JP2014168128A - 水晶振動素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 平板状の水晶片と、この水晶片の両主面に設けられる励振電極と、この水晶片の一方の端部に設けられ、励振電極と接続する引き回しパターンとを備え、水晶片の主面に楕円形状の凸部が設けられ、励振電極が凸部全体を跨ぐように水晶片上に設けられて凸部の短径側の一部が露出し、かつ、水晶片の短辺側を向く辺が曲線状に形成されて、長辺側を向く辺が直線状に形成されていることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
この水晶片は、例えば、ATカットの水晶ウェハを従来周知のフォトリソグラフィ技術とエッチング技術を用いることで形成することができる。
このような水晶振動素子は、四角形に形成され主面に凸部が形成された水晶片と、この水晶片の両主面中央に設けられる楕円形状の励振電極と、この励振電極と接続され水晶片の一方の端部に設けられる引き回しパターンとから構成されている。
ここで、水晶片の主面には四角形状の凸部が設けられており、この凸部の平面中心が水晶片の平面中心に合わせて設けられている。
また、励振電極は、水晶片に設けられた凸部の平面内に設けられており、平面中心を凸部の平面中心と一致させた位置に設けられている(例えば、特許文献1参照)。
なお、凸部と励振電極とが楕円形状となる水晶振動素子も提案されている(例えば、特許文献2参照)。
しかしながら、水晶片に楕円形状の凸部を形成した上に励振電極を形成した場合、温度変化によるCI値(クリスタルインピーダンス値)の変動が発生しやすくなっていた。この変動は、CIディップと呼ばれ、周波数温度特性をグラフ化した場合に、所定の温度範囲においてCI値変動が大きく現れた状態となる。
前記楕円形状の前記凸部と前記励振電極の直線状の辺とが交差する一方の交点と楕円形状の前記凸部の平面中心とを結ぶ第一の直線と、前記楕円形状の前記凸部と前記励振電極の直線状の辺とが交差する他方の交点と楕円形状の前記凸部の平面中心とを結ぶ第二直線とがなす角度θが、72°≦θ≦80°となるように前記励振電極が設けられていることを特徴とする。
この本発明の実施形態に係る水晶振動素子10は、水晶片1の長辺の中心を通る中心線CL1と水晶片1の短辺の中心を通る中心線CL2との交点が水晶片1の平面中心C1であり、凸部の平面中心C2と水晶片の平面中心C1とが一致させて形成され、励振電極2の平面中心C3が水晶片1の引き回しパターンが設けられない短辺側にずらして形成されている。
なお、この水晶片1は、長辺がX軸と平行であり、短辺がZ´軸と平行であり、厚みがY´軸方向と平行に形成されている。
また、この水晶片1の主面には、凸部1aが設けられている。この凸部1aの平面中心C2は、平面視における水晶片1の投影面の中心C1と一致させた状態で位置させている。
この水晶片1は、従来周知のフォトリソグラフィ技術とエッチング技術を用いて形成することができる。なお、水晶片1は、側面に水晶の結晶面が形成されていても良い。
なお、水晶片1は、引き回しパターン3が設けられる端部をX軸の+X方向とし、反対側の端部を−X方向としている。
前記凸部1a上に跨いで設けられるこの励振電極2は、楕円形状を基に成形して形成しても良く、楕円形状のうち短径側を直線に形成した形状で構成しても良い。
また、これら2つの直線がなす角度θが大きくなると、励振電極2は凸部1aの露出部分を大きくさせることとなる。このとき、角度θが80°よりも大きくなると励振電極2が細くなり、所定の周波数で振動させることができなくなる。
また、励振電極2は、水晶片1の両主面に設けられ、それぞれ対向するように設けられている。
また、引き回し配線3bは、水晶片1の主面の縁に沿って直線で形成されており、励振電極2から接続パッド3aまで設けられている。
1 水晶片
1a 凸部
2 励振電極
3 引き回しパターン
C1,C2,C3 平面中心
Claims (3)
- 平板状の水晶片と、
この水晶片の両主面に設けられる励振電極と、
この水晶片の一方の端部に設けられ、前記励振電極と接続する引き回しパターンとを備え、
前記水晶片の主面に楕円形状の凸部が設けられ、
前記励振電極が前記凸部を跨ぐように前記水晶片上に設けられて前記凸部の短径側の一部が露出し、かつ、水晶片の短辺側を向く辺が曲線状に形成されて、長辺側を向く辺が直線状に形成されていることを特徴とする水晶振動素子。 - 前記凸部上に跨いで設けられる前記励振電極が、前記楕円形状の短径側を直線に形成した形状で構成されることを特徴とする請求項1に記載の水晶振動素子。
- 前記励振電極が、前記楕円形状の短径側を直線に形成した形状で構成され、
前記楕円形状の前記凸部と前記励振電極の直線状の辺とが交差する一方の交点と楕円形状の前記凸部の平面中心とを結ぶ第一の直線と、
前記楕円形状の前記凸部と前記励振電極の直線状の辺とが交差する他方の交点と楕円形状の前記凸部の平面中心とを結ぶ第二直線とがなす角度θが、
72°≦θ≦80°
となるように前記励振電極が設けられていることを特徴とする請求項2に記載の水晶振動素子。
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JP2013038828A JP6084068B2 (ja) | 2013-02-28 | 2013-02-28 | 水晶振動素子 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107154789A (zh) * | 2016-03-04 | 2017-09-12 | 日本电波工业株式会社 | 晶体振子 |
CN107294507A (zh) * | 2016-04-13 | 2017-10-24 | 日本电波工业株式会社 | 晶体振子 |
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JP2004328510A (ja) * | 2003-04-25 | 2004-11-18 | Kyocera Kinseki Corp | 圧電振動板 |
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JP2011205516A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-13 | Seiko Epson Corp | 圧電振動素子、及び圧電振動子 |
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- 2013-02-28 JP JP2013038828A patent/JP6084068B2/ja active Active
Patent Citations (3)
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