JP2014203984A - 計測装置、計測方法、リソグラフィ装置、および物品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】基板の構成によらずに該基板の表面の位置を高精度に計測するのに有利な計測装置を提供する。【解決手段】この計測装置は、物体の表面の位置を計測するものであり、複数の透光部7aが形成された透光部材7を含み、透光部材7を介して物体上に斜めに投影されて物体で反射された複数の光を検出して検出信号を出力する検出器と、検出信号に基づいて表面の位置を求める処理部とを有する。複数の透光部は、透光部の形状および大きさ、ならびに透光部の間隔の少なくとも1つが互いに異なっている。【選択図】図3
Description
本発明は、計測装置、計測方法、リソグラフィ装置、および物品の製造方法に関する。
露光装置は、半導体デバイスや液晶表示デバイスなどの製造工程に含まれるリソグラフィ工程において、原版(レチクルやマスクなど)のパターンを投影光学系を介して感光剤が塗布された基板(ウエハやガラスプレートなど)に転写する装置である。このような露光装置では、原版のパターンの結像面に基板の表面(露光面)を位置合わせ、すなわち合焦するために、基板の表面の位置(面位置または高さ)を正確に計測する必要がある。そこで、露光装置は、投影光学系の光軸方向における基板の位置を計測するオートフォーカスセンサー(AFセンサー)を有する。AFセンサーは、一般的に、基板の表面に対して光(複数のビーム)を投射する投光系と、基板の表面からの反射光を受光する受光系と、受光系からの光を検出し処理部へ検出信号を出力する検出部とを含む。ここで、基板がガラスプレートなどの透光性基板である場合、受光系が受光する光には、基板の表面からの反射光のみならず、基板の裏面からの反射光も含まれる。そのような反射光では計測精度が低下するため、AFセンサーでは、いかに基板の裏面での反射光を低減するか、または基板の表面での反射光を抽出するかが重要となる。ところが、検出光には、基板の裏面からの反射光のみならず、例えば、感光剤における反射光や基板内に形成されているパターンによる反射光も含まれる。このような製造工程要因の外乱の影響を受け、検出部から取得される情報は、複雑に変化し得る。さらに、投光系が複数のビームを投射する場所にあるパターンによって反射率が異なると、検出部から取得される情報はその影響を受ける。これに対して、特許文献1は、受光系からの光のうち基板の表面以外の面を介した光中の異なる部分の間に位相差を付与することにより、基板の表面での反射光以外の反射光を低減する面計測装置を開示している。また、特許文献2は、2種類の投光系を備え、受光系が2種類の反射光を受光することにより、基板の表面での反射光以外の反射光に係る信号成分を演算により低減する面計測装置を開示している。
しかしながら、特許文献1または2に示す面計測装置は、構成が複雑であり、コスト面で不利である。また、基板の裏面からの反射光とは異なり、上記のような他の要因の反射光は、基板の構成(構造)により様々であるため、対処が容易ではない。
本発明は、このような状況に鑑みてなされたものであり、例えば、基板の構成によらずに該基板の表面の位置を高精度に計測するのに有利な計測装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明は、物体の表面の位置を計測する計測装置であって、複数の透光部が形成された透光部材を含み、透光部材を介して物体上に斜めに投影されて物体で反射された複数の光を検出して検出信号を出力する検出器と、検出信号に基づいて表面の位置を求める処理部と、を有し、複数の透光部は、透光部の形状および大きさ、ならびに透光部の間隔の少なくとも1つが互いに異なっている、ことを特徴とする。
本発明によれば、例えば、基板の構成によらずに該基板の表面の位置を高精度に計測するのに有利な計測装置を提供することができる。
以下、本発明を実施するための形態について図面などを参照して説明する。
(第1実施形態)
まず、本発明の第1実施形態に係る計測装置(計測方法)について説明する。本実施形態に係る計測装置は、例えば、露光装置などのリソグラフィ装置に設置される。そして、計測装置は、リソグラフィ装置内のステージに載置されている基板(ウエハやガラスプレートなど)を計測対象物(物体)として、その表面の位置(面位置または高さ)を計測するものである。以下、本実施形態に係る計測装置は、一例として露光装置に設置されるものとして説明する。
まず、本発明の第1実施形態に係る計測装置(計測方法)について説明する。本実施形態に係る計測装置は、例えば、露光装置などのリソグラフィ装置に設置される。そして、計測装置は、リソグラフィ装置内のステージに載置されている基板(ウエハやガラスプレートなど)を計測対象物(物体)として、その表面の位置(面位置または高さ)を計測するものである。以下、本実施形態に係る計測装置は、一例として露光装置に設置されるものとして説明する。
図1は、本実施形態に係る計測装置1を含む露光装置100の構成を示す概略図である。露光装置100は、例えば、ステップ・アンド・リピートまたはステップ・アンド・スキャン方式にて原版(レチクルまたはマスク)101に形成されているパターン(例えば回路パターン)を介して基板102を露光する露光装置である。なお、図1を含む以下の各図では、後述する投影光学系105の光軸方向(本実施形態では鉛直方向)に平行にZ軸を取り、Z軸に垂直な平面内で露光時の走査方向にY軸を取り、Y軸に直交する非走査方向にX軸を取っている。露光装置100は、照明系103と、原版ステージ104と、投影光学系105と、基板ステージ106と、計測装置1と、制御部107とを備える。照明系103は、露光時に光(例えばレーザー光)を照射し、原版101を照明する。原版ステージ104は、原版101を保持する。投影光学系105は、原版101に形成されているパターンを基板102上に投影(結像)する。基板ステージ106は、基板102を保持部材(チャック)108を介し、XY平面上を移動可能に保持する。なお、基板ステージ106は、XYの各軸方向だけでなくZ軸方向にも移動可能であり、合焦のための駆動系でもある。また、基板ステージ106は、各軸用にそれぞれ設けられた、レーザー干渉計109と、基板ステージ106に設置されたミラー110とを用いてその位置が特定され、制御部107により各軸方向において高精度に位置決めされる。
計測装置1は、基板ステージ106上の保持部材108に載置されている基板102の面位置(本実施形態ではZ軸方向の高さ位置)を検出する。計測装置1は、光源2と、投光系(投光または投影光学系)3と、受光系(受光光学系)4と、ポジションセンサー5と、処理部6とを含む。光源2は、例えば500〜1200nmの波長の光を発する。投光系3は、不図示の集光レンズ、複数の透光部(スリット等)7aが形成された透光部材7、偏光調整機構8、および投光レンズ9を含み、集光レンズにより光源2からの光で照明された透光部材7を投光レンズ9により基板102の表面に投影する。検出光10は、基板102の表面(物体上)に向けて斜め(入射角θ)に導光(投光)される。受光系4は、検出光10が基板102で反射してなる受光光11をポジションセンサー5へ導光する。ポジションセンサー(検出器)5は、例えば受光素子アレイを含み、受光光11を受光し、処理部6へ検出信号を出力(送信)する。処理部6は、ポジションセンサー5から受信した検出信号に基づいて演算処理を実行し、面位置を求める。
制御部107は、露光装置100の各構成要素の動作および調整などを制御し得る。制御部107は、例えばコンピューターなどで構成され、露光装置100の各構成要素に回線を介して接続され、プログラムなどにしたがって各構成要素の制御を実行し得る。ここで、上記の説明では、計測装置1には、露光装置100とは独立して演算処理を実行する処理部6を含む構成としている。これに対して、本実施形態のように計測装置1が露光装置100に設置される場合には、処理部6が実行する処理を、代わりに制御部107が実行する構成としてもよい。さらに、制御部107は、露光装置100の他の部分と一体で(共通の筐体内に)構成してもよいし、露光装置100の他の部分とは別体で(別の筐体内に)構成してもよい。
次に、計測装置1による計測(計測方法)について説明する。図2は、図1に示す計測装置1を含む露光装置100の構成のうち検出光10と受光光11との関係を説明するための要部を示す概略図である。上記のとおり、透光部材7を通過して形成された検出光10は、基板102で反射して受光光11となるが、受光光11は、反射時の基板102のZ軸方向の位置に応じて、それぞれ受光光11a〜11cのように変化する。ポジションセンサー5は、受光光11a〜11cの入射位置の違いにより異なる検出信号を出力するため、処理部6は、その検出信号に基づいて基板102の面位置を求めることができる。
ここで、本実施形態の特徴を明確にするために、まず、従来の計測装置における透光部材の形状と、その透光部材を用いることによる検出結果とについて説明する。図8は、従来の計測装置に採用されている透光部材200の形状の一例を示す平面図である。透光部材200は、一定の幅(スリット幅)L3を有する形状の透光部(スリット(開口))200aを、一定の配置間隔(スリット間隔)L4で複数有する。図9は、透光部材200を用いて、かつ図2に示すように基板102を移動させた場合に得られる、基板102のZ軸方向の面位置に対するポジションセンサー5の出力信号(光強度分布)を示すグラフである。信号出力のピーク位置は、基板102の面位置に応じて、図9の201〜203のように変化する。
図9に示す各出力信号201〜203は、検出光10が外乱を受けずに基板102の表面で反射した場合のものである。これに対して、検出光10が何らかの外乱を受けることで受光光11が変化する場合がある。図10は、外乱を受けた場合の検出光10と受光光11との関係を示す説明図である。ここでは、基板102が透光性基板であるとする。なお、図10において、説明の簡単化のため、図1に示す構成と同一構成のものには同一の符号を付し、説明を省略する。図1でも示したように、入射角θで基板102に入射した検出光10は、基板102で反射した後、ポジションセンサー5に導光される。ここで、基板102には、膜厚が均一でない半透明のレジスト(感光剤)204が塗布されている場合もあるし、例えば低反射クロムなどの基板102の材質とは反射率の異なる材質からなるパターン(異質パターン)205が形成されている場合もある。したがって、受光光11は、レジスト204の表面からの反射光208だけではなく、基板102の裏面からの反射光207、レジスト204の裏面からの反射光206、さらには異質パターン205からの反射光209など、外乱となる様々な光を含むことになる。
図11は、受光光11に、図10に示す反射光208に加えて、各反射光206、207、209を含む場合のポジションセンサー5の信号出力を示すグラフである。まず、図11(a)は、基板102の裏面からの反射光207と、レジスト204の表面からの反射光208とを受光した際の信号出力を示すグラフである。まず、レジスト204の表面からの反射光208を受光した際の信号出力が、信号出力210のように表れるとする。これに対して、反射光207を受光した際の信号出力は、信号出力211のようになる。したがって、これらの反射光が混在する場合には、信号出力は合成され、信号出力212のように現れることになる。なお、信号出力212は、各反射光が反射した場所と、レジスト204の表面との間の距離に応じて変化する。次に、図11(b)は、異質パターン205からの反射光209を受光した際の信号出力を示すグラフである。なお、この出力結果は、検出光10が基板102上での反射率が1:4である異質パターン205に部分的に照射された場合の例である。この場合、信号出力は、レベルが部分的に低下した信号出力213のようになる。そして、図11(c)は、上記すべての反射光206〜209が混在した場合の信号出力を示すグラフである。このように反射光206〜209が混在すると、信号出力は、信号出力214に示すように現れる。信号出力214の例では、ピークが5つ存在する。ここで、レジスト204の表面からの反射光208を受光した際に得られる検出信号を「第1検出信号」(または第1成分)という。一方、それ以外の面(内部の面)からの各反射光206、207、209を受光した際に得られる検出信号を「第2検出信号」(または第2成分)という。処理部6が正確に(精度良く)基板102の面位置を特定するためには、第1検出信号により位置を特定しなければならない。第1検出信号は、透光部材200のように透光部が3つある場合には、3つのピークを有する。しかしながら、図11(c)に示すように信号出力にピークが5つ出現してしまうと、処理部6は、第1検出信号に相当する3つのピークが5つのピークのうちのどれに対応するものなのかを判断できず、基板102の面位置を精度良く計測することができない。そこで、本実施形態では、以下のような構成および処理により、反射光208以外の反射光206、207、209のような外乱(光)が存在する場合でも、正確に第1検出信号を特定する。
まず、図8に示した従来の透過部材200に対し、図3は、本実施形態に係る透光部材7の形状を示す平面図である。透光部材7では、透光部7aの本数は、従来の透光部200と同一としているが、複数の透光部7aのスリット(開口)幅L1と、複数存在する透光部7aのスリット(開口)間隔L2とを互いに異ならせてよい。なお、それに限らず、透光部7aの形状・大きさ・間隔の少なくとも1つを異ならせればよい。例えば、図3に示すように、3つの透光部7aは、それらが1つの方向(図中、左から右へ)に配列されている場合、最も左側の透光部7aのスリット幅L1を最も広く設定し、右側の透光部7aに向かって徐々に狭く設定し得る。同様に、スリット間隔L2は、最も左側の透光部7aとその右側に隣設される透光部7aとのスリット間隔L2を最も広く設定し、右側に向かって徐々に狭く設定し得る。これにより、各透光部7aを通過して基板上に照射される光の形状は、同一ではなく、互いに異なったものとなる。
図4は、透光部材7を用いた場合に得られる、基板102の表面からの反射光の信号出力を示すグラフである。このように、信号出力(第1検出信号の形状)は、信号出力20に示すように、スリット幅L1に合わせて信号幅(1つのピークを有する1つの波形の幅)が異なるものとなる。かつ、当該信号出力は、スリット間隔L2に合わせて信号間隔(1つのピークを有する1つの波形と他のピークを有する他の波形との間隔)が異なるものとなる。
図5は、図10に示した反射光206〜209が混在する場合における図11(c)に対応する本実施形態における信号出力の例を示すグラフである。図5の信号出力には、図11(c)における信号出力214と同様に、5つのピークを有する信号出力21が現れる。しかしながら、本実施形態における信号出力21(検出信号の形状)は、透光部材7における透光部7aのスリット幅L1やスリット間隔L2に関する特徴が反映したものとなる。これにより、処理部6は、スリット幅L1に対応する信号幅と、スリット間隔L2に対応する波形間隔とに基づいて、5つのピークを有する信号から目的とする第1検出信号の3つのピークの位置を特定することができる。図5に示す例では、信号出力23に示す部分が第2検出信号に相当し、一方、信号出力22に示す部分が第1検出信号に相当する。
図6は、本実施形態における位置検出の流れを示すフローチャートである。まず、処理部6は、露光に際しての基板102の面位置の検出動作を実行する前に、基準となる検出信号データ(以下、「基準データ(基準信号)」という)を取得し、保存する(ステップS100)。当該基準データは、例えば、物品(デバイス)のパターンが未だ一切形成されていない基板(基準基板、基準物体)を用いて取得可能である。この場合、基準基板におけるレジストの有無は特に問わない。基準データは、透光部材7の形状に対応し、基板102の表面からの反射光のみの受光光11をポジションセンサー5が検出して得られた検出信号(第2検出信号を含まない検出信号、すなわち第1検出信号)に相当する。また、基準データは、第1検出信号に関する上記の信号幅および信号間隔(波形間隔)に加えて、各ピークの強度の情報を含む。次に、処理部6は、ポジションセンサー5の信号出力を取得する(ステップS101)。なお、ここで取得した受光光11に関する信号出力は、上記のとおり、基板ステージ106のZ軸方向の位置に関連付けられている。次に、処理部6は、ステップS101にて取得した信号出力と、ステップS100で取得した基準データとを比較し、信号出力に含まれる第1検出信号を特定する(ステップS102)。具体的には、処理部6は、例えば、基準データをテンプレートとして、信号出力に対してテンプレートマッチング(相関演算)を行うことにより、第1検出信号の位置(またはその近傍の位置)を特定する。なお、第1検出信号(の位置)の特定は、上述したテンプレートマッチングに限らず、基準データの特徴量と対象データ(出力信号)の特徴量とに基づく種々の技術(領域抽出(信号抽出)技術またはセグメンテーション技術等)の適用により可能である。そして、処理部6は、基板102の面位置を求める(ステップS103)。このとき、処理部6は、ステップS102にて特定された位置(またはその近傍の位置)にある第1検出信号(3つのピークを有する波形に係る信号)と、その検出を行ったときの基板ステージ106のZ軸方向の位置とに基づいて、上記面位置を求める。当該第1検出信号および当該基板ステージの位置に基づいて基板の面位置を求める方法は、周知の方法によればよい。ここで求められた基板102の面位置は、制御部107に送信され、投影光学系105を介した基板102の露光のための合焦などに利用される。
このように、計測装置1は、基板102の表面以外からの反射光206、207、209の影響を軽減して、目的とする反射光206に基づく計測を行うことができる。これにより、計測装置1は、基板102の面位置を高精度に計測することができる。
以上のように、本実施形態によれば、基板の構成によらずに該基板の表面の位置を高精度に計測するのに有利な計測装置および計測方法を提供することができる。また、本実施形態に係る計測装置を含む露光装置(リソグラフィ装置)は、解像力や重ね合わせ精度の点で有利となる。
(第2実施形態)
次に、本発明の第2実施形態に係る計測装置について説明する。本実施形態に係る計測装置の特徴は、第1実施形態における透光部材7の形状および構成を以下のように変更する点にある。図7は、本実施形態に係る計測装置30を含む露光装置120の構成を示す概略図である。なお、図7では、図1に示す第1実施形態に係る露光装置120およびそれに含まれる計測装置1と同一構成のものには同一の符号を付し、説明を省略する。第1実施形態における透光部材7は、単体であり、その中の複数の透光部7aのスリット幅L1とスリット間隔L2とが互いに異なる形状を有している。これに対して、計測装置30は、透光部材を複数含み(透光部材32、33、34)、基板102に光を投光(投射)する際に使用する透光部材を切り替える切り替え部31を有する。さらに、複数の透光部材は、スリット幅L1の組合わせとスリット間隔L2の組合わせとが互いに異なっている。この構成によれば、計測対象の基板の構成(構造)に適した透光部材を選択できるという利点がある。当該選択は、例えば、上述のテンプレートマッチングにより第1検出信号の位置を特定するにあたっての相関度に基づいて行うことができる。例えば、相関度の最も高い透光部材を選択すればよい。
次に、本発明の第2実施形態に係る計測装置について説明する。本実施形態に係る計測装置の特徴は、第1実施形態における透光部材7の形状および構成を以下のように変更する点にある。図7は、本実施形態に係る計測装置30を含む露光装置120の構成を示す概略図である。なお、図7では、図1に示す第1実施形態に係る露光装置120およびそれに含まれる計測装置1と同一構成のものには同一の符号を付し、説明を省略する。第1実施形態における透光部材7は、単体であり、その中の複数の透光部7aのスリット幅L1とスリット間隔L2とが互いに異なる形状を有している。これに対して、計測装置30は、透光部材を複数含み(透光部材32、33、34)、基板102に光を投光(投射)する際に使用する透光部材を切り替える切り替え部31を有する。さらに、複数の透光部材は、スリット幅L1の組合わせとスリット間隔L2の組合わせとが互いに異なっている。この構成によれば、計測対象の基板の構成(構造)に適した透光部材を選択できるという利点がある。当該選択は、例えば、上述のテンプレートマッチングにより第1検出信号の位置を特定するにあたっての相関度に基づいて行うことができる。例えば、相関度の最も高い透光部材を選択すればよい。
なお、上記各実施形態では、リソグラフィ装置として露光装置の例を説明したが、リソグラフィ装置は、それに限らず、他のリソグラフィ装置であってもよい。例えば、電子線のような荷電粒子線で基板(上の感光剤)に描画を行う描画装置であってもよく、または基板上のインプリント材を型(モールド)で成形(成型)して基板上にパターンを形成するインプリント装置等であってもよい。
(物品の製造方法)
一実施形態に係る物品の製造方法は、例えば、半導体デバイスなどのマイクロデバイスや微細構造を有する素子などの物品を製造するのに好適である。当該製造方法は、物体(例えば、感光剤を表面に有する基板)上に上記のリソグラフィ装置を用いてパターン(例えば潜像パターン)を形成する工程と、該工程でパターンを形成された物体を処理する工程(例えば、現像工程)とを含み得る。さらに、該製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージングなど)を含み得る。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
一実施形態に係る物品の製造方法は、例えば、半導体デバイスなどのマイクロデバイスや微細構造を有する素子などの物品を製造するのに好適である。当該製造方法は、物体(例えば、感光剤を表面に有する基板)上に上記のリソグラフィ装置を用いてパターン(例えば潜像パターン)を形成する工程と、該工程でパターンを形成された物体を処理する工程(例えば、現像工程)とを含み得る。さらに、該製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージングなど)を含み得る。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は、これらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形または変更が可能である。
1 計測装置
3 投光系
5 ポジションセンサー
6 処理部
7 透光部材
7a 透光部
102 基板
3 投光系
5 ポジションセンサー
6 処理部
7 透光部材
7a 透光部
102 基板
Claims (8)
- 物体の表面の位置を計測する計測装置であって、
複数の透光部が形成された透光部材を含み、該透光部材を介して前記物体上に斜めに投影されて前記物体で反射された複数の光を検出して検出信号を出力する検出器と、
前記検出信号に基づいて前記表面の位置を求める処理部と、
を有し、
前記複数の透光部は、透光部の形状および大きさ、ならびに透光部の間隔の少なくとも1つが互いに異なっている、
ことを特徴とする計測装置。 - 前記検出信号は、前記表面で反射された光による第1成分と、前記物体の内部で反射された光による第2成分とを含み、
前記処理部は、前記複数の透光部に対応する基準信号に基づいて前記検出信号から特定した前記第1成分に基づいて前記表面の位置を求める、
ことを特徴とする請求項1に記載の計測装置。 - 前記処理部は、基準物体に対して前記検出器を動作させて前記基準信号を予め取得する、ことを特徴とする請求項2に記載の計測装置。
- 前記処理部は、前記基準信号をテンプレートとするテンプレートマッチングにより前記検出信号から前記第1成分を特定する、ことを特徴とする請求項2に記載の計測装置。
- 複数の前記透光部材と、該透光部材を切り替える切り替え部とを有し、
前記複数の透光部材は、前記複数の透光部の構成が互いに異なる、
ことを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の計測装置。 - 物体の表面の位置を計測する計測方法であって、
複数の透光部が形成された透光部材を介して前記物体上に斜めに投影されて前記物体で反射された複数の光を検出して検出信号を出力する工程と、
前記検出信号に基づいて前記表面の位置を求める工程と、
を含み、
前記複数の透光部は、透光部の形状および大きさ、ならびに透光部の間隔の少なくとも1つが互いに異なっている、
ことを特徴とする計測方法。 - パターンを基板に形成するリソグラフィ装置であって、
前記物体としての前記基板の表面の位置を計測する請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の計測装置を有する、
ことを特徴とするリソグラフィ装置。 - 請求項7に記載のリソグラフィ装置を用いてパターンを基板に形成する工程と、
前記工程で前記パターンを形成された基板を処理する工程と、
を含むことを特徴とする物品の製造方法。
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2013
- 2013-04-05 JP JP2013079180A patent/JP2014203984A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2016080525A (ja) * | 2014-10-17 | 2016-05-16 | キヤノン株式会社 | 計測装置、計測方法、リソグラフィ装置、および物品の製造方法 |
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