JP2014193428A - 光照射装置および光照射方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光照射装置1は、光に反応する被照射体IRを支持する支持面32Cを有する支持手段3と、前記支持面32Cで支持されて照射姿勢となった被照射体IRに光を照射する発光手段4とを備え、前記支持手段3は、前記支持面32Cを前記照射姿勢と当該照射姿勢に対して起立する方向に傾斜した傾斜姿勢との間で移動可能に設けられている。
【選択図】図1
Description
特許文献1に記載の光照射装置は、被照射体を支持するガラスプレートと、このガラスプレートの下方に設けられた光源部と、この光源部を水平方向に移動させる移動機構とを備え、光源部を発光させつつ水平方向に移動させ、ガラスプレートに透過させた光を被照射体に照射するように構成されている。
なお、本明細書におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、水平面内の軸とし、Z軸は、水平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸の紙面に直交する手前方向で「後」がその逆方向とする。
先ず、図示しない操作手段によって起動信号が入力されると、冷却手段8が駆動するとともに、発光手段4が電源ユニット42を駆動し、光源43を図1中実線で示す位置で発光させる。次いで、検査手段7がリニアモータ71を駆動し、照度計72を前後方向に移動させて各光源43の照度を検査する。この際、照度が不足する光源43が発見されると、検査手段7が図示しない警告音発生手段や点灯手段等の警告手段を駆動し、照度が不足していることをオペレータに知らせる。
さらに、テーブル32の傾斜姿勢は、テーブル32の前方側を回転中心として後方側を上方にして傾斜させたり、後方側を回転中心として前方側を上方にして傾斜させたり、左側を回転中心として右側を上方にして傾斜させたりしてもよい。
また、照射姿勢は、水平面に対して傾斜していてもよい。
また、供給手段6は、フレーム部21、固定カバー部22、および移動カバー5で形成された密閉空間に不活性ガスを供給してもよい。
また、光源43は、接着剤層ADが硬化する波長に合わせて発光する光の波長を適宜変更でき、例えば、400nmの光で光硬化する接着剤層ADが採用された場合、光源43は、400nmの光を発光できればよい。
さらに、光源43は、被照射面が硬化する波長の光だけを照射できるものであってもよいし、接着剤層ADが硬化する波長を含む光を照射できるものであってもよい。
また、光源43は、接着剤層に光反応を起こさせることができるもので構成されていれば、紫外線に限らず赤外線、自然光、マイクロ波等、他の光を照射可能なものであってよい。
さらに、光反応としては、光によって硬化する反応に限らず、光によって軟化する反応、光によって昇温、降温する反応、光によって接着力が増す反応等の他の反応であってもよい。
また、接着シートASの材質、種別、形状等は、特に限定されず、例えば、接着剤層ADだけの単層のもの、基材シートBSと接着剤層ADとの間に中間層を有するもの、基材シートBSの上面にカバー層を有する等3層以上のもの、更には、基材シートBSを接着剤層ADから剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、板状部材としては、例えば、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等の半導体ウェハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板又は樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。さらに、接着シートASを、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
3 支持手段
4 発光手段
32C 支持面
IR 被照射体
Claims (2)
- 光に反応する被照射体を支持する支持面を有する支持手段と、
前記支持面で支持されて照射姿勢となった被照射体に光を照射する発光手段とを備え、
前記支持手段は、前記支持面を前記照射姿勢と当該照射姿勢に対して起立する方向に傾斜した傾斜姿勢との間で移動可能に設けられていることを特徴とする光照射装置。 - 光に反応する被照射体を支持する支持面を傾斜姿勢に移動させる工程と、
傾斜姿勢に移動した支持面に前記被照射体を支持させる工程と、
前記支持面を照射姿勢に移動させる工程と、
前記支持面で支持された被照射体に光を照射する工程とを実施することを特徴とする光照射方法。
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