線種を選別することができる。特に、アルファ線とベータ線やガンマ線との区別は容易である。
カウント部13は、選別部12で選別した一の放射線の数をカウントする。つまり、放射線種を特定したら、カウント数(線量カウント数)を1つ増やして、カウント値を積算する。ここでは、追跡部10で測定試料5の表面から延びる放射線の飛跡を追跡したものを選別部12で選別するため、測定試料5から放出される放射線が選別され、これがカウントされることになる。
消去部17は、判定部11によって測定試料5の表面から延びる放射線の飛跡がないと判定された場合に、バッファメモリ112に保持されている画像のうち、前の時刻(第2時刻)の画像を消去する。これにより、測定試料5の表面から延びる放射線の飛跡がある画像のみが残されることになる。そして、バッファメモリ112に保持しておくデータ量を抑えることが可能となる。
なお、本実施形態では、放射線測定装置4を、消去部17を備えるものとしているが、これを備えないものとして構成することもできる。特に、測定精度の定量性や再現性の検証を行なう必要がある場合には、消去部17を設けないで、画像を消去せずに保持し、飛跡と関係なく、測定時間内に撮影された画像として、記憶装置105に記憶させ、また、飛跡を検出したが一の放射線が選別されなかった画像として、記憶装置105に記憶させる。
なお、本放射線測定装置4による測定開始前に、容器1内に測定試料5を設置し、容器1内に蒸気(例えばエタノール;過飽和蒸気)を満たして、容器1内を、蒸気を満たした空間としておく(図2参照)。これは、荷電粒子や放射線が蒸気に入射すると蒸気を構成する気体分子のイオン化が起こり、そのイオンを凝結核として飛跡が観測されるためである。
ここでは、次の時刻に撮影された画像(図7(A)中、左側から3番目の画像)、その次の時刻に撮影された画像(図7(A)中、左側から4番目の画像)で、上述のようにして検出された飛跡は延びていき、それ以降の時刻に撮影された画像(図7(A)中、左側から5番目の画像から最も右側の画像までの3つの画像)で、エネルギを消失して、だんだん薄くなって(即ち、強度が小さくなって)、消失する。
本実施形態では、選別部12は、追跡部10で追跡した放射線の飛跡の長さ(飛程)を算出する。つまり、本実施形態では、図7(A)中、左側から2番目の画像の中の飛跡の始点位置と、図7(A)中、左側から4番目の画像の中の飛跡の終点位置とを用いて、測定試料5の表面から延びる飛跡の長さ、即ち、飛程を算出する。
例えば、本放射線測定装置4を用いて、予め各放射線の標準線源(ここでは標準アルファ線源、標準ベータ線源、標準ガンマ線源)の飛程を算出し、これに基づいて閾値(測定環境中の閾値)を決めておき、この閾値を用いて、放射線種を選別するようにすれば良い。
その後、放射線測定装置4は、測定を継続するか否かを判定し(ステップS100)、測定を継続すると判定した場合にはステップS10へ戻って、同様の処理を繰り返す。
なお、上述の実施形態では、容器1内に測定試料5を設置し、容器1内を蒸気で満たすようにしているが、これに限られるものではなく、蒸気を満たした空間内に測定試料5があれば良い。
この場合、次の2つの方法によって放射線測定を行なうことができる。
つまり、例えば、比較的小さい空間である場合には、その空間内に蒸気を満たし、上述の実施形態の場合と同様に、放射線測定を行なうことができる。
したがって、本実施形態にかかる放射線測定装置及び放射線測定方法によれば、高感度、高精度かつ即時的に放射線を測定できるという利点がある。
ソフトエラーは、放射線がLSIチップなどの半導体デバイス中のトランジスタ近傍を通過することで発生する電荷が原因で、半導体デバイス中のメモリや論理回路が一次的に誤動作する現象である。このソフトエラーが発生しても直ちに半導体デバイスの故障には至らないが、データが書き換わるため、高信頼性が要求されるコンピュータの中枢でこのエラーが発生すると、その影響は甚大となる。
ソフトエラーを起こす放射線種は実質的にアルファ線に限られ、アルファ線の発生経路は、以下に示す2系統に大別できる。
前者は、主に設計段階、特に材料選定時に問題となる。ソフトエラーの発生頻度は、材料が含有するアルファ線源の濃度が低い材料ほど減少する。
どちらの場合もソフトエラーの発生頻度を評価するには、材料ないしデバイスから放出されるアルファ線をモニタリングする必要がある。
ガスフロー型比例計数装置は、封入ガスの電離を利用するもので、汎用性が広く、実用的であるが、検出下限が1×10−3cph/cm2(cph:count per hour)と比較的高く、例えば線量率が1×10−4cph/cm2の低アルファ線放出材料は評価できない。
これは、上述の実施形態の放射線測定装置4及び放射線測定方法を用いることで実現することができる。
特に、上述の実施形態の放射線測定装置4及び放射線測定方法を用いることで、測定精度の定量性や再現性の検証も可能になる。つまり、測定精度の定量性や再現性の検証を行なう場合には、飛跡とは関係なく測定時間内に撮影された画像、飛跡を検出したが一の放射線が選別されなかった画像、飛跡を検出し、かつ、一の放射線が選別された画像を記憶装置105に記憶させておき、これらの画像を用いて、飛跡は正しく検出されて数え落としがないか、あるいは、検出された飛跡が正しく、かつ、一の放射線が選別されたか等を検証することができる。
例えば、上述の実施形態では、放射線測定装置4を、コンピュータに放射線測定プログラムをインストールしたものとして構成しているが、上述の実施形態における処理をコンピュータに実行させる放射線測定プログラム(上述のような機能をコンピュータに実現させるための放射線測定プログラム)は、コンピュータ読取可能な記録媒体に格納した状態で提供される場合もある。
例えば、プログラム提供者が例えばサーバなどの他のコンピュータ上で提供している放射線測定プログラムを、例えばインターネットやLAN等のネットワーク及び通信インタフェースを介して、記憶装置にインストールしても良い。これにより、上述の実施形態で説明した放射線測定装置4及び放射線測定方法が実現され、上述の実施形態の場合と同様に、記憶装置にインストールされた放射線測定プログラムを、CPUがメインメモリ上に読み出して実行することで、上述の実施形態の各処理が行なわれることになる。なお、コンピュータは、例えばサーバなどの他のコンピュータからプログラムが転送されるごとに、逐次、受け取ったプログラムに従った処理を実行することもできる。
(付記1)
蒸気を満たした空間内の測定試料の表面及びその近傍を撮影した画像を用いて前記測定試料の表面から延びる放射線の飛跡を追跡する追跡部と、
前記追跡部で追跡した放射線の飛跡に基づいて放射線種を選別する選別部と、
前記選別部で選別した一の放射線の数をカウントするカウント部と、
前記カウント部で測定時間内にカウントされた前記一の放射線の数を前記測定時間で除算して前記一の放射線の線量率を算出する線量率算出部とを備えることを特徴とする放射線測定装置。
前記測定試料の表面及びその近傍を異なる方向から撮影した少なくとも2つの画像を用いて、前記一の放射線の発生位置を特定する特定部と、
前記特定部で特定した前記一の放射線の発生位置に基づいて前記一の放射線の発生分布を作成する発生分布作成部とを備えることを特徴とする、付記1に記載の放射線測定装置。
前記選別部は、前記追跡部で追跡した放射線の飛跡の長さを算出し、前記飛跡の長さに基づいてアルファ線を選別することを特徴する、付記1又は2に記載の放射線測定装置。
(付記4)
前記測定試料の表面及びその近傍を撮影した画像のうち、第1時刻の画像と前記第1時刻よりも前の第2時刻の画像とを比較して、前記測定試料の表面から延びる放射線の飛跡があるか否かを判定する判定部を備え、
前記追跡部は、前記判定部によって前記測定試料の表面から延びる放射線の飛跡があると判定された場合に、前記放射線の飛跡の追跡を開始することを特徴とする、付記1〜3のいずれか1項に記載の放射線測定装置。
前記測定試料の表面及びその近傍を撮影した画像を一時的に保持する保持部と、
前記判定部によって前記測定試料の表面から延びる放射線の飛跡がないと判定された場合に、前記保持部に保持されている前記画像のうち、前記第2時刻の画像を消去する消去部とを備えることを特徴とする、付記4に記載の放射線測定装置。
コンピュータが、
蒸気を満たした空間内の測定試料の表面及びその近傍を撮影した画像を用いて前記測定試料の表面から延びる放射線の飛跡を追跡し、
前記追跡した放射線の飛跡に基づいて放射線種を選別し、
前記選別した一の放射線の数をカウントし、
測定時間内にカウントされた前記一の放射線の数を前記測定時間で除算して前記一の放射線の線量率を算出する、処理を実行することを特徴とする放射線測定方法。
前記コンピュータが、
前記測定試料の表面及びその近傍を異なる方向から撮影した少なくとも2つの画像を用いて、前記一の放射線の発生位置を特定し、
前記特定した前記一の放射線の発生位置に基づいて前記一の放射線の発生分布を作成する、処理を実行することを特徴とする、付記6に記載の放射線測定方法。
前記選別処理において、前記追跡した放射線の飛跡の長さを算出し、前記飛跡の長さに基づいてアルファ線を選別する処理を前記コンピュータが実行することを特徴する、付記6又は7に記載の放射線測定方法。
(付記9)
前記コンピュータが、前記測定試料の表面及びその近傍を撮影した画像のうち、第1時刻の画像と前記第1時刻よりも前の第2時刻の画像とを比較して、前記測定試料の表面から延びる放射線の飛跡があるか否かを判定する処理を実行し、
前記判定処理において、前記測定試料の表面から延びる放射線の飛跡があると判定された場合に、前記追跡処理において、前記放射線の飛跡の追跡を開始する処理を前記コンピュータが実行することを特徴とする、付記6〜8のいずれか1項に記載の放射線測定方法。
前記コンピュータが、
前記測定試料の表面及びその近傍を撮影した画像を保持部に一時的に保持し、
前記判定処理において、前記測定試料の表面から延びる放射線の飛跡がないと判定された場合に、前記保持部に保持されている前記画像のうち、前記第2時刻の画像を消去する、処理を前記コンピュータが実行することを特徴とする、付記9に記載の放射線測定方法。
コンピュータに、
蒸気を満たした空間内の測定試料の表面及びその近傍を撮影した画像を用いて前記測定試料の表面から延びる放射線の飛跡を追跡し、
前記追跡した放射線の飛跡に基づいて放射線種を選別し、
前記選別した一の放射線の数をカウントし、
測定時間内にカウントされた前記一の放射線の数を前記測定時間で除算して前記一の放射線の線量率を算出する、処理を実行させることを特徴とする放射線測定プログラム。
前記コンピュータに、
前記測定試料の表面及びその近傍を異なる方向から撮影した少なくとも2つの画像を用いて、前記一の放射線の発生位置を特定し、
前記特定した前記一の放射線の発生位置に基づいて前記一の放射線の発生分布を作成する、処理を実行させることを特徴とする、付記11に記載の放射線測定プログラム。
前記選別処理において、前記追跡した放射線の飛跡の長さを算出し、前記飛跡の長さに基づいてアルファ線を選別する処理を前記コンピュータに実行させることを特徴する、付記11又は12に記載の放射線測定プログラム。
(付記14)
前記コンピュータに、前記測定試料の表面及びその近傍を撮影した画像のうち、第1時刻の画像と前記第1時刻よりも前の第2時刻の画像とを比較して、前記測定試料の表面から延びる放射線の飛跡があるか否かを判定する処理を実行させ、
前記判定処理において、前記測定試料の表面から延びる放射線の飛跡があると判定された場合に、前記追跡処理において、前記放射線の飛跡の追跡を開始する処理を前記コンピュータに実行させることを特徴とする、付記11〜13のいずれか1項に記載の放射線測定プログラム。
前記コンピュータに、
前記測定試料の表面及びその近傍を撮影した画像を保持部に一時的に保持し、
前記判定処理において、前記測定試料の表面から延びる放射線の飛跡がないと判定された場合に、前記保持部に保持されている前記画像のうち、前記第2時刻の画像を消去する、処理を前記コンピュータに実行させることを特徴とする、付記14に記載の放射線測定プログラム。
1A 開口部
2 カメラ(第1カメラ)
3 カメラ(第2カメラ)
4 放射線測定装置
5 測定試料
6 蒸気供給器
7 照明機器
10 追跡部
11 判定部
12 選別部
13 カウント部
14 線量率算出部
15 特定部
16 発生分布作成部
17 消去部
101 メモリ
102 CPU
103 表示制御部
104 表示装置
105 記憶装置
106 入力装置
107 ドライブ装置
108 可搬型記録媒体
109 通信制御部
110 バス
111 カメラ制御部
112 バッファメモリ
Claims (5)
- 蒸気を満たした空間内の測定試料の表面及びその近傍を撮影した画像を用いて前記測定試料の表面から延びる放射線の飛跡を追跡する追跡部と、
前記追跡部で追跡した放射線の飛跡に基づいて放射線種を選別する選別部と、
前記選別部で選別した一の放射線の数をカウントするカウント部と、
前記カウント部で測定時間内にカウントされた前記一の放射線の数を前記測定時間で除算して前記一の放射線の線量率を算出する線量率算出部とを備えることを特徴とする放射線測定装置。 - 前記測定試料の表面及びその近傍を異なる方向から撮影した少なくとも2つの画像を用いて、前記一の放射線の発生位置を特定する特定部と、
前記特定部で特定した前記一の放射線の発生位置に基づいて前記一の放射線の発生分布を作成する発生分布作成部とを備えることを特徴とする、請求項1に記載の放射線測定装置。 - 前記選別部は、前記追跡部で追跡した放射線の飛跡の長さを算出し、前記飛跡の長さに基づいてアルファ線を選別することを特徴する、請求項1又は2に記載の放射線測定装置。
- コンピュータが、
蒸気を満たした空間内の測定試料の表面及びその近傍を撮影した画像を用いて前記測定試料の表面から延びる放射線の飛跡を追跡し、
前記追跡した放射線の飛跡に基づいて放射線種を選別し、
前記選別した一の放射線の数をカウントし、
測定時間内にカウントされた前記一の放射線の数を前記測定時間で除算して前記一の放射線の線量率を算出する、処理を実行することを特徴とする放射線測定方法。 - コンピュータに、
蒸気を満たした空間内の測定試料の表面及びその近傍を撮影した画像を用いて前記測定試料の表面から延びる放射線の飛跡を追跡し、
前記追跡した放射線の飛跡に基づいて放射線種を選別し、
前記選別した一の放射線の数をカウントし、
測定時間内にカウントされた前記一の放射線の数を前記測定時間で除算して前記一の放射線の線量率を算出する、処理を実行させることを特徴とする放射線測定プログラム。
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