JP2014208747A - Resin composition, resin film, and multilayer substrate - Google Patents

Resin composition, resin film, and multilayer substrate Download PDF

Info

Publication number
JP2014208747A
JP2014208747A JP2013189481A JP2013189481A JP2014208747A JP 2014208747 A JP2014208747 A JP 2014208747A JP 2013189481 A JP2013189481 A JP 2013189481A JP 2013189481 A JP2013189481 A JP 2013189481A JP 2014208747 A JP2014208747 A JP 2014208747A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resin
resin composition
film
weight
resin film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2013189481A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP6159627B2 (en
Inventor
大輔 鳥取
Daisuke Tottori
大輔 鳥取
達史 林
Tatsuji Hayashi
達史 林
玲夫奈 横田
Reona Yokota
玲夫奈 横田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sekisui Chemical Co Ltd
Original Assignee
Sekisui Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sekisui Chemical Co Ltd filed Critical Sekisui Chemical Co Ltd
Priority to JP2013189481A priority Critical patent/JP6159627B2/en
Publication of JP2014208747A publication Critical patent/JP2014208747A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6159627B2 publication Critical patent/JP6159627B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08GMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G59/00Polycondensates containing more than one epoxy group per molecule; Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups
    • C08G59/18Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups ; e.g. general methods of curing
    • C08G59/40Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups ; e.g. general methods of curing characterised by the curing agents used
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/46Manufacturing multilayer circuits

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a resin composition from which a resin film excellent in storage stability can be obtained.SOLUTION: The resin composition according to the present invention is used by being molded into a film shape to obtain a resin film. The resin composition contains an epoxy resin, a cyanate ester compound, a phenoxy resin, and a curing accelerator. The ratio of the number of epoxy groups of the epoxy resin in the resin composition to the total number of alcoholic hydroxyl groups of the epoxy resin and the phenoxy resin in the resin composition is 10 to 30 inclusive.

Description

本発明は、フィルム状に成形して樹脂フィルムを得るために用いられる樹脂組成物に関する。また、本発明は、該樹脂組成物を用いた樹脂フィルム及び多層基板に関する。   The present invention relates to a resin composition used for obtaining a resin film by molding into a film shape. The present invention also relates to a resin film and a multilayer substrate using the resin composition.

従来、積層板及びプリント配線板等の電子部品を得るために、様々な樹脂組成物が用いられている。例えば、多層プリント配線板では、内部の層間を絶縁するための絶縁層を形成したり、表層部分に位置する絶縁層を形成したりするために、樹脂組成物が用いられている。上記絶縁層の表面には、一般に金属層である配線が積層される。   Conventionally, various resin compositions have been used to obtain electronic components such as laminates and printed wiring boards. For example, in a multilayer printed wiring board, a resin composition is used in order to form an insulating layer for insulating inner layers or to form an insulating layer located in a surface layer portion. Wiring, which is generally a metal layer, is laminated on the surface of the insulating layer.

上記樹脂組成物の一例として、下記の特許文献1には、シアネートエステル樹脂と、アントラセン型エポキシ樹脂と、熱可塑性樹脂とを含む樹脂組成物が開示されている。特許文献1では、熱膨張率が低く、かつスミアの除去が容易である有機絶縁層を与えることができることが記載されている。   As an example of the above resin composition, Patent Document 1 below discloses a resin composition containing a cyanate ester resin, an anthracene epoxy resin, and a thermoplastic resin. Patent Document 1 describes that an organic insulating layer having a low coefficient of thermal expansion and easy smear removal can be provided.

下記の特許文献2には、シアネート樹脂と、フェノール樹脂と、無機充填材とを含む樹脂組成物が開示されている。ここでは、樹脂組成物の難燃性及び耐熱性が高く、線膨張係数が低いことが記載されている。さらに、特許文献1には、シアネート樹脂の反応性を向上させるために、エポキシ樹脂を用いることが好ましいことが記載されている。   Patent Document 2 below discloses a resin composition containing a cyanate resin, a phenol resin, and an inorganic filler. Here, it is described that the resin composition has high flame retardancy and heat resistance and a low coefficient of linear expansion. Furthermore, Patent Document 1 describes that it is preferable to use an epoxy resin in order to improve the reactivity of the cyanate resin.

下記の特許文献3には、複素環基を有する化合物と、エポキシ樹脂と、シアネート化合物とを含む樹脂組成物が開示されている。この樹脂組成物には、フィラーを添加できる。ここでは、吸水率が低く、誘電特性に優れており、かつ耐熱性及び寸法安定性が高い硬化物が得られることが記載されている。   Patent Document 3 below discloses a resin composition containing a compound having a heterocyclic group, an epoxy resin, and a cyanate compound. A filler can be added to this resin composition. Here, it is described that a cured product having low water absorption, excellent dielectric properties, and high heat resistance and dimensional stability can be obtained.

特開2007−291369号公報JP 2007-291369 A 特開2003−096296号公報JP 2003-096296 A 特開2006−028498号公報JP 2006-028498 A

特許文献1〜3に記載の樹脂組成物は、必ずしもフィルム状に成形して樹脂フィルムを得るために用いられないが、仮に特許文献1〜3に記載の樹脂フィルムをフィルム状に成形して樹脂フィルムを得た場合には、得られた樹脂フィルムの保存安定性が低くなるという問題がある。   Although the resin composition described in Patent Documents 1 to 3 is not necessarily used to obtain a resin film by forming into a film shape, the resin film described in Patent Documents 1 to 3 is formed into a film shape as a resin When a film is obtained, there is a problem that the storage stability of the obtained resin film is lowered.

また、上記樹脂組成物には、熱膨張率を低くすることなどを目的として、無機充填材が配合されることが多い。近年、電子機器の小型化及び高性能化に伴って、上記電子部品においても、配線の微細化や絶縁層における熱膨張率の更なる低下などが求められている。このような要求に対応するために、絶縁層を形成するための上記樹脂組成物に、無機充填材が多く配合されることがある。   The resin composition is often mixed with an inorganic filler for the purpose of lowering the coefficient of thermal expansion. In recent years, along with miniaturization and high performance of electronic devices, the electronic components are also required to have finer wiring and further reduced thermal expansion coefficient in the insulating layer. In order to meet such demands, a large amount of inorganic filler may be blended in the resin composition for forming the insulating layer.

一方で、従来、熱膨張率が低い硬化物を得るために、無機充填材を配合した従来の樹脂フィルムでは、保存安定性を十分に高めることは困難であるという問題がある。   On the other hand, conventionally, in order to obtain a cured product having a low coefficient of thermal expansion, a conventional resin film containing an inorganic filler has a problem that it is difficult to sufficiently improve the storage stability.

本発明の目的は、保存安定性に優れた樹脂フィルムを得ることができる樹脂組成物、並びに該樹脂組成物を用いた樹脂フィルム及び多層基板を提供することである。   The objective of this invention is providing the resin composition which can obtain the resin film excellent in storage stability, and the resin film and multilayer substrate using this resin composition.

本発明の限定的な目的は、無機充填材を含むために、硬化物の熱線膨張係数が低く、更に硬化物と金属層との密着性を高めることができる樹脂組成物、並びに該樹脂組成物を用いた該樹脂組成物を用いた樹脂フィルム及び多層基板を提供することである。   A limited object of the present invention is to include an inorganic filler, so that the coefficient of thermal expansion of the cured product is low, and the adhesion between the cured product and the metal layer can be further improved, and the resin composition And providing a resin film and a multilayer substrate using the resin composition.

本発明の広い局面によれば、フィルム状に成形して樹脂フィルムを得るために用いられる樹脂組成物であって、エポキシ樹脂と、シアネートエステル化合物と、フェノキシ樹脂と、硬化促進剤とを含み、樹脂組成物中の前記エポキシ樹脂のエポキシ基の数の樹脂組成物中の前記エポキシ樹脂と前記フェノキシ樹脂とのアルコール性水酸基の合計の数に対する比が10以上、30以下である、樹脂組成物が提供される。   According to a wide aspect of the present invention, a resin composition used for forming a resin film by molding into a film, comprising an epoxy resin, a cyanate ester compound, a phenoxy resin, and a curing accelerator, The ratio of the number of epoxy groups of the epoxy resin in the resin composition to the total number of alcoholic hydroxyl groups of the epoxy resin and the phenoxy resin in the resin composition is 10 or more and 30 or less. Provided.

本発明に係る樹脂組成物のある特定の局面では、前記樹脂組成物に含まれる全固形分100重量%中、前記硬化促進剤の含有量が0.01重量%以上、3.0重量%以下である。   On the specific situation with the resin composition which concerns on this invention, content of the said hardening accelerator is 0.01 weight% or more and 3.0 weight% or less in 100 weight% of total solid content contained in the said resin composition. It is.

本発明に係る樹脂組成物のある特定の局面では、前記エポキシ樹脂と前記フェノキシ樹脂との合計100重量部に対して、前記シアネートエステル化合物の含有量が20重量部以上、100重量部以下である。   On the specific situation with the resin composition which concerns on this invention, content of the said cyanate ester compound is 20 to 100 weight part with respect to a total of 100 weight part of the said epoxy resin and the said phenoxy resin. .

本発明に係る樹脂組成物のある特定の局面では、前記エポキシ樹脂の分子量が200以上、3000以下である。   On the specific situation with the resin composition which concerns on this invention, the molecular weight of the said epoxy resin is 200-3000.

本発明に係る樹脂組成物のある特定の局面では、前記フェノキシ樹脂の重量平均分子量が5000以上、100000以下である。   On the specific situation with the resin composition which concerns on this invention, the weight average molecular weights of the said phenoxy resin are 5000 or more and 100,000 or less.

本発明に係る樹脂組成物のある特定の局面では、該樹脂組成物は、無機充填材をさらに含む。   In a specific aspect of the resin composition according to the present invention, the resin composition further includes an inorganic filler.

本発明に係る樹脂組成物のある特定の局面では、前記無機充填材がシリカである。   On the specific situation with the resin composition which concerns on this invention, the said inorganic filler is a silica.

本発明に係る樹脂組成物のある特定の局面では、樹脂組成物に含まれる全固形分100重量%中、前記無機充填材の含有量が40重量%以上、85重量%以下である。   On the specific situation with the resin composition which concerns on this invention, content of the said inorganic filler is 40 to 85 weight% in 100 weight% of total solid content contained in a resin composition.

本発明に係る樹脂組成物のある特定の局面では、該樹脂組成物は、粗化処理又はデスミア処理される硬化物を得るために用いられる。   On the specific situation with the resin composition which concerns on this invention, this resin composition is used in order to obtain the hardened | cured material processed by a roughening process or a desmear process.

本発明の広い局面によれば、上述した樹脂組成物をフィルム状に成形することにより得られる、樹脂フィルムが提供される。   According to the wide aspect of this invention, the resin film obtained by shape | molding the resin composition mentioned above in the film form is provided.

本発明の広い局面によれば、回路基板と、前記回路基板上に配置された絶縁層とを備え、前記絶縁層が、上述した樹脂組成物をフィルム状に成形することにより得られる樹脂フィルムを用いて形成されている、多層基板が提供される。   According to a wide aspect of the present invention, there is provided a resin film comprising a circuit board and an insulating layer disposed on the circuit board, wherein the insulating layer is obtained by molding the above-described resin composition into a film shape. A multilayer substrate is provided that is formed using the method.

本発明に係る樹脂組成物は、エポキシ樹脂とシアネートエステル化合物とフェノキシ樹脂と硬化促進剤とを含み、更に上記樹脂組成物中の上記エポキシ樹脂のエポキシ基の数の上記樹脂組成物中の上記エポキシ樹脂と上記フェノキシ樹脂とのアルコール性水酸基の合計の数に対する比が10以上、30以下であるので、本発明に係る樹脂組成物をフィルム状に成形することで、保存安定性に優れた樹脂フィルムを得ることができる。   The resin composition according to the present invention includes an epoxy resin, a cyanate ester compound, a phenoxy resin, and a curing accelerator, and further the epoxy in the resin composition having the number of epoxy groups of the epoxy resin in the resin composition. Since the ratio of the resin and the phenoxy resin to the total number of alcoholic hydroxyl groups is 10 or more and 30 or less, the resin composition according to the present invention is formed into a film shape, thereby being excellent in storage stability. Can be obtained.

図1は、本発明の一実施形態に係る樹脂組成物を用いた多層基板を模式的に示す部分切欠正面断面図である。FIG. 1 is a partially cutaway front sectional view schematically showing a multilayer substrate using a resin composition according to an embodiment of the present invention.

以下、本発明の詳細を説明する。   Details of the present invention will be described below.

(樹脂組成物)
本発明に係る樹脂組成物は、フィルム状に成形して樹脂フィルムを得るために用いられる。本発明に係る樹脂組成物は、エポキシ樹脂と、シアネートエステル化合物と、フェノキシ樹脂とを含む。本発明に係る樹脂組成物中の上記エポキシ樹脂のエポキシ基の数の本発明に係る樹脂組成物中の上記エポキシ樹脂と上記フェノキシ樹脂とのアルコール性水酸基の合計の数に対する比は10以上、30以下である。
(Resin composition)
The resin composition according to the present invention is used for obtaining a resin film by molding into a film shape. The resin composition according to the present invention includes an epoxy resin, a cyanate ester compound, and a phenoxy resin. The ratio of the number of epoxy groups of the epoxy resin in the resin composition according to the present invention to the total number of alcoholic hydroxyl groups of the epoxy resin and the phenoxy resin in the resin composition according to the present invention is 10 or more, 30 It is as follows.

本発明に係る樹脂組成物における上述した構成の採用によって、本発明に係る樹脂組成物をフィルム状に成形して樹脂フィルムを得たときに、得られる樹脂フィルムの保存安定性を高めることができる。本発明に係る樹脂組成物では、室温(23℃)付近での保存中の硬化反応の進行を抑えることができる。   By adopting the above-described configuration in the resin composition according to the present invention, when the resin composition according to the present invention is molded into a film to obtain a resin film, the storage stability of the resulting resin film can be enhanced. . In the resin composition according to the present invention, the progress of the curing reaction during storage near room temperature (23 ° C.) can be suppressed.

本発明に係る樹脂組成物では、例えば、保管後の樹脂フィルムが折り曲げられたときに、白化及び割れが生じ難くなる。さらに、保管後の樹脂フィルムを所定の大きさにカッター等で切断したときに、亀裂又は欠けが生じ難くなる。さらに、保管後の樹脂フィルムを凹部又は凸部を表面に有する部材(回路基板など)上にラミネートされたときに、樹脂フィルムの上記部材側とは反対の表面に過度の凹凸が生じ難くなる。   In the resin composition according to the present invention, for example, when the resin film after storage is bent, whitening and cracking hardly occur. Furthermore, when the resin film after storage is cut into a predetermined size with a cutter or the like, cracks or chips are less likely to occur. Furthermore, when the resin film after storage is laminated on a member (circuit board or the like) having concave portions or convex portions on the surface, excessive unevenness is hardly generated on the surface opposite to the member side of the resin film.

本発明に係る樹脂組成物では、室温(23℃)付近での保存中の硬化反応の進行を抑えることができる。   In the resin composition according to the present invention, the progress of the curing reaction during storage near room temperature (23 ° C.) can be suppressed.

また、本発明に係る樹脂組成物は、エポキシ樹脂と、シアネートエステル化合物と、フェノキシ樹脂とに加えて、硬化促進剤をさらに含む。本発明に係る樹脂組成物では、硬化促進剤を含んでいるにもかかわらず、樹脂フィルムの保存安定性を高めることができる。本発明の樹脂組成物では、硬化促進剤を含んでいるにもかかわらず、保管後の樹脂フィルムの切断時に亀裂又は欠けが生じ難くなり、保管後の樹脂フィルムのラミネート時に表面の凹凸が生じ難くなる。   The resin composition according to the present invention further includes a curing accelerator in addition to the epoxy resin, the cyanate ester compound, and the phenoxy resin. In the resin composition according to the present invention, the storage stability of the resin film can be enhanced despite containing a curing accelerator. In the resin composition of the present invention, despite containing a curing accelerator, cracking or chipping hardly occurs during cutting of the resin film after storage, and unevenness of the surface hardly occurs during lamination of the resin film after storage. Become.

また、従来のシアネートエステル化合物を含む樹脂組成物又は樹脂フィルムでは、金属が硬化触媒として作用しやすいという問題がある。このため、例えば金属配線が形成された基板上で樹脂フィルムを硬化させると、樹脂フィルムの厚みによって、硬化後の硬化度が変化するという問題がある。硬化度が変化すると、粗化処理された表面の表面粗さが変化し、更に硬化物と金属層との接着強度が変化する。   Moreover, in the resin composition or resin film containing the conventional cyanate ester compound, there exists a problem that a metal tends to act as a curing catalyst. For this reason, for example, when a resin film is cured on a substrate on which metal wiring is formed, there is a problem that the degree of curing after curing changes depending on the thickness of the resin film. When the degree of cure changes, the surface roughness of the roughened surface changes, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer also changes.

これに対して、本発明では、シアネートエステル化合物を用いているにも関わらず、金属を表面に有する部材上で、樹脂フィルムを硬化させる際に、樹脂フィルムの厚みにほとんど依存することなく、樹脂フィルムを均一に硬化させることができる。例えば、金属付き基板上で、厚みが異なる樹脂フィルムを硬化させても、樹脂フィルムの硬化物の硬化度を均一にすることができる。樹脂フィルムが厚くてもまた薄くても、金属を表面に有する部材上で、樹脂フィルムの硬化物の硬化度を所定の範囲に容易に制御することができる。本発明は、シアネートエステル化合物を含む樹脂組成物において、樹脂フィルムを金属に接触させた状態で硬化させたとしても、樹脂フィルムの厚みにほとんど依存することなく、樹脂フィルムを均一に硬化させることができることに、1つの大きな特徴がある。   On the other hand, in the present invention, the resin film is hardly dependent on the thickness of the resin film when the resin film is cured on the member having the metal on the surface in spite of using the cyanate ester compound. The film can be uniformly cured. For example, even when resin films having different thicknesses are cured on a substrate with metal, the degree of cure of the cured product of the resin film can be made uniform. Whether the resin film is thick or thin, the degree of cure of the cured product of the resin film can be easily controlled within a predetermined range on a member having a metal on the surface. In the resin composition containing a cyanate ester compound, the present invention can cure the resin film uniformly without depending on the thickness of the resin film even if the resin film is cured in contact with a metal. There is one major feature that can be done.

本発明に係る樹脂組成物中の上記エポキシ樹脂のエポキシ基の数の本発明に係る樹脂組成物中の上記エポキシ樹脂と上記フェノキシ樹脂とのアルコール性水酸基の合計の数に対する比(エポキシ基の数/アルコール性水酸基の合計の数)は10以上、30以下である。上記比(エポキシ基の数/アルコール性水酸基の合計の数)が上記下限未満であると、樹脂組成物の保存安定性が悪くなる。上記比(エポキシ基の数/アルコール性水酸基の合計の数)が上記上限を超えると、シアネートエステル化合物とエポキシ樹脂との反応性が悪くなる。上記比(エポキシ基の数/アルコール性水酸基の合計の数)は好ましくは15以上、好ましくは25以下である。   Ratio of the number of epoxy groups of the epoxy resin in the resin composition according to the present invention to the total number of alcoholic hydroxyl groups of the epoxy resin and the phenoxy resin in the resin composition according to the present invention (number of epoxy groups) / Total number of alcoholic hydroxyl groups) is 10 or more and 30 or less. When the ratio (number of epoxy groups / total number of alcoholic hydroxyl groups) is less than the lower limit, the storage stability of the resin composition is deteriorated. When the ratio (number of epoxy groups / total number of alcoholic hydroxyl groups) exceeds the upper limit, the reactivity between the cyanate ester compound and the epoxy resin is deteriorated. The ratio (number of epoxy groups / total number of alcoholic hydroxyl groups) is preferably 15 or more, and preferably 25 or less.

上記樹脂組成物において、上記比(エポキシ基の数/アルコール性水酸基の合計の数)は、エポキシ当量の逆数をアルコール性水酸基当量の逆数で除算することにより、評価することができる。   In the resin composition, the ratio (number of epoxy groups / total number of alcoholic hydroxyl groups) can be evaluated by dividing the reciprocal of the epoxy equivalent by the reciprocal of the alcoholic hydroxyl equivalent.

本発明に係る樹脂組成物をフィルム状に成形して得られる樹脂フィルムは、硬化可能な樹脂フィルムであり、本硬化前の樹脂フィルムである。上記樹脂フィルムは、Bステージフィルムであることが好ましい。上記Bステージフィルムは、ビルドアップフィルム等として用いることができる。   The resin film obtained by molding the resin composition according to the present invention into a film is a curable resin film, and is a resin film before main curing. The resin film is preferably a B stage film. The B stage film can be used as a buildup film or the like.

本発明に係る樹脂組成物は、無機充填材を含むことが好ましい。本発明に係る樹脂組成物は溶剤を含まないか又は含む。   The resin composition according to the present invention preferably contains an inorganic filler. The resin composition according to the present invention does not contain or contain a solvent.

以下、本発明に係る樹脂組成物に用いられる各成分の詳細を説明する。   Hereinafter, the detail of each component used for the resin composition which concerns on this invention is demonstrated.

[エポキシ樹脂]
上記樹脂組成物に含まれているエポキシ樹脂は特に限定されない。該エポキシ樹脂として、従来公知のエポキシ樹脂を使用可能である。該エポキシ樹脂は、少なくとも1個のエポキシ基を有する有機化合物をいう。エポキシ樹脂は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Epoxy resin]
The epoxy resin contained in the resin composition is not particularly limited. A conventionally well-known epoxy resin can be used as this epoxy resin. The epoxy resin refers to an organic compound having at least one epoxy group. As for an epoxy resin, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記エポキシ樹脂としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ビフェニルノボラック型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、フルオレン型エポキシ樹脂、フェノールアラルキル型エポキシ樹脂、ナフトールアラルキル型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、アダマンタン骨格を有するエポキシ樹脂、トリシクロデカン骨格を有するエポキシ樹脂、及びトリアジン核を骨格に有するエポキシ樹脂等が挙げられる。   Examples of the epoxy resin include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, biphenyl novolac type epoxy resin, biphenol type epoxy resin, and naphthalene type epoxy resin. Fluorene type epoxy resin, phenol aralkyl type epoxy resin, naphthol aralkyl type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, anthracene type epoxy resin, epoxy resin having adamantane skeleton, epoxy resin having tricyclodecane skeleton, and triazine nucleus Examples thereof include an epoxy resin having a skeleton.

上記エポキシ樹脂は、ビフェニル骨格を有することが好ましく、ビフェニル型エポキシ樹脂であることが好ましい。上記エポキシ樹脂がビフェニル骨格を有することで、硬化物と金属層との接着強度がより一層高くなる。   The epoxy resin preferably has a biphenyl skeleton, and is preferably a biphenyl type epoxy resin. When the said epoxy resin has biphenyl frame | skeleton, the adhesive strength of hardened | cured material and a metal layer becomes still higher.

粗化処理された硬化物の表面の表面粗さをより一層小さくし、硬化物と金属層との接着強度をより一層高くする観点からは、上記エポキシ樹脂のエポキシ当量は、好ましくは90以上、より好ましくは100以上、好ましくは1000以下、より好ましくは800以下である。   From the viewpoint of further reducing the surface roughness of the roughened cured product and further increasing the adhesive strength between the cured product and the metal layer, the epoxy equivalent of the epoxy resin is preferably 90 or more, More preferably, it is 100 or more, preferably 1000 or less, more preferably 800 or less.

保存安定性により一層優れた樹脂フィルムを得る観点からは、上記エポキシ樹脂の分子量は、好ましくは200以上、より好ましくは350以上、好ましくは3000以下、より好ましくは1000以下である。   From the viewpoint of obtaining a resin film that is more excellent in storage stability, the molecular weight of the epoxy resin is preferably 200 or more, more preferably 350 or more, preferably 3000 or less, more preferably 1000 or less.

上記エポキシ樹脂の分子量は1000以下であることがより好ましい。この場合には、樹脂組成物における無機充填材の含有量が60重量%以上であっても、流動性が高い樹脂組成物が得られる。このため、樹脂組成物の未硬化物又は樹脂フィルムを基板上にラミネートした場合に、無機充填材を均一に存在させることができる。   The molecular weight of the epoxy resin is more preferably 1000 or less. In this case, even if the content of the inorganic filler in the resin composition is 60% by weight or more, a resin composition having high fluidity can be obtained. For this reason, when the uncured product of the resin composition or the resin film is laminated on the substrate, the inorganic filler can be uniformly present.

上記エポキシ樹脂の分子量及び後述するシアネートエステル化合物の分子量は、上記エポキシ樹脂又はシアネートエステル化合物が重合体ではない場合、及び上記エポキシ樹脂又はシアネートエステル化合物の構造式が特定できる場合は、当該構造式から算出できる分子量を意味する。また、上記エポキシ樹脂又はシアネートエステル化合物が重合体である場合は、重量平均分子量を意味する。   The molecular weight of the epoxy resin and the molecular weight of the cyanate ester compound described below can be obtained from the structural formula when the epoxy resin or cyanate ester compound is not a polymer and when the structural formula of the epoxy resin or cyanate ester compound can be specified. It means the molecular weight that can be calculated. Moreover, when the said epoxy resin or cyanate ester compound is a polymer, a weight average molecular weight is meant.

[シアネートエステル化合物]
上記樹脂組成物は、上記エポキシ樹脂を硬化させるために、硬化剤を含む。
[Cyanate ester compounds]
The resin composition includes a curing agent in order to cure the epoxy resin.

上記硬化剤としては、シアネートエステル化合物(シアネートエステル硬化剤)、フェノール化合物(フェノール硬化剤)、アミン化合物(アミン硬化剤)、チオール化合物(チオール硬化剤)、イミダゾール化合物、ホスフィン化合物、酸無水物、活性エステル化合物及びジシアンジアミド等が挙げられる。   As the curing agent, cyanate ester compound (cyanate ester curing agent), phenol compound (phenol curing agent), amine compound (amine curing agent), thiol compound (thiol curing agent), imidazole compound, phosphine compound, acid anhydride, Examples include active ester compounds and dicyandiamide.

本発明では、上記硬化剤として、シアネートエステル化合物を用いる。上記硬化剤として、シアネートエステル化合物を用いると、他の硬化剤を用いた場合と比べて、熱による寸法変化がより一層小さい硬化物が得られる。また、上記硬化剤として、シアネートエステル化合物を用いると、他の硬化剤を用いた場合と比べて、硬化物の表面の表面粗さがより一層小さくなり、硬化物と金属層との接着強度がより一層高くなり、かつ硬化物の表面により一層微細な配線が形成される。また、上記シアネートエステル化合物の使用により、無機充填材を多く含む樹脂フィルムのハンドリング性が良好になり、硬化物のガラス転移温度がより一層高くなる。   In the present invention, a cyanate ester compound is used as the curing agent. When a cyanate ester compound is used as the curing agent, a cured product in which the dimensional change due to heat is further smaller than when other curing agents are used is obtained. In addition, when a cyanate ester compound is used as the curing agent, the surface roughness of the surface of the cured product is further reduced as compared with the case of using another curing agent, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is increased. The wiring becomes higher and finer wiring is formed on the surface of the cured product. Moreover, by using the cyanate ester compound, the handling property of the resin film containing a large amount of the inorganic filler is improved, and the glass transition temperature of the cured product is further increased.

上記シアネートエステル化合物は特に限定されない。該シアネートエステル化合物として、従来公知のシアネートエステル化合物を使用可能である。上記シアネートエステル化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   The cyanate ester compound is not particularly limited. A conventionally known cyanate ester compound can be used as the cyanate ester compound. As for the said cyanate ester compound, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記シアネートエステル化合物としては、ノボラック型シアネートエステル化合物、ビスフェノール型シアネートエステル化合物、並びにこれらが一部三量化されたプレポリマー等が挙げられる。上記ノボラック型シアネートエステル化合物としては、フェノールノボラック型シアネートエステル化合物及びアルキルフェノール型シアネートエステル化合物等が挙げられる。上記ビスフェノール型シアネートエステル化合物としては、ビスフェノールA型シアネートエステル化合物、ビスフェノールE型シアネートエステル化合物及びテトラメチルビスフェノールF型シアネートエステル化合物等が挙げられる。   Examples of the cyanate ester compound include novolac-type cyanate ester compounds, bisphenol-type cyanate ester compounds, and prepolymers in which these are partially trimerized. As said novolak-type cyanate ester compound, a phenol novolak-type cyanate ester compound, an alkylphenol-type cyanate ester compound, etc. are mentioned. Examples of the bisphenol type cyanate ester compound include bisphenol A type cyanate ester compounds, bisphenol E type cyanate ester compounds, and tetramethylbisphenol F type cyanate ester compounds.

上記シアネートエステル化合物の市販品としては、フェノールノボラック型シアネートエステル化合物(ロンザジャパン社製「PT−30」及び「PT−60」)、及びビスフェノール型シアネートエステル化合物が三量化されたプレポリマー(ロンザジャパン社製「BA−230S」、「BA−3000S」、「BTP−1000S」及び「BTP−6020S」)等が挙げられる。   Commercially available products of the above cyanate ester compounds include phenol novolac-type cyanate ester compounds (“Lonza Japan” “PT-30” and “PT-60”), and prepolymers (Lonza Japan) in which bisphenol-type cyanate ester compounds are trimerized. "BA-230S", "BA-3000S", "BTP-1000S", and "BTP-6020S") manufactured by the company.

上記シアネートエステル化合物の分子量は、3000以下であることが好ましい。この場合には、樹脂組成物における無機充填材の含有量を多くすることができ、無機充填材の含有量が多くても、流動性が高い樹脂組成物及び溶融時の流動性が高い樹脂フィルムが得られる。   The molecular weight of the cyanate ester compound is preferably 3000 or less. In this case, the content of the inorganic filler in the resin composition can be increased. Even if the content of the inorganic filler is large, the resin composition having high fluidity and the resin film having high fluidity at the time of melting. Is obtained.

上記シアネートエステル化合物の分子量は1000以下であることが好ましい。この場合には、樹脂組成物における無機充填材の含有量が50重量%以上であっても、流動性が高い樹脂組成物及び溶融時の流動性が高い樹脂フィルムが得られる。   The molecular weight of the cyanate ester compound is preferably 1000 or less. In this case, even if the content of the inorganic filler in the resin composition is 50% by weight or more, a resin composition having high fluidity and a resin film having high fluidity upon melting can be obtained.

硬化物の表面の表面粗さをより一層小さくし、硬化物と金属層との接着強度をより一層高くし、かつ硬化物の表面により一層微細な配線を形成し、かつシアネートエステル化合物によって良好な絶縁信頼性を付与する観点からは、上記シアネートエステル化合物のシアネートエステル基当量は250以下であることが好ましい。   The surface roughness of the surface of the cured product is further reduced, the adhesive strength between the cured product and the metal layer is further increased, finer wiring is formed on the surface of the cured product, and good by the cyanate ester compound. From the viewpoint of imparting insulation reliability, the cyanate ester group equivalent of the cyanate ester compound is preferably 250 or less.

上記エポキシ樹脂と上記フェノキシ樹脂との合計100重量部に対して、上記シアネートエステル化合物の含有量は、好ましくは20重量部以上、より好ましくは30重量部以上、好ましくは100重量部以下、より好ましくは60重量部以下である。上記シアネートエステル化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、保存安定性により一層優れた樹脂フィルムが得られる。   The content of the cyanate ester compound with respect to 100 parts by weight of the total of the epoxy resin and the phenoxy resin is preferably 20 parts by weight or more, more preferably 30 parts by weight or more, preferably 100 parts by weight or less. Is 60 parts by weight or less. When the content of the cyanate ester compound is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, a resin film more excellent in storage stability can be obtained.

[フェノキシ樹脂]
フェノキシ樹脂の使用により、樹脂フィルムの回路基板の穴又は凹凸に対する埋め込み性の悪化及び無機充填材の不均一化が抑えられる。また、フェノキシ樹脂の使用により、溶融粘度を調整可能であるために無機充填材の分散性が良好になり、かつ硬化過程で、意図しない領域に樹脂フィルムが濡れ拡がり難くなる。上記樹脂組成物に含まれているフェノキシ樹脂は特に限定されない。上記フェノキシ樹脂として、従来公知のフェノキシ樹脂を使用可能である。上記フェノキシ樹脂は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Phenoxy resin]
By using the phenoxy resin, deterioration of the embedding property of the resin film with respect to the holes or irregularities of the circuit board and non-uniformity of the inorganic filler can be suppressed. In addition, since the melt viscosity can be adjusted by using a phenoxy resin, the dispersibility of the inorganic filler is improved, and the resin film is difficult to wet and spread in an unintended region during the curing process. The phenoxy resin contained in the resin composition is not particularly limited. A conventionally known phenoxy resin can be used as the phenoxy resin. As for the said phenoxy resin, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記フェノキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型の骨格、ビスフェノールF型の骨格、ビスフェノールS型の骨格、ビフェニル骨格、ノボラック骨格、ナフタレン骨格及びイミド骨格などの骨格を有するフェノキシ樹脂等が挙げられる。   Examples of the phenoxy resin include phenoxy resins having a skeleton such as a bisphenol A skeleton, a bisphenol F skeleton, a bisphenol S skeleton, a biphenyl skeleton, a novolac skeleton, a naphthalene skeleton, and an imide skeleton.

上記フェノキシ樹脂の市販品としては、例えば、新日鐵住金化学社製の「YP50」、「YP55」及び「YP70」、並びに三菱化学社製の「1256B40」、「4250」、「4256H40」、「4275」、「YX6954BH30」及び「YX8100BH30」等が挙げられる。   Examples of commercially available phenoxy resins include “YP50”, “YP55” and “YP70” manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., and “1256B40”, “4250”, “4256H40” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, “ 4275 "," YX6954BH30 "," YX8100BH30 ", and the like.

保存安定性により一層優れた樹脂フィルムを得る観点からは、上記フェノキシ樹脂の重量平均分子量は、好ましくは5000以上、より好ましくは10000以上、好ましくは100000以下、より好ましくは50000以下である。   From the viewpoint of obtaining a resin film that is more excellent in storage stability, the weight average molecular weight of the phenoxy resin is preferably 5000 or more, more preferably 10,000 or more, preferably 100,000 or less, more preferably 50000 or less.

上記フェノキシ樹脂の上記重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定されたポリスチレン換算での重量平均分子量を示す。   The said weight average molecular weight of the said phenoxy resin shows the weight average molecular weight in polystyrene conversion measured by gel permeation chromatography (GPC).

上記フェノキシ樹脂の含有量は特に限定されない。本発明に係る樹脂組成物に含まれる全固形分100重量%中、上記フェノキシ樹脂の含有量は好ましくは2重量%以上、より好ましくは4重量%以上、好ましくは15重量%以下、より好ましくは10重量%以下である。上記フェノキシ樹脂の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、樹脂フィルムの回路基板の穴又は凹凸に対する埋め込み性が良好になる。上記フェノキシ樹脂の含有量が上記下限以上であると、樹脂組成物のフィルム化がより一層容易になり、より一層良好な絶縁層が得られる。上記フェノキシ樹脂の含有量が上記上限以下であると、硬化物の熱膨張率がより一層低くなる。硬化物の表面の表面粗さがより一層小さくなり、硬化物と金属層との接着強度がより一層高くなる。   The content of the phenoxy resin is not particularly limited. In 100% by weight of the total solid content contained in the resin composition according to the present invention, the content of the phenoxy resin is preferably 2% by weight or more, more preferably 4% by weight or more, preferably 15% by weight or less, more preferably 10% by weight or less. When the content of the phenoxy resin is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the embedding property of the resin film with respect to the holes or irregularities of the circuit board becomes good. When the content of the phenoxy resin is not less than the above lower limit, the resin composition can be more easily formed into a film, and a better insulating layer can be obtained. When the content of the phenoxy resin is not more than the above upper limit, the thermal expansion coefficient of the cured product is further reduced. The surface roughness of the surface of the cured product is further reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is further increased.

[無機充填材]
上記樹脂組成物は、無機充填材を含まないか又は含む。上記樹脂組成物は、無機充填材を含むことが好ましい。無機充填材の使用により、硬化物の熱による寸法変化がより一層小さくなる。さらに、硬化物の表面の表面粗さがより一層小さくなり、硬化物と金属層との接着強度がより一層高くなる。
[Inorganic filler]
The resin composition does not contain or contains an inorganic filler. The resin composition preferably contains an inorganic filler. Use of the inorganic filler further reduces the dimensional change due to heat of the cured product. Furthermore, the surface roughness of the surface of the cured product is further reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is further increased.

上記無機充填材としては、シリカ、タルク、クレイ、マイカ、ハイドロタルサイト、アルミナ、酸化マグネシウム、水酸化アルミニウム、窒化アルミニウム及び窒化ホウ素等が挙げられる。   Examples of the inorganic filler include silica, talc, clay, mica, hydrotalcite, alumina, magnesium oxide, aluminum hydroxide, aluminum nitride, and boron nitride.

硬化物の表面の表面粗さを小さくし、硬化物と金属層との接着強度をより一層高くし、かつ硬化物の表面により一層微細な配線を形成し、かつ硬化物により良好な絶縁信頼性を付与する観点からは、上記無機充填材は、シリカ又はアルミナであることが好ましく、シリカであることがより好ましく、溶融シリカであることが更に好ましい。シリカの使用により、硬化物の熱膨張率がより一層低くなり、かつ硬化物の表面の表面粗さが効果的に小さくなり、硬化物と金属層との接着強度が効果的に高くなる。シリカの形状は略球状であることが好ましい。   The surface roughness of the cured product is reduced, the adhesive strength between the cured product and the metal layer is further increased, finer wiring is formed on the surface of the cured product, and better insulation reliability is achieved by the cured product. From the viewpoint of imparting the above, the inorganic filler is preferably silica or alumina, more preferably silica, and still more preferably fused silica. By using silica, the coefficient of thermal expansion of the cured product is further reduced, the surface roughness of the surface of the cured product is effectively reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is effectively increased. The shape of silica is preferably substantially spherical.

上記無機充填材の平均粒径は、好ましくは10nm以上、より好ましくは50nm以上、更に好ましくは150nm以上、好ましくは20μm以下、より好ましくは10μm以下、更に好ましくは5μm以下、特に好ましくは1μm以下である。上記無機充填材の平均粒径が上記下限以上及び上記上限以下であると、粗化処理などにより形成される孔の大きさが微細になり、孔の数が多くなる。この結果、硬化物と金属層との接着強度がより一層高くなる。   The average particle size of the inorganic filler is preferably 10 nm or more, more preferably 50 nm or more, further preferably 150 nm or more, preferably 20 μm or less, more preferably 10 μm or less, still more preferably 5 μm or less, and particularly preferably 1 μm or less. is there. When the average particle size of the inorganic filler is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the size of the holes formed by the roughening treatment or the like becomes fine, and the number of holes increases. As a result, the adhesive strength between the cured product and the metal layer is further increased.

上記無機充填材の平均粒径として、50%となるメディアン径(d50)の値が採用される。上記平均粒径は、レーザー回折散乱方式の粒度分布測定装置を用いて測定可能である。   A median diameter (d50) value of 50% is employed as the average particle diameter of the inorganic filler. The average particle size can be measured using a laser diffraction / scattering particle size distribution measuring apparatus.

上記無機充填材はそれぞれ、球状であることが好ましく、球状シリカであることがより好ましい。この場合には、硬化物の表面の表面粗さが効果的に小さくなり、更に絶縁層と金属層との接着強度が効果的に高くなる。上記無機充填材がそれぞれ球状である場合には、上記無機充填材それぞれのアスペクト比は好ましくは2以下、より好ましくは1.5以下である。   Each of the inorganic fillers is preferably spherical, and more preferably spherical silica. In this case, the surface roughness of the surface of the cured product is effectively reduced, and the adhesive strength between the insulating layer and the metal layer is effectively increased. When each of the inorganic fillers is spherical, the aspect ratio of each of the inorganic fillers is preferably 2 or less, more preferably 1.5 or less.

上記無機充填材は、表面処理されていることが好ましく、シランカップリング剤により表面処理されていることがより好ましい。これにより、粗化硬化物の表面の表面粗さがより一層小さくなり、硬化物と金属層との接着強度がより一層高くなり、かつ硬化物の表面により一層微細な配線が形成され、かつより一層良好な配線間絶縁信頼性及び層間絶縁信頼性を硬化物に付与することができる。   The inorganic filler is preferably surface-treated, and more preferably surface-treated with a silane coupling agent. Thereby, the surface roughness of the surface of the roughened cured product is further reduced, the adhesive strength between the cured product and the metal layer is further increased, and finer wiring is formed on the surface of the cured product, and more Better inter-wiring insulation reliability and interlayer insulation reliability can be imparted to the cured product.

上記カップリング剤としては、シランカップリング剤、チタネートカップリング剤及びアルミニウムカップリング剤等が挙げられる。上記シランカップリング剤としては、メタクリルシラン、アクリルシラン、アミノシラン、イミダゾールシラン、ビニルシラン及びエポキシシラン等が挙げられる。   Examples of the coupling agent include silane coupling agents, titanate coupling agents, and aluminum coupling agents. Examples of the silane coupling agent include methacryl silane, acrylic silane, amino silane, imidazole silane, vinyl silane, and epoxy silane.

上記樹脂組成物に含まれる全固形分100重量%中、上記無機充填材の含有量は好ましくは25重量%以上、より好ましくは30重量%以上、更に好ましくは40重量%以上、特に好ましくは50重量%以上、好ましくは99重量%以下、より好ましくは85重量%以下、更に好ましくは80重量%以下、特に好ましくは75重量%以下である。上記無機充填材の合計の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の表面の表面粗さがより一層小さくなり、硬化物と金属層との接着強度がより一層高くなり、かつ硬化物の表面により一層微細な配線が形成されると同時に、この無機充填材量であれば金属銅並に硬化物の熱膨張率を低くすることも可能である。   In the total solid content of 100% by weight contained in the resin composition, the content of the inorganic filler is preferably 25% by weight or more, more preferably 30% by weight or more, still more preferably 40% by weight or more, and particularly preferably 50%. % By weight or more, preferably 99% by weight or less, more preferably 85% by weight or less, still more preferably 80% by weight or less, and particularly preferably 75% by weight or less. When the total content of the inorganic filler is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the surface roughness of the surface of the cured product is further reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is further increased, In addition, finer wiring is formed on the surface of the cured product, and at the same time, with this amount of inorganic filler, it is possible to lower the thermal expansion coefficient of the cured product as well as metal copper.

[硬化促進剤]
上記樹脂組成物は、硬化促進剤を含む。上記硬化促進剤の使用により、硬化速度がより一層速くなる。樹脂フィルムを速やかに硬化させることで、硬化物における架橋構造が均一になると共に、未反応の官能基数が減り、結果的に架橋密度が高くなる。上記硬化促進剤は特に限定されず、従来公知の硬化促進剤を使用可能である。上記硬化促進剤は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Curing accelerator]
The resin composition includes a curing accelerator. By using the curing accelerator, the curing rate is further increased. By rapidly curing the resin film, the crosslinked structure in the cured product becomes uniform, the number of unreacted functional groups decreases, and as a result, the crosslinking density increases. The said hardening accelerator is not specifically limited, A conventionally well-known hardening accelerator can be used. As for the said hardening accelerator, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記硬化促進剤としては、例えば、イミダゾール化合物、リン化合物、アミン化合物及び有機金属化合物等が挙げられる。   Examples of the curing accelerator include imidazole compounds, phosphorus compounds, amine compounds, and organometallic compounds.

上記イミダゾール化合物としては、2−ウンデシルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール、1,2−ジメチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾリウムトリメリテイト、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−ウンデシルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−エチル−4’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジンイソシアヌル酸付加物、2−フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2−メチルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール及び2−フェニル−4−メチル−5−ジヒドロキシメチルイミダゾール等が挙げられる。   Examples of the imidazole compound include 2-undecylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 2-methylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 1-benzyl- 2-methylimidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-un Decylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazolium trimellitate, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazolium trimellitate, 2,4-diamino-6- [2 ′ -Methyl Midazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2′-undecylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6 [2′-Ethyl-4′-methylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2′-methylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine Isocyanuric acid adduct, 2-phenylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-methylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole and 2-phenyl-4-methyl-5-dihydroxymethylimidazole Can be mentioned.

上記リン化合物としては、トリフェニルホスフィン等が挙げられる。   Examples of the phosphorus compound include triphenylphosphine.

上記アミン化合物としては、ジエチルアミン、トリエチルアミン、ジエチレンテトラミン、トリエチレンテトラミン及び4,4−ジメチルアミノピリジン等が挙げられる。   Examples of the amine compound include diethylamine, triethylamine, diethylenetetramine, triethylenetetramine and 4,4-dimethylaminopyridine.

上記有機金属化合物としては、ナフテン酸亜鉛、ナフテン酸コバルト、オクチル酸スズ、オクチル酸コバルト、ビスアセチルアセトナートコバルト(II)及びトリスアセチルアセトナートコバルト(III)等が挙げられる。   Examples of the organometallic compound include zinc naphthenate, cobalt naphthenate, tin octylate, cobalt octylate, bisacetylacetonate cobalt (II), and trisacetylacetonate cobalt (III).

上記硬化促進剤の含有量は特に限定されない。上記樹脂組成物に含まれている全固形分100重量%中、上記硬化促進剤の含有量は好ましくは0.01重量%以上、より好ましくは0.9重量%以上、好ましくは3.0重量%以下、より好ましくは1.8重量%以下である。上記硬化促進剤の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、樹脂フィルムが効率的に硬化する。上記硬化促進剤の含有量がより好ましい範囲であれば、樹脂組成物の保存安定性がより一層高くなり、かつより一層良好な硬化物が得られる。   The content of the curing accelerator is not particularly limited. In 100% by weight of the total solid content contained in the resin composition, the content of the curing accelerator is preferably 0.01% by weight or more, more preferably 0.9% by weight or more, preferably 3.0% by weight. % Or less, more preferably 1.8% by weight or less. When the content of the curing accelerator is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the resin film is efficiently cured. If content of the said hardening accelerator is a more preferable range, the storage stability of a resin composition will become still higher and a much better hardened | cured material will be obtained.

[溶剤]
上記樹脂組成物は、溶剤を含まないか又は含む。上記溶剤の使用により、樹脂組成物の粘度を好適な範囲に制御でき、樹脂組成物の塗工性を高めることができる。また、上記溶剤は、上記無機充填材を含むスラリーを得るために用いられてもよい。上記溶剤は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[solvent]
The resin composition does not contain or contains a solvent. By using the solvent, the viscosity of the resin composition can be controlled within a suitable range, and the coatability of the resin composition can be improved. Moreover, the said solvent may be used in order to obtain the slurry containing the said inorganic filler. As for the said solvent, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記溶剤としては、アセトン、メタノール、エタノール、ブタノール、2−プロパノール、2−メトキシエタノール、2−エトキシエタノール、1−メトキシ−2−プロパノール、2−アセトキシ−1−メトキシプロパン、トルエン、キシレン、メチルエチルケトン、N,N−ジメチルホルムアミド、メチルイソブチルケトン、N−メチル−ピロリドン、n−ヘキサン、シクロヘキサン、シクロヘキサノン及び混合物であるナフサ等が挙げられる。   Examples of the solvent include acetone, methanol, ethanol, butanol, 2-propanol, 2-methoxyethanol, 2-ethoxyethanol, 1-methoxy-2-propanol, 2-acetoxy-1-methoxypropane, toluene, xylene, methyl ethyl ketone, Examples thereof include N, N-dimethylformamide, methyl isobutyl ketone, N-methyl-pyrrolidone, n-hexane, cyclohexane, cyclohexanone, and naphtha as a mixture.

上記溶剤の多くは、上記樹脂組成物をフィルム状に成形するときに、除去されることが好ましい。従って、上記溶剤の沸点は好ましくは200℃以下、より好ましくは180℃以下である。上記樹脂組成物における上記溶剤の含有量は特に限定されない。上記樹脂組成物の塗工性などを考慮して、上記溶剤の含有量は適宜変更可能である。   Most of the solvent is preferably removed when the resin composition is formed into a film. Therefore, the boiling point of the solvent is preferably 200 ° C. or lower, more preferably 180 ° C. or lower. The content of the solvent in the resin composition is not particularly limited. The content of the solvent can be appropriately changed in consideration of the coating property of the resin composition.

[他の成分]
耐衝撃性、耐熱性、樹脂の相溶性及び作業性等の改善を目的として、上記樹脂組成物には、レベリング剤、難燃剤、カップリング剤、着色剤、酸化防止剤、紫外線劣化防止剤、消泡剤、増粘剤、揺変性付与剤及び上述したエポキシ樹脂以外の他の熱硬化性樹脂、上記フェノキシ樹脂以外の熱可塑性樹脂等を添加してもよい。
[Other ingredients]
For the purpose of improving impact resistance, heat resistance, resin compatibility, workability, etc., the resin composition includes a leveling agent, a flame retardant, a coupling agent, a colorant, an antioxidant, an ultraviolet degradation inhibitor, An antifoaming agent, a thickener, a thixotropic agent, a thermosetting resin other than the above-described epoxy resin, a thermoplastic resin other than the phenoxy resin, and the like may be added.

上記カップリング剤としては、シランカップリング剤、チタンカップリング剤及びアルミニウムカップリング剤等が挙げられる。上記シランカップリング剤としては、ビニルシラン、アミノシラン、イミダゾールシラン及びエポキシシラン等が挙げられる。   Examples of the coupling agent include silane coupling agents, titanium coupling agents, and aluminum coupling agents. Examples of the silane coupling agent include vinyl silane, amino silane, imidazole silane, and epoxy silane.

上記他の熱硬化性樹脂としては、ポリフェニレンエーテル樹脂、ジビニルベンジルエーテル樹脂、ポリアリレート樹脂、ジアリルフタレート樹脂、ポリイミド樹脂、ベンゾオキサジン樹脂、ベンゾオキサゾール樹脂、ビスマレイミド樹脂及びアクリレート樹脂等が挙げられる。   Examples of the other thermosetting resins include polyphenylene ether resins, divinyl benzyl ether resins, polyarylate resins, diallyl phthalate resins, polyimide resins, benzoxazine resins, benzoxazole resins, bismaleimide resins, and acrylate resins.

上記他の熱可塑性樹脂としては、ポリビニルアセタール樹脂、ゴム成分及び有機フィラー等が挙げられる。   As said other thermoplastic resin, a polyvinyl acetal resin, a rubber component, an organic filler, etc. are mentioned.

(樹脂フィルム)
本発明に係る樹脂組成物は、上述した樹脂組成物をフィルム状に成形することにより得られる。
(Resin film)
The resin composition according to the present invention is obtained by molding the above-described resin composition into a film shape.

本発明では、シアネートエステル化合物を用いているにも関わらず、金属を表面に有する部材上で、樹脂フィルムを硬化させる際に、樹脂フィルムの厚みにほとんど依存することなく、樹脂フィルムを均一に硬化させることができる。一方で、樹脂フィルムの硬化度をより一層均一に制御する観点からは、上記樹脂フィルムの厚みは好ましくは5μm以上、好ましくは200μm以下である。また、本発明に係る樹脂組成物は、上記の好ましい厚みの樹脂フィルムを得るために用いられることが好ましい。   In the present invention, even when a cyanate ester compound is used, when the resin film is cured on a member having a metal on the surface, the resin film is uniformly cured without depending on the thickness of the resin film. Can be made. On the other hand, from the viewpoint of more uniformly controlling the degree of cure of the resin film, the thickness of the resin film is preferably 5 μm or more, and preferably 200 μm or less. Moreover, it is preferable that the resin composition which concerns on this invention is used in order to obtain the resin film of said preferable thickness.

上記樹脂組成物をフィルム状に成形する方法としては、例えば、押出機を用いて、樹脂組成物を溶融混練し、押出した後、Tダイ又はサーキュラーダイ等により、フィルム状に成形する押出成形法、溶剤を含む樹脂組成物をキャスティングしてフィルム状に成形するキャスティング成形法、並びに従来公知のその他のフィルム成形法等が挙げられる。なかでも、薄型化に対応可能であることから、押出成形法又はキャスティング成形法が好ましい。フィルムにはシートが含まれる。   As a method for forming the resin composition into a film, for example, an extrusion molding method is used in which the resin composition is melt-kneaded using an extruder, extruded, and then formed into a film using a T-die or a circular die. And a casting molding method in which a resin composition containing a solvent is cast to form a film, and other conventionally known film molding methods. Especially, since it can respond to thickness reduction, the extrusion molding method or the casting molding method is preferable. The film includes a sheet.

上記樹脂組成物をフィルム状に成形し、熱による硬化が進行し過ぎない程度に、例えば90〜200℃で1〜180分間加熱乾燥させることにより、Bステージフィルムである樹脂フィルムを得ることができる。   The resin composition which is a B stage film can be obtained by forming the resin composition into a film and drying it by heating at 90 to 200 ° C. for 1 to 180 minutes, for example, so that curing by heat does not proceed excessively. .

上述のような乾燥工程により得ることができるフィルム状の樹脂組成物をBステージフィルムと称する。上記Bステージフィルムは、半硬化状態にある半硬化物である。半硬化物は、完全に硬化しておらず、硬化がさらに進行され得る。   The film-like resin composition that can be obtained by the drying process as described above is referred to as a B-stage film. The B-stage film is a semi-cured product in a semi-cured state. The semi-cured product is not completely cured and curing can proceed further.

上記樹脂フィルムは、プリプレグでなくてもよい。上記樹脂フィルムがプリプレグではない場合には、ガラスクロスなどに沿ってマイグレーションが生じなくなる。また、樹脂フィルムをラミネート又はプレキュアする際に、表面にガラスクロスに起因する凹凸が生じなくなる。また、プリプレグを含まない樹脂フィルムとすることで、硬化物の熱による寸法変化が小さくなり、形状保持性が高くなり、セミアディティブプロセス適性が高くなる。   The resin film may not be a prepreg. When the resin film is not a prepreg, migration does not occur along a glass cloth or the like. Further, when laminating or precuring the resin film, the surface is not uneven due to the glass cloth. Moreover, by setting it as the resin film which does not contain a prepreg, the dimensional change by the heat | fever of hardened | cured material becomes small, shape retention property becomes high, and a semiadditive process suitability becomes high.

上記樹脂組成物は、基材と、該基材の一方の表面に積層された樹脂フィルムとを備える積層フィルムを形成するために好適に用いることができる。上記積層フィルムにおける上記樹脂フィルムが、上記樹脂組成物により形成される。   The said resin composition can be used suitably in order to form a laminated film provided with a base material and the resin film laminated | stacked on the one surface of this base material. The resin film in the laminated film is formed from the resin composition.

上記積層フィルムの上記基材としては、ポリエチレンテレフタレートフィルム及びポリブチレンテレフタレートフィルムなどのポリエステル樹脂フィルム、ポリエチレンフィルム及びポリプロピレンフィルムなどのオレフィン樹脂フィルム、ポリイミド樹脂フィルム、銅箔及びアルミニウム箔などの金属箔等が挙げられる。上記基材の表面は、必要に応じて、離型処理されていてもよい。   Examples of the base material of the laminated film include polyester resin films such as polyethylene terephthalate film and polybutylene terephthalate film, olefin resin films such as polyethylene film and polypropylene film, polyimide resin film, metal foil such as copper foil and aluminum foil, and the like. Can be mentioned. The surface of the base material may be subjected to a release treatment as necessary.

上記樹脂組成物及び上記樹脂フィルムを回路の絶縁層として用いる場合、上記樹脂組成物又は上記樹脂フィルムにより形成された絶縁層の厚さは、回路を形成する導体層(金属層)の厚さ以上であることが好ましい。上記絶縁層の厚さは、好ましくは5μm以上、好ましくは200μm以下である。   When the resin composition and the resin film are used as an insulating layer of a circuit, the thickness of the insulating layer formed of the resin composition or the resin film is equal to or greater than the thickness of the conductor layer (metal layer) forming the circuit. It is preferable that The thickness of the insulating layer is preferably 5 μm or more, and preferably 200 μm or less.

(プリント配線板)
上記樹脂組成物及び上記樹脂フィルムは、プリント配線板において絶縁層を形成するために好適に用いられる。
(Printed wiring board)
The resin composition and the resin film are suitably used for forming an insulating layer in a printed wiring board.

上記プリント配線板は、例えば、上記樹脂フィルムを加熱加圧成形することにより得られる。   The printed wiring board can be obtained, for example, by heat-pressing the resin film.

上記樹脂フィルムに対して、片面又は両面に金属箔を積層できる。上記樹脂フィルムと金属箔とを積層する方法は特に限定されず、公知の方法を用いることができる。例えば、平行平板プレス機又はロールラミネーター等の装置を用いて、加熱しながら又は加熱せずに加圧しながら、上記樹脂フィルムを金属箔に積層可能である。   A metal foil can be laminated on one side or both sides of the resin film. The method for laminating the resin film and the metal foil is not particularly limited, and a known method can be used. For example, the resin film can be laminated on the metal foil using an apparatus such as a parallel plate press or a roll laminator while applying pressure while heating or without heating.

(銅張り積層板及び多層基板)
上記樹脂組成物及び上記樹脂フィルムは、銅張り積層板を得るために好適に用いられる。上記銅張り積層板の一例として、銅箔と、該銅箔の一方の表面に積層された樹脂フィルムとを備える銅張り積層板が挙げられる。この銅張り積層板の樹脂フィルムが、上記樹脂組成物により形成される。
(Copper-clad laminate and multilayer board)
The resin composition and the resin film are preferably used for obtaining a copper-clad laminate. An example of the copper-clad laminate is a copper-clad laminate including a copper foil and a resin film laminated on one surface of the copper foil. The resin film of this copper-clad laminate is formed from the resin composition.

上記銅張り積層板の上記銅箔の厚さは特に限定されない。上記銅箔の厚さは、1〜50μmの範囲内であることが好ましい。また、上記樹脂フィルムを硬化させた絶縁層と銅箔との接着強度を高めるために、上記銅箔は微細な凹凸を表面に有することが好ましい。凹凸の形成方法は特に限定されない。上記凹凸の形成方法としては、公知の薬液を用いた処理による形成方法等が挙げられる。   The thickness of the copper foil of the copper-clad laminate is not particularly limited. The thickness of the copper foil is preferably in the range of 1 to 50 μm. Moreover, in order to raise the adhesive strength of the insulating layer which hardened the said resin film, and copper foil, it is preferable that the said copper foil has a fine unevenness | corrugation on the surface. The method for forming the unevenness is not particularly limited. Examples of the method for forming the unevenness include a formation method by treatment using a known chemical solution.

上記樹脂組成物及び上記樹脂フィルムは、多層基板を得るために好適に用いられる。上記多層基板の一例として、回路基板と、該回路基板の表面上に積層された絶縁層とを備える多層基板が挙げられる。この多層基板の絶縁層が、上記樹脂組成物をフィルム状に成形した樹脂フィルムを用いて形成される。上記絶縁層は、回路基板の回路が設けられた表面上に積層されていることが好ましい。上記絶縁層の一部は、上記回路間に埋め込まれていることが好ましい。   The resin composition and the resin film are preferably used for obtaining a multilayer substrate. As an example of the multilayer substrate, a multilayer substrate including a circuit substrate and an insulating layer stacked on the surface of the circuit substrate can be given. The insulating layer of the multilayer substrate is formed using a resin film obtained by forming the resin composition into a film. The insulating layer is preferably laminated on the surface of the circuit board on which the circuit is provided. Part of the insulating layer is preferably embedded between the circuits.

上記多層基板では、上記絶縁層の上記回路基板が積層された表面とは反対側の表面が粗化処理されていることが好ましい。   In the multilayer substrate, it is preferable that the surface of the insulating layer opposite to the surface on which the circuit substrate is laminated is roughened.

粗化処理方法は、従来公知の粗化処理方法を用いることができ特に限定されない。上記絶縁層の表面は、粗化処理の前に膨潤処理されていてもよい。   The roughening method can be any conventionally known roughening method and is not particularly limited. The surface of the insulating layer may be subjected to a swelling treatment before the roughening treatment.

また、上記多層基板は、上記絶縁層の粗化処理された表面に積層された銅めっき層をさらに備えることが好ましい。   Moreover, it is preferable that the said multilayer substrate is further equipped with the copper plating layer laminated | stacked on the surface by which the roughening process of the said insulating layer was carried out.

また、上記多層基板の他の例として、回路基板と、該回路基板の表面上に積層された絶縁層と、該絶縁層の上記回路基板が積層された表面とは反対側の表面に積層された銅箔とを備える多層基板が挙げられる。上記絶縁層及び上記銅箔が、銅箔と該銅箔の一方の表面に積層された樹脂フィルムとを備える銅張り積層板を用いて、上記樹脂フィルムを硬化させることにより形成されていることが好ましい。さらに、上記銅箔はエッチング処理されており、銅回路であることが好ましい。   As another example of the multilayer board, the circuit board, the insulating layer laminated on the surface of the circuit board, and the surface of the insulating layer opposite to the surface on which the circuit board is laminated are laminated. And a multilayer substrate provided with copper foil. The insulating layer and the copper foil are formed by curing the resin film using a copper-clad laminate including a copper foil and a resin film laminated on one surface of the copper foil. preferable. Furthermore, it is preferable that the copper foil is etched and is a copper circuit.

上記多層基板の他の例として、回路基板と、該回路基板の表面上に積層された複数の絶縁層とを備える多層基板が挙げられる。上記回路基板上に配置された上記複数層の絶縁層の内の少なくとも1層が、上記樹脂組成物をフィルム状に成形した樹脂フィルムを用いて形成される。上記多層基板は、上記樹脂フィルムを用いて形成されている上記絶縁層の少なくとも一方の表面に積層されている回路をさらに備えることが好ましい。   Another example of the multilayer substrate is a multilayer substrate including a circuit board and a plurality of insulating layers stacked on the surface of the circuit board. At least one of the plurality of insulating layers arranged on the circuit board is formed using a resin film obtained by forming the resin composition into a film. It is preferable that the multilayer substrate further includes a circuit laminated on at least one surface of the insulating layer formed using the resin film.

図1に、本発明の一実施形態に係る樹脂組成物を用いた多層基板を模式的に部分切欠正面断面図で示す。   In FIG. 1, the multilayer substrate using the resin composition which concerns on one Embodiment of this invention is typically shown with a partial notch front sectional drawing.

図1に示す多層基板11では、回路基板12の上面12aに、複数層の絶縁層13〜16が積層されている。絶縁層13〜16は、硬化物層である。回路基板12の上面12aの一部の領域には、金属層17が形成されている。複数層の絶縁層13〜16のうち、回路基板12側とは反対の外側の表面に位置する絶縁層16以外の絶縁層13〜15には、上面の一部の領域に金属層17が形成されている。金属層17は回路である。回路基板12と絶縁層13の間、及び積層された絶縁層13〜16の各層間に、金属層17がそれぞれ配置されている。下方の金属層17と上方の金属層17とは、図示しないビアホール接続及びスルーホール接続の内の少なくとも一方により互いに接続されている。   In the multilayer substrate 11 shown in FIG. 1, a plurality of insulating layers 13 to 16 are laminated on the upper surface 12 a of the circuit substrate 12. Insulating layers 13-16 are hardened material layers. A metal layer 17 is formed in a partial region of the upper surface 12 a of the circuit board 12. Among the plurality of insulating layers 13 to 16, the metal layer 17 is formed in a partial region of the upper surface of the insulating layers 13 to 15 other than the insulating layer 16 located on the outer surface opposite to the circuit board 12 side. Has been. The metal layer 17 is a circuit. Metal layers 17 are respectively disposed between the circuit board 12 and the insulating layer 13 and between the stacked insulating layers 13 to 16. The lower metal layer 17 and the upper metal layer 17 are connected to each other by at least one of via hole connection and through hole connection (not shown).

多層基板11では、絶縁層13〜16が、本発明に係る樹脂組成物をフィルム状に成形した樹脂フィルムを用いて形成されている。本実施形態では、絶縁層13〜16の表面が粗化処理されているので、絶縁層13〜16の表面に図示しない微細な孔が形成されている。また、微細な孔の内部に金属層17が至っている。また、多層基板11では、金属層17の幅方向寸法(L)と、金属層17が形成されていない部分の幅方向寸法(S)とを小さくすることができる。また、多層基板11では、図示しないビアホール接続及びスルーホール接続で接続されていない上方の金属層と下方の金属層との間に、良好な絶縁信頼性が付与されている。   In the multilayer board | substrate 11, the insulating layers 13-16 are formed using the resin film which shape | molded the resin composition which concerns on this invention in the film form. In this embodiment, since the surfaces of the insulating layers 13 to 16 are roughened, fine holes (not shown) are formed on the surfaces of the insulating layers 13 to 16. Further, the metal layer 17 reaches the inside of the fine hole. Moreover, in the multilayer substrate 11, the width direction dimension (L) of the metal layer 17 and the width direction dimension (S) of the part in which the metal layer 17 is not formed can be made small. In the multilayer substrate 11, good insulation reliability is imparted between an upper metal layer and a lower metal layer that are not connected by via-hole connection and through-hole connection (not shown).

(粗化処理及び膨潤処理)
上記樹脂組成物は、粗化処理又はデスミア処理される硬化物を得るために用いられることが好ましい。上記硬化物には、更に硬化が可能な予備硬化物も含まれる。
(Roughening treatment and swelling treatment)
It is preferable that the said resin composition is used in order to obtain the hardened | cured material processed by a roughening process or a desmear process. The cured product includes a precured product that can be further cured.

上記樹脂組成物を予備硬化させることにより得られた硬化物の表面に微細な凹凸を形成するために、硬化物は粗化処理されることが好ましい。粗化処理の前に、硬化物は膨潤処理されることが好ましい。硬化物は、予備硬化の後、かつ粗化処理される前に、膨潤処理されており、さらに粗化処理の後に硬化されていることが好ましい。ただし、硬化物は、必ずしも膨潤処理されなくてもよい。   In order to form fine irregularities on the surface of the cured product obtained by precuring the resin composition, the cured product is preferably roughened. Prior to the roughening treatment, the cured product is preferably subjected to a swelling treatment. The cured product is preferably subjected to a swelling treatment after preliminary curing and before the roughening treatment, and is further cured after the roughening treatment. However, the cured product is not necessarily subjected to the swelling treatment.

上記膨潤処理の方法としては、例えば、エチレングリコールなどを主成分とする化合物の水溶液又は有機溶媒分散溶液などにより、硬化物を処理する方法が用いられる。膨潤処理に用いる膨潤液は、一般にpH調整剤などとして、アルカリを含む。膨潤液は、水酸化ナトリウムを含むことが好ましい。具体的には、例えば、上記膨潤処理は、40重量%エチレングリコール水溶液等を用いて、処理温度30〜85℃で1〜30分間、硬化物を処理することにより行なわれる。上記膨潤処理の温度は50〜85℃の範囲内であることが好ましい。上記膨潤処理の温度が低すぎると、膨潤処理に長時間を要し、更に硬化物と金属層との接着強度が低くなる傾向がある。   As a method for the swelling treatment, for example, a method of treating a cured product with an aqueous solution or an organic solvent dispersion of a compound mainly composed of ethylene glycol or the like is used. The swelling liquid used for the swelling treatment generally contains an alkali as a pH adjuster or the like. The swelling liquid preferably contains sodium hydroxide. Specifically, for example, the swelling treatment is performed by treating the cured product with a 40 wt% ethylene glycol aqueous solution at a treatment temperature of 30 to 85 ° C. for 1 to 30 minutes. The swelling treatment temperature is preferably in the range of 50 to 85 ° C. When the temperature of the swelling treatment is too low, it takes a long time for the swelling treatment, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer tends to be low.

上記粗化処理には、例えば、マンガン化合物、クロム化合物又は過硫酸化合物などの化学酸化剤等が用いられる。これらの化学酸化剤は、水又は有機溶剤が添加された後、水溶液又は有機溶媒分散溶液として用いられる。粗化処理に用いられる粗化液は、一般にpH調整剤などとしてアルカリを含む。粗化液は、水酸化ナトリウムを含むことが好ましい。   For the roughening treatment, for example, a chemical oxidizing agent such as a manganese compound, a chromium compound, or a persulfuric acid compound is used. These chemical oxidizers are used as an aqueous solution or an organic solvent dispersion after water or an organic solvent is added. The roughening liquid used for the roughening treatment generally contains an alkali as a pH adjuster or the like. The roughening solution preferably contains sodium hydroxide.

上記マンガン化合物としては、過マンガン酸カリウム及び過マンガン酸ナトリウム等が挙げられる。上記クロム化合物としては、重クロム酸カリウム及び無水クロム酸カリウム等が挙げられる。上記過硫酸化合物としては、過硫酸ナトリウム、過硫酸カリウム及び過硫酸アンモニウム等が挙げられる。   Examples of the manganese compound include potassium permanganate and sodium permanganate. Examples of the chromium compound include potassium dichromate and anhydrous potassium chromate. Examples of the persulfate compound include sodium persulfate, potassium persulfate, and ammonium persulfate.

上記粗化処理の方法は特に限定されない。上記粗化処理の方法として、例えば、30〜90g/L過マンガン酸又は過マンガン酸塩溶液及び30〜90g/L水酸化ナトリウム溶液を用いて、処理温度30〜85℃及び1〜30分間の条件で、硬化物を処理する方法が好適である。上記粗化処理の温度は50〜85℃の範囲内であることが好ましい。上記粗化処理の回数は1回又は2回であることが好ましい。   The method for the roughening treatment is not particularly limited. As a method of the said roughening process, 30-90 g / L permanganic acid or a permanganate solution and 30-90 g / L sodium hydroxide solution are used, for example, process temperature 30-85 degreeC and 1-30 minutes. A method of treating a cured product under conditions is preferable. It is preferable that the temperature of the said roughening process exists in the range of 50-85 degreeC. The number of times of the roughening treatment is preferably once or twice.

硬化物の表面の算術平均粗さRaは好ましくは50nm以上、好ましくは350nm以下、より好ましくは200nm未満、更に好ましくは100nm未満である。この場合には、硬化物と金属層又は配線との接着強度が高くなり、更に絶縁層の表面により一層微細な配線が形成される。   The arithmetic average roughness Ra of the surface of the cured product is preferably 50 nm or more, preferably 350 nm or less, more preferably less than 200 nm, still more preferably less than 100 nm. In this case, the adhesive strength between the cured product and the metal layer or wiring is increased, and further finer wiring is formed on the surface of the insulating layer.

(デスミア処理)
上記樹脂組成物を予備硬化させることにより得られた硬化物に、貫通孔が形成されることがある。上記多層基板などでは、貫通孔として、ビア又はスルーホール等が形成される。例えば、ビアは、COレーザー等のレーザーの照射により形成できる。ビアの直径は特に限定されないが、60〜80μm程度である。上記貫通孔の形成により、ビア内の底部には、硬化物に含まれている樹脂成分に由来する樹脂の残渣であるスミアが形成されることが多い。
(Desmear treatment)
A through-hole may be formed in the hardened | cured material obtained by precuring the said resin composition. In the multilayer substrate or the like, a via or a through hole is formed as a through hole. For example, the via can be formed by irradiation with a laser such as a CO 2 laser. The diameter of the via is not particularly limited, but is about 60 to 80 μm. Due to the formation of the through hole, a smear, which is a resin residue derived from the resin component contained in the cured product, is often formed at the bottom of the via.

上記スミアを除去するために、硬化物の表面は、デスミア処理されることが好ましい。デスミア処理が粗化処理を兼ねることもある。   In order to remove the smear, the surface of the cured product is preferably desmeared. The desmear process may also serve as a roughening process.

上記デスミア処理には、上記粗化処理と同様に、例えば、マンガン化合物、クロム化合物又は過硫酸化合物などの化学酸化剤等が用いられる。これらの化学酸化剤は、水又は有機溶剤が添加された後、水溶液又は有機溶媒分散溶液として用いられる。デスミア処理に用いられるデスミア処理液は、一般にアルカリを含む。デスミア処理液は、水酸化ナトリウムを含むことが好ましい。   In the desmear treatment, for example, a chemical oxidant such as a manganese compound, a chromium compound, or a persulfate compound is used in the same manner as the roughening treatment. These chemical oxidizers are used as an aqueous solution or an organic solvent dispersion after water or an organic solvent is added. The desmear treatment liquid used for the desmear treatment generally contains an alkali. The desmear treatment liquid preferably contains sodium hydroxide.

上記デスミア処理の方法は特に限定されない。上記デスミア処理の方法として、例えば、30〜90g/L過マンガン酸又は過マンガン酸塩溶液及び30〜90g/L水酸化ナトリウム溶液を用いて、処理温度30〜85℃及び1〜30分間の条件で、1回又は2回、硬化物を処理する方法が好適である。上記デスミア処理の温度は50〜85℃の範囲内であることが好ましい。   The method for the desmear treatment is not particularly limited. As a method for the desmear treatment, for example, using a 30 to 90 g / L permanganate or permanganate solution and a 30 to 90 g / L sodium hydroxide solution, a treatment temperature of 30 to 85 ° C. and a condition of 1 to 30 minutes And the method of processing hardened | cured material once or twice is suitable. It is preferable that the temperature of the said desmear process exists in the range of 50-85 degreeC.

上記樹脂組成物の使用により、デスミア処理された硬化物の表面の表面粗さが十分に小さくなる。   By using the resin composition, the surface roughness of the surface of the cured product that has been desmeared is sufficiently reduced.

以下、実施例及び比較例を挙げることにより、本発明を具体的に説明する。本発明は、以下の実施例に限定されない。   Hereinafter, the present invention will be specifically described by giving examples and comparative examples. The present invention is not limited to the following examples.

以下の成分を用いた。   The following ingredients were used.

(エポキシ樹脂)
ビスフェノールA型エポキシ樹脂(DIC社製「850−S」、エポキシ当量185、分子量約400)
ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂(DIC社製「HP−7200HH」、重量平均分子量約950)
ビフェニル型エポキシ樹脂(日本化薬社製「NC−3000−FH」、エポキシ当量315、分子量約1500)
ビスフェノールA型エポキシ樹脂(三菱化学社製「1001」、エポキシ当量475、分子量約900)
ビスフェノールA型エポキシ樹脂(三菱化学社製「1004」、エポキシ当量924、分子量約1650)
(Epoxy resin)
Bisphenol A type epoxy resin (DIC-made "850-S", epoxy equivalent 185, molecular weight about 400)
Dicyclopentadiene type epoxy resin (“HP-7200HH” manufactured by DIC, weight average molecular weight of about 950)
Biphenyl type epoxy resin (“NC-3000-FH” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., epoxy equivalent 315, molecular weight about 1500)
Bisphenol A type epoxy resin (Mitsubishi Chemical "1001", epoxy equivalent 475, molecular weight about 900)
Bisphenol A type epoxy resin (Mitsubishi Chemical "1004", epoxy equivalent 924, molecular weight about 1650)

(シアネートエステル化合物)
シアネートエステル樹脂含有液A(ロンザジャパン社製「BA−230S」、固形分75重量%とメチルエチルケトン25重量%とを含む、シアネートエステル基当量235)
シアネートエステル樹脂含有液B(ロンザジャパン社製「BA−3000S」、固形分75重量%とメチルエチルケトン25重量%とを含む、シアネートエステル基当量234)
(Cyanate ester compound)
Cyanate ester resin-containing liquid A (Lonza Japan "BA-230S", solid content 75% by weight and methyl ethyl ketone 25% by weight, cyanate ester group equivalent 235)
Cyanate ester resin-containing liquid B ("BA-3000S" manufactured by Lonza Japan Co., cyanate ester group equivalent 234 containing 75 wt% solid content and 25 wt% methyl ethyl ketone)

(フェノキシ樹脂)
フェノキシ樹脂含有液A(三菱化学社製「YX6954BH30」、重量平均分子量39000)、固形分30重量%とメチルエチルケトン35重量%とシクロヘキサノン35重量%とを含む)
フェノキシ樹脂含有液B(新日鐵住金化学社製「FX−293AM40」固形分40重量%とメチルエチルケトン30重量%とシクロヘキサノン30重量%を含む)
(Phenoxy resin)
Phenoxy resin-containing liquid A (Mitsubishi Chemical "YX6954BH30", weight average molecular weight 39000), solid content 30% by weight, methyl ethyl ketone 35% by weight and cyclohexanone 35% by weight)
Phenoxy resin-containing liquid B (including Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. "FX-293AM40" solid content 40 wt%, methyl ethyl ketone 30 wt% and cyclohexanone 30 wt%)

(硬化促進剤)
イミダゾール化合物A(四国化成工業社製「2P4MZ」)
イミダゾール化合物B(四国化成工業社製「2E4MZ」)
(Curing accelerator)
Imidazole Compound A (“2P4MZ” manufactured by Shikoku Chemicals)
Imidazole compound B (“2E4MZ” manufactured by Shikoku Chemicals)

(無機充填材)
球状シリカ(アドマテックス社製「SO−C2」をN−フェニル−3−アミノプロピル基を有するシランカップリング剤(信越化学工業社製「KBM−573」)で表面処理した球状シリカ)
(Inorganic filler)
Spherical silica (Spherical silica whose surface was treated with “SO-C2” manufactured by Admatechs Corporation with a silane coupling agent having an N-phenyl-3-aminopropyl group (“KBM-573” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.))

(溶剤)
シクロヘキサノン(和光純薬工業社製「037−05096」)
(solvent)
Cyclohexanone ("037-05096" manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.)

(実施例1)
シアネートエステル化合物含有液A(ロンザジャパン社製「BA−230S」)10.5重量部(固形分で7.9重量部)に、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(DIC社製「850−S」)10.5重量部と、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂(DIC社製「HP−7200HH」)10.5重量部と、イミダゾール化合物(四国化成工業社製「2P4MZ」)0.4重量部と、フェノキシ樹脂含有液A(三菱化学社製「YX6954BH30」)8.6重量部(固形分で2.6重量部)と、球状シリカ(アドマテックス社製「SO−C2」をN−フェニル−3−アミノプロピル基を有するシランカップリング剤(信越化学工業社製「KBM−573」)で表面処理した球状シリカ)68.0重量部と、シクロヘキサノン(和光純薬工業社製「037−05096」)42.9重量部とを混合し、均一な溶液となるまで常温で攪拌し、樹脂組成物(ワニス)を得た。
Example 1
Cyanate ester compound-containing liquid A (Lonza Japan "BA-230S") 10.5 parts by weight (solid content 7.9 parts by weight) and bisphenol A type epoxy resin (DIC Corporation "850-S") 10 0.5 part by weight, 10.5 part by weight of a dicyclopentadiene type epoxy resin (“HP-7200HH” manufactured by DIC), 0.4 part by weight of an imidazole compound (“2P4MZ” manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd.), and a phenoxy resin 8.6 parts by weight of liquid A (“YX6954BH30” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) (2.6 parts by weight in solid content) and spherical silica (“SO-C2” manufactured by Admatechs Co., Ltd.) were added to N-phenyl-3-aminopropyl. 68.0 parts by weight of a silane coupling agent having a group (spherical silica surface-treated with “KBM-573” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) and cyclohexanone (Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) Mixing the company made "037-05096") 42.9 parts by weight, and stirred at room temperature until a homogeneous solution, to obtain a resin composition (varnish).

アプリケーターを用いて、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(東レ社製「XG284」、厚み25μm)の離型処理面上に得られた樹脂組成物(ワニス)を塗工した後、100℃のギアオーブン内で2分間乾燥し、溶剤を揮発させた。このようにして、PETフィルム上に、厚さが40μmであり、溶剤の残量が1.0重量%以上、4.0重量%以下である樹脂フィルム(Bステージフィルム)を得た。   After applying the resin composition (varnish) obtained on the release-treated surface of a polyethylene terephthalate (PET) film (“XG284” manufactured by Toray Industries Inc., thickness 25 μm) using an applicator, in a gear oven at 100 ° C. For 2 minutes to evaporate the solvent. In this way, a resin film (B stage film) having a thickness of 40 μm and a residual solvent amount of 1.0 wt% or more and 4.0 wt% or less was obtained on the PET film.

また、厚み40μmの樹脂フィルムと同様にして、厚さが15μmであり、溶剤の残量が1.0重量%以上、4.0重量%以下である樹脂フィルム(Bステージフィルム)を得た。   Moreover, it carried out similarly to the resin film of thickness 40 micrometers, and obtained the resin film (B stage film) whose thickness is 15 micrometers and whose residual amount of a solvent is 1.0 weight% or more and 4.0 weight% or less.

(実施例2〜10及び比較例1〜4)
使用した配合成分の種類及び配合量(重量部)を下記の表1,2に示すように変更したこと以外は実施例1と同様にして、樹脂組成物(ワニス)及び樹脂フィルム(Bステージフィルム)を作製した。
(Examples 2 to 10 and Comparative Examples 1 to 4)
The resin composition (varnish) and the resin film (B stage film) were the same as in Example 1 except that the types and amounts (parts by weight) of the components used were changed as shown in Tables 1 and 2 below. ) Was produced.

(評価)
(1)比(エポキシ基の数/アルコール性水酸基の合計の数)
樹脂組成物100g中の上記エポキシ樹脂のエポキシ基量と、樹脂組成物100g中の上記エポキシ樹脂と上記フェノキシ樹脂との合計のアルコール性水酸基量とを求めた。得られた樹脂組成物中の上記エポキシ樹脂のエポキシ基の数の、得られた樹脂組成物中の上記エポキシ樹脂と上記フェノキシ樹脂とのアルコール性水酸基の合計の数に対する比を求めた。
(Evaluation)
(1) Ratio (number of epoxy groups / total number of alcoholic hydroxyl groups)
The amount of epoxy groups of the epoxy resin in 100 g of the resin composition and the total amount of alcoholic hydroxyl groups of the epoxy resin and the phenoxy resin in 100 g of the resin composition were determined. The ratio of the number of epoxy groups of the epoxy resin in the obtained resin composition to the total number of alcoholic hydroxyl groups of the epoxy resin and the phenoxy resin in the obtained resin composition was determined.

(2)保存安定性
得られたPETフィルムと樹脂フィルム(厚み40μm)との積層体を25℃で5日間保管した。
(2) Storage stability The laminated body of the obtained PET film and resin film (thickness 40 micrometers) was stored at 25 degreeC for 5 days.

2−1)PETフィルムから樹脂フィルム(厚み40μm)を剥がして、保管後の樹脂フィルムを180度折り曲げたときの、折り曲げ試験での白化及び割れの発生の有無を評価した。下記の基準で判定した。   2-1) The resin film (thickness 40 μm) was peeled from the PET film, and the presence or absence of whitening and cracking in the bending test when the resin film after storage was bent 180 degrees was evaluated. Judgment was made according to the following criteria.

[折り曲げ試験での白化及び割れの発生の有無]
○:白化及び割れのいずれもが発生していない
×:白化及び割れのいずれかが発生
[Whether or not whitening and cracking occurred in the bending test]
○: Neither whitening nor cracking occurred ×: Either whitening or cracking occurred

2−2)PETフィルムから樹脂フィルム(厚み40μm)を剥がして、保管後の樹脂フィルムを縦50mm×横100mmの大きさにカッターで切断して、切断試験での亀裂又は欠けの発生の有無を評価した。下記の基準で判定した。   2-2) The resin film (thickness 40 μm) is peeled off from the PET film, and the stored resin film is cut into a size of 50 mm in length × 100 mm in width with a cutter to check for cracks or chipping in the cutting test. evaluated. Judgment was made according to the following criteria.

[切断試験での亀裂又は欠けの有無]
○:切断後に樹脂フィルムに亀裂及び欠けのいずれも発生していない
×:切断後に樹脂フィルムに亀裂及び欠けのいずれかが発生
[Presence or absence of crack or chip in cutting test]
○: Neither crack nor chip occurred in the resin film after cutting ×: Either crack or chip occurred in the resin film after cutting

2−3)銅張り積層板(厚さ150μmのガラスエポキシ基板と厚さ35μmの銅箔との積層体)を用意した。銅箔をエッチング処理し、L/Sが50μm/50μm及び長さが1cmである銅パターンを26本作製し、凹凸基板を得た。得られた樹脂フィルム(厚み40μm)を凹凸基板の凹凸表面に重ねて、真空加圧式ラミネーター機(名機製作所社製「MVLP−500」)を用いて、ラミネート圧0.4MPa及びラミネート温度90℃で20秒間ラミネートし、更にプレス圧力0.8MPa及びプレス温度90℃で20秒間プレスした。このようにして、凹凸基板上に樹脂フィルムが積層されている積層体Aを得た。積層体Aの状態で、ビーコ社製「WYKO」を用いて、積層体Aにおける樹脂フィルムの上面の凹凸の値を測定した。具体的には、凹凸の隣り合う凹部部分と凸部部分との高低差の最大値を、凹凸の値として採用した。このようにして、ラミネート試験での凹凸の状態の有無を評価した。下記の基準で判定した。   2-3) A copper-clad laminate (a laminate of a 150 μm thick glass epoxy substrate and a 35 μm thick copper foil) was prepared. The copper foil was etched to produce 26 copper patterns having an L / S of 50 μm / 50 μm and a length of 1 cm to obtain an uneven substrate. The obtained resin film (thickness: 40 μm) is stacked on the uneven surface of the uneven substrate, and using a vacuum pressure laminator machine (“MVLP-500” manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd.), laminating pressure 0.4 MPa and laminating temperature 90 ° C. For 20 seconds, and further pressed at a press pressure of 0.8 MPa and a press temperature of 90 ° C. for 20 seconds. Thus, the laminated body A by which the resin film was laminated | stacked on the uneven substrate was obtained. In the state of the laminate A, the unevenness value of the upper surface of the resin film in the laminate A was measured using “WYKO” manufactured by Beco. Specifically, the maximum value of the height difference between the concave and convex portions adjacent to the concave and convex portions was adopted as the concave and convex value. Thus, the presence or absence of the uneven | corrugated state in the lamination test was evaluated. Judgment was made according to the following criteria.

[ラミネート試験での凹凸の状態の有無]
○:凹凸の値が0.3μm以下
△:凹凸の値が0.3μmを超え、0.5μm以下
×:凹凸の値が0.5μmを超える
[Presence / absence of unevenness in laminate test]
○: Uneven value is 0.3 μm or less Δ: Uneven value exceeds 0.3 μm, 0.5 μm or less X: Uneven value exceeds 0.5 μm

(3)硬化物の表面の表面粗さ
積層板の下地処理:
エッチングにより内層回路を形成したガラスエポキシ基板(利昌工業社製「CS−3665」)の両面を銅表面粗化剤(メック社製「メックエッチボンド CZ−8100」)に浸漬して、銅表面を粗化処理した。
(3) Surface roughness of the surface of the cured product Laminate surface treatment:
Both surfaces of a glass epoxy substrate (“CS-3665” manufactured by Risho Kogyo Co., Ltd.) on which an inner layer circuit has been formed by etching are immersed in a copper surface roughening agent (“MEC Etch Bond CZ-8100” manufactured by MEC) to immerse the copper surface. Roughening treatment was performed.

ラミネート:
得られたPETフィルムと樹脂フィルム(厚み40μm)との積層体を、樹脂フィルム側から上記ガラスエポキシ基板の両面にセットして、ダイアフラム式真空ラミネーター(名機製作所社製「MVLP−500」)を用いて、上記ガラスエポキシ基板の両面にラミネートした。ラミネートは、20秒減圧して気圧を13hPa以下とし、その後20秒間を100℃、圧力0.8MPaでプレスすることにより行った。
laminate:
The obtained laminate of PET film and resin film (thickness 40 μm) is set on both sides of the glass epoxy substrate from the resin film side, and a diaphragm type vacuum laminator (“MVLP-500” manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd.) is used. And laminated on both sides of the glass epoxy substrate. Lamination was performed by reducing the pressure for 20 seconds to a pressure of 13 hPa or less, and then pressing for 20 seconds at 100 ° C. and a pressure of 0.8 MPa.

樹脂フィルムの硬化:
樹脂フィルムからPETフィルムを剥離した。次に、170℃及び60分の硬化条件で樹脂フィルムを硬化させ、積層サンプルを得た。
Resin film curing:
The PET film was peeled from the resin film. Next, the resin film was cured under curing conditions of 170 ° C. and 60 minutes to obtain a laminated sample.

膨潤処理:
60℃の膨潤液(アトテックジャパン社製「スウェリングディップセキュリガントP」と和光純薬工業社製「水酸化ナトリウム」とを含む水溶液)に、上記積層サンプルを入れて、膨潤温度60℃で20分間揺動させた。その後、純水で洗浄した。
Swelling treatment:
The above laminated sample is put in a swelling solution at 60 ° C. (an aqueous solution containing “Swelling Dip Securigant P” manufactured by Atotech Japan Co., Ltd.) and “sodium hydroxide” manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd. Rocked for minutes. Thereafter, it was washed with pure water.

粗化処理(過マンガン酸塩処理):
80℃の過マンガン酸ナトリウム粗化水溶液(アトテックジャパン社製「コンセントレートコンパクトCP」、和光純薬工業社製「水酸化ナトリウム」)に、膨潤処理された上記積層サンプルを入れて、粗化温度80℃で20分間揺動させた。その後、40℃の洗浄液(アトテックジャパン社製「リダクションセキュリガントP」、和光純薬工業社製「硫酸」)により10分間洗浄した後、純水でさらに洗浄した。このようにして、エッチングにより内層回路を形成したガラスエポキシ基板上に、粗化処理された硬化物を形成した。
Roughening treatment (permanganate treatment):
Put the above laminated sample swollen into 80 ° C sodium permanganate roughening aqueous solution ("Concentrate Compact CP" manufactured by Atotech Japan, "Sodium hydroxide" manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.), and roughening temperature Rocked at 80 ° C. for 20 minutes. Then, after washing | cleaning for 10 minutes with a 40 degreeC washing | cleaning liquid ("Reduction securigant P" by the Atotech Japan company, "Sulfuric acid" by Wako Pure Chemical Industries Ltd.), it wash | cleaned further with the pure water. In this way, a roughened cured product was formed on the glass epoxy substrate on which the inner layer circuit was formed by etching.

さらに、厚み40μmの樹脂フィルムを厚み15μmの樹脂フィルムに変更したこと以外は同様にして、内層回路を形成したガラスエポキシ基板(金属付き基板)上に、粗化処理された硬化物を形成した。   Further, a roughened cured product was formed on a glass epoxy substrate (substrate with metal) on which an inner layer circuit was formed in the same manner except that the resin film having a thickness of 40 μm was changed to a resin film having a thickness of 15 μm.

厚み40μmの樹脂フィルムを用いた場合と、厚み15μmの樹脂フィルムを用いた場合とのそれぞれについて、算術平均粗さRaの測定を行った。粗化処理された硬化物の表面の算術平均粗さRaを、非接触式の表面粗さ計(ビーコ社製「WYKO」)を用いて測定した。算術平均粗さRaは、JIS B0601−1994に準拠した。   The arithmetic average roughness Ra was measured for each of the case where a resin film having a thickness of 40 μm was used and the case where a resin film having a thickness of 15 μm was used. The arithmetic average roughness Ra of the surface of the roughened cured product was measured using a non-contact type surface roughness meter (“WYKO” manufactured by Beiko). Arithmetic average roughness Ra was based on JIS B0601-1994.

[硬化物の表面の表面粗さの判定基準]
○:Raが100nm未満
△:Raが100nm以上、200nm未満
×:Raが200nm以上
[Criteria for surface roughness of cured product]
○: Ra is less than 100 nm Δ: Ra is 100 nm or more and less than 200 nm ×: Ra is 200 nm or more

(4)金属付き基板上での樹脂フィルムの硬化均一性
上記(3)硬化物の表面の表面粗さの評価における硬化物の表面の表面粗さの測定結果から、金属付き基板上での樹脂フィルムの硬化均一性を下記の基準で判定した。
(4) Uniformity of curing of resin film on substrate with metal From the measurement result of surface roughness of cured product in evaluation of surface roughness of (3) surface of cured product, resin on substrate with metal The curing uniformity of the film was determined according to the following criteria.

[金属付き基板上での樹脂フィルムの硬化均一性]
○:厚み15μmの場合のRaと厚み40μmの場合のRaとの差の絶対値が50nm未満
△:厚み15μmの場合のRaと厚み40μmの場合のRaとの差の絶対値が50nm以上、100nm未満
×:厚み15μmの場合のRaと厚み40μmの場合のRaとの差の絶対値が100nm以上
[Hardness uniformity of resin film on metal substrate]
○: The absolute value of the difference between Ra when the thickness is 15 μm and Ra when the thickness is 40 μm is less than 50 nm Δ: The absolute value of the difference between Ra when the thickness is 15 μm and Ra when the thickness is 40 μm is 50 nm or more and 100 nm Less than ×: The absolute value of the difference between Ra when the thickness is 15 μm and Ra when the thickness is 40 μm is 100 nm or more

(5)接着強度(ピール強度)
上記(3)硬化物の表面の表面粗さの測定で得られた粗化処理された硬化物を用意した。
(5) Adhesive strength (peel strength)
A roughened cured product obtained by measuring the surface roughness of the surface of (3) cured product was prepared.

無電解めっき処理:
上記粗化処理された硬化物の表面を、60℃のアルカリクリーナ(アトテックジャパン社製「クリーナーセキュリガント902」)で5分間処理し、脱脂洗浄した。洗浄後、上記硬化物を25℃のプリディップ液(アトテックジャパン社製「プリディップネオガントB」)で2分間処理した。その後、上記硬化物を40℃のアクチベーター液(アトテックジャパン社製「アクチベーターネオガント834」)で5分間処理し、パラジウム触媒を付けた。次に、30℃の還元液(アトテックジャパン社製「リデューサーネオガントWA」)により、硬化物を5分間処理した。
Electroless plating treatment:
The surface of the roughened cured product was treated with a 60 ° C. alkali cleaner (“Cleaner Securigant 902” manufactured by Atotech Japan) for 5 minutes and degreased and washed. After washing, the cured product was treated with a 25 ° C. pre-dip solution (“Pre-Dip Neogant B” manufactured by Atotech Japan) for 2 minutes. Thereafter, the cured product was treated with an activator solution at 40 ° C. (“Activator Neo Gantt 834” manufactured by Atotech Japan) for 5 minutes to attach a palladium catalyst. Next, the cured product was treated with a reducing solution at 30 ° C. (“Reducer Neogant WA” manufactured by Atotech Japan) for 5 minutes.

次に、上記硬化物を化学銅液(全てアトテックジャパン社製「ベーシックプリントガントMSK−DK」、「カッパープリントガントMSK」、「スタビライザープリントガントMSK」、「リデューサーCu」)に入れ、無電解めっきをめっき厚さが0.5μm程度になるまで実施した。無電解めっき後に、残留している水素ガスを除去するため、120℃の温度で30分間アニールをかけた。無電解めっきの工程までのすべての工程は、ビーカースケールで処理液を2Lとし、硬化物を揺動させながら実施した。   Next, the cured product is put into a chemical copper solution (all manufactured by Atotech Japan “Basic Print Gantt MSK-DK”, “Copper Print Gantt MSK”, “Stabilizer Print Gantt MSK”, “Reducer Cu”). Was carried out until the plating thickness reached about 0.5 μm. After the electroless plating, annealing was performed at a temperature of 120 ° C. for 30 minutes in order to remove the remaining hydrogen gas. All the steps up to the electroless plating step were performed with a treatment liquid of 2 L on a beaker scale and while the cured product was swung.

次に、無電解めっき処理された硬化物に、電解めっきをめっき厚さが25μmとなるまで実施した。電解銅めっきとして硫酸銅溶液(和光純薬工業社製「硫酸銅五水和物」、和光純薬工業社製「硫酸」、アトテックジャパン社製「ベーシックレベラーカパラシド HL」、アトテックジャパン社製「補正剤カパラシド GS」)を用いて、0.6A/cmの電流を流しめっき厚さが25μm程度となるまで電解めっきを実施した。銅めっき処理後、硬化物を190℃で2時間加熱し、硬化物を更に硬化させた。このようにして、銅めっき層が上面に積層された硬化物を得た。 Next, electrolytic plating was performed on the cured product that had been subjected to electroless plating until the plating thickness reached 25 μm. As an electrolytic copper plating, a copper sulfate solution (“copper sulfate pentahydrate” manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., “sulfuric acid” manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., “basic leveler kaparaside HL” manufactured by Atotech Japan Co., Ltd., “ using the correction agent Cupracid GS "), plating thickness passing a current of 0.6 a / cm 2 was carried out electrolytic plating until approximately 25 [mu] m. After the copper plating treatment, the cured product was heated at 190 ° C. for 2 hours to further cure the cured product. Thus, the hardened | cured material with which the copper plating layer was laminated | stacked on the upper surface was obtained.

得られた銅めっき層が積層された硬化物において、銅めっき層の表面に、10mm幅に切り欠きを入れた。その後、引張試験機(島津製作所社製「AG−5000B」)を用いて、クロスヘッド速度5mm/分の条件で、硬化物と銅めっき層との接着強度(ピール強度)を測定した。   In the cured product obtained by laminating the obtained copper plating layer, a 10 mm wide cutout was made on the surface of the copper plating layer. Thereafter, using a tensile tester (“AG-5000B” manufactured by Shimadzu Corporation), the adhesive strength (peel strength) between the cured product and the copper plating layer was measured under the condition of a crosshead speed of 5 mm / min.

[接着強度の判定基準]
○:5.9N/cm以上
△:4.9N/cm以上、5.9N/cm未満
×:4.9N/cm未満
[Criteria for adhesive strength]
○: 5.9 N / cm or more Δ: 4.9 N / cm or more, less than 5.9 N / cm ×: less than 4.9 N / cm

(6)平均線膨張率(CTE)
PETフィルム上で得られた樹脂フィルム(厚み40μm)を、170℃及び60分の硬化条件で硬化させ、更に190℃2時間加熱した。その後、PETフィルムを剥離することにより、硬化物を得た。得られた硬化物を、3mm×25mmの大きさに裁断した。熱機械的分析装置(エスアイアイ・ナノテクノロジー社製「EXSTAR TMA/SS6100」)を用いて、引っ張り荷重33mN、昇温速度5℃/分の条件で、裁断された硬化物の25℃から150℃までの平均線膨張率(ppm/℃)を算出した。
(6) Average linear expansion coefficient (CTE)
The resin film (thickness 40 μm) obtained on the PET film was cured under curing conditions of 170 ° C. and 60 minutes, and further heated at 190 ° C. for 2 hours. Thereafter, the PET film was peeled off to obtain a cured product. The obtained cured product was cut into a size of 3 mm × 25 mm. Using a thermomechanical analyzer (“EXSTAR TMA / SS6100” manufactured by SII Nano Technology), the cured product cut at 25 ° C. to 150 ° C. under the conditions of a tensile load of 33 mN and a heating rate of 5 ° C./min. The average linear expansion coefficient (ppm / ° C.) was calculated.

[平均線膨張率の判定基準]
○:平均線膨張率が35ppm/℃以下
×:平均線膨張率が35ppm/℃を超える
[Criteria for average linear expansion coefficient]
○: Average linear expansion coefficient is 35 ppm / ° C. or less ×: Average linear expansion coefficient exceeds 35 ppm / ° C.

組成及び結果を下記の表1,2に示す。なお、上記(4)金属付き基板上での樹脂フィルムの硬化均一性の評価では、厚み15μmの樹脂フィルムと厚み40μmの樹脂フィルムとを用いた。実施例の樹脂組成物を用いた樹脂フィルムの厚みが5〜200μmの範囲内であるときに、硬化均一性に特に優れていることを確認した。   The compositions and results are shown in Tables 1 and 2 below. In the above (4) evaluation of the curing uniformity of the resin film on the substrate with metal, a resin film having a thickness of 15 μm and a resin film having a thickness of 40 μm were used. When the thickness of the resin film using the resin composition of an Example is in the range of 5 to 200 μm, it was confirmed that the curing uniformity was particularly excellent.

Figure 2014208747
Figure 2014208747

Figure 2014208747
Figure 2014208747

11…多層基板
12…回路基板
12a…上面
13〜16…絶縁層
17…金属層(配線)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... Multilayer substrate 12 ... Circuit board 12a ... Upper surface 13-16 ... Insulating layer 17 ... Metal layer (wiring)

Claims (11)

フィルム状に成形して樹脂フィルムを得るために用いられる樹脂組成物であって、
エポキシ樹脂と、シアネートエステル化合物と、フェノキシ樹脂と、硬化促進剤とを含み、
樹脂組成物中の前記エポキシ樹脂のエポキシ基の数の樹脂組成物中の前記エポキシ樹脂と前記フェノキシ樹脂とのアルコール性水酸基の合計の数に対する比が10以上、30以下である、樹脂組成物。
A resin composition used to obtain a resin film by molding into a film,
Including an epoxy resin, a cyanate ester compound, a phenoxy resin, and a curing accelerator,
The resin composition in which the ratio of the number of epoxy groups of the epoxy resin in the resin composition to the total number of alcoholic hydroxyl groups of the epoxy resin and the phenoxy resin in the resin composition is 10 or more and 30 or less.
樹脂組成物に含まれる全固形分100重量%中、前記硬化促進剤の含有量が0.01重量%以上、3.0重量%以下である、請求項1に記載の樹脂組成物。   The resin composition of Claim 1 whose content of the said hardening accelerator is 0.01 to 3.0 weight% in 100 weight% of total solid content contained in a resin composition. 前記エポキシ樹脂と前記フェノキシ樹脂との合計100重量部に対して、前記シアネートエステル化合物の含有量が20重量部以上、100重量部以下である、請求項1又は2に記載の樹脂組成物。   The resin composition of Claim 1 or 2 whose content of the said cyanate ester compound is 20 to 100 weight part with respect to a total of 100 weight part of the said epoxy resin and the said phenoxy resin. 前記エポキシ樹脂の分子量が200以上、3000以下である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   The resin composition of any one of Claims 1-3 whose molecular weight of the said epoxy resin is 200 or more and 3000 or less. 前記フェノキシ樹脂の重量平均分子量が5000以上、100000以下である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   The resin composition of any one of Claims 1-4 whose weight average molecular weights of the said phenoxy resin are 5000 or more and 100,000 or less. 無機充填材をさらに含む、請求項1〜5のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 1, further comprising an inorganic filler. 前記無機充填材がシリカである、請求項6に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 6, wherein the inorganic filler is silica. 樹脂組成物に含まれる全固形分100重量%中、前記無機充填材の含有量が40重量%以上、85重量%以下である、請求項6又は7に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 6 or 7, wherein the content of the inorganic filler is 40% by weight or more and 85% by weight or less in 100% by weight of the total solid content contained in the resin composition. 粗化処理又はデスミア処理される硬化物を得るために用いられる、請求項1〜8のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   The resin composition of any one of Claims 1-8 used in order to obtain the hardened | cured material processed by a roughening process or a desmear process. 請求項1〜9のいずれか1項に記載の樹脂組成物をフィルム状に成形することにより得られる、樹脂フィルム。   The resin film obtained by shape | molding the resin composition of any one of Claims 1-9 in a film form. 回路基板と、
前記回路基板上に配置された絶縁層とを備え、
前記絶縁層が、請求項1〜9のいずれか1項に記載の樹脂組成物をフィルム状に成形することにより得られる樹脂フィルムを用いて形成されている、多層基板。
A circuit board;
An insulating layer disposed on the circuit board,
The multilayer substrate in which the said insulating layer is formed using the resin film obtained by shape | molding the resin composition of any one of Claims 1-9 in a film form.
JP2013189481A 2013-03-22 2013-09-12 Resin composition, resin film and multilayer substrate Active JP6159627B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013189481A JP6159627B2 (en) 2013-03-22 2013-09-12 Resin composition, resin film and multilayer substrate

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013060682 2013-03-22
JP2013060682 2013-03-22
JP2013189481A JP6159627B2 (en) 2013-03-22 2013-09-12 Resin composition, resin film and multilayer substrate

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2014208747A true JP2014208747A (en) 2014-11-06
JP6159627B2 JP6159627B2 (en) 2017-07-05

Family

ID=51903183

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013189481A Active JP6159627B2 (en) 2013-03-22 2013-09-12 Resin composition, resin film and multilayer substrate

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6159627B2 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018525773A (en) * 2015-06-09 2018-09-06 エルジー・ケム・リミテッド Organic electronic equipment
US10647890B2 (en) 2015-06-09 2020-05-12 Lg Chem, Ltd. Adhesive composition, adhesive film comprising same, and organic electronic device comprising same

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011256300A (en) * 2010-06-10 2011-12-22 Ajinomoto Co Inc Resin composition
JP2012207066A (en) * 2011-03-29 2012-10-25 Sekisui Chem Co Ltd Thermosetting resin material, and multilayer board
JP2013032417A (en) * 2011-08-01 2013-02-14 Sekisui Chem Co Ltd Thermosetting resin material and multilayer board

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011256300A (en) * 2010-06-10 2011-12-22 Ajinomoto Co Inc Resin composition
JP2012207066A (en) * 2011-03-29 2012-10-25 Sekisui Chem Co Ltd Thermosetting resin material, and multilayer board
JP2013032417A (en) * 2011-08-01 2013-02-14 Sekisui Chem Co Ltd Thermosetting resin material and multilayer board

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018525773A (en) * 2015-06-09 2018-09-06 エルジー・ケム・リミテッド Organic electronic equipment
US10647890B2 (en) 2015-06-09 2020-05-12 Lg Chem, Ltd. Adhesive composition, adhesive film comprising same, and organic electronic device comprising same
JP2021005567A (en) * 2015-06-09 2021-01-14 エルジー・ケム・リミテッド Organic electronic device

Also Published As

Publication number Publication date
JP6159627B2 (en) 2017-07-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4938910B1 (en) Precured material, roughened precured material and laminate
JP5629407B2 (en) Insulating resin material and multilayer substrate
JP2020023714A (en) Resin material and multilayer printed board
JP6931542B2 (en) Cured resin composition, resin composition and multilayer substrate
JP6993324B2 (en) Resin material, laminated film and multilayer printed wiring board
JP6408847B2 (en) Resin composition
JP6389782B2 (en) Multilayer insulating film, method for manufacturing multilayer substrate, and multilayer substrate
JP2013040298A (en) Epoxy resin material and multilayer board
JP2024009109A (en) Resin material and multilayer printed wiring board
JP2012211269A (en) Precured product, roughened precured product and laminate
JP5799174B2 (en) Insulating resin film, pre-cured product, laminate and multilayer substrate
JP5752071B2 (en) B-stage film and multilayer substrate
JP6159627B2 (en) Resin composition, resin film and multilayer substrate
WO2016047682A1 (en) Resin film and laminated film
JP6867131B2 (en) Laminated body and manufacturing method of laminated body
JP2019006980A (en) Resin composition for insulation film, insulation film, and multilayer printed board
JP2014062150A (en) Insulating resin film, production method of insulating resin film, preliminarily cured product, laminate, and multilayer substrate
JP7027382B2 (en) Resin film and multi-layer printed wiring board
JP7112438B2 (en) Cured body, B stage film and multilayer printed wiring board
JP6559520B2 (en) Resin composition, resin film, laminated film and multilayer substrate
JP5838009B2 (en) LAMINATE, METHOD FOR PRODUCING LAMINATE, AND MULTILAYER SUBSTRATE
JP2020111695A (en) Resin material and multilayer printed wiring board
JPWO2019117261A1 (en) Combined members for laminated films and printed wiring boards
JP2019112557A (en) Resin material and multilayer printed board
JP2012153808A (en) Epoxy resin material and multilayer board

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20160512

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20170202

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20170207

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20170410

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20170516

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20170612

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 6159627

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250