JP2014200881A - 基板加工装置、基板加工方法、及び加工具 - Google Patents

Abstract

【課題】コーナー面を加工する際に、角部による摩耗を軽減し砥石の寿命を長くすることができる基板加工装置を提供する。【解決手段】本発明の基板加工装置１００は、基板２００の２つの辺２０１、２０２が交差して形成する角部２０６を予め角取り加工して形成したコーナー面２０３を加工する加工装置であって、基板２００の主面２０７を平面視した場合のコーナー面２０３に沿った第１方向Ａに移動可能である台座１１と、一端が支点として台座１１に支持されて揺動可能なアーム１２と、アーム１２の他端に設置されて基板２００のコーナー面２０３を加工する加工部材１３とを備える。台座１１は、第１方向Ａに沿って往復移動できることが好ましい。【選択図】図１

Description

本発明は基板加工装置、基板加工方法及び加工具に関する。

従来では、加工後の基板（例えば板ガラス）の端面に対して、割れ或いは欠けの防止を目的とした端面加工が行われている（特許文献１参照）。特許文献１には、板ガラスの側端面及び／又は角部を研削又は研磨する端面加工装置が開示されている。特許文献１の端面加工装置では、板ガラスの隣り合う２つの側端面が交差して形成された角部を角取りすることにより、板ガラスにコーナー面（角取り面）を形成する。

角取り加工によって形成された板ガラスのコーナー面に対して、表面粗さの微細化や付着ガラス粉の除去のために、回転する円筒型の加工部材（砥石）を用いた更なる端面加工が行われている。円筒型の砥石によるコーナー面の加工では、一般に、直径がコーナー面の長手方向（板ガラスの主面を平面視した際の長さ方向）の幅よりも大きい砥石を使用する。例えば、加工角度が４５°で加工幅が１.５ｍｍの角取り加工によって、長手方向の幅が約２．１ｍｍであるコーナー面を形成した場合、コーナー面の加工に、直径６０ｍｍの円筒型の砥石を使用する。

円筒型の砥石によるコーナー面の加工方法として、コーナー面に隣接する両側端面の一部をも加工の範囲とし、一方の側端面、コーナー面、他方の側端面を順に加工するように砥石を移動する加工方法が用いられている。しかしながら、このような加工方法では、コーナー面を直線状に加工できないことがある。また、砥石の外周にある端面加工用の溝が加工中に偏摩耗して先細くなることから、板ガラスの主面側まで砥石によって加工されてしまうという問題があった。

また、円筒型の砥石によるコーナー面の加工方法として、コーナー面の中央部を加工するように砥石を移動する加工方法も用いられている。しかしながら、このような加工方法では、コーナー面に未加工部が生じるという問題があった。また、コーナー面に対して砥石の位置を正確に合わせることが困難になるという問題があった。

これに対し、砥石として回転しない平型の砥石を使用したコーナー面の加工も行われている。この場合には、加工面の幅がコーナー面の長手方向の幅（以下、コーナー面の幅）よりも大きい平型の砥石が使用され、砥石の加工面を板ガラスのコーナー面に押し付けた状態で砥石を移動させることによって板ガラスのコーナー面を加工する。

上述した平型の砥石によるコーナー面の加工では、砥石の加工面の幅がコーナー面の幅よりも大きいため、コーナー面の長手方向における位置合わせが容易にできる。

特開２００６−３２６７８５号公報

しかしながら、平型の砥石によるコーナー面の加工には、板ガラスのコーナー面と、側端面とが成す角部によって、移動する砥石の加工面が削られて大きく摩耗し、砥石の寿命が短くなるという問題があった。

本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであり、その目的は、コーナー面を加工する際に、角部による摩耗を軽減し砥石の寿命を長くすることができる基板加工装置、基板加工方法、及び加工具を提供することにある。

本発明の基板加工装置は、基板の２つの辺が交差して形成する角部を予め角取り加工して形成したコーナー面を加工する加工装置であって、前記基板の主面を平面視した場合の前記コーナー面に沿った第１方向に移動可能である台座と、一端が支点として前記台座に支持されて揺動可能なアームと、前記アームの他端に設置されて前記基板の前記コーナー面を加工する加工部材とを備える。

本発明の基板加工装置は、前記アームの前記他端を付勢して前記アームを予め定められた原位置に復帰させる付勢部材を更に備えることが好ましい。

本発明の基板加工装置は、前記台座を前記第１方向に沿って往復移動させる第１方向駆動機構を更に備えることが好ましい。

本発明の基板加工装置は、前記台座を前記コーナー面に対して近接又は離間する第２方向に沿って移動させる第２方向駆動機構を更に備えることが好ましい。

本発明の基板加工装置は、前記台座を前記基板が搬送される第３方向に沿って移動させる第３方向駆動機構を更に備えることが好ましい。

本発明の基板加工装置において、前記加工部材は弾性砥石であることが好ましい。

本発明の基板加工方法は、揺動可能に設置された加工部材によって基板のコーナー面を加工する加工方法であって、前記基板の前記コーナー面に接触した状態で、前記基板の主面を平面視した場合の前記コーナー面に沿った第１方向に前記加工部材を移動する工程と、前記加工部材を前記基板の前記コーナー面から離間する工程とを含む。

本発明の加工具は、台座と、一端が支点として前記台座に支持されて揺動可能なアームと、前記アームの他端に設置されて加工対象を加工する加工部材と、前記アームの前記他端を付勢して前記アームを予め定められた原位置に復帰させる付勢部材とを備える。

本発明の基板加工装置によれば、基板のコーナー面を加工する際、基板の角部による加工部材の摩耗を軽減し、加工部材の寿命を長くすることができる。

本発明の実施形態による基板加工装置を示す模式図である。 （ａ）〜（ｄ）は、本実施形態の基板加工装置による基板加工方法の工程を示す図である。 （ａ）〜（ｃ）は、図２に示す工程を実行した後に、加工部材を図２の反対方向に移動させてコーナー面を加工する工程を示す模式図である。 本発明による基板加工装置の更なる実施形態を示す図である。 （ａ）〜（ｃ）は、本実施形態の基板加工装置による基板加工方法の工程を示す図である。

以下、図面を参照して、本発明による基板加工装置、基板加工方法及び加工具の実施形態を説明する。ただし、本発明は以下の実施形態に限定されない。

図１は本発明の実施形態による基板加工装置１００を示す模式図である。基板加工装置１００は、基板２００を加工する装置である。本実施形態において、基板２００として板ガラスを適用した例を説明する。板ガラス２００は、第１の辺２０１と第２の辺２０２とコーナー面２０３を有している。第１の辺２０１と第２の辺２０２とは互いに直交する辺である。角取り工程において、第１の辺２０１と第２の辺２０２とが直交する角部２０６を研削することで、板ガラス２００にコーナー面２０３が形成される。

基板加工装置１００は、台座１１とアーム１２と加工部材１３とを備える。基板加工装置１００は、角取り工程において予め角取り加工された板ガラス２００のコーナー面２０３を加工部材１３によって更に加工する。板ガラス２００のコーナー面２０３に対する加工は、板ガラス２００のコーナー面２０３の面取り加工であり得る。また、板ガラス２００のコーナー面２０３に対する加工は、コーナー面２０３の表面粗さを微細化する研磨加工でもあり得る。なお、ここでは、第１の辺２０１と第２の辺２０２とが直交する板ガラス２００を用いて説明するが、本発明は、第１の辺２０１と第２の辺２０２とが直交しない板ガラスの角部の加工にも適用し得る。

台座１１は、アーム１２を取り付けるための部材である。台座１１は、板ガラス２００の主面２０７を平面視した場合のコーナー面２０３に沿った第１方向Ａに移動可能である。例えば、基板加工装置１００は、第１方向駆動機構（図示せず）を更に備え得る。台座１１は、第１方向Ａに沿って移動するように、第１方向駆動機構によって駆動される。台座１１が第１方向Ａに沿って移動することで、アーム１２が第１方向Ａに沿ってコーナー面２０３に対して相対移動する。

また、台座１１は、板ガラス２００のコーナー面２０３に対して近接又は離間する第２方向Ｂに沿って移動可能であってもよい。本実施形態において、第１方向Ａは第２方向Ｂと直交する方向である。台座１１が第２方向Ｂに沿って移動することで、台座１１に取り付けられたアーム１２がコーナー面２０３に対して近接又は離間する。例えば、基板加工装置１００は、第２方向駆動機構（図示せず）を更に備え得る。台座１１は、第２方向Ｂに沿って、コーナー面２０３から離れた待機位置とコーナー面２０３に近接した加工位置との間で移動するように、第２方向駆動機構によって駆動される。台座１１は、第２方向駆動機構の駆動によって加工位置に移動した後に、第１方向駆動機構の駆動によって第１方向に沿って移動し得る。第２方向駆動機構としては、シリンダーを使用した駆動機構又はボールねじを使用した駆動機構であり得る。しかしながら、本発明において駆動機構はこれに限定されない。例えば、駆動機構はリニアモータを使用した駆動機構であってもよい。第２方向Ｂに沿って台座１１を駆動することができる機構であれば、第２方向駆動機構として適用し得る。

なお、本実施形態では、台座１１の加工位置は、コーナー面２０３に近接した位置を指す。即ち、コーナー面２０３に近接した後第１方向Ａに沿って移動する間は、台座１１は加工位置に位置している。本実施形態において、台座１１は、第１方向Ａに沿って起点加工位置と終点加工位置との間で移動するように、第１方向駆動機構によって駆動される。なお、第１方向駆動機構は、第１方向Ａに沿って往復移動するように台座１１を駆動することが好ましい。

アーム１２は、加工部材１３を取り付けるための部材である。アーム１２は一端を支点として台座１１に支持されている。本実施形態において、アーム１２は相対する支点端１２１と揺動端１２２を有している。アーム１２は、第２方向Ｂと第１方向Ａとで規定される平面において揺動可能に、支点端１２１を介して台座１１に支持されている。支点端１２１は、例えば軸１２３によって台座１１に取り付けられる。台座１１が第２方向駆動機構の駆動によって移動する時、アーム１２は台座１１と共に第２方向Ｂに沿って板ガラス２００のコーナー面２０３に対して近接又は離間する。

加工部材１３は、板ガラス２００のコーナー面２０３を加工する。加工部材１３は、揺動の支点としての端部に相対するアーム１２の他端に取り付けられている。本実施形態において、加工部材１３は、アーム１２の揺動端１２２に取り付けられている。台座１１が第２方向駆動機構の駆動によって移動する時、加工部材１３及びアーム１２は台座１１と共に第２方向Ｂに沿って板ガラス２００のコーナー面２０３に対して近接又は離間する。台座１１が加工位置に位置している間、加工部材１３は加工面１３１でコーナー面２０３に接触する。台座１１が加工位置から離れて待機位置に移動する間、加工部材１３の加工面１３１はコーナー面２０３に接触しない。なお、加工部材１３がコーナー面２０３に接触していない時、アーム１２は予め定められた原位置に保持されていることが好ましい。原位置では、加工部材１３の加工面１３１と第２方向Ｂとが直交する。

また、台座１１が加工位置において第１方向駆動機構によって駆動され、第１方向Ａに沿って移動する際、加工部材１３は、コーナー面２０３に接触したままコーナー面２０３に対して相対移動する。このように、第１方向駆動機構の駆動によって加工部材１３がコーナー面２０３を加工する。

加工部材１３は、所定の押圧力でコーナー面２０３に接触する。例えば、厚みが０．５ｍｍである板ガラス２００に対して、加工角度が４５°であって加工幅が１.５ｍｍである角取り加工を行ってコーナー面２０３を形成した場合には、第２方向駆動機構からの押圧によって加工部材１３は３ｎ〜７ｎの押圧力でコーナー面２０３に接触する。また、第１方向Ａに沿った加工部材１３の幅は、コーナー面２０３を形成する加工時の加工幅よりも大きい。例えば、加工角度が４５°であって加工幅が１〜５ｍｍである角取り加工によって形成したコーナー面２０３の場合には、第１方向Ａに沿った幅が３０ｍｍであり、第２方向Ｂ及び第１方向Ａと直交する方向（図１の紙面と直交する方向）に沿った幅が４０ｍｍである加工部材１３を使用する。このように、第１方向Ａに沿った加工部材１３の幅がコーナー面２０３の長手方向の幅（以下、コーナー面２０３の幅）より大きいため、加工部材１３をコーナー面２０３に接触させる際の位置合わせが容易にできるため好適である。なお、本発明はこれに限定されず、第１方向Ａに沿った幅がコーナー面２０３の幅に等しい、又は第１方向Ａに沿った幅がコーナー面２０３の幅より小さい加工部材１３を使用し得る。

更に、本実施形態において、加工部材として砥石を使用し得る。砥石は、弾性砥石（例えば、住友スリーエム株式会社製「ＤＬＯホイール」）であり得る。なお、本発明はこれに限定されず、コーナー面２０３を加工することができる部材であれば、加工部材１３として使用できる。

図２（ａ）〜図２（ｄ）は、本実施形態の基板加工装置１００による基板加工方法の工程を示す図である。以下、図１及び図２を参照して本実施形態の基板加工方法を説明する。なお、ここでは、固定されている板ガラス２００のコーナー面２０３を加工する加工方法を説明する。

まず、図２（ａ）に示すように、板ガラス２００のコーナー面２０３に接触するように、加工部材１３が第２方向Ｂに沿って移動する。具体的には、第２方向駆動機構の駆動によって、台座１１を待機位置（図１に示す位置）から加工位置（図２（ａ）に示す位置）に移動させる。台座１１を加工位置に移動すると、加工部材１３の加工面１３１はコーナー面２０３に接触する。加工部材１３とコーナー面２０３との接触部位は、第２方向Ｂに沿って加工部材１３の揺動支点（軸１２３）を通る直線Ｌから図面の右側へ離れている。このように、アーム１２には偶力が作用するため、アーム１２は図面の時計回りに揺動して原位置から離れ、加工部材１３の加工面１３１は傾いた状態でコーナー面２０３に接触する。この時、コーナー面２０３と第１辺２０１とで規定された角部２０４、及びコーナー面２０３と第２辺２０２とで規定された角部２０５のうち、直線Ｌに近い角部２０４に加工部材１３からの押圧力が集中する。

次に、図２（ａ）〜図２（ｄ）に示すように、板ガラス２００のコーナー面２０３に接触した状態で加工部材１３は第１方向Ａに沿って移動する。具体的には、第１方向駆動機構の駆動によって、加工部材１３は起点加工位置（図２（ａ）に示す加工部材１３の位置）から終点加工位置（図２（ｄ）に示す加工部材１３の位置）に移動する。なお、移動する間に、コーナー面２０３と加工部材１３の加工面１３１との接触摩擦により、アーム１２に偶力が作用するため、アーム１２は揺動する。以下、台座１１の移動とアーム１２の揺動との関係について具体的に説明する。

台座１１が終点加工位置に向かって移動し始めると、加工部材１３が角部２０４に押されて、アーム１２は反時計回りに揺動する。図２（ｂ）には、揺動によって原位置に戻ったアーム１２が示されている。この時、加工部材１３の加工面１３１はコーナー面２０３の全体に接触している。

台座１１が右側に更に移動すると、アーム１２は反時計回りに更に揺動する。図２（ｃ）に示すように、台座１１が移動してある位置を越えると、アーム１２は再び原位置から離れて、コーナー面２０３の角部２０４は加工面１３１から離れる。台座１１が終点加工位置に向かって移動するに応じて、加工面１３１と第２辺２０２との間の角度が小さくなり、コーナー面２０３の角部２０５に加工部材１３からの押圧力が集中する。図２（ｄ）に示すように、台座１１が終点加工位置まで移動すると、加工部材１３の加工面１３１は、図２（ａ）とは異なる方向に傾いた状態でコーナー面２０３に接触する。

加工部材１３が第１方向Ａに沿って移動した後、加工部材１３は板ガラス２００のコーナー面２０３から離間する。具体的には、次に搬送されている板ガラスを加工するために、第１方向駆動機構及び第２方向駆動機構の駆動によって、台座１１を終点加工位置から待機位置に移動させる。例えば、第２方向駆動機構によって台座１１を駆動した後に第１方向駆動機構によって台座１１を駆動する。また、第１方向駆動機構及び第２方向駆動機構によって台座１１を同時に駆動してもよい。

図１及び図２を参照して本実施形態の基板加工装置及び基板加工方法を説明した。本実施形態の基板加工方法では、台座１１が第１方向Ａに沿って移動する間に、アーム１２の揺動により、加工部材１３はコーナー面２０３の一方の角部（ここでは角部２０５）と比較的長く接触する。また、角部２０５に接触している間に、加工部材１３からの押圧力は角部２０５に集中する。このように、台座１１が起点加工位置から終点加工位置に移動する間に、加工部材１３は主に角部２０５を加工する。

本実施形態では、コーナー面２０３を加工する際、第２辺２０２と加工部材１３の加工面１３１との間の角度は、アーム１２の揺動に応じて小さくなるため、加工面１３１が角部２０５によって削られることを抑制することができる。その結果、板ガラス２００の角部２０５による加工部材１３の摩耗を軽減し、加工部材１３の寿命を長くすることができる。コーナー面２０３に対する加工が表面粗さを微細化する研磨加工である場合、コーナー面２０３に付着しているガラス粉を除去することができる。

なお、本実施形態において、台座１１が左側にある起点加工位置から右側にある終点加工位置に移動することによって、コーナー面２０３を加工部材１３で加工していたが、本発明はこれに限定されない。台座１１の起点加工位置が右側にあって終点加工位置が左側にあってもよい。この場合では、加工部材１３が第２方向Ｂに沿って移動する工程において、加工部材１３とコーナー面２０３との接触部位が直線Ｌから左側へ離れる。

また、図１及び図２を参照して上述した説明では、加工部材１３を一方向のみ移動して板ガラス２００のコーナー面２０３を加工していたが、本発明はこれに限定されない。加工部材１３を往復移動させてコーナー面２０３を加工してもよい。図３（ａ）〜図３（ｃ）は、図２に示す工程を実行した後に、加工部材１３を図２の反対方向に移動させてコーナー面２０３を加工する工程を示す模式図である。以下、図２及び図３を参照して、加工部材１３を往復移動させてコーナー面２０３を加工する加工方法を説明する。なお、煩雑を避けるため、図２に示す工程について説明を省略する。

加工部材１３が第１方向Ａに沿って終点加工位置に移動する工程の後、加工部材１３が第１方向Ａに沿って起点加工位置に移動する。具体的には、第１方向駆動機構の駆動によって、加工部材１３は終点加工位置（図２（ｄ）に示す位置）から起点加工位置（図３（ｃ）に示す位置）に移動する。ここでも、移動する間に、コーナー面２０３と加工部材１３の加工面１３１との接触摩擦により、アーム１２に偶力が作用するため、アーム１２は揺動する。

台座１１が起点加工位置に向かって移動し始めると、加工部材１３が角部２０５に押されて、アーム１２は時計回りに揺動する。図３（ａ）には、揺動によって原位置に戻ったアーム１２が示されている。台座１１が左側に更に移動すると、アーム１２も時計回りに更に揺動する。図３（ｂ）に示すように、台座１１が移動してある位置を越えると、アーム１２は再び原位置から離れて、コーナー面２０３の角部２０５は加工面１３１から離れる。台座１１が起点加工位置に向かって移動するに応じて、加工面１３１と第１辺２０１との間の角度が小さくなり、コーナー面２０３の角部２０４に加工部材１３からの押圧力が集中する。

台座１１が第１方向Ａに沿って起点加工位置まで移動した後、第２方向駆動機構の駆動によって、台座１１を起点加工位置から待機位置に移動させる。このように、加工部材１３は、起点加工位置と終点加工位置との間を一回のみ往復移動してコーナー面２０３を加工する。しかしながら、加工部材１３が起点加工位置と終点加工位置との間を複数回にわたって往復移動してコーナー面２０３が加工されるように、台座１１を駆動してもよい。往復移動の回数は、往復移動する距離に応じて適切に設定し得るが、例えば、３５回／秒であり得る。

台座１１が第１方向Ａに沿って終点加工位置から起点加工位置まで移動する間に、アーム１２の揺動により、加工部材１３は角部２０４と比較的長く接触する。また、角部２０４に接触している間に、加工部材１３からの押圧力は角部２０４に集中する。このように、台座１１が終点加工位置から起点加工位置に移動する間に、加工部材１３は主に角部２０４を加工する。この際、第１辺２０１と加工面１３１との間の角度は小さくなるため、加工面１３１が角部２０４によって削られることを抑制することができる。その結果、本実施形態の基板加工方法によれば、コーナー面２０３を往復加工する際、板ガラス２００の角部２０４及び角部２０５による加工部材１３の摩耗を軽減し、加工部材１３の寿命を長くすることができる。

なお、本実施形態の基板加工装置１００において、加工部材１３の移動によって板ガラス２００のコーナー面２０３を加工するため、台座１１は第１方向Ａに沿って移動するが、必ずしも第２方向Ｂに沿って移動しなくてもよい。例えば、加工時、加工部材１３とコーナー面２０３とが接触するように、板ガラス２００を第２方向Ｂに沿って移動した後、台座１１を第１方向Ａに沿って移動させて加工部材１３でコーナー面２０３を加工してもよい。

図１〜図３を参照して説明した実施形態では、基板加工装置は固定された板ガラスを加工するが、本発明はこれに限定されない。基板加工装置は搬送中の板ガラスを加工してもよい。この場合、台座１１が板ガラス２００の移動に追従して移動できるように構成される。

具体的には、台座１１は、板ガラス２００が搬送される第３方向Ｃに沿って移動可能である。台座１１を第３方向Ｃに沿って移動することで、コーナー面２０３を加工する際に、板ガラス２００の移動に追従して台座１１を移動することができる。例えば、基板加工装置１００Ａは、第３方向駆動機構（図示せず）を更に備え得る。第３駆動機構は、台座１１が加工位置に移動した後、搬送される板ガラス２００と台座１１との相対速度が０となるように、第３方向Ｃに沿って台座１１を駆動する。

なお、上述した基板加工方法の説明では、加工部材１３が第２方向Ｂに沿って移動した後に、加工部材１３が第３方向Ｃに沿って移動していたが、本発明はこれに限定されない。加工部材１３が第３方向Ｃに沿って移動してから、加工部材１３が第２方向Ｂに沿って移動してもよい。

図４は、本発明による基板加工装置の更なる実施形態を示す図である。以下、図４を参照して、本実施形態の基板加工装置１００Ｂを説明する。基板加工装置１００Ｂは、付勢部材１４を更に備える点を除いて、図１〜図３を参照して説明した実施形態と同様な構成を有しているため、重複する部分について説明を省略する。

付勢部材１４は、アーム１２の揺動動作を補助する。付勢部材１４は、第２方向Ｂに沿ってアーム１２の揺動支点（軸１２３）を通る直線Ｌの両側にそれぞれ設置されている。付勢部材１４は、アーム１２の揺動端１２２に対して付勢する。付勢部材１４は、例えば、バネ又はスポンジであり得る。

本実施形態において、基板加工装置１００Ｂは付勢部材１４ａと付勢部材１４ｂとを備える。直線Ｌの両側において、台座１１とアーム１２との間に付勢部材１４ａと付勢部材１４ｂがそれぞれ設置されている。付勢部材１４ａと付勢部材１４ｂのそれぞれは、台座１１及びアーム１２に接触しており、アーム１２の揺動端１２２に対して同等の付勢力を付与する。図４に示すように、付勢部材１４ａ及び付勢部材１４ｂの付勢により、加工部材１３とコーナー面２０３とが接触していない時、アーム１２は原位置に保持される。また、図５に示すように、加工部材１３とコーナー面２０３との接触によってアーム１２が原位置から離れた場合には、付勢部材１４ａ及び付勢部材１４ｂの付勢により、アーム１２は原位置に復帰しようとする。

図５は、本実施形態の基板加工装置１００Ｂによる基板加工方法の工程を示す図である。本実施形態の基板加工方法は、図１〜図３を参照して説明した実施形態と同様な工程を包含するため、重複する記載を省略する。図５（ａ）に示すように、第２方向Ｂに沿って台座１１が起点加工位置に移動して加工部材１３とコーナー面２０３とが接触した時、アーム１２の揺動端１２２はコーナー面２０３によって押されて揺動し、付勢部材１４ａを押圧する。この時、アーム１２の揺動端１２２に付与された付勢部材１４ａの付勢によって、加工部材１３の加工面１３１とコーナー面２０３との接触が維持される。

図５（ｂ）及び図５（ｃ）に示すように、第１方向Ａに沿って台座１１を移動してアーム１２が反対方向に揺動する時、アーム１２の揺動端１２２に対する付勢部材１４ａの付勢によって、揺動動作がスムーズになる。また、図５（ｄ）に示すように、台座１１が終点加工位置に移動した時、アーム１２の揺動端１２２は付勢部材１４ｂを押圧する。アーム１２の揺動端１２２に対する付勢部材１４ｂの付勢によって、加工部材１３の加工面１３１とコーナー面２０３との接触が維持される。

図４及び図５を参照して本実施形態の基板加工装置２００Ｂ及び基板加工方法を説明した。本実施形態では、加工部材１３とコーナー面２０３とが接触していない時、付勢部材１４の付勢によってアーム１２は原位置に保持される。このため、アーム１２が原位置から外れた状態で加工部材１３とコーナー面２０３とが接触することによるアーム１２の望ましくない動きを抑制することができる。その結果、加工部材１３の加工面１３１の摩耗を更に抑制することができる。

また、加工部材１３がコーナー面２０３を加工している間において、付勢部材１４の付勢によってアーム１２は原位置に復帰しようとするため、加工面１３１とコーナー面２０３との接触を維持することができると共に、アーム１２の揺動動作をスムーズにすることができる。その結果、コーナー面２０３をより均一的に加工することができる。

なお、上述した各実施形態において、第２方向駆動機構として、バッファー機構を有するシリンダーを使用し得る。この場合では、加工部材１３の加工面１３１とコーナー面２０３との間の距離がシリンダーのストローク範囲内であれば、所定の押圧力で加工面１３１をコーナー面２０３に当接させることができ、距離を厳密に制御する必要がないため好適である。

また、加工部材１３とコーナー面２０３とが接触するように台座１１を第２方向Ｂに沿って移動する際、加工部材１３の自重によるアーム１２の望ましくない揺動を抑制するために、上述した各実施形態において、加工部材１３の重心とアーム１２の揺動支点との間の距離を短くすることが好ましい。

なお、上述した各実施形態の基板加工装置は、板ガラスのコーナー面の加工に使用されていたが、本発明はこれに限定されない。本発明は、板ガラス以外の基板（例えばプラスチック板、金属板やセラミック板）の端面を加工する加工具にも適用できる。加工具は、図４及び図５を参照して説明した実施形態と同様な構成を有する台座とアームと加工部材と付勢部材とを備え得る。本実施形態の加工具によれば、板ガラス以外の基板を加工する際に、加工部材の摩耗を軽減し加工部材の寿命を長くすることができる。

本発明の基板加工装置及び基板加工方法は、基板のコーナー面の加工に好適に用いられる。本発明の基板加工装置及び基板加工方法によれば、コーナー面を加工する際、基板の角部による加工部材の摩耗を軽減し、加工部材の寿命を長くすることができる。また、本発明の加工具は、板ガラス以外の基板の加工にも好適に用いられる。本発明の加工具によれば、基板を加工する際に、加工部材の摩耗を軽減し加工部材の寿命を長くすることができる。

１００ 基板加工装置
１１ 台座
１２ アーム
１２１ 支点端
１２２ 揺動端
１２３ 軸
１３ 加工部材
１３１ 加工面
１４ 付勢部材
２００ 基板
２０１ 第１辺
２０２ 第２辺
２０３ コーナー面
２０４ 角部
２０５ 角部
２０６ 角部
２０７ 主面

Claims (8)

1. 基板の２つの辺が交差して形成する角部を予め角取り加工して形成したコーナー面を加工する加工装置であって、
   前記基板の主面を平面視した場合の前記コーナー面に沿った第１方向に移動可能である台座と、
   一端が支点として前記台座に支持されて揺動可能なアームと、
   前記アームの他端に設置されて前記基板の前記コーナー面を加工する加工部材と、
   を備える、基板加工装置。
2. 前記アームの前記他端を付勢して前記アームを予め定められた原位置に復帰させる付勢部材を更に備える、請求項１に記載の基板加工装置。
3. 前記台座を前記第１方向に沿って往復移動させる第１方向駆動機構を更に備える、請求項１又は請求項２に記載の基板加工装置。
4. 前記台座を前記コーナー面に対して近接又は離間する第２方向に沿って移動させる第２方向駆動機構を更に備える、請求項１〜請求項３のいずれかに記載の基板加工装置。
5. 前記台座を前記基板が搬送される第３方向に沿って移動させる第３方向駆動機構を更に備える、請求項１〜請求項４のいずれかに記載の基板加工装置。
6. 前記加工部材は弾性砥石である、請求項１〜請求項５のいずれかに記載の基板加工装置。
7. 揺動可能に設置された加工部材によって基板のコーナー面を加工する加工方法であって、
   前記基板の前記コーナー面に接触した状態で、前記基板の主面を平面視した場合の前記コーナー面に沿った第１方向に前記加工部材を移動する工程と、
   前記加工部材を前記基板の前記コーナー面から離間する工程と
   を含む、基板加工方法。
8. 台座と、
   一端が支点として前記台座に支持されて揺動可能なアームと、
   前記アームの他端に設置されて加工対象を加工する加工部材と、
   前記アームの前記他端を付勢して前記アームを予め定められた原位置に復帰させる付勢部材と
   を備える、加工具。

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