JP2014192231A - Method for manufacturing solid electrolytic capacitor - Google Patents

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伊藤  忠仁
Yutaka Takeya
竹谷  豊
Yoshiaki Hasaba
善昭 狹場
Akira Sakamaki
坂牧  亮
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a solid electrolytic capacitor capable of obtaining a solid electrolytic capacitor with low leakage current and ESR, and downsizing a device.SOLUTION: A method for manufacturing a solid electrolytic capacitor 1 comprises the steps of: forming a dielectric coating layer 13 on a surface of an anode body 12 made of valve action metal; forming a conductive precoat layer 14 on the dielectric coating layer 13; and immersing an element intermediate 20 in which the precoat layer 14 is formed in an electrolytic polymerization solution H, feeding power from a feeding point 32a in contact with or adjacent to an external electrode 32 to the element intermediate 20, and forming a conductive polymer layer 15 on the precoat layer 14 by electrolytic polymerization (electrolytic polymerization step). The feeding point 32a is provided on an edge line 20d between two adjacent surfaces of the element intermediate 20.

Description

本発明は、電解重合を用いて導電性高分子層を形成する固体電解コンデンサの製造方法に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing a solid electrolytic capacitor in which a conductive polymer layer is formed using electrolytic polymerization.

従来の固体電解コンデンサは特許文献1に開示される。この固体電解コンデンサは外装材で覆われるコンデンサ素子を有している。コンデンサ素子は陽極体の表面に誘電体被膜層、プレコート層、導電性高分子層を積層して形成される。   A conventional solid electrolytic capacitor is disclosed in Patent Document 1. This solid electrolytic capacitor has a capacitor element covered with an exterior material. The capacitor element is formed by laminating a dielectric coating layer, a precoat layer, and a conductive polymer layer on the surface of the anode body.

陽極体はタンタル等の弁作用金属の焼結体により形成される。誘電体被膜層は焼結体から成る多孔質の陽極体を陽極酸化して形成される。プレコート層は導電性のポリピロール等から成り、前駆体であるピロール等のモノマーと酸化剤とを反応させる化学重合によって形成される。   The anode body is formed of a sintered body of valve action metal such as tantalum. The dielectric coating layer is formed by anodizing a porous anode body made of a sintered body. The precoat layer is made of conductive polypyrrole or the like, and is formed by chemical polymerization in which a monomer such as a precursor pyrrole and an oxidizing agent are reacted.

導電性高分子層はポリピロール等から成り、電解重合により形成される。即ち、プレコート層が形成された素子中間体を電解重合溶液に浸漬し、素子中間体の周面に外部電極を接触させる。そして、外部電極の接触領域を給電点として素子中間体に給電し、プレコート層上に導電性高分子層を形成する。   The conductive polymer layer is made of polypyrrole or the like and is formed by electrolytic polymerization. That is, the element intermediate on which the precoat layer is formed is immersed in an electrolytic polymerization solution, and an external electrode is brought into contact with the peripheral surface of the element intermediate. Then, power is supplied to the element intermediate using the contact region of the external electrode as a feeding point, and a conductive polymer layer is formed on the precoat layer.

陽極体を弁作用金属の焼結体により形成して陰極を導電性高分子層により形成するため、小型で容量が大きくESR(等価直列抵抗)の低い固体電解コンデンサが得られる。   Since the anode body is formed of a valve action metal sintered body and the cathode is formed of a conductive polymer layer, a solid electrolytic capacitor having a small size, a large capacity, and a low ESR (equivalent series resistance) can be obtained.

また、導電性高分子層を電解重合により形成するため、化学重合により形成する場合に比して機械的強度や電気伝導度が高く漏れ電流やESRをより低くすることができる。この時、誘電体被膜層上に直接電解重合による導電性高分子層を形成することができないため、導電性のプレコート層を形成して電解重合を可能にしている。プレコート層は特許文献2に開示されるように二酸化マンガンにより形成してもよい。   Moreover, since the conductive polymer layer is formed by electrolytic polymerization, the mechanical strength and electrical conductivity are high and leakage current and ESR can be further reduced as compared with the case of forming by chemical polymerization. At this time, since a conductive polymer layer cannot be directly formed on the dielectric coating layer by electrolytic polymerization, a conductive precoat layer is formed to enable electrolytic polymerization. The precoat layer may be formed of manganese dioxide as disclosed in Patent Document 2.

外部電極が素子中間体の表面に形成される導電性高分子層に埋没すると、外部電極を取り外す際に導電性高分子層やプレコート層が欠落する。これにより、プレコート層に固着した誘電体皮膜層の損傷が生じる場合や導電性高分子層に薄い部分が形成される場合がある。このため、漏れ電流の増大やショートによって固体電解コンデンサの歩留りが低下する。   When the external electrode is buried in the conductive polymer layer formed on the surface of the element intermediate, the conductive polymer layer and the precoat layer are lost when the external electrode is removed. As a result, the dielectric film layer fixed to the precoat layer may be damaged or a thin portion may be formed in the conductive polymer layer. For this reason, the yield of a solid electrolytic capacitor falls due to an increase in leakage current or a short circuit.

この問題を解決するために、特許文献1では外部電極を介して素子中間体に給電する際に給電点が可変される。即ち、外部電極は素子中間体を挟んで一対設けられ、水平移動可能になっている。そして、一対の外部電極は素子中間体の対向する側面に交互に接触して給電する。また、特許文献1の他の実施形態では外部電極は給電中に素子中間体の側面に沿って下部から上部に鉛直方向に移動可能になっている。これにより、外部電極の埋没を防止することができる。   In order to solve this problem, in Patent Document 1, the feeding point is varied when feeding power to the element intermediate through the external electrode. That is, a pair of external electrodes are provided with the element intermediate body interposed therebetween, and can be moved horizontally. The pair of external electrodes alternately supply power by contacting the opposing side surfaces of the element intermediate body. In another embodiment of Patent Document 1, the external electrode is movable in the vertical direction from the lower part to the upper part along the side surface of the element intermediate body during power feeding. As a result, the external electrode can be prevented from being buried.

特開平11−283878号公報(第3頁−第4頁、第1図、第3図)Japanese Patent Laid-Open No. 11-283878 (pages 3 to 4, FIGS. 1 and 3) 特開平2−219211号公報(第4頁−第5頁、第2図)JP-A-2-219211 (pages 4-5, FIG. 2)

しかしながら、上記特許文献1に開示された固体電解コンデンサの製造方法によると、素子中間体を挟む一対の外部電極がそれぞれ水平移動する。また、外部電極が素子中間体の下部から上部にわたる長い距離を鉛直方向に移動する。このため、電解重合により導電性高分子層を形成する装置が大型化する問題があった。   However, according to the method for manufacturing a solid electrolytic capacitor disclosed in Patent Document 1, the pair of external electrodes that sandwich the element intermediate body move horizontally. The external electrode moves in the vertical direction over a long distance from the lower part to the upper part of the element intermediate. For this reason, there existed a problem that the apparatus which forms a conductive polymer layer by electrolytic polymerization enlarged.

本発明は、漏れ電流及びESRの小さい固体電解コンデンサが得られ、装置の小型化を図ることのできる固体電解コンデンサの製造方法を提供することを目的とする。   An object of the present invention is to provide a method of manufacturing a solid electrolytic capacitor that can obtain a solid electrolytic capacitor having a small leakage current and ESR, and that can reduce the size of the device.

上記目的を達成するために本発明は、弁作用金属から成る陽極体の表面に誘電体被膜層を形成する誘電体被膜層形成工程と、前記誘電体被膜層上に導電性のプレコート層を形成するプレコート層形成工程と、前記プレコート層が形成された素子中間体を電解重合溶液に浸漬するとともに前記素子中間体に外部電極が接触または近接する給電点から給電して電解重合によって前記プレコート層上に導電性高分子層を形成する電解重合工程とを備えた固体電解コンデンサの製造方法において、前記素子中間体の隣接する二面間の稜線上に前記給電点を設けたことを特徴としている。   In order to achieve the above object, the present invention provides a dielectric coating layer forming step of forming a dielectric coating layer on the surface of an anode body made of a valve metal, and forming a conductive precoat layer on the dielectric coating layer. A precoat layer forming step, and an element intermediate on which the precoat layer is formed is immersed in an electrolytic polymerization solution, and an electric power is supplied from a feeding point where an external electrode is in contact with or close to the element intermediate. In the method of manufacturing a solid electrolytic capacitor comprising an electropolymerization step of forming a conductive polymer layer on the element, the feeding point is provided on a ridge line between two adjacent surfaces of the element intermediate.

この構成によると、誘電体被膜層形成工程において、タンタル等の弁作用金属から成る陽極体の表面に酸化被膜等の誘電体皮膜層が形成される。次にプレコート層形成工程において、誘電体皮膜層の表面に導電性のプレコート層が形成される。次に電解重合工程において、プレコート層上に導電性高分子層が形成される。この時、プレコート層を形成した素子中間体が電解重合溶液に浸漬され、素子中間体の隣接する二面間の稜線上に外部電極が接触または近接した給電点が設けられる。素子中間体には給電点から給電され、電解重合によって導電性高分子層が形成される。   According to this configuration, in the dielectric film layer forming step, a dielectric film layer such as an oxide film is formed on the surface of the anode body made of a valve metal such as tantalum. Next, in the precoat layer forming step, a conductive precoat layer is formed on the surface of the dielectric film layer. Next, in the electrolytic polymerization step, a conductive polymer layer is formed on the precoat layer. At this time, the element intermediate on which the precoat layer is formed is immersed in the electrolytic polymerization solution, and a feeding point where the external electrode is in contact with or close to the ridge line between two adjacent surfaces of the element intermediate is provided. The element intermediate is fed from a feeding point, and a conductive polymer layer is formed by electrolytic polymerization.

また本発明は、上記構成の固体電解コンデンサの製造方法において、前記外部電極が鉛直方向に延びる鉛直部と、前記鉛直部の下端で屈曲して前記稜線上に配される屈曲部とを有し、複数の前記素子中間体が並設して前記電解重合溶液中に浸漬されることを特徴としている。   In the method for manufacturing a solid electrolytic capacitor having the above configuration, the present invention includes a vertical portion in which the external electrode extends in the vertical direction, and a bent portion that is bent at the lower end of the vertical portion and is disposed on the ridgeline. A plurality of the element intermediates are arranged in parallel and immersed in the electrolytic polymerization solution.

また本発明は、上記構成の固体電解コンデンサの製造方法において、前記電解重合工程において所定時間毎に前記外部電極を前記稜線上から退避させることを特徴とことを特徴としている。   According to the present invention, in the method of manufacturing a solid electrolytic capacitor having the above-described configuration, the external electrode is retracted from the ridge line every predetermined time in the electrolytic polymerization step.

また本発明は、上記構成の固体電解コンデンサの製造方法において、前記給電点が前記電解重合溶液に浸漬した前記素子中間体の下面の周縁または側面の下端に形成されることを特徴としている。   According to the present invention, in the method for manufacturing a solid electrolytic capacitor having the above-described configuration, the feeding point is formed on a peripheral edge of the lower surface of the element intermediate body immersed in the electrolytic polymerization solution or on a lower end of the side surface.

また本発明は、上記構成の固体電解コンデンサの製造方法において、前記プレコート層が二酸化マンガンまたは化学重合により形成される導電性高分子であることを特徴としている。   According to the present invention, in the method for producing a solid electrolytic capacitor having the above-described configuration, the precoat layer is manganese dioxide or a conductive polymer formed by chemical polymerization.

本発明によると、電解重合工程において外部電極の給電点を素子中間体の隣接する二面間の稜線上に設けたので、誘電体酸化皮膜の損傷を低減するとともに導電性高分子層を均一な厚さに形成することができる。従って、漏れ電流及びESRが低く歩留りの高い固体電解コンデンサを得ることができる。また、外部電極の給電点が可変されないため、電解重合工程の装置の小型化を図ることができる。   According to the present invention, since the feeding point of the external electrode is provided on the ridge line between two adjacent surfaces of the element intermediate in the electrolytic polymerization process, damage to the dielectric oxide film is reduced and the conductive polymer layer is made uniform. It can be formed to a thickness. Therefore, a solid electrolytic capacitor with low leakage current and ESR and high yield can be obtained. Further, since the feeding point of the external electrode is not changed, the apparatus for the electrolytic polymerization process can be downsized.

本発明の第1実施形態の固体電解コンデンサを示す側面断面図Side surface sectional drawing which shows the solid electrolytic capacitor of 1st Embodiment of this invention 本発明の第1実施形態の固体電解コンデンサの製造工程を示す工程図Process drawing which shows the manufacturing process of the solid electrolytic capacitor of 1st Embodiment of this invention 本発明の第1実施形態の固体電解コンデンサの電解重合工程の概略を示す正面図The front view which shows the outline of the electrolytic polymerization process of the solid electrolytic capacitor of 1st Embodiment of this invention 本発明の第1実施形態の固体電解コンデンサの電解重合工程の概略を示す斜視図The perspective view which shows the outline of the electrolytic polymerization process of the solid electrolytic capacitor of 1st Embodiment of this invention 本発明の第2実施形態の固体電解コンデンサの電解重合工程の概略を示す正面図The front view which shows the outline of the electrolytic polymerization process of the solid electrolytic capacitor of 2nd Embodiment of this invention 本発明の第2実施形態の固体電解コンデンサの電解重合工程の概略を示す斜視図The perspective view which shows the outline of the electropolymerization process of the solid electrolytic capacitor of 2nd Embodiment of this invention 比較例の固体電解コンデンサの電解重合工程の概略を示す斜視図The perspective view which shows the outline of the electropolymerization process of the solid electrolytic capacitor of a comparative example

以下に図面を参照して本発明の実施形態を説明する。図1は第1実施形態の固体電解コンデンサを示す側面断面図である。固体電解コンデンサ1はエポキシ樹脂等の外装材3で覆われるコンデンサ素子10を有している。コンデンサ素子10にはリードフレーム11、18が接続され、リードフレーム11、18の一部が外装材3から露出する。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a side sectional view showing the solid electrolytic capacitor of the first embodiment. The solid electrolytic capacitor 1 has a capacitor element 10 covered with an exterior material 3 such as an epoxy resin. Lead frames 11 and 18 are connected to the capacitor element 10, and a part of the lead frames 11 and 18 is exposed from the exterior material 3.

コンデンサ素子10は陽極体12の表面に誘電体皮膜層13、プレコート層14、導電性高分子層15、カーボン層16、銀コーティング層17を積層して形成される。陽極体12の一端には陽極リードワイヤ12aが植設され、陽極端子を形成するリードフレーム11の一端が陽極リードワイヤ12aに溶接される。陰極端子を形成するリードフレーム18は導電性樹脂ペースト等の接着剤を介して銀コーティング層17の表面に接着される。   Capacitor element 10 is formed by laminating dielectric film layer 13, precoat layer 14, conductive polymer layer 15, carbon layer 16, and silver coating layer 17 on the surface of anode body 12. An anode lead wire 12a is implanted at one end of the anode body 12, and one end of the lead frame 11 forming the anode terminal is welded to the anode lead wire 12a. The lead frame 18 forming the cathode terminal is adhered to the surface of the silver coating layer 17 through an adhesive such as a conductive resin paste.

図2は固体電解コンデンサの製造工程を示す工程図である。陽極体12はタンタル、ニオブ、アルミニウム等の弁作用金属により形成される。焼結工程では弁作用を有する金属や酸化物の粉末を成形し、高温真空焼結される。これにより、直方体の多孔質体の陽極体12が形成される。陽極体12を他の多角柱状や円柱状に形成してもよい。   FIG. 2 is a process diagram showing the manufacturing process of the solid electrolytic capacitor. The anode body 12 is made of a valve metal such as tantalum, niobium, or aluminum. In the sintering process, a metal or oxide powder having a valve action is formed and vacuum sintered at high temperature. Thereby, a rectangular parallelepiped porous anode body 12 is formed. The anode body 12 may be formed in another polygonal column shape or a cylindrical shape.

また、陽極体12の形成時に陽極リードワイヤ12aが陽極体12の一端に植設される。陽極リードワイヤ12aは一般に陽極体12と同じ材質により形成される。陽極リードワイヤ12aを焼結後の陽極体12の端面に電気溶接してもよい。   In addition, an anode lead wire 12 a is implanted at one end of the anode body 12 when the anode body 12 is formed. The anode lead wire 12a is generally formed of the same material as the anode body 12. The anode lead wire 12a may be electrically welded to the end surface of the sintered anode body 12.

次に、誘電体被膜形成工程では多孔質体の陽極体12を陽極酸化(化成)する。これにより、酸化皮膜から成る誘電体皮膜層13が陽極体12の内部まで全表面に形成される。   Next, in the dielectric film forming step, the porous anode body 12 is anodized (formed). Thereby, the dielectric film layer 13 made of an oxide film is formed on the entire surface up to the inside of the anode body 12.

次に、プレコート層形成工程では誘電体皮膜層13の全表面を覆うように導電体のプレコート層14を陽極体12の内部まで形成する。プレコート層14は二酸化マンガンまたは化学重合により形成した導電性高分子から成っている。   Next, in the precoat layer forming step, a conductor precoat layer 14 is formed up to the inside of the anode body 12 so as to cover the entire surface of the dielectric coating layer 13. The precoat layer 14 is made of a conductive polymer formed by manganese dioxide or chemical polymerization.

二酸化マンガンから成るプレコート層14は誘電体皮膜層13を形成した陽極体12を硝酸マンガン水溶液に浸漬し、引き上げた後に200〜400℃で加熱分解することで得られる。   The precoat layer 14 made of manganese dioxide is obtained by immersing the anode body 12 on which the dielectric film layer 13 is formed in an aqueous manganese nitrate solution, and then thermally decomposing it at 200 to 400 ° C.

導電性高分子から成るプレコート層14は、前駆体であるモノマーと酸化剤を反応させることで得られる。モノマーとして、ピロール、チオフェン、アニリン、またはこれらの誘導体が用いられる。酸化剤として、過硫酸アンモニウム、パラトルエンスルホン酸第二鉄、硝酸第二鉄、硫酸第二銅、三酸化硫黄、二酸化窒素、過酸化水素、過酢酸等が用いられる。   The precoat layer 14 made of a conductive polymer can be obtained by reacting a precursor monomer with an oxidizing agent. As the monomer, pyrrole, thiophene, aniline, or a derivative thereof is used. As the oxidizing agent, ammonium persulfate, ferric paratoluenesulfonate, ferric nitrate, cupric sulfate, sulfur trioxide, nitrogen dioxide, hydrogen peroxide, peracetic acid and the like are used.

次に、電解重合工程が行われる。尚、必要に応じて陽極体12上に誘電体皮膜層13及びプレコート層14を形成した素子中間体20(図3参照)の再化成が電解重合工程の前に行われる。再化成によって、プレコート層14の形成で損傷した誘電体皮膜層13を修復することができる。   Next, an electrolytic polymerization process is performed. If necessary, the element intermediate 20 (see FIG. 3) in which the dielectric coating layer 13 and the precoat layer 14 are formed on the anode body 12 is re-formed before the electrolytic polymerization step. By re-chemical conversion, the dielectric coating layer 13 damaged by the formation of the precoat layer 14 can be repaired.

図3、図4は電解重合工程の概略を示す正面図及び斜視図である。プレコート層14が形成された素子中間体20は端子導出面20aから導出される陽極リードワイヤ12aが保持治具31により保持される。保持治具31は昇降可能に構成され、保持治具31の降下により素子中間体20が電解重合溶液Hに浸漬される。この時、複数の素子中間体20が所定のピッチP1で並設され、同時に電解重合溶液Hに浸漬される。   3 and 4 are a front view and a perspective view showing an outline of the electrolytic polymerization process. In the element intermediate 20 on which the precoat layer 14 is formed, the anode lead wire 12 a led out from the terminal lead-out surface 20 a is held by the holding jig 31. The holding jig 31 is configured to be movable up and down, and the element intermediate 20 is immersed in the electrolytic polymerization solution H when the holding jig 31 is lowered. At this time, the plurality of element intermediates 20 are arranged in parallel at a predetermined pitch P1 and are immersed in the electrolytic polymerization solution H at the same time.

電解重合溶液Hとして、導電性高分子の前駆体であるモノマー及び導電性高分子のドーパントを含む支持電解質等が用いられる。モノマーとしてピロール、チオフェン、アニリンまたはそれらの誘導体が用いられる。チオフェンの誘導体である3,4−エチレンジオキシチオフェンは導電性や安定性の面からより好ましい。ドーパントとしてスルホン酸化合物やカルボン酸化合物等が用いられる。これにより、導電性高分子層15はポリピロール、ポリチオフェン、ポリアニリン等により形成される。   As the electrolytic polymerization solution H, a supporting electrolyte containing a monomer that is a precursor of a conductive polymer and a dopant of the conductive polymer is used. As the monomer, pyrrole, thiophene, aniline or a derivative thereof is used. 3,4-ethylenedioxythiophene, which is a derivative of thiophene, is more preferable from the viewpoints of conductivity and stability. A sulfonic acid compound, a carboxylic acid compound, or the like is used as the dopant. Thereby, the conductive polymer layer 15 is formed of polypyrrole, polythiophene, polyaniline, or the like.

電解重合溶液H中には外部電極32が傾斜して配され、素子中間体20が降下して外部電極32に接触または近接する。そして、外部電極32が素子中間体20に接触または近接した給電点32aから素子中間体20に給電して電解重合を行う。これにより、プレコート層14上に導電性高分子層15が形成される。   In the electrolytic polymerization solution H, the external electrode 32 is inclined and the element intermediate 20 descends and contacts or approaches the external electrode 32. Then, the external electrode 32 feeds power to the element intermediate 20 from the feeding point 32a in contact with or close to the element intermediate 20 to perform electrolytic polymerization. Thereby, the conductive polymer layer 15 is formed on the precoat layer 14.

この時、誘電体皮膜層13及びプレコート層14は非常に薄いため、素子中間体20は陽極体12とほぼ同様の形状を維持している。給電点32aは多角柱状または円柱状の素子中間体20の側面20cと底面20bとの間の稜線20d上に設けられる。これにより、給電点32aは側面20cの下端かつ底面20bの周縁に形成される。即ち、素子中間体20は隣接する二面間の稜線20d上を給電点32aとして給電される。   At this time, since the dielectric coating layer 13 and the precoat layer 14 are very thin, the element intermediate body 20 maintains the same shape as the anode body 12. The feeding point 32a is provided on the ridge line 20d between the side surface 20c and the bottom surface 20b of the element intermediate body 20 having a polygonal column shape or a cylindrical shape. Thereby, the feeding point 32a is formed at the lower end of the side surface 20c and the periphery of the bottom surface 20b. That is, the element intermediate 20 is supplied with power on the ridge line 20d between two adjacent surfaces as a power supply point 32a.

電解重合により形成される導電性高分子層15は突起部分で成長の進行速度が速くなる。このため、突起部分を形成する稜線20d上には他の平坦部分よりも層厚の大きい導電性高分子層15が形成される。これにより、外部電極32を取り外す際に導電性高分子層15が欠落しても誘電体皮膜層13の損傷を抑制することができる。   In the conductive polymer layer 15 formed by electrolytic polymerization, the growth speed of growth is increased at the protruding portion. For this reason, the conductive polymer layer 15 having a larger layer thickness than the other flat portions is formed on the ridge line 20d forming the protruding portion. Thereby, even if the conductive polymer layer 15 is missing when the external electrode 32 is removed, damage to the dielectric coating layer 13 can be suppressed.

外部電極32は導電性であればよく、ステンレス等の金属、導電性ゴム、基材にメッキや導電性素材をコーティングした部材等が用いられる。また、外部電極32は線材や薄板により形成され、稜線20d上のプレコート層14に対して点または線で接触または近接する。   The external electrode 32 only needs to be conductive, and a metal such as stainless steel, conductive rubber, a member obtained by coating a base material with plating or a conductive material, or the like is used. The external electrode 32 is formed of a wire or a thin plate, and is in contact with or close to the precoat layer 14 on the ridge line 20d with a point or a line.

このため、外部電極32の接触面積を平面接触に比して小さくすることができる。これにより、導電性高分子層15が成長した際の外部電極32の埋没を少なくできるとともに、外部電極32と導電性高分子層15との接着力を小さくができる。その結果、外部電極32を取り外す際に導電性高分子層15の欠落を低減することができ、誘電体皮膜層13やプレコート層14の損傷を更に抑制することができる。従って、従来例のように外部電極32を接触させる給電点32aを給電中に変更する必要がないため、電解重合を行う装置を小型で簡素に構成することができる。   For this reason, the contact area of the external electrode 32 can be made smaller than that of planar contact. Thereby, the burying of the external electrode 32 when the conductive polymer layer 15 grows can be reduced, and the adhesive force between the external electrode 32 and the conductive polymer layer 15 can be reduced. As a result, when the external electrode 32 is removed, the loss of the conductive polymer layer 15 can be reduced, and damage to the dielectric coating layer 13 and the precoat layer 14 can be further suppressed. Therefore, since it is not necessary to change the feeding point 32a with which the external electrode 32 is brought into contact during feeding as in the conventional example, the apparatus for performing the electropolymerization can be configured in a small and simple manner.

外部電極32が稜線20dと線接触する場合の接触長さは3mm以下が好ましい。接触長さが3mmよりも長くなると接触面積が大きくなるため、導電性高分子層15の欠落が起きやすくなる。また、線材や薄板により外部電極32が弾性を有すると、確実に外部電極32を素子中間体20に接触させることができる。外部電極32に弾性部材を連結し、外部電極32を素子中間体20に接触させるようにしてもよい。   The contact length when the external electrode 32 is in line contact with the ridge line 20d is preferably 3 mm or less. When the contact length is longer than 3 mm, the contact area increases, and the conductive polymer layer 15 is likely to be lost. Further, when the external electrode 32 has elasticity due to a wire or a thin plate, the external electrode 32 can be reliably brought into contact with the element intermediate 20. An elastic member may be connected to the external electrode 32 so that the external electrode 32 is in contact with the element intermediate 20.

また、外部電極32から通電される電流は稜線20dを構成する素子中間体20の隣接する二面から陽極体12の内部を含むプレコート層14全体に広がる。このため、外部電極32が一平坦面に接触する場合に比して導電性高分子層15が素子全体で均一な厚さとなり、固体電解コンデンサ1のESRを小さくすることができる。また、導電性高分子層15の薄い部分を十分な厚さに形成するための余分な電解重合をする必要がなく、コンデンサ素子10をスリムに形成することができる。   In addition, the current supplied from the external electrode 32 spreads from the two adjacent surfaces of the element intermediate body 20 constituting the ridge line 20 d to the entire precoat layer 14 including the inside of the anode body 12. For this reason, the conductive polymer layer 15 has a uniform thickness as a whole as compared with the case where the external electrode 32 is in contact with one flat surface, and the ESR of the solid electrolytic capacitor 1 can be reduced. Further, it is not necessary to perform extra electrolytic polymerization for forming a thin portion of the conductive polymer layer 15 with a sufficient thickness, and the capacitor element 10 can be formed slim.

外部電極32の給電点32aが設けられる稜線20dを形成する二面はどの面でもよく、平面であっても曲面であってもよい。即ち、円柱状の素子中間体20の周面と底面との間の稜線上に給電点32aを設けてもよい。また、素子中間体20の端子導出面20aと側面20cとの間の稜線上に給電点32aを設けてもよい。多角柱から成る素子中間体20の隣接する二側面20c間の稜線上に給電点32aを設けてもよい。   The two surfaces forming the ridgeline 20d where the feeding point 32a of the external electrode 32 is provided may be any surface, and may be a flat surface or a curved surface. In other words, the feeding point 32 a may be provided on the ridge line between the peripheral surface and the bottom surface of the cylindrical element intermediate 20. Further, the feeding point 32 a may be provided on the ridge line between the terminal lead-out surface 20 a and the side surface 20 c of the element intermediate 20. The feeding point 32a may be provided on a ridge line between two adjacent side surfaces 20c of the element intermediate body 20 formed of a polygonal column.

この時、本実施形態のように素子中間体20の底面20bと側面20cとの間の稜線20d上に給電点32aを設けるとより望ましい。これにより、保持治具31を降下させるだけで素子中間体20を外部電極32に接触または近接させることができるため、装置を簡素に構成することができる。また、素子中間体20と外部電極32との接触圧力の調整も容易に行うことができる。   At this time, it is more desirable to provide the feeding point 32a on the ridge line 20d between the bottom surface 20b and the side surface 20c of the element intermediate 20 as in the present embodiment. Thereby, since the element intermediate 20 can be brought into contact with or close to the external electrode 32 only by lowering the holding jig 31, the apparatus can be configured simply. Further, the contact pressure between the element intermediate 20 and the external electrode 32 can be easily adjusted.

尚、給電点32aを端子導出面20aと側面20cとの間の稜線上や、隣接する二側面20c間の稜線上に設けた場合には、外部電極32を接触または近接させるために保持治具31を水平方向に移動させる必要がある。この時、上下移動する素子中間体20と外部電極32との水平方向の間隙を小さく配置し、保持治具31の水平移動量を小さくして装置の大型化を抑制することができる。   When the feeding point 32a is provided on the ridge line between the terminal lead-out surface 20a and the side surface 20c or on the ridge line between the adjacent two side surfaces 20c, a holding jig is used to bring the external electrode 32 into contact or close proximity. It is necessary to move 31 in the horizontal direction. At this time, the horizontal gap between the element intermediate 20 that moves up and down and the external electrode 32 can be arranged small, and the amount of horizontal movement of the holding jig 31 can be reduced to prevent the apparatus from becoming large.

また、稜線20dを構成する二面の成す角度は略90゜が好ましいが、60゜〜150゜の範囲でも同様の効果が得られる。例えば、素子中間体20の所定のコーナーを平面により面取りした場合に、面取りされた面とこれに隣接する面との間の稜線上に給電点32aを設ければよい。   Further, the angle formed by the two surfaces constituting the ridge line 20d is preferably about 90 °, but the same effect can be obtained in the range of 60 ° to 150 °. For example, when a predetermined corner of the element intermediate 20 is chamfered with a flat surface, the feeding point 32a may be provided on the ridge line between the chamfered surface and a surface adjacent thereto.

また、素子中間体20の所定のコーナーを曲率半径が微小な曲面により面取りした場合には、面取りされた弧状表面を稜線と見なすことができる。従って、該弧状表面上に給電点32aを設ければよい。尚、素子中間体20の3つの稜線が交わるコーナーに外部電極32を接触または近接させてもよい。   In addition, when a predetermined corner of the element intermediate 20 is chamfered with a curved surface having a small curvature radius, the chamfered arc-shaped surface can be regarded as a ridge line. Therefore, the feeding point 32a may be provided on the arcuate surface. Note that the external electrode 32 may be brought into contact with or close to a corner where the three ridge lines of the element intermediate 20 intersect.

また、外部電極32の通電中に所定時間毎(例えば、5分から90分)に、外部電極32を稜線20d上から退避させるとより好ましい。保持治具31の上昇、外部電極32の降下、または外部電極32の水平移動によって外部電極32を素子中間体20から容易に退避させることができる。   Further, it is more preferable that the external electrode 32 is retracted from the ridgeline 20d every predetermined time (for example, 5 minutes to 90 minutes) while the external electrode 32 is energized. The external electrode 32 can be easily retracted from the element intermediate body 20 by raising the holding jig 31, lowering the external electrode 32, or horizontally moving the external electrode 32.

これにより、外部電極32の導電性高分子層15への埋没をより低減することができる。また、外部電極32の取り外し時の導電性高分子層15の欠落が低減されるため、導電性高分子層15の厚みをより均一に形成することができる。   Thereby, the embedding of the external electrode 32 in the conductive polymer layer 15 can be further reduced. Further, since the loss of the conductive polymer layer 15 when the external electrode 32 is removed is reduced, the thickness of the conductive polymer layer 15 can be formed more uniformly.

外部電極32を移動させる場合には、稜線20d上に成長した導電性高分子層15に対して外部電極32が離隔すればよい。このため、外部電極32の移動量を小さくでき、装置の大型化を抑制することができる。   When the external electrode 32 is moved, the external electrode 32 may be separated from the conductive polymer layer 15 grown on the ridgeline 20d. For this reason, the movement amount of the external electrode 32 can be made small, and the enlargement of an apparatus can be suppressed.

図2において、カーボン層形成工程では素子中間体20をカーボン懸濁液に浸漬して乾燥し、導電性高分子層15の表面をカーボン層16によって被覆する。次に、銀コーティング層形成工程において、カーボン層16上に銀粉末を含有するエポキシ樹脂ペーストを塗布する。そして、所定温度(例えば180℃)でエポキシ樹脂ペーストを硬化して銀コーティング層17が形成される。カーボン層16及び銀コーティング層17によって陰極引出し層が形成される。   In FIG. 2, in the carbon layer forming step, the element intermediate 20 is immersed in a carbon suspension and dried, and the surface of the conductive polymer layer 15 is covered with the carbon layer 16. Next, in the silver coating layer forming step, an epoxy resin paste containing silver powder is applied on the carbon layer 16. Then, the epoxy resin paste is cured at a predetermined temperature (for example, 180 ° C.) to form the silver coating layer 17. A cathode lead layer is formed by the carbon layer 16 and the silver coating layer 17.

次に、組み立て工程ではリードフレーム11、18(図1参照)を溶接や導電性接着剤により取り付け、エポキシ樹脂等の外装材3で外装する。エージング工程では固体電解コンデンサ1に電圧印加するエージング処理が行われる。そして検査工程で固体電解コンデンサ1が検査され、固体電解コンデンサ1が完成する。   Next, in the assembly process, the lead frames 11 and 18 (see FIG. 1) are attached by welding or a conductive adhesive, and are covered with an exterior material 3 such as an epoxy resin. In the aging process, an aging process for applying a voltage to the solid electrolytic capacitor 1 is performed. Then, the solid electrolytic capacitor 1 is inspected in the inspection process, and the solid electrolytic capacitor 1 is completed.

本実施形態によると、電解重合工程において外部電極32の給電点32aを素子中間体20の隣接する二面間の稜線20d上に設けたので、導電性高分子層15の層厚の大きい稜線20d上に外部電極32が接触または近接する。このため、外部電極32を取り外す際に稜線20d上で導電性高分子層15が欠落しても誘電体皮膜層13の損傷を抑制することができる。   According to the present embodiment, since the feeding point 32a of the external electrode 32 is provided on the ridge line 20d between two adjacent surfaces of the element intermediate 20 in the electrolytic polymerization process, the ridge line 20d having a large layer thickness of the conductive polymer layer 15 is provided. The external electrode 32 is in contact with or close to the top. For this reason, even when the conductive polymer layer 15 is missing on the ridgeline 20d when the external electrode 32 is removed, damage to the dielectric coating layer 13 can be suppressed.

また、外部電極32の導電性高分子層15への埋没を少なくできるとともに、外部電極32と導電性高分子層15との接着力を小さくできる。このため、外部電極32を取り外す際に導電性高分子層15の欠落を低減し、誘電体皮膜層13の損傷をより低減することができる。   Further, it is possible to reduce the burying of the external electrode 32 in the conductive polymer layer 15 and to reduce the adhesive force between the external electrode 32 and the conductive polymer layer 15. For this reason, when the external electrode 32 is removed, the loss of the conductive polymer layer 15 can be reduced, and damage to the dielectric coating layer 13 can be further reduced.

また、外部電極32から通電される電流が稜線20dを構成する二面から陽極体12の全体に広がる。これにより、導電性高分子層15を均一な厚さに形成することができる。従って、漏れ電流及びESRが低く歩留りの高い固体電解コンデンサ1を得ることができる。また、外部電極32の給電点32aが可変されないため、電解重合工程の装置の小型化を図ることができる。   Further, the current supplied from the external electrode 32 spreads from the two surfaces constituting the ridge line 20d to the entire anode body 12. Thereby, the conductive polymer layer 15 can be formed in a uniform thickness. Therefore, the solid electrolytic capacitor 1 having a low leakage current and low ESR and a high yield can be obtained. Further, since the feeding point 32a of the external electrode 32 is not changed, the apparatus for the electrolytic polymerization process can be reduced in size.

また、電解重合工程において所定時間毎に外部電極32を稜線20d上から退避させるので、外部電極32の導電性高分子層15への埋没をさらに少なくできる。加えて、外部電極32の取り外し時の導電性高分子層15の欠落がより低減されるため、導電性高分子層15の厚みをより均一に形成することができる。   In addition, since the external electrode 32 is retracted from the ridgeline 20d every predetermined time in the electrolytic polymerization process, the burying of the external electrode 32 in the conductive polymer layer 15 can be further reduced. In addition, since the loss of the conductive polymer layer 15 when the external electrode 32 is detached is further reduced, the thickness of the conductive polymer layer 15 can be formed more uniformly.

また、電解重合溶液Hに浸漬した素子中間体20の下面(底面20b)の周縁に給電点32aが形成される。これにより、素子中間体20を上下移動させるだけで電解重合を行うことができ、装置をより簡素化することができる。尚、素子中間体20の底面20bと側面20cとの間のコーナーに平面の面取りが形成される場合には側面20cの下端に給電点32aを設けてもよい。   In addition, a feeding point 32 a is formed on the periphery of the lower surface (bottom surface 20 b) of the element intermediate 20 immersed in the electrolytic polymerization solution H. Thereby, electrolytic polymerization can be performed only by moving the element intermediate 20 up and down, and the apparatus can be further simplified. When a flat chamfer is formed at the corner between the bottom surface 20b and the side surface 20c of the element intermediate 20, a feeding point 32a may be provided at the lower end of the side surface 20c.

また、二酸化マンガンまたは化学重合により形成される導電性高分子から成るプレコート層14を設けたので、電解重合によって機械的強度や電気伝導度の高い導電性高分子層15をプレコート層14上に形成することができる。   Further, since the precoat layer 14 made of manganese dioxide or a conductive polymer formed by chemical polymerization is provided, a conductive polymer layer 15 having high mechanical strength and electrical conductivity is formed on the precoat layer 14 by electrolytic polymerization. can do.

次に、図5、図6は第2実施形態の固体電解コンデンサ1の電解重合工程の概略を示す正面図及び斜視図である。説明の便宜上、図1〜図4に示す第1実施形態と同様の部分には同一の符号を付している。本実施形態は外部電極32の形状が第1実施形態と異なっている。その他の部分は第1実施形態と同様である。   Next, FIGS. 5 and 6 are a front view and a perspective view showing an outline of the electrolytic polymerization process of the solid electrolytic capacitor 1 of the second embodiment. For convenience of explanation, the same reference numerals are given to the same parts as those in the first embodiment shown in FIGS. In the present embodiment, the shape of the external electrode 32 is different from that of the first embodiment. Other parts are the same as those in the first embodiment.

外部電極32は鉛直方向に延びる鉛直部32bと、鉛直部32bの下端で屈曲した屈曲部32cとを有している。屈曲部32cは素子中間体20の底面20bと側面20cとの間の稜線20d上に接触または近接して配される。これにより、稜線20d上に外部電極32の給電点32aが設けられる。   The external electrode 32 has a vertical portion 32b extending in the vertical direction and a bent portion 32c bent at the lower end of the vertical portion 32b. The bent portion 32c is arranged in contact with or close to the ridge line 20d between the bottom surface 20b and the side surface 20c of the element intermediate 20. Thereby, the feeding point 32a of the external electrode 32 is provided on the ridgeline 20d.

複数の素子中間体20が所定のピッチP2で並設され、保持治具31の降下により素子中間体20が電解重合溶液Hに浸漬される。この時、外部電極32は屈曲して鉛直部32bが鉛直方向に延びるため、素子中間体20のピッチP2を第1実施形態のピッチP1(図3参照)よりも狭くすることができる。これにより、電解重合を行う装置をより小型化することができる。また、より多くのコンデンサ素子10を同時に電解重合することができ、生産効率を向上することができる。   A plurality of element intermediates 20 are arranged in parallel at a predetermined pitch P <b> 2, and the element intermediates 20 are immersed in the electrolytic polymerization solution H by the lowering of the holding jig 31. At this time, since the external electrode 32 is bent and the vertical portion 32b extends in the vertical direction, the pitch P2 of the element intermediate 20 can be made narrower than the pitch P1 (see FIG. 3) of the first embodiment. Thereby, the apparatus which performs electropolymerization can be reduced in size. Moreover, more capacitor elements 10 can be electrolytically polymerized at the same time, and production efficiency can be improved.

以下に固体電解コンデンサ1の実施例を説明する。実施例1の固体電解コンデンサ1は4.2mm×3.4mm×1.6mmのニオブの焼結体により陽極体12を形成する。次に、陽極体12をリン酸水溶液に浸漬し、32Vの直流電圧の印加により陽極酸化(化成)を行って誘電体皮膜層13を形成した。次に、誘電体皮膜層13の表面にチオフェンのモノマー及び酸化剤による化学重合によってプレコート層14を形成した。   Examples of the solid electrolytic capacitor 1 will be described below. In the solid electrolytic capacitor 1 of Example 1, the anode body 12 is formed of a niobium sintered body of 4.2 mm × 3.4 mm × 1.6 mm. Next, the anode body 12 was immersed in an aqueous phosphoric acid solution, and anodization (chemical conversion) was performed by applying a direct current voltage of 32 V to form the dielectric film layer 13. Next, a precoat layer 14 was formed on the surface of the dielectric film layer 13 by chemical polymerization using a thiophene monomer and an oxidizing agent.

次に、素子中間体20をチオフェンのモノマー及びドーパント成分のドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウムを溶解した水溶液から成る電解重合溶液Hに浸漬する。素子中間体20の二面間の稜線20d上のプレコート層14に図3に示す直線状の外部電極32を接触させ、コンデンサ素子10の1個当たり0.5mAの定電流を3時間通電した。これにより、電解重合を行って導電性高分子層15を形成した。   Next, the element intermediate 20 is immersed in an electrolytic polymerization solution H composed of an aqueous solution in which thiophene monomer and sodium dodecylbenzenesulfonate as a dopant component are dissolved. The linear external electrode 32 shown in FIG. 3 was brought into contact with the precoat layer 14 on the ridge line 20d between the two surfaces of the element intermediate 20, and a constant current of 0.5 mA per capacitor element 10 was applied for 3 hours. Thereby, electropolymerization was performed to form the conductive polymer layer 15.

次に、素子中間体20をカーボン懸濁液に浸漬した後に乾燥させてカーボン層16を形成した。次に、銀粉末を含有するエポキシ樹脂ペーストを素子中間体20の表面に塗布し、180℃で硬化することで銀コーティング層17を形成した。   Next, the element intermediate 20 was immersed in the carbon suspension and then dried to form the carbon layer 16. Next, the epoxy resin paste containing silver powder was apply | coated to the surface of the element intermediate body 20, and the silver coating layer 17 was formed by hardening at 180 degreeC.

これにより、コンデンサ素子10を作成し、コンデンサ素子10にリードフレーム11、18を取り付けた後にエポキシ樹脂から成る外装材3で被覆した。そして、エージング処理を行って固体電解コンデンサ1を作成した。   Thus, the capacitor element 10 was prepared, and the lead frames 11 and 18 were attached to the capacitor element 10 and then covered with the exterior material 3 made of epoxy resin. And the aging process was performed and the solid electrolytic capacitor 1 was created.

実施例2の固体電解コンデンサ1は前述の図5に示す屈曲した外部電極32を素子中間体20の稜線20dに接触させた。また、電解重合の通電中に60分につき1回、外部電極32を素子中間体20から退避させる操作を行った。それ以外は実施例1と同様に固体電解コンデンサ1を作製した。   In the solid electrolytic capacitor 1 of Example 2, the bent external electrode 32 shown in FIG. 5 was brought into contact with the ridge line 20 d of the element intermediate 20. Further, the operation of retracting the external electrode 32 from the element intermediate 20 was performed once every 60 minutes during energization of the electrolytic polymerization. Otherwise, a solid electrolytic capacitor 1 was produced in the same manner as in Example 1.

<比較例>
比較例の固体電解コンデンサ1は図7に示すように、素子中間体20の平面の側面20c上のプレコート層14に外部電極32を接触させた。それ以外は実施例1と同様に固体電解コンデンサ1を作製した。尚、図7において、前述の図4と同様の部分には同一の符号を付している。
<Comparative example>
In the solid electrolytic capacitor 1 of the comparative example, as shown in FIG. 7, the external electrode 32 was brought into contact with the precoat layer 14 on the planar side surface 20 c of the element intermediate 20. Otherwise, a solid electrolytic capacitor 1 was produced in the same manner as in Example 1. In FIG. 7, the same parts as those in FIG. 4 are given the same reference numerals.

上記のようにして作成した各実施例及び比較例の固体電解コンデンサ1について特性を測定した。その結果を表1に示す。   Characteristics were measured for the solid electrolytic capacitors 1 of Examples and Comparative Examples prepared as described above. The results are shown in Table 1.

ここで、各実施例及び比較例に対して各100個の試料に6.3Vの直流電圧を印加して漏れ電流を測定し、100kHzのESR特性を測定した。漏れ電流が1000μA以上の試料はショート品と判定した。尚、表1に示すESR及び漏れ電流はショート品を除く試料について平均したものである。   Here, for each of the examples and comparative examples, a DC voltage of 6.3 V was applied to each of 100 samples to measure a leakage current, and an ESR characteristic of 100 kHz was measured. A sample having a leakage current of 1000 μA or more was determined to be a short product. Note that the ESR and leakage current shown in Table 1 are averages of the samples excluding the shorted product.

表1によると、実施例1の固体電解コンデンサ1はショートが100個中1個発生したが比較例よりも少なく、ESR及び漏れ電流も低かった。これは、外部電極32の導電性高分子層15への埋没が少なく、取り外す際の誘電体皮膜層13の損傷が小さくなったことや、導電性高分子層15が均一に形成されたためと推定される。   According to Table 1, in the solid electrolytic capacitor 1 of Example 1, one out of 100 shorts occurred, but it was less than the comparative example, and the ESR and leakage current were also low. This is presumed to be because the external electrode 32 is less buried in the conductive polymer layer 15, damage to the dielectric coating layer 13 during removal is reduced, and the conductive polymer layer 15 is formed uniformly. Is done.

電解重合の通電中に外部電極32を退避させる工程を設けた実施例2ではショートは発生せず、ESR及び漏れ電流は実施例1よりも低くなった。短時間で外部電極32の埋没を解消しながら電解重合しているため、誘電体皮膜層13の損傷が最小限に抑制されていると考えられる。   In Example 2 provided with a step of retracting the external electrode 32 during energization of electrolytic polymerization, no short circuit occurred, and ESR and leakage current were lower than in Example 1. It is thought that damage to the dielectric coating layer 13 is suppressed to a minimum because the electropolymerization is performed while eliminating the burying of the external electrode 32 in a short time.

本発明によると、電解重合を用いて導電性高分子層を形成する固体電解コンデンサに利用することができる。   According to the present invention, it can be used for a solid electrolytic capacitor in which a conductive polymer layer is formed using electrolytic polymerization.

1 固体電解コンデンサ
3 外装材
10 コンデンサ素子
11、18 リードフレーム
12 陽極体
13 誘電体被膜層
14 プレコート層
15 導電性高分子層
16 カーボン層
17 銀コーティング層
20 素子中間体
20a 端子導出面
20b 底面
20c 側面
20d 稜線
32 外部電極
32a 給電点
32b 鉛直部
32c 屈曲部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Solid electrolytic capacitor 3 Exterior material 10 Capacitor element 11, 18 Lead frame 12 Anode body 13 Dielectric film layer 14 Precoat layer 15 Conductive polymer layer 16 Carbon layer 17 Silver coating layer 20 Element intermediate 20a Terminal lead surface 20b Bottom surface 20c Side surface 20d Ridge line 32 External electrode 32a Feed point 32b Vertical part 32c Bending part

Claims (5)

弁作用金属から成る陽極体の表面に誘電体被膜層を形成する誘電体被膜層形成工程と、前記誘電体被膜層上に導電性のプレコート層を形成するプレコート層形成工程と、前記プレコート層が形成された素子中間体を電解重合溶液に浸漬するとともに前記素子中間体に外部電極が接触または近接する給電点から給電して電解重合によって前記プレコート層上に導電性高分子層を形成する電解重合工程とを備えた固体電解コンデンサの製造方法において、前記素子中間体の隣接する二面間の稜線上に前記給電点を設けたことを特徴とする固体電解コンデンサの製造方法。   A dielectric coating layer forming step of forming a dielectric coating layer on the surface of an anode body made of a valve metal, a precoat layer forming step of forming a conductive precoat layer on the dielectric coating layer, and the precoat layer Electropolymerization in which the formed device intermediate is immersed in an electrolytic polymerization solution and a conductive polymer layer is formed on the precoat layer by electrolytic polymerization by supplying power from a feeding point where an external electrode is in contact with or close to the device intermediate And a step of providing the feeding point on a ridge line between two adjacent surfaces of the element intermediate body. 前記外部電極が鉛直方向に延びる鉛直部と、前記鉛直部の下端で屈曲して前記稜線上に配される屈曲部とを有し、複数の前記素子中間体が並設して前記電解重合溶液中に浸漬されることを特徴とする請求項1に記載の固体電解コンデンサの製造方法。   The electrolytic polymerization solution has a vertical portion in which the external electrode extends in a vertical direction and a bent portion that is bent at the lower end of the vertical portion and is arranged on the ridgeline, and a plurality of the device intermediates are arranged side by side. The method for producing a solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein the method is immersed in the solid electrolytic capacitor. 前記電解重合工程において所定時間毎に前記外部電極を前記稜線上から退避させることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の固体電解コンデンサの製造方法。   3. The method for manufacturing a solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein the external electrode is retracted from the ridge line every predetermined time in the electrolytic polymerization step. 4. 前記給電点が前記電解重合溶液に浸漬した前記素子中間体の下面の周縁または側面の下端に形成されることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載の固体電解コンデンサの製造方法。   4. The manufacturing of the solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein the feeding point is formed at a peripheral edge of a lower surface of the element intermediate body immersed in the electrolytic polymerization solution or a lower end of a side surface. 5. Method. 前記プレコート層が二酸化マンガンまたは化学重合により形成される導電性高分子であることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれかに記載の固体電解コンデンサの製造方法。   The method for producing a solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein the precoat layer is manganese dioxide or a conductive polymer formed by chemical polymerization.
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