JP2014172137A - Cleaning device of optical mirror - Google Patents

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Takayasu Anada
貴康 穴田
Shinichi Ueno
信一 上野
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Mitsubishi Electric Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a dry ice snow cleaning device which reduces the risk that a peeled contamination is reflected by, for example, a shield located near a cleaned surface and the cleaned surface is contaminated again when an optical mirror is cleaned by using a dry ice snow cleaning method.SOLUTION: A jet nozzle part 13 which blows dry ice snow 16 and a cleaner head 14 which suctions the dry ice snow 16 are located close to each other. A peeled contamination 17 is immediately suctioned with the dry ice snow 16 by the cleaner head 14.

Description

本発明は、天体望遠鏡等用の大型ミラーの洗浄法としてドライアイススノー洗浄を採用した光学ミラーの洗浄装置に関するものである。   The present invention relates to an optical mirror cleaning apparatus that employs dry ice snow cleaning as a method for cleaning a large mirror for an astronomical telescope or the like.

従来、光学ミラーの洗浄法は複数存在する。その中で乾式の洗浄法の一つとしてドライアイススノー洗浄法がある。ドライアイススノー洗浄法ではドライアイススノーを発生させ、被洗浄面にこのドライアイススノーを吹き付けることにより、被洗浄面上のコンタミネーションを除去する。湿式の洗浄法では鏡面に直接アクセスする必要があり鏡面の破損などのリスクを伴うが、このドライアイススノー洗浄法では鏡面の破損などのリスクが小さい。また、湿式の洗浄法よりも洗浄力に優れているという利点もある(例えば、特許文献1参照)。   Conventionally, there are a plurality of optical mirror cleaning methods. Among them, there is a dry ice snow cleaning method as one of dry cleaning methods. In the dry ice snow cleaning method, dry ice snow is generated, and the dry ice snow is sprayed on the surface to be cleaned to remove contamination on the surface to be cleaned. In the wet cleaning method, it is necessary to directly access the mirror surface, and there is a risk of damage to the mirror surface. However, in this dry ice snow cleaning method, the risk of damage to the mirror surface is small. Further, there is an advantage that the cleaning power is superior to the wet cleaning method (see, for example, Patent Document 1).

特開2001−277116号公報JP 2001-277116 A

しかし、ドライアイススノー洗浄法は被洗浄面からコンタミネーションを剥離し、吹き飛ばす方式のため、噴射方向に遮蔽物が存在するとコンタミネーションが反射して被洗浄面に再付着する可能性がある。   However, the dry ice snow cleaning method is a method in which the contamination is peeled off from the surface to be cleaned and blown away. Therefore, if there is a shield in the injection direction, the contamination may be reflected and reattached to the surface to be cleaned.

本発明は上記事象を防止するためになされたものであり、被洗浄面から一旦剥離したコンタミネーションが再度付着して再汚染となる危険性を低減できる光学ミラーの洗浄装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made to prevent the above-described event, and an object of the present invention is to provide an optical mirror cleaning device that can reduce the risk that contamination once separated from the surface to be cleaned adheres again and becomes recontaminated. And

また、操作性の向上により、一人でドライアイススノー噴射とクリーナーによる吸引を行う場合であっても被洗浄面への接触可能性を低減した光学ミラーの洗浄装置を提供することを目的とする。 It is another object of the present invention to provide an optical mirror cleaning device that reduces the possibility of contact with a surface to be cleaned even when dry ice snow spraying and suction by a cleaner are performed alone by improving operability.

この発明に係る光学ミラーの洗浄装置は、ドライアイススノーを光学ミラーの鏡面に吹き付けることで鏡面を洗浄する光学ミラーの洗浄装置であって、ドライアイススノーを生成する洗浄装置と、前記洗浄装置に取り付けられた吹き付け用のホースの先端に設けられ、圧縮空気により前記ホース内を通る前記ドライアイススノーを噴射する噴出口を有した噴射ノズル部と、吸い込み口を有したクリーナーヘッドを備える吸引式クリーナーとを備え、前記噴射ノズル部と前記吸い込み部は近接して設けられ、前記吸い込み口は、前記噴射口から前記光学ミラーの鏡面に向けて噴出され前記鏡面からコンタミネーションを剥離したドライアイススノーと前記コンタミネーションを吸い込む。   An optical mirror cleaning device according to the present invention is an optical mirror cleaning device that cleans a mirror surface by spraying dry ice snow onto a mirror surface of the optical mirror, and includes a cleaning device that generates dry ice snow, and the cleaning device. A suction cleaner provided with a jet nozzle part having a jet nozzle for jetting the dry ice snow passing through the hose by compressed air, and a cleaner head having a suction port, provided at the tip of the attached blowing hose The spray nozzle part and the suction part are provided close to each other, and the suction port is ejected from the spray hole toward the mirror surface of the optical mirror, and dry ice snow from which contamination has been peeled off from the mirror surface; Inhale the contamination.

この発明に係る光学ミラーの洗浄装置によれば、ドライアイススノーの噴射方向に遮蔽物が存在する場合であっても、遮蔽物での反射による再汚染を防ぐことができる。 According to the optical mirror cleaning device of the present invention, recontamination due to reflection on the shielding object can be prevented even when the shielding object is present in the dry ice snow injection direction.

本発明の実施の形態1に係る洗浄装置を示す構成図である。It is a block diagram which shows the washing | cleaning apparatus which concerns on Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1に係る洗浄装置によりドライアイススノーが被洗浄面に噴射され、コンタミネーションが除去されている状態を示す図である。It is a figure which shows the state from which the dry ice snow was sprayed on the to-be-cleaned surface by the washing | cleaning apparatus which concerns on Embodiment 1 of this invention, and the contamination was removed. 本発明の実施の形態2、3に係る洗浄装置を示す構成図である。It is a block diagram which shows the washing | cleaning apparatus which concerns on Embodiment 2, 3 of this invention. 本発明の実施形態2の洗浄装置によりドライアイススノーが被洗浄面に噴射され、コンタミネーションが除去されている状態を示す図である。It is a figure which shows the state from which the dry ice snow was sprayed on the to-be-cleaned surface by the washing | cleaning apparatus of Embodiment 2 of this invention, and the contamination was removed. 本発明の実施形態3の洗浄装置によりドライアイススノーが被洗浄面に噴射され、コンタミネーションが除去されている状態を示す図である。It is a figure which shows the state from which the dry ice snow was sprayed on the to-be-cleaned surface by the washing | cleaning apparatus of Embodiment 3 of this invention, and the contamination was removed.

実施の形態1.
図1は本発明の実施形態1による光学ミラーの洗浄装置100を示す構成図である。
光学ミラーの洗浄装置100は、コンプレッサー15に接続された洗浄装置11と、洗浄装置11から伸びたホース22の先端に設けられた噴射ノズル部13と、吸引式クリーナー12と、吸引式クリーナー12から伸びたホース23の先端に設けられたクリーナーヘッド14から構成される。噴射ノズル部13はノズル21とノズル先端の噴射口20を備える。
洗浄装置11は、例えば加圧液化炭酸ガス(図示せず)を膨張させ、冷却させることにより、ドライアイススノーを発生させる。洗浄装置11で発生したドライアイススノーは、コンプレッサー15で圧縮された圧縮空気と共に洗浄装置11から延びるホース22内を通って、ノズル13の先端部から噴出される。
一方、吸引式クリーナー12は、ホース23を介し、クリーナーヘッド14の吸引口から空気を吸引する。
Embodiment 1.
FIG. 1 is a configuration diagram showing an optical mirror cleaning device 100 according to Embodiment 1 of the present invention.
The optical mirror cleaning device 100 includes a cleaning device 11 connected to a compressor 15, an injection nozzle unit 13 provided at the tip of a hose 22 extending from the cleaning device 11, a suction cleaner 12, and a suction cleaner 12. It is comprised from the cleaner head 14 provided in the front-end | tip of the hose 23 extended. The injection nozzle unit 13 includes a nozzle 21 and an injection port 20 at the nozzle tip.
The cleaning device 11 generates dry ice snow by expanding and cooling a pressurized liquefied carbon dioxide gas (not shown), for example. The dry ice snow generated in the cleaning device 11 passes through the hose 22 extending from the cleaning device 11 together with the compressed air compressed by the compressor 15 and is ejected from the tip of the nozzle 13.
On the other hand, the suction cleaner 12 sucks air from the suction port of the cleaner head 14 via the hose 23.

図2は、本実施の形態の光学ミラーの洗浄装置により、ドライアイススノーが被洗浄面19に噴射され、コンタミネーションが除去されている状態を示した図である。
図2に示すように、噴射ノズル部13の近傍にクリーナーヘッド14が配置される。
噴射ノズル部13から噴射されたドライアイススノー16は被洗浄面19のコンタミネーション17に向けられ、噴射ノズル部13から噴射されたドライアイススノー16はコンタミネーション17に衝突し、コンタミネーション17を被洗浄面19から剥離する。
FIG. 2 is a view showing a state where the dry ice snow is sprayed onto the surface to be cleaned 19 and the contamination is removed by the optical mirror cleaning device of the present embodiment.
As shown in FIG. 2, the cleaner head 14 is disposed in the vicinity of the spray nozzle portion 13.
The dry ice snow 16 sprayed from the spray nozzle unit 13 is directed to the contamination 17 of the surface to be cleaned 19, and the dry ice snow 16 sprayed from the spray nozzle unit 13 collides with the contamination 17, and the contamination 17 is covered. Peel from the cleaning surface 19.

被洗浄面19から剥離されたコンタミネーション17は、ドライアイススノー16とともにクリーナーヘッド14によって吸引される。 The contamination 17 peeled from the surface to be cleaned 19 is sucked by the cleaner head 14 together with the dry ice snow 16.

このように、本実施の形態に係る光学ミラーの洗浄装置は、吸引式クリーナー12を設け、被洗浄面19から剥離したコンタミネーション17は噴射ノズル部13の近傍でドライアイススノー16とともにクリーナーヘッド14に吸引される。
従って、被洗浄面19の周辺に構造物が存在しても、剥離したコンタミネーション17を構造物による反射前に吸引することができ、再汚染を防ぐことができる。
As described above, the optical mirror cleaning apparatus according to the present embodiment is provided with the suction type cleaner 12, and the contamination 17 separated from the surface to be cleaned 19 is cleaned with the dry ice snow 16 and the cleaner head 14 in the vicinity of the spray nozzle portion 13. Sucked into.
Therefore, even if there is a structure around the surface to be cleaned 19, the peeled contamination 17 can be sucked before reflection by the structure, and recontamination can be prevented.

なお、上記被洗浄面は、例えばアルミニウムや銀などの金属及び保護コートや、絶縁体/酸化物多層コーティングなどであっても有効であることは、いうまでもない。   Needless to say, the surface to be cleaned is effective even if it is made of a metal such as aluminum or silver, a protective coat, or an insulator / oxide multilayer coating.

実施の形態2.
実施の形態1の光学ミラーの洗浄装置では、被洗浄面の面積が大きくなると中心部のコンタミネーション除去のために噴射ノズル部とクリーナーヘッドを伸ばす必要がある。一人で作業する場合、片手ずつで噴射ノズル部とクリーナーヘッドをともに扱う必要があるため、不安定な状態になる。そのため、噴射ノズルまたはクリーナーヘッド部の被洗浄面への接触による損傷の可能性が高まることが考えられる。実施の形態2では、被洗浄面の面積が大きくなった場合であっても噴射ノズルまたはクリーナーヘッド部が被洗浄面へ接触し難くなる洗浄装置について説明する。
Embodiment 2.
In the optical mirror cleaning apparatus of the first embodiment, when the area of the surface to be cleaned becomes large, it is necessary to extend the spray nozzle and the cleaner head in order to remove contamination at the center. When working alone, it is necessary to handle both the spray nozzle part and the cleaner head with one hand, which leads to an unstable state. Therefore, it is conceivable that the possibility of damage due to contact of the spray nozzle or the cleaner head with the surface to be cleaned is increased. In the second embodiment, a description will be given of a cleaning device that makes it difficult for an injection nozzle or a cleaner head to come into contact with a surface to be cleaned even when the area of the surface to be cleaned becomes large.

図3は本発明の実施の形態2に係る光学ミラーの洗浄装置を示す構成図である。
図1で説明した実施の形態1と構成品は同じであるが、実施の形態2では、噴射ノズル部13とクリーナーヘッド14を固着させ、一体化した構造としている。
FIG. 3 is a block diagram showing an optical mirror cleaning apparatus according to Embodiment 2 of the present invention.
Although the components are the same as those in the first embodiment described with reference to FIG. 1, in the second embodiment, the injection nozzle unit 13 and the cleaner head 14 are fixed and integrated.

図4は、実施の形態2に係る光学ミラーの洗浄装置により、ドライアイススノーが被洗浄面に噴射され、コンタミネーションが除去されている状態を示した図である。
図4において、噴射ノズル部13とクリーナーヘッド14は固着されており、クリーナーヘッド14よりも長く作られた噴射ノズル部13の先端がクリーナーヘッド14の吸い込み口の向く方向に曲げられている点である。
剥離されたコンタミネーション17がドライアイススノー16とともにクリーナーヘッド14によって吸引されるよう、クリーナーヘッド14の位置を調整する。
FIG. 4 is a diagram showing a state where the dry ice snow is sprayed onto the surface to be cleaned and the contamination is removed by the optical mirror cleaning device according to the second embodiment.
In FIG. 4, the spray nozzle portion 13 and the cleaner head 14 are fixed, and the tip of the spray nozzle portion 13 made longer than the cleaner head 14 is bent in the direction toward the suction port of the cleaner head 14. is there.
The position of the cleaner head 14 is adjusted so that the peeled contamination 17 is sucked together with the dry ice snow 16 by the cleaner head 14.

このように構成された光学ミラーの洗浄装置では、噴射ノズル部とクリーナーヘッドの一体化により両手で扱うことが可能になるため、操作の安定度が増す。
これにより、噴射ノズルまたはクリーナーヘッド部の被洗浄面への接触による損傷の可能性を低減することができる。
In the optical mirror cleaning apparatus configured as described above, since the injection nozzle unit and the cleaner head can be handled with both hands, the stability of the operation is increased.
Thereby, the possibility of damage due to contact of the spray nozzle or the cleaner head with the surface to be cleaned can be reduced.

実施の形態3.
図5は、実施の形態3に係る光学ミラーの洗浄装置により、ドライアイススノーが被洗浄面に噴射され、コンタミネーションが除去されている状態を示した図である。実施の形態3に係る光学ミラーの洗浄装置の構成は、図3の実施の形態2に係る光学ミラーの洗浄装置と同じである。
実施の形態3に係る光学ミラーの洗浄装置では、噴射ノズル部13の曲げ方を変え、ドライアイススノー16を被洗浄面19に垂直に噴射することができるようにした。
Embodiment 3.
FIG. 5 is a diagram showing a state where the dry ice snow is sprayed onto the surface to be cleaned and the contamination is removed by the optical mirror cleaning device according to the third embodiment. The configuration of the optical mirror cleaning device according to the third embodiment is the same as that of the optical mirror cleaning device according to the second embodiment of FIG.
In the optical mirror cleaning device according to the third embodiment, the method of bending the spray nozzle portion 13 is changed so that the dry ice snow 16 can be sprayed perpendicularly to the surface to be cleaned 19.

本実施の形態では、光学ミラーの洗浄をより局所的な空間で完結することができるため、被洗浄面の近傍に構造物が存在する場合でも隅々まで洗浄することが可能となる。 In this embodiment, since the optical mirror can be cleaned in a more local space, it is possible to clean every corner even when a structure exists near the surface to be cleaned.

11 洗浄装置、12 吸引式クリーナー、13 噴射ノズル部、14 クリーナーヘッド、15 コンプレッサー、16 ドライアイススノー、17 コンタミネーション、18 吸い込み口、19 被洗浄面、20 噴射口、21 ノズル、22、23 ホース、100 光学ミラーの洗浄装置。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Cleaning apparatus, 12 Suction type cleaner, 13 Spray nozzle part, 14 Cleaner head, 15 Compressor, 16 Dry ice snow, 17 Contamination, 18 Suction port, 19 Surface to be cleaned, 20 Spray port, 21 Nozzle, 22, 23 Hose , 100 Optical mirror cleaning device.

Claims (4)

ドライアイススノーを光学ミラーの鏡面に吹き付けることで鏡面を洗浄する光学ミラーの洗浄装置であって、
ドライアイススノーを生成する洗浄装置と、
前記洗浄装置に取り付けられた吹き付け用のホースの先端に設けられ、圧縮空気により前記ホース内を通る前記ドライアイススノーを噴射する噴出口を有した噴射ノズル部と、
吸い込み口を有したクリーナーヘッドを備える吸引式クリーナーと、
を備え、
前記噴射ノズル部と前記吸い込み部は近接して設けられ、
前記吸い込み口は、前記噴射口から前記光学ミラーの鏡面に向けて噴出され前記鏡面からコンタミネーションを剥離したドライアイススノーと前記コンタミネーションを吸い込むことを特徴とする光学ミラーの洗浄装置。
An optical mirror cleaning device for cleaning a mirror surface by spraying dry ice snow on the mirror surface of the optical mirror,
A cleaning device for generating dry ice snow;
An injection nozzle portion provided at the tip of a blowing hose attached to the cleaning device, and having a jet nozzle for jetting the dry ice snow passing through the hose by compressed air;
A suction cleaner with a cleaner head having a suction port;
With
The spray nozzle part and the suction part are provided close to each other,
2. The optical mirror cleaning apparatus according to claim 1, wherein the suction port sucks the dry ice snow, which is ejected from the ejection port toward the mirror surface of the optical mirror and peels the contamination from the mirror surface, and the contamination.
前記噴射ノズル部と前記クリーナーヘッドは一体に固定され、
前記噴射ノズル部は前記噴射ノズル部を構成するノズルの途中で折り曲げられ、前記噴射口は前記吸い込み口が向く方向を向いていることを特徴とする請求項1記載の光学ミラーの洗浄装置。
The spray nozzle portion and the cleaner head are fixed integrally,
2. The optical mirror cleaning device according to claim 1, wherein the spray nozzle portion is bent in the middle of the nozzles constituting the spray nozzle portion, and the spray port faces a direction in which the suction port faces.
前記噴射ノズル部と前記クリーナーヘッドは一体に固定され、
前記噴射口と前記吸い込み口は同一方向を向いていることを特徴とする請求項1記載の光学ミラーの洗浄装置。
The spray nozzle portion and the cleaner head are fixed integrally,
2. The optical mirror cleaning device according to claim 1, wherein the ejection port and the suction port face the same direction.
光学ミラーの鏡面は酸化物と絶縁体の多層コーティングで構成され、あるいは、アルミニウムと保護コートで構成され、あるいは、銀と保護コートで構成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか記載の光学ミラーの洗浄装置。 The mirror surface of the optical mirror is composed of a multilayer coating of an oxide and an insulator, composed of aluminum and a protective coat, or composed of silver and a protective coat. Or an optical mirror cleaning device.
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