JP2014207447A - ハイブリッドメタモルフィックバッファ層を備える光電気デバイス - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 330
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 claims description 50
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 43
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 39
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 32
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 45
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 23
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 21
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 19
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 9
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 description 6
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 6
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 5
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 4
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000000927 vapour-phase epitaxy Methods 0.000 description 3
- XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N Phosphine Chemical compound P XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- -1 SiGeSn Inorganic materials 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 238000004943 liquid phase epitaxy Methods 0.000 description 2
- 238000001741 metal-organic molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 2
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- 229910052984 zinc sulfide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017115 AlSb Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000980 Aluminium gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004613 CdTe Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910005542 GaSb Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000530 Gallium indium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910005898 GeSn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000673 Indium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 241000764773 Inna Species 0.000 description 1
- 229910020328 SiSn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000577 Silicon-germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910007709 ZnTe Inorganic materials 0.000 description 1
- RBFQJDQYXXHULB-UHFFFAOYSA-N arsane Chemical compound [AsH3] RBFQJDQYXXHULB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- UHYPYGJEEGLRJD-UHFFFAOYSA-N cadmium(2+);selenium(2-) Chemical compound [Se-2].[Cd+2] UHYPYGJEEGLRJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- HQWPLXHWEZZGKY-UHFFFAOYSA-N diethylzinc Chemical compound CC[Zn]CC HQWPLXHWEZZGKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PZPGRFITIJYNEJ-UHFFFAOYSA-N disilane Chemical compound [SiH3][SiH3] PZPGRFITIJYNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- WPYVAWXEWQSOGY-UHFFFAOYSA-N indium antimonide Chemical compound [Sb]#[In] WPYVAWXEWQSOGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RPQDHPTXJYYUPQ-UHFFFAOYSA-N indium arsenide Chemical compound [In]#[As] RPQDHPTXJYYUPQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052809 inorganic oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 238000004518 low pressure chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 229910000073 phosphorus hydride Inorganic materials 0.000 description 1
- SPVXKVOXSXTJOY-UHFFFAOYSA-N selane Chemical compound [SeH2] SPVXKVOXSXTJOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000058 selane Inorganic materials 0.000 description 1
- SBIBMFFZSBJNJF-UHFFFAOYSA-N selenium;zinc Chemical compound [Se]=[Zn] SBIBMFFZSBJNJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- WGPCGCOKHWGKJJ-UHFFFAOYSA-N sulfanylidenezinc Chemical compound [Zn]=S WGPCGCOKHWGKJJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 1
- VOITXYVAKOUIBA-UHFFFAOYSA-N triethylaluminium Chemical compound CC[Al](CC)CC VOITXYVAKOUIBA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RGGPNXQUMRMPRA-UHFFFAOYSA-N triethylgallium Chemical compound CC[Ga](CC)CC RGGPNXQUMRMPRA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OTRPZROOJRIMKW-UHFFFAOYSA-N triethylindigane Chemical compound CC[In](CC)CC OTRPZROOJRIMKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N trimethylaluminium Chemical compound C[Al](C)C JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N trimethylgallium Chemical compound C[Ga](C)C XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IBEFSUTVZWZJEL-UHFFFAOYSA-N trimethylindium Chemical compound C[In](C)C IBEFSUTVZWZJEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/04—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
- H01L31/06—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by potential barriers
- H01L31/068—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by potential barriers the potential barriers being only of the PN homojunction type, e.g. bulk silicon PN homojunction solar cells or thin film polycrystalline silicon PN homojunction solar cells
- H01L31/0687—Multiple junction or tandem solar cells
- H01L31/06875—Multiple junction or tandem solar cells inverted grown metamorphic [IMM] multiple junction solar cells, e.g. III-V compounds inverted metamorphic multi-junction cells
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- H—ELECTRICITY
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/0248—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies
- H01L31/0256—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by the material
- H01L31/0264—Inorganic materials
- H01L31/0304—Inorganic materials including, apart from doping materials or other impurities, only AIIIBV compounds
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- H—ELECTRICITY
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- H01L31/0248—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies
- H01L31/036—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by their crystalline structure or particular orientation of the crystalline planes
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Abstract
Description
一態様として、半導体構造を本明細書で説明する。いくつかの実装形態では、本明細書に記載の半導体構造は、第1のバンドギャップおよび第1の格子定数を有する第1の半導体層と、第2のバンドギャップおよび第2の格子定数を有する第2の半導体層とを備える。第2の格子定数は第1の格子定数より小さい。また、いくつかの事例では、第1のバンドギャップと第2のバンドギャップは異なる。例えば、いくつかの事例では、第2のバンドギャップが第1のバンドギャップよりも大きい。
P段階が、InP段階である。さらに、いくつかの事例では、本明細書に記載のバッファ層の第1の部分に存在する最も小さい格子定数が、InPの格子定数より小さいかまたはInPの格子定数と等しい。
Eg((1−x))=0.413(1−x)2−1.469(1−x)+1.415 (1)
別の態様として、光電子デバイスを本明細書で説明する。いくつかの実装形態では、本明細書に記載の光電子デバイスは、第1の半導体層を備える第1のサブセルと、第2の半導体層を備える第2のサブセルと、第1の半導体層と第2の半導体層の間に配設された透明メタモルフィックバッファ層とを備える。これらの第1の半導体層、第2の半導体層、およびバッファ層には、節Iで前述した任意の第1の半導体層、第2の半導体層、およびバッファ層を含むことができる。したがって、いくつかの実装形態では、本明細書に記載の光電子デバイスは、節Iで前述した半導体構造を備えるまたは組み込むことができる。任意のそのような半導体構造が使用され得る。
別の態様として、光電子デバイスを作製する方法を本明細書で説明する。本明細書に記載の方法は、節IIで前述した任意の光電子デバイスを形成するために使用することができる。いくつかの実装形態では、本明細書に記載の光電子デバイスを作製する方法は、基板を用意することと、第1の半導体層を備える第1のサブセルを基板の上方に配設することと、第2の半導体層を備える第2のサブセルを基板の上方に配設することと、透明メタモルフィックバッファ層を第1の半導体層と第2の半導体層の間に配設することとを含む。第1の半導体層は、第1のバンドギャップおよび第1の格子定数を有する。第2の半導体層は、第2のバンドギャップおよび第2の格子定数を有し、第2の格子定数は第1の格子定数より小さい。さらに、第1のサブセルは第2のサブセルの上方に積層されており、基板から第2のサブセルよりも基板から第1のサブセルが遠くに配置される。透明メタモルフィックバッファは、一定または実質的に一定のバンドギャップ、および変動格子定数を有し、変動格子定数は、第1の半導体層に隣接して第1の格子定数と整合され、第2の半導体層に隣接して第2の格子定数と整合される。さらに、バッファ層は、AlyGaZIn(1−y−z)Asを含むまたはAlyGaZIn(1−y−z)Asから成る第1の部分、およびGaxIn(1−x)Pを含むまたはGaxIn(1−x)Pから成る第2の部分を備える。いくつかの実装形態では、xを0とし、かつ/または(y+z)を1とすることができる。他の例では、xはゼロ以外であり、かつ/または(y+z)は1未満である。第1の部分は、第1の半導体層に隣接し、バッファ層の全厚の約2パーセントから約50パーセントを形成し、第2の部分は、第2の半導体層に隣接し、バッファ層の全厚の約50パーセントから約98パーセントを形成する。
1100 第1のサブセル
1110 第1の半導体層
1111 ベース部
1112 エミッタ部
1200 第2のサブセル
1210 第2の半導体層
1211 p型ベース部
1212 n型エミッタ部
1300 透明メタモルフィックバッファ層
1310 第1の部分
1311 組成傾斜段階
1312 組成傾斜段階
1313 組成傾斜段階
1314 組成傾斜段階
1320 第2の部分
1321 組成傾斜段階
1322 組成傾斜段階
1323 組成傾斜段階
1324 組成傾斜段階
1330 材料切替え界面
1400 第3のサブセル
1410 第3の半導体層
1411 p型ベース部
1412 n型エミッタ部
1500 第2の透明メタモルフィックバッファ層
1600 第4のサブセル
1610 第4の半導体層
1611 p型ベース部
1612 n型エミッタ部
Claims (10)
- 第1のバンドギャップおよび第1の格子定数を有する第1の半導体層と、
第2のバンドギャップおよび第2の格子定数を有する第2の半導体層であって、前記第2の格子定数は前記第1の格子定数より小さい、第2の半導体層と、
前記第1の半導体層と前記第2の半導体層の間に配設された透明メタモルフィックバッファ層であって、一定または実質的に一定のバンドギャップ、および変動格子定数を有し、前記変動格子定数は、前記第1の半導体層に隣接して前記第1の格子定数と整合され、前記第2の半導体層に隣接して前記第2の格子定数と整合される、透明メタモルフィックバッファ層と
を備える半導体構造であって、
前記バッファ層は、AlyGaZIn(1−y−z)Asを含む第1の部分、およびGaxIn(1−x)Pを含む第2の部分を備え、前記第1の部分は、前記第1の半導体層に隣接し、前記バッファ層の全厚の約2パーセントから約50パーセントを形成し、前記第2の部分は、前記第2の半導体層に隣接し、前記バッファ層の全厚の約50パーセントから約98パーセントを形成する、半導体構造。 - 前記バッファ層の前記第1の部分のIn含有量は、前記第2の半導体層から前記第1の半導体層に向かって増加する、請求項1に記載の構造。
- 前記バッファ層の前記第1の部分は、AlyGaZIn(1−y−z)Asを含む複数の組成傾斜段階を備え、前記バッファ層の前記第2の部分は、GaxIn(1−x)Pを含む複数の組成傾斜段階を備え、前記複数のAlyGaZIn(1−y−z)As段階のうちの1つは、前記複数のGaxIn(1−x)P段階のうちの1つと直接隣接し、前記直接隣接するAlyGaZIn(1−y−z)As段階およびGaxIn(1−x)P段階は、同じ格子定数を有する、請求項1に記載の構造。
- 第3のバンドギャップおよび第3の格子定数を有する第3の半導体層であって、前記第3の格子定数は前記第2の格子定数より小さい、第3の半導体層と、
前記第2の半導体層と前記第3の半導体層の間に配設された第2の透明メタモルフィックバッファ層であって、一定または実質的に一定のバンドギャップ、および変動格子定数を有し、前記変動格子定数は、前記第2の半導体層に隣接して前記第2の格子定数と整合され、前記第3の半導体層に隣接して前記第3の格子定数と整合される、第2の透明メタモルフィックバッファ層と
をさらに備える、請求項1に記載の構造。 - 第1のバンドギャップおよび第1の格子定数を有する第1の半導体層を備える第1のサブセルと、
第2のバンドギャップおよび第2の格子定数を有する第2の半導体層を備える第2のサブセルであって、前記第2の格子定数は前記第1の格子定数より小さい、第2のサブセルと、
前記第1の半導体層と前記第2の半導体層の間に配設された透明メタモルフィックバッファ層であって、一定または実質的に一定のバンドギャップ、および変動格子定数を有し、前記変動格子定数は、前記第1の半導体層に隣接して前記第1の格子定数と整合され、前記第2の半導体層に隣接して前記第2の格子定数と整合される、透明メタモルフィックバッファ層と
を備える、光電子デバイスであって、
前記バッファ層は、AlyGaZIn(1−y−z)Asを含む第1の部分、およびGaxIn(1−x)Pを含む第2の部分を備え、前記第1の部分は、前記第1の半導体層に隣接し、前記バッファ層の全厚の約2パーセントから約50パーセントを形成し、前記第2の部分は、前記第2の半導体層に隣接し、前記バッファ層の全厚の約50パーセントから約98パーセントを形成する、光電子デバイス。 - 前記バッファ層の前記第1の部分のIn含有量およびAl含有量はともに、前記第2の半導体層から前記第1の半導体層に向かって増加し、前記第1の部分のバンドギャップは、一定または実質的に一定である、請求項5に記載のデバイス。
- 前記バッファ層の前記第1の部分は、AlyGaZIn(1−y−z)Asを含む複数の組成傾斜段階を備え、前記バッファ層の前記第2の部分は、GaxIn(1−x)Pを含む複数の組成傾斜段階を備え、前記複数のAlyGaZIn(1−y−z)As段階のうちの1つは、前記複数のGaxIn(1−x)P段階のうちの1つと直接隣接し、前記直接隣接するAlyGaZIn(1−y−z)As段階およびGaxIn(1−x)P段階は、同じ格子定数を有する、請求項5に記載のデバイス。
- 第3のバンドギャップおよび第3の格子定数を有する第3の半導体層を備える第3のサブセルであって、前記第3の格子定数は前記第2の格子定数より小さい、第3のサブセルと、
前記第2の半導体層と前記第3の半導体層の間に配設された第2の透明メタモルフィックバッファ層であって、一定または実質的に一定のバンドギャップ、および変動格子定数を有し、前記変動格子定数は、前記第2の半導体層に隣接して前記第2の格子定数と整合され、前記第3の半導体層に隣接して前記第3の格子定数と整合される、第2の透明メタモルフィックバッファ層と
をさらに備える、請求項5に記載のデバイス。 - 光電子デバイスを作製する方法であって、
基板を用意することと、
第1のバンドギャップおよび第1の格子定数を有する第1の半導体層を備える第1のサブセルを、前記基板の上方に配設することと、
第2のバンドギャップおよび第2の格子定数を有する第2の半導体層を備える第2のサブセルであって、前記第2の格子定数は前記第1の格子定数より小さく、前記第1のサブセルは前記第2のサブセルの上方に積層され、前記基板から前記第2のサブセルよりも前記基板から前記第1のサブセルが遠くに配置される、第2のサブセルを、前記基板の上方に配設することと、
一定または実質的に一定のバンドギャップ、および変動格子定数を有する透明メタモルフィックバッファ層であって、前記変動格子定数は、前記第1の半導体層に隣接して前記第1の格子定数と整合され、前記第2の半導体層に隣接して前記第2の格子定数と整合される、透明メタモルフィックバッファ層を、前記第1の半導体層と前記第2の半導体層の間に配設することと
を含み、
前記バッファ層は、AlyGaZIn(1−y−z)Asを含む第1の部分、およびGaxIn(1−x)Pを含む第2の部分を備え、前記第1の部分は、前記第1の半導体層に隣接し、前記バッファ層の全厚の約2パーセントから約50パーセントを形成し、前記第2の部分は、前記第2の半導体層に隣接し、前記バッファ層の全厚の約50パーセントから約98パーセントを形成する、方法。 - 第3のバンドギャップおよび第3の格子定数を有する第3の半導体層を備える第3のサブセルであって、前記第3の格子定数は前記第2の格子定数より小さい、第3のサブセルを、前記基板の上方かつ前記第2のサブセルの下方に配設することと、
一定または実質的に一定のバンドギャップ、および変動格子定数を有する第2の透明メタモルフィックバッファ層であって、前記変動格子定数は、前記第2の半導体層に隣接して前記第2の格子定数と整合され、前記第3の半導体層に隣接して前記第3の格子定数と整合される、第2の透明メタモルフィックバッファ層を、前記第2の半導体層と前記第3の半導体層の間に配設することと
をさらに含む、請求項9に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US13/860,400 | 2013-04-10 | ||
US13/860,400 US9559237B2 (en) | 2013-04-10 | 2013-04-10 | Optoelectric devices comprising hybrid metamorphic buffer layers |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014207447A true JP2014207447A (ja) | 2014-10-30 |
JP6324791B2 JP6324791B2 (ja) | 2018-05-16 |
Family
ID=50478152
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014079367A Active JP6324791B2 (ja) | 2013-04-10 | 2014-04-08 | ハイブリッドメタモルフィックバッファ層を備える光電気デバイス |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US9559237B2 (ja) |
EP (1) | EP2790234B1 (ja) |
JP (1) | JP6324791B2 (ja) |
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EP2947702B1 (de) * | 2014-05-21 | 2019-03-20 | AZUR SPACE Solar Power GmbH | Solarzellenstapel |
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-
2013
- 2013-04-10 US US13/860,400 patent/US9559237B2/en active Active
-
2014
- 2014-03-11 EP EP14158940.8A patent/EP2790234B1/en active Active
- 2014-04-08 JP JP2014079367A patent/JP6324791B2/ja active Active
-
2016
- 2016-12-14 US US15/379,141 patent/US10847667B2/en active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20140305498A1 (en) | 2014-10-16 |
EP2790234B1 (en) | 2020-12-30 |
US9559237B2 (en) | 2017-01-31 |
JP6324791B2 (ja) | 2018-05-16 |
US20170092798A1 (en) | 2017-03-30 |
EP2790234A1 (en) | 2014-10-15 |
US10847667B2 (en) | 2020-11-24 |
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Legal Events
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---|---|---|---|
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|
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|
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R250 | Receipt of annual fees |
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|
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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