JP2014205107A - Ultrasonic cleaning apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、被洗浄物の洗浄を超音波を用いて行う超音波洗浄装置に関し、特に、各種の超音波洗浄ツールを容易に交換することができ、超音波洗浄ツールに対応した振動周波数、パワー等が自動設定され、更に、洗浄に必要な諸条件の確認を行うことが可能な超音波洗浄装置に関する。 The present invention relates to an ultrasonic cleaning apparatus that cleans an object to be cleaned using ultrasonic waves, and in particular, various ultrasonic cleaning tools can be easily replaced, and vibration frequency and power corresponding to the ultrasonic cleaning tool can be easily replaced. The present invention also relates to an ultrasonic cleaning apparatus that can automatically check various conditions necessary for cleaning.
従来、洗浄液を蓄えた洗浄槽に被洗浄物を浸漬して、洗浄槽の底部に設けられた超音波振動子を振動させて洗浄が行われている。また、サイズの大きい被洗浄物では洗浄槽に浸漬できないため、これらの被洗浄物に対して、洗浄液を噴射するハンディ型の超音波洗浄ツールが用いられている。ハンディ型の超音波洗浄ツールは、被洗浄物の特性、材質等により、例えば、半導体ウェハ等では、ゴミの再付着を防止するために使用されている。 2. Description of the Related Art Conventionally, cleaning is performed by immersing an object to be cleaned in a cleaning tank storing a cleaning liquid and vibrating an ultrasonic vibrator provided at the bottom of the cleaning tank. In addition, since a large-sized object to be cleaned cannot be immersed in a cleaning tank, a handy type ultrasonic cleaning tool that jets a cleaning liquid is used for these objects to be cleaned. The hand-held type ultrasonic cleaning tool is used for preventing reattachment of dust on a semiconductor wafer, for example, depending on the characteristics and material of the object to be cleaned.
このように、被洗浄物毎に使用する超音波振動子等の形態が異なり、超音波振動子毎に発振器を準備したり、発振器の内部調整を行っていた。このため、超音波振動子毎の発振器の準備にコストが嵩み、また、超音波振動子毎に発振器の内部調整が必要となるため、作業効率が悪かった。 As described above, the form of the ultrasonic vibrator used for each object to be cleaned is different, and an oscillator is prepared for each ultrasonic vibrator or internal adjustment of the oscillator is performed. For this reason, the cost for preparation of the oscillator for each ultrasonic transducer is high, and internal adjustment of the oscillator is required for each ultrasonic transducer, so that the work efficiency is poor.
このため、特許文献1には、発振器本体の内部の調整又は発振器本体を交換することなく、同一周波数の振動子又は異なる周波数の振動子に交換可能な超音波振動装置が開示されている。
For this reason,
特許文献1に開示された超音波振動装置では、同一周波数の振動子又は異なる周波数の振動子に対して出力トランス、コイルコンデンサを有する接続ユニットを交換することにより、発振器本体を交換することなく洗浄が可能となる。
In the ultrasonic vibration device disclosed in
しかしながら、ハンディ型の超音波洗浄ツール等においては、洗浄液を洗浄ツールに供給するため、洗浄液の管理も必要となる。例えば、洗浄開始前、洗浄中に洗浄液が不足すると空だきとなり、故障等の原因となる。また、被洗浄物が洗浄不良となり歩留まり等が低下する恐れがある。また、ハンディ型の超音波洗浄ツールを用いた超音波洗浄装置においては、可搬性が重要であり、商用電源を使用することなしに、バッテリで使用できることが求められている。 However, in a hand-held ultrasonic cleaning tool or the like, since the cleaning liquid is supplied to the cleaning tool, it is necessary to manage the cleaning liquid. For example, before the start of cleaning, if the cleaning liquid is insufficient during cleaning, it becomes empty and may cause a failure. In addition, the object to be cleaned may be poorly cleaned and the yield may be reduced. Further, in an ultrasonic cleaning apparatus using a handy type ultrasonic cleaning tool, portability is important, and it is required to be usable with a battery without using a commercial power source.
そこで、本発明はこれらの課題を解決すべく、各種の超音波洗浄ツールを容易に交換することができ、交換した超音波洗浄ツールに対応した振動周波数、パワー等が自動設定され、更に、洗浄に必要な諸条件の確認を行うことが可能な超音波洗浄装置を提供することを目的とするものである。 Therefore, in order to solve these problems, the present invention can easily replace various ultrasonic cleaning tools, and vibration frequency, power, etc. corresponding to the replaced ultrasonic cleaning tool are automatically set. An object of the present invention is to provide an ultrasonic cleaning apparatus capable of confirming various conditions necessary for the above.
上記目的達成のため、本発明の超音波洗浄装置は、超音波振動子を有する超音波洗浄ツールと、該超音波洗浄ツールの超音波振動子を振動させる発振器とを有し、交換可能に複数種の超音波洗浄ツールを備えた超音波洗浄装置であって、各超音波洗浄ツールに関するデータを記憶した記憶媒体と、該記憶媒体のデータを読み出して前記超音波洗浄ツールの種別を認識するとともに、超音波洗浄ツールの種別に応じて、洗浄に必要な条件に関する前記超音波洗浄装置の現在の状況に照らし合わせて、洗浄動作可能状態であるかを判定し、該判定結果を出力する制御部とを備えたことを特徴とする。 In order to achieve the above object, an ultrasonic cleaning apparatus of the present invention includes an ultrasonic cleaning tool having an ultrasonic vibrator and an oscillator that vibrates the ultrasonic vibrator of the ultrasonic cleaning tool. An ultrasonic cleaning apparatus including various types of ultrasonic cleaning tools, a storage medium storing data regarding each ultrasonic cleaning tool, and reading the data of the storage medium to recognize the type of the ultrasonic cleaning tool In accordance with the type of the ultrasonic cleaning tool, a control unit that determines whether or not the cleaning operation is possible in light of the current state of the ultrasonic cleaning device regarding the conditions necessary for cleaning, and outputs the determination result It is characterized by comprising.
また、本発明の超音波洗浄装置における前記制御部は、前記判定結果に基づいて、更に、洗浄動作可能状態での洗浄可能な時間、又は洗浄動作不可でのアラームの要因を出力することを特徴とする。 Further, the control unit in the ultrasonic cleaning apparatus of the present invention further outputs, based on the determination result, a cleaning possible time in a cleaning operation enabled state or an alarm factor when the cleaning operation is disabled. And
また、本発明の超音波洗浄装置における前記記憶媒体は、当該超音波洗浄ツールに関する超音波振動子の振動周波数、許容入力電力のデータを記憶していることを特徴とする。 Further, the storage medium in the ultrasonic cleaning apparatus of the present invention stores vibration frequency and allowable input power data of the ultrasonic vibrator related to the ultrasonic cleaning tool.
また、本発明の超音波洗浄装置における前記超音波洗浄ツールは、洗浄液を噴射する構成を成し、前記記憶媒体は、噴射する洗浄液の単位時間当たりの流量に関するデータを記憶していることを特徴とする。 Further, the ultrasonic cleaning tool in the ultrasonic cleaning apparatus of the present invention is configured to eject a cleaning liquid, and the storage medium stores data relating to a flow rate per unit time of the cleaning liquid to be sprayed. And
また、本発明の超音波洗浄装置は、洗浄液を貯蔵するタンクを有し、前記タンク内に液面センサを備え、前記記憶媒体から噴射する洗浄液の単位時間当たりの流量に関するデータを読み出し、前記タンク内の前記液面センサからタンク内の洗浄液の残量を検出して、洗浄可能な時間を表示するようにしたことを特徴とする。 The ultrasonic cleaning apparatus according to the present invention further includes a tank for storing a cleaning liquid. The ultrasonic cleaning apparatus includes a liquid level sensor in the tank, and reads data relating to a flow rate per unit time of the cleaning liquid sprayed from the storage medium. The remaining amount of the cleaning liquid in the tank is detected from the liquid level sensor in the inside, and the cleaning possible time is displayed.
また、本発明の超音波洗浄装置は、前記超音波洗浄ツールとタンク間に流量計を有し、洗浄中に該流量計から単位時間当たりに使用する洗浄液を検出し、タンク内の液面センサからタンク内の洗浄液の残量を検出して、可能な洗浄時間を算出するようにしたことを特徴とする。 The ultrasonic cleaning apparatus of the present invention has a flow meter between the ultrasonic cleaning tool and the tank, detects a cleaning liquid used per unit time from the flow meter during cleaning, and a liquid level sensor in the tank The remaining amount of the cleaning liquid in the tank is detected and the possible cleaning time is calculated.
また、本発明の超音波洗浄装置は、充電可能なバッテリを有し、前記記憶媒体は、超音波洗浄装置が消費する電力を記憶しており、洗浄開始前にバッテリの残量をチェックし、バッテリの残量から可能な洗浄時間を算出するようにしたことを特徴とする。 Further, the ultrasonic cleaning apparatus of the present invention has a rechargeable battery, the storage medium stores the power consumed by the ultrasonic cleaning apparatus, checks the remaining amount of the battery before starting cleaning, A possible cleaning time is calculated from the remaining amount of the battery.
本発明によれば、超音波洗浄装置は、発振器が読み出し可能な超音波洗浄ツールに関するデータを記憶したメモリを有し、発振器は読み出したデータから超音波洗浄ツールの種別を認識し、電力源、洗浄液量等の超音波洗浄ツールの種別に応じた洗浄に必要な諸条件に関する現在の状況に照らし合わせて、洗浄動作可能状態であるかを判定し、判定結果に基づいて、洗浄動作可能の表示又は洗浄動作不可のアラームを出力するようにしたことにより、常に適切な洗浄を行うことができ、洗浄不良等を防止することができる。 According to the present invention, the ultrasonic cleaning apparatus has a memory that stores data related to an ultrasonic cleaning tool that can be read by the oscillator, the oscillator recognizes the type of the ultrasonic cleaning tool from the read data, In accordance with the current conditions regarding the conditions necessary for cleaning, such as the amount of cleaning liquid, according to the type of ultrasonic cleaning tool, determine whether the cleaning operation is possible, and display the cleaning operation based on the determination result. Alternatively, since an alarm indicating that the cleaning operation is not possible is output, appropriate cleaning can always be performed, and defective cleaning or the like can be prevented.
また、メモリのデータを発振器が読み出して、読み出したデータに基づいて発振器を制御するため、発振器の調整等が不要で有り、利便性に優れており、作業効率がよい。 Further, since the oscillator reads the data in the memory and controls the oscillator based on the read data, adjustment of the oscillator or the like is unnecessary, which is excellent in convenience and has high working efficiency.
また、洗浄液を噴射するハンディ型の超音波洗浄ツールを用いた超音波洗浄装置においては、洗浄液用タンクを備え、メモリに超音波洗浄ツールが使用する流量を記憶し、洗浄液用タンクに液面センサを設けたことにより、洗浄開始前に洗浄液用タンクの洗浄液の量を確認することができ、これにより洗浄可能な時間を知ることができる。また、洗浄液用タンクの洗浄液の量が少ないときには、洗浄動作不可のアラームを出力するため、空焚きを防止することができる。 In addition, an ultrasonic cleaning device using a hand-held ultrasonic cleaning tool that injects cleaning liquid is equipped with a tank for cleaning liquid, the flow rate used by the ultrasonic cleaning tool is stored in the memory, and the liquid level sensor is stored in the tank for cleaning liquid. By providing this, the amount of the cleaning liquid in the cleaning liquid tank can be confirmed before the start of cleaning, and thereby the time available for cleaning can be known. Further, when the amount of the cleaning liquid in the cleaning liquid tank is small, an alarm indicating that the cleaning operation is not possible is output, so that emptying can be prevented.
また、本発明の超音波洗浄装置は、洗浄液用のタンク及びバッテリを備えたことにより、用力がないところでの洗浄作業が可能となる。また、可搬性に優れ、洗浄する場所が制限されない。 In addition, the ultrasonic cleaning apparatus of the present invention includes a cleaning liquid tank and a battery, so that a cleaning operation can be performed where there is no utility. Moreover, it is excellent in portability and the place to wash is not limited.
また、超音波洗浄装置のタンクに洗浄液供給用の用力が接続されているときには、液面センサからの信号をチェックしてタンクへ自動的に給水を行なう自動給水機能が可能となる。 Further, when the cleaning liquid supply utility is connected to the tank of the ultrasonic cleaning apparatus, an automatic water supply function of checking the signal from the liquid level sensor and automatically supplying water to the tank becomes possible.
以下、図面を参照して、本発明による超音波洗浄装置を実施するための形態について説明する。尚、本発明による超音波洗浄装置は、発振器によって超音波洗浄ツールの超音波振動子を超音波振動させて、洗浄液に超音波振動を付与して被洗浄物を洗浄する装置であり、各種の超音波洗浄ツールを容易に交換することができ、超音波洗浄ツールに対応した振動周波数、パワー等が自動設定され、更に、洗浄に必要な諸条件の確認を洗浄開始前に行うようにしたものである。 Hereinafter, an embodiment for carrying out an ultrasonic cleaning apparatus according to the present invention will be described with reference to the drawings. The ultrasonic cleaning apparatus according to the present invention is an apparatus for cleaning an object to be cleaned by ultrasonically vibrating an ultrasonic vibrator of an ultrasonic cleaning tool with an oscillator and applying ultrasonic vibration to a cleaning liquid. The ultrasonic cleaning tool can be easily replaced, vibration frequency, power, etc. corresponding to the ultrasonic cleaning tool are automatically set, and various conditions necessary for cleaning are checked before starting cleaning. It is.
[第1の実施形態]
図1は、本発明による第1の実施形態における超音波洗浄装置の構成を示すブロック図である。図1に示すように、超音波洗浄装置1は、超音波洗浄装置本体2と超音波洗浄ツール8と接続ボックス6とから構成されている。超音波洗浄装置本体2は、発振器3、電源部20、洗浄液タンク25及びコントロールユニット5を有している。発振器3は、超音波洗浄ツール8に超音波振動を発生するための高周波電力を印加するものであり、各種の超音波洗浄ツール8に応じて高周波電力の周波数、パワーを出力するように構成されている。
[First Embodiment]
FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of the ultrasonic cleaning apparatus according to the first embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the
超音波洗浄ツール8は、図3で後述するように、各種のものがあり、被洗浄物の大きさ、特性、材質等によって使い分けられる。例えば、図3に示すスポットシャワー型の超音波洗浄ツール8は、超音波振動子を内蔵し、先端部に取り付けられたノズルから超音波を付与した洗浄液をノズルの先端から噴射して被洗浄物を洗浄するものである。超音波洗浄ツール8には、洗浄液タンク25から洗浄液が供給される。
As will be described later with reference to FIG. 3, there are various types of
接続ボックス6は、超音波洗浄ツール8毎に設けられており、発振器3の出力回路(図示せず)からのパワーを超音波洗浄ツール8に対応した出力に調整する出力調整回路(図示せず)を有している。また、接続ボックス6は、記憶媒体(メモリ)7を内蔵しており、メモリ7は、超音波洗浄ツール8の認識番号(ID)、超音波洗浄ツール8を駆動する周波数、超音波洗浄ツール8の許容入力パワー値、使用する洗浄液の流量等を記憶している。尚、記憶媒体(メモリ)7は、接続ボックス6に限らず、例えば、発振器3又はコントロールユニット5に取り出し可能に設けるようにしてもよい。
The
発振器3は、発振する周波数を可変することが可能な周波数発振回路(図示せず)と、周波数発振回路からの高周波信号を変調する信号変調回路(図示せず)と、信号変調回路で変調された高周波信号を出力回路に出力するドライバ(図示せず)と、ドライバからの高周波信号を電力増幅して接続ボックス6の出力調整回路に出力する出力回路(図示せず)と、各回路の制御を行う制御回路4とを有している。尚、出力回路は、電力増幅の大きさ(パワー)を可変することができるように構成されている。発振器3の制御回路4は、接続ボックス6に備えられたメモリ7に内蔵されたメモリ7のデータを読み出して、読み出したデータから超音波洗浄ツール8を特定し、超音波洗浄ツール8に応じた高周波電力の周波数を周波数発振回路に設定し、超音波洗浄ツール8を駆動するパワーを出力回路に設定する。
The
コントロールユニット5は、超音波洗浄装置1の制御を行うものであり、CPU、メモリ等から成るマイクロコンピュータで構成されている。また、コントロールユニット5は、洗浄可能時間、警報等を表示するための表示部(図示せず)を有している。コントロールユニット5は、洗浄を行うための洗浄液の残量等をチェックして洗浄動作の制御を行うように構成されている。尚、発振器3の制御回路4及びコントロールユニット5を総称して、制御部と称する。
The
電源部20は、発振器3、コントロールユニット5、ポンプ29等に電源を供給するものであり、変換器21及びバッテリ22を有している。電源の供給は、変換器21を介して行われる。変換器21には、電力源としてAC電源34とバッテリ22とを接続することができるようになっており、変換器21は、用力32としてのAC電源34が入力されているときには、AC電源34から必要な電源を供給する。また、変換器21は、AC電源34によってバッテリ22を充電するように制御する。バッテリ22は、AC電源34が確保できない場所での超音波洗浄装置1に電源を供給するものであり、バッテリ22から変換器21を介して超音波洗浄装置1に電源が供給される。尚、用力とは、超音波洗浄装置1に外部から供給する電力、洗浄液をいう。
The
また、変換器21はバッテリ残量メータを内蔵しており、コントロールユニット5からバッテリ22の供給可能な電力を読み出すことができるようになっている。更に、変換器21は、出力している電力がAC電源34からの供給か、バッテリ22からの供給かを、コントロールユニット5に出力するようになっている。
Further, the
洗浄液タンク25は、洗浄液を貯蔵するものであり、洗浄時にポンプ29により洗浄液が超音波洗浄ツール8に供給される。尚、超音波洗浄装置1は、用力32としての洗浄液を貯蔵した外部洗浄液貯蔵タンク33に接続することにより、外部洗浄液貯蔵タンク33に貯蔵された洗浄液を使用することができ、長時間の洗浄が可能となる。外部洗浄液貯蔵タンク33からの洗浄液タンク25への洗浄液の供給は、コントロールユニット5で制御可能なバルブ28を介して行われる。
The cleaning
ポンプ29には、洗浄液タンク25及び外部洗浄液貯蔵タンク33からの配管が接続されており、ポンプ29から洗浄液タンク25又は外部洗浄液貯蔵タンク33からのいずれかの洗浄液が超音波洗浄ツール8に供給される。
Pipes from the cleaning
また、洗浄液タンク25には、液面センサが備えられており、コントロールユニット5は、液面センサから洗浄液タンク25の残量を知ることができる。また、超音波洗浄装置1の洗浄液タンク25に用力32としての洗浄液を貯蔵した外部洗浄液貯蔵タンク33が接続されているときには、液面センサからの信号をチェックして浄液タンク25へ自動的に給水を行なう自動給水機能も可能となる。
The cleaning
また、超音波洗浄ツール8に洗浄液を供給する配管上には、流量計27が設けられており、コントロールユニット5は、超音波洗浄ツール8に供給される洗浄液の流量を検出することができる。
Further, a
[第2の実施形態]
以上述べた超音波洗浄装置1は、超音波洗浄ツール8毎にメモリを備えた接続ボックス6を有しているが、接続ボックス6の出力調整回路を発振器52に内蔵した超音波洗浄装置について図2を用いて説明する。図2は、本発明による第2の実施形態における超音波洗浄装置の構成を示すブロック図である。尚、図1に示す超音波洗浄装置1の構成部分と同一のものに関しては、同一の符号を用い、構成に関する詳細な説明は省略する。
[Second Embodiment]
The
図2に示すように、超音波洗浄装置50は、超音波洗浄装置本体51と超音波洗浄ツール8とから構成されている。超音波洗浄装置本体51の発振器52は、複数の出力調整回路53を有しており、何れか1つの出力調整回路を選択できるように構成されている。例えば、第1出力調整回路53aはスポットシャワー用であり、第2出力調整回路53bはスリットシャワー用に割り当てるようにする。
As shown in FIG. 2, the ultrasonic cleaning device 50 includes an ultrasonic cleaning device main body 51 and an
発振器52は、発振する周波数を可変することが可能な周波数発振回路(図示せず)と、周波数発振回路からの高周波信号を変調する信号変調回路(図示せず)と、信号変調回路で変調された高周波信号を出力回路に出力するドライバ(図示せず)と、ドライバからの高周波信号を電力増幅して出力調整回路53に出力する出力回路(図示せず)と、各回路の制御を行う制御回路54とを有している。尚、出力回路は、電力増幅の大きさ(パワー)を可変することができるように構成されている。発振器52の制御回路54は、超音波洗浄ツール8に備えられたメモリ7に内蔵されたメモリ7のデータを読み出して、読み出したデータから超音波洗浄ツール8を特定し、超音波洗浄ツール8に応じた高周波電力の周波数を周波数発振回路に設定し、超音波洗浄ツール8を駆動するパワーを出力回路に設定する。また、超音波洗浄ツール8に適合した出力調整回路53を選択する。尚、発振器3の制御回路54及びコントロールユニット5を総称して、制御部と称する。
The oscillator 52 is modulated by a frequency oscillation circuit (not shown) capable of changing the oscillation frequency, a signal modulation circuit (not shown) that modulates a high-frequency signal from the frequency oscillation circuit, and a signal modulation circuit. A driver (not shown) for outputting the high-frequency signal to the output circuit, an output circuit (not shown) for amplifying the high-frequency signal from the driver and outputting it to the
また、超音波洗浄装置1の接続ボックス6に備えられたメモリ7は、超音波洗浄ツール8に設けるようにして、発振器52からメモリ7のデータを読み出させようにする。これにより、メモリ7に記憶された出力調整回路の番号から、該当する出力調整回路を選択することができる。尚、記憶媒体(メモリ)7は、超音波洗浄ツール8に限らず、例えば、発振器52又はコントロールユニット5に取り出し可能に設けるようにしてもよい。また、図1及び図2に示す超音波洗浄装置は、接続ボックス6または超音波洗浄ツール8に備えられたメモリ7のデータを制御部としてのコントロールユニット5により読み出すように構成してもよい。
The
このように、第2の実施形態に係る超音波洗浄装置50は、出力調整回路を発振器52に内蔵したことにより、出力調整回路を超音波洗浄ツール8毎に付属させる必要がないため、超音波洗浄装置50の取り扱いは容易となる。
As described above, since the ultrasonic cleaning apparatus 50 according to the second embodiment includes the output adjustment circuit in the oscillator 52, it is not necessary to attach the output adjustment circuit to each
また、図1及び図2に示す超音波洗浄装置は、コントロールユニット5と発振器とが分離した構成を示すものであるが、コントロールユニット5と発振器とを一体に構成して、コントロールユニット5の機能を発振器に備えるようにしてもよい。例えば、制御部としての発振器の制御回路は、記憶媒体のデータを読み出して超音波洗浄ツールの種別を認識し、超音波洗浄ツールの種別に応じて、洗浄に必要な条件を設定するようにする。
The ultrasonic cleaning apparatus shown in FIGS. 1 and 2 shows a configuration in which the
[各種の超音波洗浄ツールについて]
次に、各種の超音波洗浄ツールにおける流量、許容入力電力、洗浄可能時間等について図3を用いて説明する。図3は、各種の超音波洗浄ツールにおける流量、許容入力電力、洗浄可能時間等の一覧を示す表である。図3に示すように、超音波洗浄ツール8は、スポットシャワー、スリットシャワー、小型ラインシャワー、投げ込み振動子及びホーン振動子について示し、ぞれぞれの超音波洗浄ツール8における流量、電力、洗浄可能時間を示す。尚、超音波洗浄装置の洗浄液タンク25の容量は、40L(リットル)とする。
[Various ultrasonic cleaning tools]
Next, the flow rate, allowable input power, possible cleaning time, etc. in various ultrasonic cleaning tools will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a table showing a list of flow rates, allowable input power, possible cleaning time, and the like in various ultrasonic cleaning tools. As shown in FIG. 3, the
図3に示すスポットシャワーは、円筒状のケースを有しており、ケースの先端部にはノズルが取り付けられている。ケース内には、ノズルの後端部に対向して円板状の振動板を有する超音波振動子が配置されている。ケースの側面には洗浄液を供給するための給液口が形成されている。給液口から供給された洗浄液と超音波振動子から放射された超音波とをノズルの先端から噴射して、ノズルの前方に配置された被洗浄物を洗浄する。尚、スポットシャワーに関する詳細は、一例として、特許第3256198号公報に開示されている。 The spot shower shown in FIG. 3 has a cylindrical case, and a nozzle is attached to the tip of the case. In the case, an ultrasonic transducer having a disc-shaped diaphragm is arranged facing the rear end of the nozzle. A liquid supply port for supplying a cleaning liquid is formed on the side surface of the case. The cleaning liquid supplied from the liquid supply port and the ultrasonic wave radiated from the ultrasonic vibrator are ejected from the tip of the nozzle to clean the object to be cleaned arranged in front of the nozzle. In addition, the detail regarding a spot shower is disclosed by patent 3256198 as an example.
スポットシャワーは、図3に示すように洗浄中の洗浄液の流量は1.5L/min(分)であり、洗浄可能時間は、洗浄液タンクを使用したときには約20分である。また、発振器からスポットシャワーの超音波振動子への許容入力電力は、30W(ワット)である。 In the spot shower, as shown in FIG. 3, the flow rate of the cleaning liquid during cleaning is 1.5 L / min (minutes), and the possible cleaning time is about 20 minutes when the cleaning liquid tank is used. The allowable input power from the oscillator to the spot shower ultrasonic transducer is 30 W (watts).
図3に示すスリットシャワーは、ケースの底面外側には超音波振動子が固定されており、一方の側面の洗浄液供給口からは洗浄液がケース内に充満するように供給される。供給された洗浄液は、洗浄液噴出口から噴出される。また、反射板が超音波振動子と対向するようにケース内に配置されており、超音波振動子の面と反射板とは、洗浄液噴出口に近づくにつれて若干離れるように配置されている。これにより、超音波振動子と反射板との間で反射を繰り返して洗浄液噴出口に集束し、超音波は噴出する洗浄液と協働して、洗浄液噴出口下の被洗浄物に対する洗浄能力を高めるように作用する。尚、スリットシャワーに関する詳細は、一例として、特許第298970号公報に開示されている。 In the slit shower shown in FIG. 3, an ultrasonic vibrator is fixed to the outside of the bottom surface of the case, and the cleaning liquid is supplied from the cleaning liquid supply port on one side so as to fill the case. The supplied cleaning liquid is ejected from the cleaning liquid spout. In addition, the reflector is disposed in the case so as to face the ultrasonic transducer, and the surface of the ultrasonic transducer and the reflector are disposed so as to be slightly separated from each other as the cleaning liquid outlet is approached. As a result, reflection is repeated between the ultrasonic vibrator and the reflecting plate and focused on the cleaning liquid jet outlet, and the ultrasonic wave cooperates with the jetted cleaning liquid to improve the cleaning ability for the object to be cleaned under the cleaning liquid jet outlet. Acts as follows. In addition, the detail regarding a slit shower is disclosed by patent 298970 as an example.
スリットシャワーは、図3に示すように洗浄中の洗浄液の流量は3L/min(分)であり、洗浄可能時間は、洗浄液タンクを使用したときには約10分である。また、発振器からスリットシャワーの超音波振動子への許容入力電力は100W(ワット)である。 In the slit shower, as shown in FIG. 3, the flow rate of the cleaning liquid during cleaning is 3 L / min (minutes), and the possible cleaning time is about 10 minutes when the cleaning liquid tank is used. The allowable input power from the oscillator to the ultrasonic vibrator of the slit shower is 100 W (Watt).
図3に示す小型ラインシャワーは、略直方体状の導波体と、矩形板状に形成され、片面側で導波体に対して接着剤等により結合された振動子と、導波体の上面である振動子を有する面と対向する面、すなわち、超音波を発振する発振面を下側にして使用する構成になっている。導波体は、振動子が発生する超音波振動に共振するとともに、超音波振動を給液装置が供給する純水等の洗浄用流体に伝達する部材として作用する。給液装置は、被洗浄物としての基板の進行方向側から純水等の洗浄用流体を供給する給液部材と、洗浄用流体をポンプの作用により吸引する吸込部材等を有している。尚、小型ラインシャワーに関する詳細は、一例として、特許第3075356号公報に開示されている。 The small line shower shown in FIG. 3 includes a substantially rectangular parallelepiped waveguide, a vibrator formed in a rectangular plate shape and bonded to the waveguide on one side by an adhesive, etc., and an upper surface of the waveguide The surface opposite to the surface having the vibrator, that is, the surface for oscillating ultrasonic waves is used as the lower side. The waveguide body resonates with the ultrasonic vibration generated by the vibrator and acts as a member that transmits the ultrasonic vibration to a cleaning fluid such as pure water supplied by the liquid supply device. The liquid supply apparatus includes a liquid supply member that supplies a cleaning fluid such as pure water from the traveling direction side of the substrate as an object to be cleaned, a suction member that sucks the cleaning fluid by the action of a pump, and the like. In addition, the detail regarding a small line shower is disclosed by patent 3075356 as an example.
小型ラインシャワーは、図3に示すように洗浄中の洗浄液の流量は10L/min(分)であり、洗浄液タンクでは対応できないため、用力により洗浄液を供給する必要がある。このため、洗浄可能時間は、用力を使用することにより制限を受けない。また、発振器から小型ラインシャワーの振動子への許容入力電力は200W(ワット)である。 As shown in FIG. 3, the small line shower has a cleaning liquid flow rate of 10 L / min (minutes) and cannot be handled by the cleaning liquid tank. For this reason, the washable time is not limited by using utility. The allowable input power from the oscillator to the vibrator of the small line shower is 200 W (Watt).
図3に示す小型投げ込み振動子は、厚さが一定の振動板を有しており、この振動板一方面には振動面が形成されている。振動板の他方面上には複数のボルト締めランジュバン振動子(BL振動子)が接着されており、複数のBL振動子は振動面に超音波振動を加えるものである。小型投げ込み振動子は洗浄槽に投げ込んで使用し、洗浄槽内の洗浄液に振動面から超音波を照射するものである。尚、小型投げ込み振動子に関する詳細は、一例として、特開2012−125743号公報に開示されている。 The small throwing vibrator shown in FIG. 3 has a diaphragm having a constant thickness, and a vibration surface is formed on one surface of the diaphragm. A plurality of bolt-clamped Langevin transducers (BL transducers) are bonded on the other surface of the diaphragm, and the plurality of BL transducers apply ultrasonic vibrations to the vibrating surface. The small throwing vibrator is used by throwing it into the cleaning tank and irradiating the cleaning liquid in the cleaning tank with ultrasonic waves from the vibration surface. Note that details regarding the small throwing vibrator are disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 2012-125743 as an example.
小型投げ込み振動子は、図3に示すように浸漬可能な洗浄槽に使用するため、小型投げ込み振動子からは洗浄液を噴出しない。このため、洗浄可能時間は、洗浄槽の洗浄液を使用することにより制限を受けない。また、発振器から小型投げ込み振動子のBL振動子への許容入力電力は100W(ワット)である。 Since the small throwing vibrator is used in a dipping cleaning tank as shown in FIG. 3, no cleaning liquid is ejected from the small throwing vibrator. For this reason, the washable time is not limited by using the washing liquid in the washing tank. The allowable input power from the oscillator to the BL vibrator of the small throwing vibrator is 100 W (Watt).
図3に示すホーン振動子は、検査対象面に付着している付着物を試料する回収付着物検査試料回収装置等に使用され、超音波振動子部と超音波振動子部の先端に設けられたホーン部とからなる。ホーン部の中心に供給兼排出管路に接続される供給兼排出孔が設けられている。供給兼排出口孔は、供給兼排出管路に接続されて、回収溶液の床面への供給及び回収溶液の床面からの回収を行うものである。尚、ホーン振動子に関する詳細は、一例として、特許第4124763号公報に開示されている。 The horn transducer shown in FIG. 3 is used in a collected deposit inspection sample collection device that samples deposits adhering to the surface to be inspected, and is provided at the tip of the ultrasonic transducer section and the ultrasonic transducer section. The horn part. A supply / discharge hole connected to the supply / discharge line is provided at the center of the horn. The supply / discharge port hole is connected to the supply / discharge pipe line, and supplies the recovered solution to the floor and collects the recovered solution from the floor. Note that details regarding the horn vibrator are disclosed in Japanese Patent No. 41244763 as an example.
ホーン振動子は、図3に示すように付着物への液の供給量は10mL/回であり、液の使用可能回数は、数千回である。また、発振器からホーン振動子の超音波振動子への許容入力電力は50W(ワット)である。 In the horn vibrator, as shown in FIG. 3, the amount of liquid supplied to the deposit is 10 mL / time, and the liquid can be used several thousand times. The allowable input power from the oscillator to the ultrasonic transducer of the horn transducer is 50 W (watts).
このようにスポットシャワー、スリットシャワー及びホーン振動子は、超音波洗浄ツール8から洗浄液を噴出して洗浄、付着物の回収を行うため、洗浄液タンクからの洗浄液の供給が可能である。しかしながら、小型ラインシャワーは、流量が10L/minであるため、洗浄液タンクを使用した場合には洗浄可能時間が短いため、用力接続時、即ち、外部洗浄液貯蔵タンク33が接続されているときに洗浄可能と判断する。また、小型ラインシャワーは、発振器からの許容入力電力が200Wと大容量のため、バッテリ22での駆動は行えない。このため、電源として外部のAC電源34が供給されているかをチェックして、AC電源34で小型ラインシャワーを駆動するようにする。また、小型投げ込み振動子は洗浄槽に投げ込んで使用するため、洗浄液の供給は必要ない。
As described above, the spot shower, the slit shower, and the horn vibrator perform the cleaning by ejecting the cleaning liquid from the
[第1の実施形態における超音波洗浄ツールの検出動作]
次に、超音波洗浄ツールの切替時における超音波洗浄ツールの検出動作について図4を用いて説明する。図4は、第1の実施形態における超音波洗浄装置の超音波洗浄ツールの切替時における超音波洗浄ツールの検出動作を示すフローチャートである。尚、図4に示すフローチャートは、用力を使用しないものとする。即ち、洗浄液は洗浄液タンク25から供給され、電力はバッテリ22から供給されるものとする。
[Detection Operation of Ultrasonic Cleaning Tool in First Embodiment]
Next, the detection operation of the ultrasonic cleaning tool when switching the ultrasonic cleaning tool will be described with reference to FIG. FIG. 4 is a flowchart showing the detection operation of the ultrasonic cleaning tool when switching the ultrasonic cleaning tool of the ultrasonic cleaning apparatus according to the first embodiment. Note that the flowchart shown in FIG. 4 does not use utility. That is, the cleaning liquid is supplied from the cleaning
図4に示すように、最初に、超音波洗浄装置1は、超音波洗浄ツール8の接続ボックス6及びメモリ7の配線を発振器3に接続する(ステップS1)。次に、接続ボックス6に取り付けられているメモリ7から超音波洗浄ツール8に関するデータを発振器3の制御回路4が読み込む(ステップS2)。発振器3が読み込むデータは、超音波洗浄ツール8のID、発振周波数、許容入力パワー、位相設定、発振モード、洗浄液の流量、消費電力等である。
As shown in FIG. 4, first, the
これにより発振器3は、超音波洗浄ツール8を認識する。発振器3は、読み出したデータを基に、接続された超音波洗浄ツール8が対応可能なものであるかをチェックする。すなわち、メモリ7から読み出した周波数のデータが、発振可能な周波数であるか、また、超音波振動子の許容入力パワーが出力可能かをチェックする(ステップS3)。周波数及び許容入力パワーのいずれかが対応できないと判断したときには、ステップS10に移行して警報出力、エラー表示を行う。
As a result, the
次に、対応可能と判断したときには、超音波洗浄ツール8を駆動する周波数を、発振器3の発振回路(図せず)に設定し、超音波洗浄ツール8の許容入力パワーから超音波洗浄ツール8の超音波振動子を駆動するに必要なパワー(出力電力)を出力回路に設定する。また、超音波振動子に対して出力回路が最も効率よくパワーを出力するために出力電圧と電流との位相設定を行う。位相設定は、事前の調整時に得られるデータを設定する。また、超音波洗浄ツール8で使用可能な発振モードに関しても設定を行う(ステップS4)。尚、発振モードは、正弦波、FM変調、スイープ発振等である。
Next, when it is determined that it can be handled, the frequency for driving the
次に、コントロールユニット5は、発振器3と通信を行って、発振器3から洗浄に必要な毎分当たりの洗浄液量、超音波洗浄装置1に必要な消費電力を受信する(ステップS5)。
Next, the
コントロールユニット5は、洗浄液タンク25に備えられた液面センサ26からのデータを読み出して、超音波洗浄ツール8の毎分当たりの洗浄液の流量を基に、洗浄が可能な時間を算出する(ステップS6)。
The
電力供給がバッテリ駆動である場合には、バッテリ残量メータからバッテリ22の電力の残量を読み出して、供給可能な電力量をチェックして、バッテリによる駆動時間を算出する(ステップS7)。即ち、バッテリ駆動の場合には、超音波洗浄装置1の消費電力に基づいて、バッテリ容量の残量から対応可能かを判断する。
When the power supply is battery driven, the remaining amount of power of the
ステップS6で算出した洗浄時間及びステップS7で算出したバッテリ駆動時間が前もって規定した時間以上であるかをチェックする(ステップS8)。 It is checked whether the cleaning time calculated in step S6 and the battery driving time calculated in step S7 are equal to or longer than a predetermined time (step S8).
コントロールユニット5は、洗浄動作が可能であれば、洗浄可能時間を表示部に表示して洗浄が可能であることを通知する(ステップS9)。フットスイッチ等によりスタート信号をONして洗浄を開始する。洗浄の開始時には、ソフトスタート動作を行う。ソフトスタート動作は、洗浄開始時に、最初に洗浄液を供給し、その後所定の時間経過後に、超音波振動子の駆動を行うようにするものである。これにより、超音波振動子の空焚き等を防止できる。
If the cleaning operation is possible, the
一方、洗浄が可能な時間が短い、又はバッテリ22の容量が少ない場合には、表示部に警報出力、エラー表示を行い、洗浄動作は行わない(ステップS10)。また、大流量が必要な場合には、外部洗浄液貯蔵タンク33等の用力の接続を促す。
On the other hand, when the cleaning time is short or the capacity of the
尚、上記フローチャートにおいて、電源及び洗浄液が用力として常時接続であれば、ステップS5以後を実行することなく、洗浄を開始することができる。また、電源、洗浄液の一方が用力として常時接続されていないときには、洗浄可能時間を算出して、洗浄可能かを判断する。 In the above flowchart, if the power source and the cleaning liquid are always connected as utility, cleaning can be started without executing step S5 and subsequent steps. Further, when one of the power source and the cleaning liquid is not always connected as utility, the cleaning possible time is calculated to determine whether cleaning is possible.
[第2の実施形態における超音波洗浄ツールの検出動作]
次に、第2の実施形態における超音波洗浄装置の超音波洗浄ツールの切替時における超音波洗浄ツールの検出動作について図5を用いて説明する。図5は、第2の実施形態における超音波洗浄装置の洗浄ツールの切替時における洗浄ツールの検出動作を示すフローチャートである。尚、図5に示すフローチャートは、用力を使用しないものとする。即ち、洗浄液は洗浄液タンク25から供給され、電力はバッテリ22から供給されるものとする。
[Detection Operation of Ultrasonic Cleaning Tool in Second Embodiment]
Next, the detection operation of the ultrasonic cleaning tool when switching the ultrasonic cleaning tool of the ultrasonic cleaning device in the second embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 5 is a flowchart showing the detection operation of the cleaning tool when the cleaning tool is switched in the ultrasonic cleaning apparatus according to the second embodiment. The flowchart shown in FIG. 5 does not use utility. That is, the cleaning liquid is supplied from the cleaning
図5に示すように、最初に、超音波洗浄装置50は、超音波洗浄ツール8及びメモリ7の配線を発振器52に接続する(ステップS20)。次に、超音波洗浄ツール8に取り付けられているメモリ7から超音波洗浄ツール8に関するデータを発振器52の制御回路54が読み込む(ステップS21)。発振器52が読み込むデータは、超音波洗浄ツール8のID、発振周波数、許容入力パワー、出力調整回路の指定、位相設定、発振モード、洗浄液の流量、消費電力等である。
As shown in FIG. 5, first, the ultrasonic cleaning device 50 connects the wiring of the
これにより発振器52は、超音波洗浄ツール8を認識する。発振器52は、読み出したデータを基に、接続された超音波洗浄ツール8が対応可能なものであるかをチェックする。すなわち、メモリ7から読み出した周波数のデータが発振可能な周波数であるか、また、指定された出力調整回路が内蔵されているか、超音波振動子の許容入力パワーが出力可能かをチェックする(ステップS22)。周波数、出力調整回路及び許容入力パワーのいずれかが対応できないと判断したときには、ステップS29に移行して警報出力、エラー表示を行う。
Thereby, the oscillator 52 recognizes the
次に、対応可能と判断したときには、超音波洗浄ツール8を駆動する周波数を、発振器52の発振回路に設定し、メモリ7から読み出した出力調整回路に関するデータから、所定の出力調整回路を選択し、超音波洗浄ツール8と接続するようにする。また、超音波洗浄ツール8の許容入力パワーから超音波洗浄ツール8の超音波振動子を駆動するに必要なパワー(出力電力)を出力回路に設定する。また、超音波振動子に対して出力回路が最も効率よくパワーを出力するために出力電圧と電流との位相設定を行う。位相設定は、事前の調整時に得られるデータを設定する。また、超音波洗浄ツール8で使用可能な発振モードに関しても設定を行う(ステップS23)。尚、発振モードは、正弦波、FM変調、スープ発振等である。
Next, when it is determined that the response is possible, the frequency for driving the
次に、コントロールユニット5は、発振器52と通信を行って、発振器52から洗浄に必要な毎分当たりの洗浄液量、超音波洗浄装置50に必要な消費電力を受信する(ステップS24)。
Next, the
コントロールユニット5は、洗浄液タンク25に備えられた液面センサ26からのデータを読み出して、超音波洗浄ツール8の毎分当たりの洗浄液の流量を基に、洗浄が可能な時間を算出する(ステップS25)。
The
電力供給がバッテリ駆動である場合には、バッテリ残量メータからバッテリ22の電力の残量を読み出して、供給可能な電力量をチェックしてバッテリによる駆動時間を算出する(ステップS26)。即ち、バッテリ駆動の場合には、超音波洗浄装置50の消費電力に基づいて、バッテリ容量の残量から対応可能かを判断する。
When the power supply is battery driven, the remaining amount of power of the
ステップS25で算出した洗浄時間及びステップS26で算出したバッテリ駆動時間が前もって規定した時間以上であるかをチェックする(ステップS27)。 It is checked whether the cleaning time calculated in step S25 and the battery driving time calculated in step S26 are equal to or longer than a predetermined time (step S27).
コントロールユニット5は、洗浄動作が可能であれば、洗浄可能時間を表示部に表示して洗浄が可能であることを通知する(ステップS28)。フットスイッチ等によりスタート信号をONして洗浄を開始する。洗浄の開始時には、ソフトスタート動作を行う。ソフトスタート動作は、洗浄開始時に、最初に洗浄液を供給し、その後所定の時間経過後に、超音波振動子の駆動を行うようにするものである。これにより、超音波振動子の空焚き等を防止できる。
If the cleaning operation is possible, the
一方、洗浄が可能な時間が短い、又はバッテリ容量が少ない場合には、表示部に警報出力、エラー表示を行い、洗浄動作は行わない(ステップS29)。また、大流量が必要な場合には、外部洗浄液貯蔵タンク33等の用力の接続を促す。 On the other hand, when the cleaning time is short or the battery capacity is low, an alarm output and error display are performed on the display unit, and the cleaning operation is not performed (step S29). Further, when a large flow rate is required, connection of utility power such as the external cleaning liquid storage tank 33 is urged.
尚、上記フローチャートにおいて、電源及び洗浄液が用力として常時接続であれば、ステップS24以後を実行することなく、洗浄を開始することができる。また、電源、洗浄液の一方が用力として常時接続されていないときには、洗浄可能時間を算出して、洗浄可能かを判断する。 In the above flowchart, if the power source and the cleaning liquid are always connected as utility, cleaning can be started without executing step S24 and subsequent steps. Further, when one of the power source and the cleaning liquid is not always connected as utility, the cleaning possible time is calculated to determine whether cleaning is possible.
また、コントロールユニットと発振器の制御回路とを一体にした制御部を発振器外に設けるように構成し、コントロールユニット及び発振器の制御回路の機能を制御部に備えるようにして、例えば、制御部は、記憶媒体のデータを読み出して超音波洗浄ツールの種別を認識し、超音波洗浄ツールの種別に応じて、洗浄に必要な条件に関する超音波洗浄装置の現在の状況に照らし合わせて、洗浄動作可能状態であるかを判定し、判定結果を出力するようにすることも可能である。 Further, a control unit in which the control unit and the control circuit of the oscillator are integrated is provided outside the oscillator, and the control unit is provided with the functions of the control unit and the control circuit of the oscillator. Read the data of the storage medium to recognize the type of ultrasonic cleaning tool, and according to the type of ultrasonic cleaning tool, it is possible to perform cleaning operation in light of the current status of the ultrasonic cleaning device related to the conditions required for cleaning It is also possible to determine whether or not and output the determination result.
以上述べたように、本発明によれば、超音波洗浄装置は、発振器が読み出し可能な超音波洗浄ツールに関するデータを記憶したメモリを有し、発振器は読み出したデータから超音波洗浄ツールの種別を認識し、また、コントロールユニット5は洗浄動作可能状態であるかを判定し、判定結果に基づいて、洗浄動作可能の表示又は洗浄動作不可のアラームを出力するようにしたことにより、常に適切な洗浄を行うことができ、洗浄不良等を防止することができる。
As described above, according to the present invention, the ultrasonic cleaning apparatus has a memory that stores data related to the ultrasonic cleaning tool that can be read by the oscillator, and the oscillator determines the type of the ultrasonic cleaning tool from the read data. The
また、メモリのデータを発振器が読み出して、読み出したデータに基づいて発振器を制御するため、発振器の調整等が不要で有り、利便性に優れており、作業効率がよい。尚、発振器の制御回路4、54は、実施例のように発振器と一体に設けても良いが、別体として設けても良く、また、コントロールユニット5と一体に設けても良い。
Further, since the oscillator reads the data in the memory and controls the oscillator based on the read data, adjustment of the oscillator or the like is unnecessary, which is excellent in convenience and has high working efficiency. The
また、洗浄液を噴射するハンディ型の超音波洗浄ツールを用いた超音波洗浄装置においては、洗浄液用タンクを備え、メモリに超音波洗浄ツールが使用する流量を記憶し、洗浄液用タンクに液面センサを設けたことにより、洗浄開始前に洗浄液用タンクの洗浄液の量を確認することができ、これにより洗浄可能な時間を知ることができる。また、洗浄液用タンクの洗浄液の量が少ないときには、洗浄動作不可のアラームを出力するため、空焚きを防止することができる。 In addition, an ultrasonic cleaning device using a hand-held ultrasonic cleaning tool that injects cleaning liquid is equipped with a tank for cleaning liquid, the flow rate used by the ultrasonic cleaning tool is stored in the memory, and the liquid level sensor is stored in the tank for cleaning liquid. By providing this, the amount of the cleaning liquid in the cleaning liquid tank can be confirmed before the start of cleaning, and thereby the time available for cleaning can be known. Further, when the amount of the cleaning liquid in the cleaning liquid tank is small, an alarm indicating that the cleaning operation is not possible is output, so that emptying can be prevented.
また、本発明の超音波洗浄装置は、洗浄液用のタンク及びバッテリを備えたことにより、用力がないところでの洗浄作業が可能となる。また、可搬性に優れ、洗浄する場所が制限されない。 In addition, the ultrasonic cleaning apparatus of the present invention includes a cleaning liquid tank and a battery, so that a cleaning operation can be performed where there is no utility. Moreover, it is excellent in portability and the place to wash is not limited.
また、超音波洗浄装置のタンクに洗浄液供給用の用力が接続されているときには、液面センサからの信号をチェックしてタンクへ自動的に給水を行なう自動給水機能が可能となる。 Further, when the cleaning liquid supply utility is connected to the tank of the ultrasonic cleaning apparatus, an automatic water supply function of checking the signal from the liquid level sensor and automatically supplying water to the tank becomes possible.
この発明は、その本質的特性から逸脱することなく数多くの形式のものとして具体化することができる。よって、上述した実施形態は専ら説明上のものであり、本発明を制限するものではないことは言うまでもない。 The present invention can be embodied in many forms without departing from its essential characteristics. Therefore, it is needless to say that the above-described embodiment is exclusively for description and does not limit the present invention.
1、50 超音波洗浄装置
2、51 超音波洗浄装置本体
3、52 発振器
4、54 制御回路
5 コントロールユニット
6 接続ボックス
7 記憶媒体(メモリ)
8 超音波洗浄ツール
20 電源部
21 変換器
22 バッテリ
25 洗浄液タンク
26 液面センサ
27 流量計
28 バルブ
29 ポンプ
32 用力
33 外部洗浄液貯蔵タンク
34 商用電源(AC電源)
53 出力調整回路
53a 第1出力調整回路
53b 第2出力調整回路
DESCRIPTION OF
8
53 Output Adjustment Circuit 53a First Output Adjustment Circuit 53b Second Output Adjustment Circuit
Claims (7)
各超音波洗浄ツールに関するデータを記憶した記憶媒体と、
該記憶媒体のデータを読み出して前記超音波洗浄ツールの種別を認識するとともに、超音波洗浄ツールの種別に応じて、洗浄に必要な条件に関する前記超音波洗浄装置の現在の状況に照らし合わせて、洗浄動作可能状態であるかを判定し、該判定結果を出力する制御部とを備えたことを特徴とする超音波洗浄装置。 An ultrasonic cleaning apparatus having an ultrasonic cleaning tool having an ultrasonic vibrator and an oscillator that vibrates the ultrasonic vibrator of the ultrasonic cleaning tool and having a plurality of types of ultrasonic cleaning tools that can be replaced. And
A storage medium storing data on each ultrasonic cleaning tool;
Reading the data of the storage medium and recognizing the type of the ultrasonic cleaning tool, and according to the type of the ultrasonic cleaning tool, in light of the current situation of the ultrasonic cleaning device regarding the conditions necessary for cleaning, An ultrasonic cleaning apparatus comprising: a control unit that determines whether the cleaning operation is possible and outputs the determination result.
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106424003A (en) * | 2016-10-28 | 2017-02-22 | 成都前锋电子仪器有限责任公司 | Domestic ultrasonic wave cleaning system based on Internet of Things controlling |
JP2017162889A (en) * | 2016-03-08 | 2017-09-14 | 株式会社荏原製作所 | Substrate cleaning device, substrate cleaning method, substrate processing device, and substrate drying device |
US11676827B2 (en) | 2016-03-08 | 2023-06-13 | Ebara Corporation | Substrate cleaning apparatus, substrate cleaning method, substrate processing apparatus, and substrate drying apparatus |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004024785A (en) * | 2002-06-28 | 2004-01-29 | Ricoh Elemex Corp | Scalp washer |
JP2004358366A (en) * | 2003-06-05 | 2004-12-24 | Toyota Motor Corp | Oscillator for cleaning of residual coating |
-
2013
- 2013-04-12 JP JP2013083625A patent/JP5667236B2/en active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004024785A (en) * | 2002-06-28 | 2004-01-29 | Ricoh Elemex Corp | Scalp washer |
JP2004358366A (en) * | 2003-06-05 | 2004-12-24 | Toyota Motor Corp | Oscillator for cleaning of residual coating |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017162889A (en) * | 2016-03-08 | 2017-09-14 | 株式会社荏原製作所 | Substrate cleaning device, substrate cleaning method, substrate processing device, and substrate drying device |
US11676827B2 (en) | 2016-03-08 | 2023-06-13 | Ebara Corporation | Substrate cleaning apparatus, substrate cleaning method, substrate processing apparatus, and substrate drying apparatus |
CN106424003A (en) * | 2016-10-28 | 2017-02-22 | 成都前锋电子仪器有限责任公司 | Domestic ultrasonic wave cleaning system based on Internet of Things controlling |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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