JP2014179481A - 半導体装置および電子機器 - Google Patents
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Abstract
【課題】小型化が実現可能な半導体装置を得る。
【解決手段】第1の端子と、第2の端子と、第3の端子とを有し、第1の端子と第2の端子との間に流れるストレス電流に基づいて第2の端子と第3の端子との間の抵抗状態が高抵抗状態から低抵抗状態に変化する記憶素子と、第1の端子に接続され、ストレス電流に基づいて導通状態から非導通状態に変化するヒューズとを備える。
【選択図】図3
【解決手段】第1の端子と、第2の端子と、第3の端子とを有し、第1の端子と第2の端子との間に流れるストレス電流に基づいて第2の端子と第3の端子との間の抵抗状態が高抵抗状態から低抵抗状態に変化する記憶素子と、第1の端子に接続され、ストレス電流に基づいて導通状態から非導通状態に変化するヒューズとを備える。
【選択図】図3
Description
本開示は、アンチヒューズを備えた半導体装置、およびそのような半導体装置を備えた電子機器に関する。
電子機器には、しばしば、電源がオフになっても情報を保存することが可能な不揮発性のメモリが集積される。このような不揮発性メモリには、例えば、1回のみデータの書き込みが可能なOTP(One Time Programmable)メモリがある。このようなメモリには、例えば、回路の特性などを調整するためのトリミング情報が記憶される。これにより、電子機器では、電源投入直後に、そのメモリに記憶されたトリミング情報に基づいて調整が行われ、所望の特性を実現することができる。
このようなメモリには、しばしば、記憶素子としてアンチヒューズが用いられる。アンチヒューズは、ストレスを印加することにより抵抗値が減少するものである。例えば、特許文献1,2には、アンチヒューズを用いたメモリが開示されている。
ところで、メモリは一般に小さい面積で形成されることが望まれており、さらなる小型化が期待されている。
本開示はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、小型化を実現することができる半導体装置および電子機器を提供することにある。
本開示の第1の半導体装置は、記憶素子と、ヒューズとを備えている。記憶素子は、第1の端子と、第2の端子と、第3の端子とを有し、第1の端子と第2の端子との間に流れるストレス電流に基づいて第2の端子と第3の端子との間の抵抗状態が高抵抗状態から低抵抗状態に変化するものである。ヒューズは、第1の端子に接続され、ストレス電流に基づいて導通状態から非導通状態に変化するものである。
本開示の第2の半導体装置は、複数のメモリセルと、複数のメモリセルを制御する制御回路とを備えている。メモリセルは、記憶素子と、ヒューズと、選択トランジスタとを有している。記憶素子は、第1の端子と、第2の端子と、第3の端子とを有し、第1の端子と第2の端子との間に流れるストレス電流に基づいて第2の端子と第3の端子との間の抵抗状態が高抵抗状態から低抵抗状態に変化するものである。ヒューズは、第1の端子に接続され、ストレス電流に基づいて導通状態から非導通状態に変化するものである。選択トランジスタは、第3の端子に接続されたものである。
本開示の電子機器は、上記第1の半導体装置を備えたものである。
本開示の第1の半導体装置、第2の半導体装置、および電子機器では、記憶素子の第1の端子と第2の端子との間に流れるストレス電流に基づいて、記憶素子の第2の端子と第3の端子との間の抵抗状態が高抵抗状態から低抵抗状態に変化し、情報が記憶される。その際、そのストレス電流に基づいて、ヒューズが導通状態から非導通状態に変化する。
本開示の第1の半導体装置、第2の半導体装置、および電子機器によれば、記憶素子の第1の端子にヒューズを接続するようにしたので、小型化を実現できる。
以下、本開示の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、説明は以下の順序で行う。
1.実施の形態
2.適用例
1.実施の形態
2.適用例
<1.実施の形態>
[構成例]
(全体構成例)
図1は、実施の形態に係る半導体装置の一構成例を表すものである。半導体装置1は、記憶素子としてアンチヒューズを用いた記憶装置である。半導体装置1は、メモリセルアレイ10と、書込ワード線駆動部11と、ビット線駆動部12と、読出ワード線駆動部13と、センスアンプ14とを備えている。
[構成例]
(全体構成例)
図1は、実施の形態に係る半導体装置の一構成例を表すものである。半導体装置1は、記憶素子としてアンチヒューズを用いた記憶装置である。半導体装置1は、メモリセルアレイ10と、書込ワード線駆動部11と、ビット線駆動部12と、読出ワード線駆動部13と、センスアンプ14とを備えている。
メモリセルアレイ10は、マトリクス状に配置された複数のメモリセル20を有している。また、メモリセルアレイ10は、行方向(横方向)に延伸する複数の書込ワード線WL1および複数の読出ワード線WL2と、列方向(縦方向)に延伸する複数のビット線BLおよび複数のソース線SLとを有している。各書込ワード線WL1の一端は書込ワード線駆動部11に接続され、各読出ワード線WL2の一端は読出ワード線駆動部13に接続されている。また、各ビット線BLの一端はビット線駆動部12に接続され、各ソース線SLの一端はセンスアンプ14に接続されている。
図2は、メモリセルアレイ10の一構成例を表すものである。図3は、メモリセル20の一構成例を表すものである。各メモリセル20は、書込ワード線WL1、読出ワード線WL2、ビット線BL、およびソース線SLに接続されている。メモリセル20は、記憶素子21と、選択トランジスタ22と、ヒューズ23とを有している。
記憶素子21は、アンチヒューズとして機能する記憶素子であり、3つの端子を有するものである。この記憶素子21は、N型のMOS(Metal Oxide Semiconductor)トランジスタと同様の構成を有している。以下では、説明の便宜上、記憶素子21の3つの端子として、MOSトランジスタの3つの端子の名称(ドレイン、ゲート、ソース)を用いて説明する。記憶素子21のドレインはビット線BLに接続され、ゲートはヒューズ23の一端に接続され、ソースは選択トランジスタ22のドレインに接続されている。この記憶素子21は、後述するように、ゲートとドレインとの間にストレス電圧VSTを印加することにより、ドレインとソースとの間の抵抗状態が高抵抗状態から低抵抗状態に変化するものであり、この抵抗状態の変化により情報を記憶するようになっている。
選択トランジスタ22は、N型のMOSトランジスタであり、ドレインが記憶素子21のソースに接続され、ゲートが読出ワード線WL2に接続され、ソースがソース線SLに接続されている。ヒューズ23は、ストレス電流ISTにより、電気状態がショート状態(導通状態)からオープン状態(非導通状態)に変化するものであり、一端が記憶素子21のゲートに接続され、他端は書込ワード線WL1に接続されている。
この構成により、メモリセル20では、後述するように、書込動作において、記憶素子21のゲートとドレインとの間にストレス電圧VSTを印加することにより、記憶素子21の誘電膜131(後述)が絶縁破壊して電流が流れる。そして、その電流により生じる熱により、記憶素子21のドレインとソースの間にフィラメントFが形成され、抵抗状態が変化して情報が記憶される。その際、誘電膜131の絶縁破壊に起因する電流により、ヒューズ23がオープン状態になる。すなわち、誘電膜131の絶縁破壊に起因する電流が、ヒューズ23にとってのストレス電流ISTとなる。これにより、後述するように、情報が書き込まれた記憶素子21のゲートと、書込ワード線駆動部11との間に、不要な電流が流れないようになっている。
図4は、メモリセル20の要部断面構造の一例を表すものである。メモリセル20は、単一の半導体基板100P上に、一般的なCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)製造工程を用いて形成されるものである。メモリセル20の記憶素子21および選択トランジスタ22は、素子分離部114によって囲まれた領域に形成される。
メモリセル20は、半導体層110P,111N〜113Nと、誘電膜131,133と、導電膜132,134と、電極141,142とを有している。
半導体層110Pは、半導体基板100P内に設けられたP型の半導体層であり、いわゆるPウェルを構成するものである。この半導体層110Pは、記憶素子21および選択トランジスタ22のいわゆるバックゲートとして機能するものである。この半導体層110Pは、シリコン(Si)にホウ素(B)等の不純物をドープさせた半導体材料からなるものである。なお、この半導体層110Pには、図示しないコンタクトを介して0Vの電圧が印加されている。
半導体層111N,112N,113Nは、半導体層110P内に設けられたN型の半導体層(いわゆるN+層)である。半導体層111Nと半導体層112Nとは、所定の間隔を隔てて分離して配設され、半導体層112Nと半導体層113Nとは、所定の間隔を隔てて分離して配設されている。半導体層111Nは、記憶素子21のドレインに対応するものである。半導体層112Nは、記憶素子21のソースに対応するとともに、選択トランジスタ22のドレインに対応するものである。半導体層113Nは、選択トランジスタ22のソースに対応するものである。これらの半導体層111N,112N,113Nは、例えば、シリコンにヒ素(As)やリン(P)等の不純物をドープした半導体材料からなるものであり、その厚さは50nm〜200nm程度である。このような半導体層111N,112N,113Nは、例えばセルフアライン(自己整合)による手法や、フォトレジストや酸化膜などのマスクパターンを用いた手法により、容易に形成することができる。半導体層111Nと半導体層112Nとの間の距離(分離間隔L1)は、可能な限り短くすることが望ましい。具体的には、例えば、その製造工程における最小加工寸法とすることができる。もしくは、半導体層111Nと半導体層112Nが正常に分離形成される範囲内で、最小加工寸法よりもさらに短くすることが好ましい。これにより、記憶素子21の素子サイズを小さくすることができるとともに、後述するフィラメントFをより形成しやすくすることができる。また、半導体層112Nと半導体層113Nとの間の距離(分離間隔L2)は、分離間隔L1よりも長くすることが望ましい。これにより、選択トランジスタ22に、記憶素子21と同じようなフィラメントが形成されるおそれを低減することができる。
半導体層111N,112N,113Nの一部は、それぞれシリサイド化されている。具体的には、シリサイド部分121は、半導体層111Nの一部がシリサイド化されたものであり、シリサイド部分122は、半導体層112Nの一部がシリサイド化されたものであり、シリサイド部分123は、半導体層113Nの一部がシリサイド化されたものである。これらのシリサイド部分121〜123は、例えばコバルト(Co)やニッケル(Ni)などを用いて、一般的な製造工程において使用されるシリサイド化工程により形成されたものである。シリサイド部分121〜123は、半導体層111N,112N,113Nの抵抗値を下げるために形成されたものである。また、シリサイド部分121〜123の一部は、後述するように、書込動作において、誘電膜131の絶縁破壊に起因する熱により溶融して、フィラメントFを形成する。すなわち、シリサイド部分121〜123の材料は、この熱により一部が溶融し得るような融点を有するものである。
誘電膜131は、半導体層111Nと半導体層112Nとの間の領域における半導体層110Pの上、および半導体層111N,112Nの一部の上に形成されている。同様に、誘電膜133は、半導体層112Nと半導体層113Nとの間の領域における半導体層110Pの上、および半導体層112N,113Nの一部の上に形成されている。これらの誘電膜131,132は、例えば、酸化シリコン(SiO2)などにより構成され、その厚さは数nm〜20nm程度である。
導電膜132は、誘電膜131の形成領域上に形成されている。この導電膜132は、記憶素子21のゲートに対応するものである。導電膜134は、誘電膜133の形成領域上に形成されている。この導電膜134は、選択トランジスタ22のゲートに対応するものである。導電膜132,134は、例えば多結晶シリコンやシリサイド金属などの導電性材料からなり、その厚さは50nm〜500nm程度である。なお、後述するように、導電膜132,134は配線に接続され、それらの配線を介して、導電膜132(記憶素子21のゲート)および導電膜134(選択トランジスタ22のゲート)に電圧を印加できるようになっている。
絶縁層150は、半導体基板100P、半導体層111N〜113N,導電膜132,134などを覆うように設けられている。この絶縁層150は、例えば、酸化シリコンなどの絶縁材料からなり、その厚さは50nm〜1000nm程度である。
電極141は、半導体層111N上において、この半導体層111Nと電気的に接続するように設けられている。この電極141は、絶縁層150を貫通するように形成されており、絶縁層150上に設けられた配線151に接続されている。この配線151は、ビット線BLへと導かれている。同様に、電極142は、半導体層113N上において、この半導体層113Nと電気的に接続するように設けられている。この電極142は、絶縁層150を貫通するように形成されており、絶縁層150上に設けられた配線152に接続されている。この配線152は、ソース線SLへと導かれている。電極141,142は、例えばタングステン(W)により構成され、配線151,152は、例えばアルミニウム(Al)により構成されている。これにより、メモリセル20では、半導体層111N(記憶素子21のドレイン)および半導体層113N(選択トランジスタ22のソース)に対して、それぞれ電圧を印加できるようになっている。また、電極141,142の一部は、後述するように、書込動作において、誘電膜131の絶縁破壊に起因する熱により溶融して、フィラメントFを形成するようになっている。すなわち、電極141,142の材料は、この熱により一部が溶融し得るような融点を有するものである。
この構成により、メモリセル20では、半導体層111N,112N、誘電膜131、および導電膜132が、記憶素子21を構成し、半導体層112N,113N、誘電膜133、および導電膜134が、選択トランジスタ22を構成するようになっている。
図5は、メモリセル20の平面図を表すものである。図6は、図5に示したメモリセル20のV−V矢視方向の断面構成を表すものである。導電膜132は、記憶素子21のチャネル幅(W)方向に延伸し、記憶素子21の外側においてコンタクト145を介して配線155に接続されている。同様に、導電膜134は、選択トランジスタ22のチャネル幅(W)方向に延伸し、選択トランジスタ22の外側においてコンタクト144を介して配線154に接続されている。コンタクト144,145は、例えばタングステン(W)により構成され、配線154,155は、配線151,152と同様に、例えばアルミニウム(Al)により構成されている。
記憶素子21とコンタクト145との間において、導電膜132には、記憶素子21における導電膜132よりも幅が狭い部分(くびれ部分160)が設けられている。このくびれ部分160は、ヒューズ23を構成するものであり、所定のストレス電流ISTが流れることにより、その電気状態がショート状態(導通状態)からオープン状態(非導通状態)に変化するものである。具体的には、このくびれ部分160における導電膜132の幅は、記憶素子21のドレインとソースとの間にフィラメントFが形成されるのに必要な最低電流値以上の電流が流れたときにオープン状態になるような幅である。これにより、ヒューズ23は、記憶素子21にフィラメントFが形成された後に切断され、オープン状態に変化するようになっている。このように、ヒューズ23は、シンプルな構造を有するものであり、かつ小さな面積で実現できるものである。
図1において、書込ワード線駆動部11は、書込ワード線WL1を駆動することにより、メモリセルアレイ10における書込動作を制御するものである。具体的には、書込ワード線駆動部11は、書込ワード線WL1の電圧VWL1を負の電圧VM(VM<0)に設定することにより、書込動作の対象となるメモリセル20を含む1行(1ワード)を選択するようになっている。
ビット線駆動部12は、ビット線BLを駆動することにより、メモリセルアレイ10における書込動作を制御するものである。具体的には、ビット線駆動部12は、ビット線BLの電圧VBLを正の電圧VP(VP>0)に設定することにより、選択された1行のうちの、書込動作の対象となるメモリセル20を選択するようになっている。
この構成により、書込動作の対象となるメモリセル20の記憶素子21では、書込ワード線駆動部11により、ゲートに負の電圧VMが印加され、ビット線駆動部12により、ドレインに正の電圧VPが印加される。これにより、その記憶素子21のゲートとドレインの間にストレス電圧VST(=VP+|VM|)が印加される。このストレス電圧VSTは、誘電体131を絶縁破壊することができるとともに、ドレインとソースとの間にフィラメントFを形成することができるような電圧に設定されている。これにより、導電膜132の下部における半導体基板100Pに反転層を形成せずに、誘電膜131を絶縁破壊し、フィラメントFを形成することができるようになっている。
その際、半導体装置1では、ストレス電圧VSTを、2つの電圧VP,VMにより生成するようにしている。これにより、電圧VPを生成するビット線駆動部12のトランジスタや、電圧VMを生成する書込ワード線駆動部11のトランジスタを、通常のトランジスタで構成することができる。すなわち、例えば、記憶素子21のドレインに0Vを印加し、ゲートにストレス電圧VSTに相当する負の電圧を印加する場合には、書込ワード線駆動部11のトランジスタを高耐圧のトランジスタで構成する必要がある場合がある。この場合には、高耐圧のトランジスタを製造するための工程の追加が必要となり、例えばコストが増大する。半導体装置1では、ストレス電圧VSTを、2つの電圧VP,VMにより生成するようにしたので、製造工程をよりシンプルにすることができるようになっている。
メモリセル20では、このようにして記憶素子21のドレインとソースとの間にフィラメントFを形成することにより、情報を書き込むようになっている。
読出ワード線駆動部13は、読出ワード線WL2を駆動することにより、メモリセルアレイ10における読出動作を制御するものである。具体的には、読出ワード線駆動部13は、読出ワード線WL2の電圧VWL2を高レベル電圧VHに設定することにより、読出動作の対象となるメモリセル20を含む1行(1ワード)を選択するものである。
センスアンプ14は、ソース線SLを駆動することにより、メモリセルアレイ10における読出動作を制御するものである。具体的には、センスアンプ14は、ソース線SLの電圧VSLを電圧Vreadに設定し、そのソース線SLに流れる読出電流Ireadを検出することにより、読出動作の対象となるメモリセル20に記憶された情報を読み出すものである。
この構成により、読出動作の対象となるメモリセル20では、読出トランジスタ22がオン状態になり、センスアンプ14により、記憶素子21の両端間に電圧Vreadが印加される。これにより、記憶素子21では、ドレインとソースとの間のフィラメントFの有無に応じた読出電流Ireadが生じる。すなわち、フィラメントFが形成されていない場合には、記憶素子21のドレインとソースとの間の抵抗状態は高抵抗状態であるため、読出電流Ireadは小さくなる。一方、フィラメントFが形成されている場合は、記憶素子21のドレインとソースとの間の抵抗状態は低抵抗状態であるため、読出電流Ireadは大きくなる。センスアンプ14は、この読出電流Ireadを検出することにより、メモリセル20に記憶された情報を読み出すようになっている。
ここで、記憶素子21のゲートは、本開示における「第1の端子」の一具体例に対応し、記憶素子21のドレインは、本開示における「第2の端子」の一具体例に対応し、記憶素子21のソースは、本開示における「第3の端子」の一具体例に対応する。半導体層110Pは、本開示における「第1の半導体層」の一具体例に対応する。半導体層111Nは、本開示における「第2の半導体層」の一具体例に対応する。半導体層112Nは、本開示における「第3の半導体層」の一具体例に対応する。半導体層113Nは、本開示における「第4の半導体層」の一具体例に対応する。誘電膜131は、本開示における「第1の誘電膜」の一具体例に対応し、誘電膜133は、本開示における「第2の誘電膜」の一具体例に対応する。導電膜132は、本開示における「第1の導電膜」の一具体例に対応し、導電膜134は、本開示における「第2の導電膜」の一具体例に対応する。
[動作および作用]
続いて、本実施の形態の半導体装置1の動作および作用について説明する。
続いて、本実施の形態の半導体装置1の動作および作用について説明する。
(全体動作概要)
まず、図1〜図3を参照して、半導体装置1の全体動作概要を説明する。書込ワード線駆動部11は、書込ワード線WL1を駆動することにより、メモリセルアレイ10における書込動作を制御する。ビット線駆動部12は、ビット線BLを駆動することにより、メモリセルアレイ10における書込動作を制御する。書込動作の対象となるメモリセル20では、その記憶素子21のゲートとドレインの間にストレス電圧VSTが印加され、ドレインとソースとの間にフィラメントFが形成されることにより、情報が書き込まれる。
まず、図1〜図3を参照して、半導体装置1の全体動作概要を説明する。書込ワード線駆動部11は、書込ワード線WL1を駆動することにより、メモリセルアレイ10における書込動作を制御する。ビット線駆動部12は、ビット線BLを駆動することにより、メモリセルアレイ10における書込動作を制御する。書込動作の対象となるメモリセル20では、その記憶素子21のゲートとドレインの間にストレス電圧VSTが印加され、ドレインとソースとの間にフィラメントFが形成されることにより、情報が書き込まれる。
読出ワード線駆動部13は、読出ワード線WL2を駆動することにより、メモリセルアレイ10における読出動作を制御する。センスアンプ14は、ソース線SLを駆動することにより、メモリセルアレイ10における読出動作を制御する。読出動作の対象となるメモリセル20では、選択トランジスタ22がオン状態になり、記憶素子21のドレインとソースとの間に電圧Vreadが印加され、フィラメントFの有無に応じた読出電流Ireadが生じる。センスアンプ14は、この電流を検出することにより、メモリセル20に記憶された情報を読み出す。
(詳細動作)
次に、メモリセル20に対する書込動作を詳細に説明する。
次に、メモリセル20に対する書込動作を詳細に説明する。
図7は、書込動作のフローチャートを表すものである。この例では、行方向(横方向)にi番目であり、列方向(縦方向)にj番目のメモリセル20(i,j)に対して書込動作を行う場合について説明する。
まず最初に、書込ワード線駆動部11およびビット線駆動部12は、書込動作の対象となるメモリセル20(i,j)に対してストレス電圧VSTを印加する(ステップS1)。
図8は、ストレス電圧VST印加時のメモリセルアレイ10の状態を模式的に表すものである。メモリセル20(i,j)に対してストレスVSTを印加する際、書込ワード線駆動部11は、j番目の書込ワード線WL1(j)の電圧VWL(j)を負の電圧VMに設定するとともに、ビット駆動部12は、i番目のビット線BL(i)の電圧VBL(j)を正の電圧VPに設定する。電圧VMは例えば−4.5Vであり、電圧VPは5Vである。このとき、j番目の読出ワード線WL2(j)の電圧VWL2(j)、およびi番目のソース線SL(i)の電圧はともに0Vに設定される。これにより、メモリセル20(i,j)の記憶素子21のドレインの電圧は電圧VPになり、ゲートの電圧は電圧VMになる。すなわち、記憶素子21のドレインとゲートとの間には、ストレス電圧VST(=VP+|VM|)が印加される。
次に、誘電膜131が絶縁破壊される(ステップS2)。すなわち、記憶素子21のドレインとゲートとの間にストレス電圧VSTが印加されることにより、誘電膜131における局所的な電界強度が、例えばMV/cmオーダー以上となり、誘電膜131が絶縁破壊される。
図9は、誘電膜131が絶縁破壊された後のメモリセル20(i,j)の状態を模式的に表すものである。このように、誘電膜131が絶縁破壊されると、記憶素子21のドレインとゲートとの間が導通するため、ビット線BL(i)から、記憶素子21のドレイン、ヒューズ23を介して書込ワード線WL1(j)に、例えば、数十mA程度の電流I1が流れる。
誘電膜131内での電界強度は、導電膜312と半導体層111Nとが対向している部分(図4の部分P1)で特に強いため、この付近で絶縁破壊が生じると考えられる。一般に、誘電膜131の界面の状態や、その膜厚および形状が完全に均一でないため、この部分P1における電界強度は均一ではなく、特に電界強度が高い部分が存在する。よって、絶縁破壊による電流I1は、このような特に電界強度が高い部分付近に、局所的に流れると考えられる。
このように、大きな電流が局所的に流れることにより、熱が発生し、温度は例えば1000℃〜2000℃の付近にまで上昇する。これにより、半導体層111Nのシリサイド部分121の一部、半導体層112Nのシリサイド部分122の一部、電極141の一部が溶融するとともに、誘電膜131の下の半導体基板100Pにダメージを与える。その結果、半導体層111N(記憶素子21のドレイン)と半導体層112N(記憶素子21のソース)との間にフィラメントFが形成される(ステップS3)。
図10は、フィラメントFの形成を模式的に表すものである。図11は、フィラメントF形成後のメモリセル20(i,j)の状態を模式的に表すものである。図10に示したように、フィラメントFは、誘電膜131の下の半導体基板100Pに、半導体層111N(記憶素子21のドレイン)と半導体層112N(記憶素子21のソース)とが抵抗成分を介して互いに接続するように形成される。
次にヒューズ23が切断される(ステップS4)。すなわち、導電膜132のくびれ部分160(ヒューズ23)では、ステップS2で生じた誘電膜131の絶縁破壊による電流I1が流れる。くびれ部分160の幅は、上述したように、記憶素子21のドレインとソースとの間にフィラメントFが形成されるのに必要な最低電流値(例えば5mA〜20mA)以上の電流が流れたときにオープン状態になるように設定されている。これにより、ヒューズ23は、記憶素子21にフィラメントFが形成された後に切断され、オープン状態に変化する。
図12は、ヒューズ23が切断された後のメモリセルアレイ10の状態を模式的に表すものである。このように、ヒューズ23が切断されることにより、メモリセル20(i,j)におけるビット線BL(i)から書込ワード線WL1(j)への電流は停止する。
このようにして、メモリセル20(i,j)に対する書込動作が終了する。
次に、メモリセル20に対する読出動作を詳細に説明する。この例では、フィラメントFが形成されたメモリセル20(i、j)に対する読出動作を説明する。
図13は、読出動作時のメモリセルアレイ10の状態を模式的に表すものである。メモリセル20(i,j)から情報を読み出す際、読出ワード線駆動部11は、j番目の読出ワード線WL2(j)の電圧VWL2(j)を高レベル電圧VHに設定する。これにより、メモリセル20(i,j)を含む1行分のメモリセル20における選択トランジスタ22がオン状態になる。そして、センスアンプ14は、i番目のソース線SL(i)の電圧VSL(i)を正の電圧Vreadに設定する。電圧Vreadは、例えば0.5Vである。このとき、j番目の書込ワード線WL1(j)の電圧VWL1(j)、およびi番目のビット線BL(i)の電圧はともに0Vに設定される。これにより、メモリセル20(i,j)の記憶素子21のドレインとソースとの間(フィラメントFの)には電圧Vreadが印加され、記憶素子21には、フィラメントFの抵抗成分に応じた読出電流Ireadが生じる。この読出電流Ireadは、ソース線SL(i)から、選択トランジスタ22、記憶素子21(フィラメントF)を介して、ビット線BL(i)に流れる。センスアンプ14は、この読出電流Ireadを検出し、所定の閾値と比較することにより、メモリセル20に記憶された情報を読み出す。
なお、以上では、フィラメントFが形成されたメモリセル20(i、j)に対する読出動作について説明したが、フィラメントFが形成されていないメモリセル20に対しても同様である。この場合には、記憶素子21のドレインとソースとの間は高抵抗状態であるため、読出電流Ireadはほとんど流れない。センスアンプ14は、この読出電流Ireadを所定の閾値と比較することにより、メモリセル20に記憶された情報を読み出す。
(比較例)
次に、比較例に係る半導体装置1Rについて説明する。この半導体装置1Rは、ヒューズ23を設けずにメモリセル20Rを構成したものである。その他の構成は、本実施の形態(図1)と同様である。
次に、比較例に係る半導体装置1Rについて説明する。この半導体装置1Rは、ヒューズ23を設けずにメモリセル20Rを構成したものである。その他の構成は、本実施の形態(図1)と同様である。
図14は、比較例に係る半導体装置1Rにおけるメモリセルアレイ10Rの一構成例を表すものである。メモリセルアレイ10Rには、メモリセル20Rがマトリクス状に形成されている。このメモリセル20Rは、記憶素子21と、選択トランジスタ22とを有している。すなわち、このメモリセル20Rは、本実施の形態に係るメモリセル20(図3)から、ヒューズ23を省いたものである。メモリセル20Rにおいて、記憶素子21のゲートは、書込ワード線WL1に接続されている。
比較例に係る半導体装置1Rにおける書込動作は、ヒューズ23の切断を除き、本実施の形態に係る半導体装置1の場合(図7)と同様である。すなわち、ストレスVSTを印加し(ステップS1)、誘電膜131を絶縁破壊し(ステップS2)、フィラメントFを形成することにより(ステップS3)、情報を書き込む。
比較例に係る半導体装置1Rにおいて、メモリセル20R(i,j)に対して書込動作を行う際、同じ列に、既に情報が書き込まれた(フィラメントFが形成された)メモリセル20Rがある場合には、以下のような不具合が生じるおそれがある。
図15は、メモリセル20R(i,j)に対するストレス電圧VSTの印加を表すものである。この例では、書込動作の対象となるメモリセル20R(i,j)と同じ列のメモリセル20R(i,j−1),20R(i,j+1)には、既に情報が書き込まれている。
メモリセル20R(i,j)に対してストレス電圧VSTを印加する際、本実施の形態の場合と同様に、書込ワード線駆動部11は、j番目の書込ワード線WL1(j)の電圧VWL(j)を負の電圧VMに設定するとともに、ビット駆動部12は、i番目のビット線BL(i)の電圧VBL(j)を正の電圧VPに設定する。このとき、メモリセル20R(i,j−1)では、記憶素子21の誘電膜131が絶縁破壊されているため、ビット線BL(i)から、記憶素子21のドレインを介して書込ワード線WL1(j−1)に電流I1が流れる。同様に、メモリセル20R(i,j+1)では、記憶素子21の誘電膜131が絶縁破壊されているため、ビット線BL(i)から、記憶素子21のドレインを介して書込ワード線WL1(j+1)に電流I1が流れる。これにより、ビット線BL(i)では、これらの電流I1や配線抵抗などにより電圧降下が生じ、書込対象となるメモリセル20R(i,j)における記憶素子21のドレインの電圧VD(i,j)は、本来印加される電圧VPよりも低い電圧VP2(VP2<VP)になってしまう。この場合には、その記憶素子21のドレインとゲートとの間の電圧もまた、本来印加されるストレス電圧VST(VP+|VM|)よりも低い電圧(VP2+|VM|)なってしまうため、誘電膜131を絶縁破壊させ、あるいはフィラメントFを形成することができないおそれがある。
このような不具合は、書込対象となるメモリセル20Rがビット線駆動部12から離れるほど顕著になり、また、書込対象となるメモリセル20R(i,j)と同じ列に、既に情報が書き込まれたメモリセル20Rが多く存在するほど顕著になる。よって、半導体装置1Rでは、どのような条件でも確実に書込動作を行うことができるように、この電圧降下分を考慮して電圧VPを設定しなおす必要が生じてしまう。
また、この例では、ビット線BL(i)に多くの電流が流れることから、ビット線BL(i)を駆動するトランジスタは、そのような大電流を流すことができる程度の大きなトランジスタにする必要が生じてしまう。すなわち、ビット線駆動部12が大きくなってしまい、半導体装置1全体のマクロサイズが大きくなってしまうおそれがある。
また、比較例に係る半導体装置1Rでは、メモリセル20R(i,j)に対して読出動作を行う際、同じ行のメモリセル20Rに、以下のような不具合が生じるおそれがある。
図16は、メモリセル20R(i,j)に対する読出動作を表すものである。メモリセル20R(i,j)から情報を読み出す際、本実施の形態の場合と同様に、読出ワード線駆動部11は、j番目の読出ワード線WL2(j)の電圧VWL2(j)を高レベル電圧VHに設定し、センスアンプ14は、i番目のソース線SL(i)の電圧VSL(i)を正の電圧Vreadに設定する。このとき、メモリセル20R(i、j)には、2つの経路で電流が流れる。すなわち、ソース線SL(i)から、選択トランジスタ22、記憶素子21(フィラメントF)を介して、ビット線BL(i)に電流I2が流れるとともに、ソース線SL(i)から、選択トランジスタ22、記憶素子21(フィラメントF)を介して、書込ワード線WL1(j)にも電流I3が流れる。書込ワード線WL1(j)では、この電流I3や配線抵抗などにより電圧降下が生じ、同じ行に属する他のメモリセル20R(例えば、メモリセル20R(i−1,j),20R(i+1,j)など)における記憶素子21のゲートの電圧VGが0Vから上昇し、記憶素子21がオン状態になり、読出動作が不安定になるおそれがある。
このような不具合は、読出対象となるメモリセル20Rが書込ワード線駆動部11からから離れるほど顕著になる。よって、半導体装置1Rでは、どのような条件でも安定して読出動作を行うことができるように、この電圧降下分を考慮して書込ワード線駆動部11などの周辺回路を設計する必要が生じてしまう。
一方、本実施の形態に係る半導体装置1では、各メモリセル20にヒューズ23を設けるようにしたので、書込動作を行う際、書込動作の対象となるメモリセル20と同じ列に、既に情報が書き込まれたメモリセル20がある場合でも、以下に示すように、比較例のような不具合が生じるおそれを低減することができる。
図17は、本実施の形態に係るメモリセル20(i,j)に対するストレス電圧VSTの印加を表すものである。この図17は、比較例に係る半導体装置1Rにおける図15と対応するものである。この比較例の場合と同様に、メモリセル20(i,j−1),20(i,j+1)では、記憶素子21の誘電膜131が絶縁破壊されている。しかしながら、これらのメモリセルメモリセル20(i,j−1),20(i,j+1)では、ヒューズ23がオープン状態になっているため、比較例の場合とは異なり、ビット線BL(i)から書込ワード線WL1(j−1),WL1(j+1)に電流は流れない。よって、ビット線BL(i)において電圧降下が生じるおそれを低減することができ、メモリセル20(i,j)に対する書込動作が不安定になるおそれを低減することができる。
また、比較例の場合(図15)と異なり、ビット線BL(i)に大電流が流れるおそれを低減できるため、ビット線BL(i)を駆動するトランジスタのサイズを小さくすることができる。これにより、ビット線駆動部などの周辺回路を小さくすることができるため、半導体装置1全体のマクロサイズを小さくすることができる。
また、本実施の形態に係る半導体装置1では、メモリセル20(i,j)に対して読出動作を行う場合でも、比較例のような不具合が生じるおそれを低減することができる。すなわち、図13に示したように、読出動作の対象となるメモリセル20(i,j)におけるヒューズ23がオープン状態になっているため、比較例の場合(図16)とは異なり、ソース線SL(i)から、書込ワード線WL1(j)に電流は流れない。よって、書込ワード線WL(j)において電圧降下が生じるおそれを低減することができるため、同じ行に属するメモリセル20における記憶素子21をオフ状態にすることができ、読出動作が不安定になるおそれを低減することができる。
[効果]
以上のように本実施の形態では、記憶素子のゲートにヒューズを設けるようにしたので、ビット線駆動部などの周辺回路を小さくすることができるため、半導体装置全体のマクロサイズを小さくすることができる。
以上のように本実施の形態では、記憶素子のゲートにヒューズを設けるようにしたので、ビット線駆動部などの周辺回路を小さくすることができるため、半導体装置全体のマクロサイズを小さくすることができる。
本実施の形態では、ヒューズを導電膜132のくびれにより形成したので、シンプルな構成にすることができるとともに、小さな面積で実現でき、マクロサイズの増加を抑えることができる。
本実施の形態では、記憶素子と選択トランジスタとが、半導体層112Nを共有するようにしたので、メモリセルのサイズを小さくすることができる。
本実施の形態では、情報が書き込まれたメモリセルにおけるヒューズを切断するようにしたので、書込動作の対象であるメモリセルと同じ列に、既に情報が書き込まれたメモリセルがある場合でも、書込動作が不安定になるおそれを低減することができる。また読出動作の対象であるメモリセルがすでに情報が書き込まれていた場合でも、そのメモリセルと同じ行に属するメモリセルにおける記憶素子をオフ状態にすることができるため、読出動作が不安定になるおそれを低減することができる。
[変形例1]
上記実施の形態では、半導体層111N,112N,113Nの一部をシリサイド化したが、これに限定されるものではなく、これに代えて、例えば、図18に示したように、シリサイド化していなくてもよい。この場合には、例えば、ストレス電圧VSTにより、電極141,142の一部が溶融し、フィラメントFを形成することができる。
上記実施の形態では、半導体層111N,112N,113Nの一部をシリサイド化したが、これに限定されるものではなく、これに代えて、例えば、図18に示したように、シリサイド化していなくてもよい。この場合には、例えば、ストレス電圧VSTにより、電極141,142の一部が溶融し、フィラメントFを形成することができる。
[変形例2]
上記実施の形態では、記憶素子21と選択トランジスタ22とが、半導体層112Nを共有したが、これに限定されるものではなく、これに代えて、例えば、図19に示したように、記憶素子21と選択トランジスタ22を別々に構成してもよい。この例では、半導体層111N,212N、誘電膜131、導電膜132が記憶素子21を構成し、半導体層312N,113N、誘電膜131、導電膜134は、選択トランジスタ22を構成するようになっている。これにより、メモリセル20におけるレイアウトの自由をより高くすることができる。具体的には、例えば、ヒューズ23(くびれ部分160)(図5)が切断する際に生ずる熱により、選択トランジスタ22の特性が変化するおそれがあるときには、これらを離して配置することができる。
上記実施の形態では、記憶素子21と選択トランジスタ22とが、半導体層112Nを共有したが、これに限定されるものではなく、これに代えて、例えば、図19に示したように、記憶素子21と選択トランジスタ22を別々に構成してもよい。この例では、半導体層111N,212N、誘電膜131、導電膜132が記憶素子21を構成し、半導体層312N,113N、誘電膜131、導電膜134は、選択トランジスタ22を構成するようになっている。これにより、メモリセル20におけるレイアウトの自由をより高くすることができる。具体的には、例えば、ヒューズ23(くびれ部分160)(図5)が切断する際に生ずる熱により、選択トランジスタ22の特性が変化するおそれがあるときには、これらを離して配置することができる。
[変形例3]
上記実施の形態では、図5に示したように、ヒューズ23を導電膜132のくびれ部分160として構成したが、これに限定されるものではない。例えば、図20に示したように、導電膜132Cとコンタクト145を介して接続される配線155Cのくびれ部分160Cとして構成してもよいし、図21に示したように、通常のコンタクト(例えばコンタクト144)よりも断面積が小さいコンタクト145Dにより構成してもよい。また、図22に示したように、コンタクト145Eにくびれ部分160Eを形成してもよい。
上記実施の形態では、図5に示したように、ヒューズ23を導電膜132のくびれ部分160として構成したが、これに限定されるものではない。例えば、図20に示したように、導電膜132Cとコンタクト145を介して接続される配線155Cのくびれ部分160Cとして構成してもよいし、図21に示したように、通常のコンタクト(例えばコンタクト144)よりも断面積が小さいコンタクト145Dにより構成してもよい。また、図22に示したように、コンタクト145Eにくびれ部分160Eを形成してもよい。
<2.適用例>
次に、上記実施の形態および変形例で説明した半導体装置の適用例について説明する。
次に、上記実施の形態および変形例で説明した半導体装置の適用例について説明する。
図23は、上記実施の形態等の半導体装置が適用されるテレビジョン装置の外観を表すものである。このテレビジョン装置は、例えば、フロントパネル511およびフィルターガラス512を含む映像表示画面部510を有している。
上記実施の形態等の半導体装置は、このようなテレビジョン装置の他、デジタルカメラ、ノート型パーソナルコンピュータ、携帯電話等の携帯端末装置、携帯型ゲーム機、あるいはビデオカメラなどのあらゆる分野の電子機器に適用することが可能である。具体的には、このような各種の電子機器に内蔵されている半導体装置に、上記実施の形態等の半導体装置を適用することが可能である。
以上、実施の形態および変形例、ならびに電子機器への適用例を挙げて本技術を説明したが、本技術はこれらの実施の形態等には限定されず、種々の変形が可能である。
例えば、上記の実施の形態では、記憶素子21およびヒューズ23を用いて記憶装置を構成したが、これに限定されるものではなく、例えば、図24に示したように、一回のみ設定可能なスイッチとして用いてもよい。この例では、記憶素子21およびヒューズ23を、信号の遅延量を調整する回路(遅延調整回路)に適用している。具体的には、記憶素子94にフィラメントFが形成されていない場合には、バッファ91から入力された信号は、遅延回路92を介して、バッファ93に供給される。一方、記憶素子94にフィラメントが形成されている場合には、バッファ91から入力された信号は、遅延回路92の代わりに記憶素子94のフィラメントを介して、バッファ93に供給される。記憶素子94にフィラメントを形成する際には、上記実施の形態の場合と同様に、書込回路96が記憶素子94のドレインとゲートとの間にストレス電圧VSTを印加する。
また、例えば、上記の実施の形態では、記憶素子21は、N型のMOSトランジスタと同様の構成を有するものとしたが、これに限定されるものではなく、これに代えて、例えば、P型のMOSトランジスタと同様の構成を有するものとしてもよい。この場合は、書込動作の際、記憶素子のゲートに正の電圧を印加するとともに、ドレインまたはソースに負の電圧を印加することにより、ゲートの下の半導体層に反転層を形成せずに、誘電膜を絶縁破壊させ、フィラメントFを形成する。
また、例えば、上記の実施の形態では、記憶素子21は、MOSトランジスタと同様の構成を有するものとしたが、これに限定されるものではなく、少なくとも3つの端子を有し、第1の端子と第2の端子との間にストレス電圧VSTを印加することにより、その第1の端子と第2の端子との間が高抵抗状態から低抵抗状態に変化し、それに応じて第2の端子と第3の端子との間がオープン状態(非導通状態)からショート状態(導通状態)に変化するようなものであればどのようなものであってもよい。具体的には、例えば、このような機能を有するFET(Field effect transistor)や、バイポーラトランジスタであってもよい。
なお、本技術は以下のような構成とすることができる。
(1)第1の端子と、第2の端子と、第3の端子とを有し、前記第1の端子と前記第2の端子との間に流れるストレス電流に基づいて前記第2の端子と前記第3の端子との間の抵抗状態が高抵抗状態から低抵抗状態に変化する記憶素子と、
前記第1の端子に接続され、前記ストレス電流に基づいて導通状態から非導通状態に変化するヒューズと
を備えた半導体装置。
前記第1の端子に接続され、前記ストレス電流に基づいて導通状態から非導通状態に変化するヒューズと
を備えた半導体装置。
(2)前記記憶素子は、
第1導電型の第1の半導体層と、
前記第2の端子に接続され、前記第1の半導体層内の表面側に選択的に設けられた第2導電型の第2の半導体層と、
前記第3の端子に接続され、前記第1の半導体層内の表面側に、前記第2の半導体層と離間して選択的に設けられた前記第2導電型の第3の半導体層と、
前記第2の半導体層と前記第3の半導体層との間の前記第1の半導体層の表面上に設けられた誘電膜と、
前記第1の端子に接続され、前記誘電膜の上に設けられた導電膜と
を有する
前記(1)に記載の半導体装置。
第1導電型の第1の半導体層と、
前記第2の端子に接続され、前記第1の半導体層内の表面側に選択的に設けられた第2導電型の第2の半導体層と、
前記第3の端子に接続され、前記第1の半導体層内の表面側に、前記第2の半導体層と離間して選択的に設けられた前記第2導電型の第3の半導体層と、
前記第2の半導体層と前記第3の半導体層との間の前記第1の半導体層の表面上に設けられた誘電膜と、
前記第1の端子に接続され、前記誘電膜の上に設けられた導電膜と
を有する
前記(1)に記載の半導体装置。
(3)前記ストレス電流は、前記第1の端子と前記第2の端子との間にストレス電圧が印加されることによって、前記誘電膜が絶縁破壊されて生ずるものであり、
前記ストレス電流が生ずる熱によって、前記第2の半導体層と前記第3の半導体層との間にフィラメントが形成されることにより、前記抵抗状態が高抵抗状態から低抵抗状態に変化する
前記(2)に記載の半導体装置。
前記ストレス電流が生ずる熱によって、前記第2の半導体層と前記第3の半導体層との間にフィラメントが形成されることにより、前記抵抗状態が高抵抗状態から低抵抗状態に変化する
前記(2)に記載の半導体装置。
(4)前記第2の半導体層の一部がシリサイド化されており、
前記フィラメントは、シリサイド化された前記第2の半導体層の一部が溶融したものである
前記(3)に記載の半導体装置。
前記フィラメントは、シリサイド化された前記第2の半導体層の一部が溶融したものである
前記(3)に記載の半導体装置。
(5)前記記憶素子は、前記第2の半導体層上の一部に形成された電極を有し、
前記フィラメントは、前記電極の一部が溶融したものである
前記(3)または(4)に記載の半導体装置。
前記フィラメントは、前記電極の一部が溶融したものである
前記(3)または(4)に記載の半導体装置。
(6)前記ヒューズは、前記フィラメントが形成された後に、導通状態から非導通状態に変化する
前記(3)から(5)のいずれかに記載の半導体装置。
前記(3)から(5)のいずれかに記載の半導体装置。
(7)前記ストレス電流の電流値は、前記フィラメントが形成されるのに必要な最低電流値以上の電流値である
前記(3)から(6)のいずれかに記載の半導体装置。
前記(3)から(6)のいずれかに記載の半導体装置。
(8)前記ストレス電圧は、前記離間領域における前記第1の半導体層において、反転層を形成する電圧とは逆極性の電圧である
前記(3)から(7)のいずれかに記載の半導体装置。
前記(3)から(7)のいずれかに記載の半導体装置。
(9)前記誘電膜および前記導電膜は、前記第2の半導体層と前記第3の半導体層との間に挟まれた領域から隣接する領域にまで延在し、
前記導電膜は、前記隣接する領域においてくびれ部分を有し、
前記くびれ部分が前記ヒューズを構成する
前記(2)から(8)のいずれかに記載の半導体装置。
前記導電膜は、前記隣接する領域においてくびれ部分を有し、
前記くびれ部分が前記ヒューズを構成する
前記(2)から(8)のいずれかに記載の半導体装置。
(10)前記導電膜へと導かれた、くびれ部分を有する配線を有し、
前記くびれ部分が前記ヒューズを構成する
前記(2)から(8)のいずれかに記載の半導体装置。
前記くびれ部分が前記ヒューズを構成する
前記(2)から(8)のいずれかに記載の半導体装置。
(11)前記誘電膜および前記導電膜は、前記第2の半導体層と前記第3の半導体層との間に挟まれた領域から隣接する領域にまで延在し、
前記隣接する領域の一部における前記導電膜上にコンタクトを有し、
前記コンタクトが前記ヒューズを構成する
前記(2)から(8)のいずれかに記載の半導体装置。
前記隣接する領域の一部における前記導電膜上にコンタクトを有し、
前記コンタクトが前記ヒューズを構成する
前記(2)から(8)のいずれかに記載の半導体装置。
(12)複数のメモリセルと、
前記複数のメモリセルを制御する制御回路と
を備え、
前記メモリセルは、
第1の端子と、第2の端子と、第3の端子とを有し、前記第1の端子と前記第2の端子との間に流れるストレス電流に基づいて前記第2の端子と前記第3の端子との間の抵抗状態が高抵抗状態から低抵抗状態に変化する記憶素子と、
前記第1の端子に接続され、前記ストレス電流に基づいて導通状態から非導通状態に変化するヒューズと、
前記第3の端子に接続された選択トランジスタを有する
半導体装置。
前記複数のメモリセルを制御する制御回路と
を備え、
前記メモリセルは、
第1の端子と、第2の端子と、第3の端子とを有し、前記第1の端子と前記第2の端子との間に流れるストレス電流に基づいて前記第2の端子と前記第3の端子との間の抵抗状態が高抵抗状態から低抵抗状態に変化する記憶素子と、
前記第1の端子に接続され、前記ストレス電流に基づいて導通状態から非導通状態に変化するヒューズと、
前記第3の端子に接続された選択トランジスタを有する
半導体装置。
(13)第1導電型の第1の半導体層と、
前記第2の端子に接続され、前記第1の半導体層内の表面側に選択的に設けられた第2導電型の第2の半導体層と、
前記第3の端子に接続され、前記第1の半導体層内の表面側に、前記第2の半導体層と離間して選択的に形成された前記第2導電型の第3の半導体層と、
前記第2の半導体層と前記第3の半導体層との間の前記第1の半導体層の表面上に設けられた第1の誘電膜と、
前記第1の端子に接続され、前記第1の誘電膜の上に形成された第1の導電膜と
前記第1の半導体層内の表面側に、前記第3の半導体層と離間して選択的に形成された前記第2導電型の第4の半導体層と、
前記第3の半導体層と前記第4の半導体層の間の前記第1の半導体層の表面上に形成された第2の誘電膜と、
前記第2の誘電膜の上に形成された第2の導電膜と
を備え、
前記第2の半導体層、前記第3の半導体層、前記第1の誘電膜、および前記第1の導電膜は、前記記憶素子を構成し、
前記第3の半導体層、前記第4の半導体層、前記第2の誘電膜、および前記第2の導電膜は、前記選択トランジスタを構成する
前記(12)に記載の半導体装置。
前記第2の端子に接続され、前記第1の半導体層内の表面側に選択的に設けられた第2導電型の第2の半導体層と、
前記第3の端子に接続され、前記第1の半導体層内の表面側に、前記第2の半導体層と離間して選択的に形成された前記第2導電型の第3の半導体層と、
前記第2の半導体層と前記第3の半導体層との間の前記第1の半導体層の表面上に設けられた第1の誘電膜と、
前記第1の端子に接続され、前記第1の誘電膜の上に形成された第1の導電膜と
前記第1の半導体層内の表面側に、前記第3の半導体層と離間して選択的に形成された前記第2導電型の第4の半導体層と、
前記第3の半導体層と前記第4の半導体層の間の前記第1の半導体層の表面上に形成された第2の誘電膜と、
前記第2の誘電膜の上に形成された第2の導電膜と
を備え、
前記第2の半導体層、前記第3の半導体層、前記第1の誘電膜、および前記第1の導電膜は、前記記憶素子を構成し、
前記第3の半導体層、前記第4の半導体層、前記第2の誘電膜、および前記第2の導電膜は、前記選択トランジスタを構成する
前記(12)に記載の半導体装置。
(14)前記第2の半導体層と前記第3の半導体層との間隔は、前記第3の半導体層と前記第4の半導体層との間隔よりも狭い
前記(13)に記載の半導体装置。
前記(13)に記載の半導体装置。
(15)前記ヒューズは、前記第1の端子に接続された一の端子と、その一の端子とは異なる他の端子とを有し、
前記制御回路は、前記記憶素子の前記第2の端子に第1の極性の電圧を印加するとともに、前記ヒューズの前記他の端子に第2の極性の電圧を印加することにより、前記第1の誘電膜を絶縁破壊させ、前記ストレス電流を生成する
前記(12)または(13)に記載の半導体装置。
前記制御回路は、前記記憶素子の前記第2の端子に第1の極性の電圧を印加するとともに、前記ヒューズの前記他の端子に第2の極性の電圧を印加することにより、前記第1の誘電膜を絶縁破壊させ、前記ストレス電流を生成する
前記(12)または(13)に記載の半導体装置。
(16)第1の端子と、第2の端子と、第3の端子とを有し、前記第1の端子と前記第2の端子との間に流れるストレス電流に基づいて前記第2の端子と前記第3の端子との間の抵抗状態が高抵抗状態から低抵抗状態に変化する記憶素子と、
前記第1の端子に接続され、前記ストレス電流に基づいて導通状態から非導通状態に変化するヒューズと、
前記記憶素子および前記ヒューズを制御する制御回路と
を備えた電子機器。
前記第1の端子に接続され、前記ストレス電流に基づいて導通状態から非導通状態に変化するヒューズと、
前記記憶素子および前記ヒューズを制御する制御回路と
を備えた電子機器。
1…半導体装置、10…メモリセルアレイ、11…書込ワード線駆動部、12…ビット線駆動部、13…読出ワード線駆動部、14…センスアンプ、20…メモリセル、21…記憶素子、22…選択トランジスタ、23…ヒューズ、100P…半導体基板、110P,111N,112N,113N,210P,212N,312N…半導体層、114…素子分離部、121,122,123,222,322…シリサイド部分、131,133…誘電膜、132,132C,134…導電膜、141,142,241,342…電極、144,145,145D,145E…コンタクト、150…絶縁層、151,152,154,155,155C,190…配線、160,160C,160E…くびれ部分、BL…ビット線、F…フィラメント、Iread…読出電流、IST…ストレス電流、P1…部分、SL…ソース線、VBL,VSL,VWL1,VWL2…電圧、VST…ストレス電圧、WL1…書込ワード線、WL2…読出ワード線。
Claims (16)
- 第1の端子と、第2の端子と、第3の端子とを有し、前記第1の端子と前記第2の端子との間に流れるストレス電流に基づいて前記第2の端子と前記第3の端子との間の抵抗状態が高抵抗状態から低抵抗状態に変化する記憶素子と、
前記第1の端子に接続され、前記ストレス電流に基づいて導通状態から非導通状態に変化するヒューズと
を備えた半導体装置。 - 前記記憶素子は、
第1導電型の第1の半導体層と、
前記第2の端子に接続され、前記第1の半導体層内の表面側に選択的に設けられた第2導電型の第2の半導体層と、
前記第3の端子に接続され、前記第1の半導体層内の表面側に、前記第2の半導体層と離間して選択的に設けられた前記第2導電型の第3の半導体層と、
前記第2の半導体層と前記第3の半導体層との間の前記第1の半導体層の表面上に設けられた誘電膜と、
前記第1の端子に接続され、前記誘電膜の上に設けられた導電膜と
を有する
請求項1に記載の半導体装置。 - 前記ストレス電流は、前記第1の端子と前記第2の端子との間にストレス電圧が印加されることによって、前記誘電膜が絶縁破壊されて生ずるものであり、
前記ストレス電流が生ずる熱によって、前記第2の半導体層と前記第3の半導体層との間にフィラメントが形成されることにより、前記抵抗状態が高抵抗状態から低抵抗状態に変化する
請求項2に記載の半導体装置。 - 前記第2の半導体層の一部がシリサイド化されており、
前記フィラメントは、シリサイド化された前記第2の半導体層の一部が溶融したものである
請求項3に記載の半導体装置。 - 前記記憶素子は、前記第2の半導体層上の一部に形成された電極を有し、
前記フィラメントは、前記電極の一部が溶融したものである
請求項3に記載の半導体装置。 - 前記ヒューズは、前記フィラメントが形成された後に、導通状態から非導通状態に変化する
請求項3に記載の半導体装置。 - 前記ストレス電流の電流値は、前記フィラメントが形成されるのに必要な最低電流値以上の電流値である
請求項3に記載の半導体装置。 - 前記ストレス電圧は、前記離間領域における前記第1の半導体層において、反転層を形成する電圧とは逆極性の電圧である
請求項3に記載の半導体装置。 - 前記誘電膜および前記導電膜は、前記第2の半導体層と前記第3の半導体層との間に挟まれた領域から隣接する領域にまで延在し、
前記導電膜は、前記隣接する領域においてくびれ部分を有し、
前記くびれ部分が前記ヒューズを構成する
請求項2に記載の半導体装置。 - 前記導電膜へと導かれた、くびれ部分を有する配線を有し、
前記くびれ部分が前記ヒューズを構成する
請求項2に記載の半導体装置。 - 前記誘電膜および前記導電膜は、前記第2の半導体層と前記第3の半導体層との間に挟まれた領域から隣接する領域にまで延在し、
前記隣接する領域の一部における前記導電膜上にコンタクトを有し、
前記コンタクトが前記ヒューズを構成する
請求項2に記載の半導体装置。 - 複数のメモリセルと、
前記複数のメモリセルを制御する制御回路と
を備え、
前記メモリセルは、
第1の端子と、第2の端子と、第3の端子とを有し、前記第1の端子と前記第2の端子との間に流れるストレス電流に基づいて前記第2の端子と前記第3の端子との間の抵抗状態が高抵抗状態から低抵抗状態に変化する記憶素子と、
前記第1の端子に接続され、前記ストレス電流に基づいて導通状態から非導通状態に変化するヒューズと、
前記第3の端子に接続された選択トランジスタを有する
半導体装置。 - 第1導電型の第1の半導体層と、
前記第2の端子に接続され、前記第1の半導体層内の表面側に選択的に設けられた第2導電型の第2の半導体層と、
前記第3の端子に接続され、前記第1の半導体層内の表面側に、前記第2の半導体層と離間して選択的に形成された前記第2導電型の第3の半導体層と、
前記第2の半導体層と前記第3の半導体層との間の前記第1の半導体層の表面上に設けられた第1の誘電膜と、
前記第1の端子に接続され、前記第1の誘電膜の上に形成された第1の導電膜と
前記第1の半導体層内の表面側に、前記第3の半導体層と離間して選択的に形成された前記第2導電型の第4の半導体層と、
前記第3の半導体層と前記第4の半導体層の間の前記第1の半導体層の表面上に形成された第2の誘電膜と、
前記第2の誘電膜の上に形成された第2の導電膜と
を備え、
前記第2の半導体層、前記第3の半導体層、前記第1の誘電膜、および前記第1の導電膜は、前記記憶素子を構成し、
前記第3の半導体層、前記第4の半導体層、前記第2の誘電膜、および前記第2の導電膜は、前記選択トランジスタを構成する
請求項12に記載の半導体装置。 - 前記第2の半導体層と前記第3の半導体層との間隔は、前記第3の半導体層と前記第4の半導体層との間隔よりも狭い
請求項13に記載の半導体装置。 - 前記ヒューズは、前記第1の端子に接続された一の端子と、その一の端子とは異なる他の端子とを有し、
前記制御回路は、前記記憶素子の前記第2の端子に第1の極性の電圧を印加するとともに、前記ヒューズの前記他の端子に第2の極性の電圧を印加することにより、前記第1の誘電膜を絶縁破壊させ、前記ストレス電流を生成する
請求項12に記載の半導体装置。 - 第1の端子と、第2の端子と、第3の端子とを有し、前記第1の端子と前記第2の端子との間に流れるストレス電流に基づいて前記第2の端子と前記第3の端子との間の抵抗状態が高抵抗状態から低抵抗状態に変化する記憶素子と、
前記第1の端子に接続され、前記ストレス電流に基づいて導通状態から非導通状態に変化するヒューズと、
前記記憶素子および前記ヒューズを制御する制御回路と
を備えた電子機器。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013052705A JP2014179481A (ja) | 2013-03-15 | 2013-03-15 | 半導体装置および電子機器 |
US14/182,312 US20140268984A1 (en) | 2013-03-15 | 2014-02-18 | Semiconductor device and electronic apparatus |
CN201410083672.3A CN104051019A (zh) | 2013-03-15 | 2014-03-07 | 半导体器件及其电子设备 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013052705A JP2014179481A (ja) | 2013-03-15 | 2013-03-15 | 半導体装置および電子機器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014179481A true JP2014179481A (ja) | 2014-09-25 |
Family
ID=51503737
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013052705A Pending JP2014179481A (ja) | 2013-03-15 | 2013-03-15 | 半導体装置および電子機器 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20140268984A1 (ja) |
JP (1) | JP2014179481A (ja) |
CN (1) | CN104051019A (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015230919A (ja) * | 2014-06-03 | 2015-12-21 | 株式会社東芝 | 不揮発性メモリ、この不揮発性メモリを用いた不揮発性プログラマブルロジックスイッチおよび不揮発性プログラマブルロジック回路 |
GB2541961B (en) * | 2015-09-01 | 2019-05-15 | Lattice Semiconductor Corp | Multi-time programmable non-volatile memory cell |
US11568948B2 (en) | 2021-02-12 | 2023-01-31 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Memory circuit and method of operating same |
US11843030B2 (en) * | 2022-03-10 | 2023-12-12 | Nanya Technology Corporation | Fuse elements and semiconductor devices |
US11876044B2 (en) | 2022-03-10 | 2024-01-16 | Nanya Technology Corporation | Method for activating backup unit through fuse element |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4850387B2 (ja) * | 2002-12-09 | 2012-01-11 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
JP4921985B2 (ja) * | 2007-01-09 | 2012-04-25 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置 |
-
2013
- 2013-03-15 JP JP2013052705A patent/JP2014179481A/ja active Pending
-
2014
- 2014-02-18 US US14/182,312 patent/US20140268984A1/en not_active Abandoned
- 2014-03-07 CN CN201410083672.3A patent/CN104051019A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20140268984A1 (en) | 2014-09-18 |
CN104051019A (zh) | 2014-09-17 |
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