JP2014163886A - アブソリュートエンコーダ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】絶対位置を表す符号列に対応した複数のマークが第1ピッチで第1方向に沿って配列されたスケールSCLと、第1ピッチより小さいピッチで第1方向に沿って配列された複数の光電変換素子によって符号列に対応する幅で複数のマークを検出する検出器PDAと、検出器PDAの出力に基づいてスケールSCLまたは検出器PDAの第1方向における絶対位置を求める処理部は、検出器PDAから出力されたマークの信号を量子化することによってデータ列を生成し、第1ピッチを配列単位とする符号列に対応する第1位置データを生成し、マークの信号のうち検出器PDAで全幅にわたって検出されなかった両端部のマークの信号の値を低減して得られた信号の位相に対応する第2位置データを生成し、第1位置データと第2位置データとを合成して絶対位置を表すデータを生成する。
【選択図】図1
Description
図1に示すように、LED等の点光源から射出した発散光束を、コリメータレンズLNSにて平行光に変換する。平行光は、Mビットのアブソリュートコード(絶対位置を表す符号列)に対応する複数のマークが配列されたスケールSCLに照明される。なお、スケールSCLは、直動または回動可能となっている。回動する場合、スケールは、ディスクに形成されうる。また、スケールは固定され、光源および後述の検出器が移動する構成であってもよい。スケールSCLには、少なくとも2種類のマークを含む複数のマークが一定の周期(第1ピッチ)で一方向(第1方向)に沿って配列されている。スケールSCLは、図2に示すように、透過率T1および透過率T2のスリットをピッチPsで有するスリットGTと、非透過部を備える。透過率T1及び透過率T2の2種類のスリットが2種類のマークを構成し、2種類のスリットが複数配列されてアブソリュートコードを表現している。2種類のマークは、形状は、同一であるが、透過率が互いに異なり、かつ、2種類のマークのそれぞれはマーク内において一様の透過率を有している。
次に、第2実施形態を以下に示す。装置の構成及び、窓関数データWの条件は、第1実施形態と同一であるため、省略する。
第1実施形態においては、式(3)及び式(6)を使用して演算を行う方法を記載したが、第2実施形態は、あらかじめ標準波形として以下の式(10)を保持する。
本発明は、以下のような様々な場合においても適用可能である。
図9に示すような透過格子を等間隔で配置したスケールを備えたエンコーダにも適用が可能である。この場合の光量分布は、図2のスケールからの光量分布を上下反転させたものになり、スケールによる光量の変調量は、透過部(光量が極大値をとる部分)で極小値をとる。
本発明は、2値(2階調)のみならず判別可能な3値(3階調)以上の階調を有するスケールを備えたエンコーダにも適用が可能である。
PDA 受光素子アレイ
CULC1 第1算出部
CULC2 第2算出部
CULC3 第3算出部
Claims (6)
- 絶対位置を表す符号列に対応した複数のマークが第1ピッチで第1方向に沿って配列されたスケールと、
前記第1ピッチより小さいピッチで前記第1方向に沿って配列された複数の光電変換素子を含み、前記複数の光電変換素子によって前記符号列に対応する幅で複数のマークを検出する検出器と、
前記検出器の出力に基づいて前記スケールまたは前記検出器の前記第1方向における絶対位置を求める処理部と、を備え、
前記処理部は、
前記検出器から出力された前記マークの信号を量子化することによってデータ列を生成し、前記データ列に基づいて、前記第1ピッチを配列単位とする前記符号列に対応する第1位置データを生成し、
前記マークの信号のうち前記検出器で全幅にわたって検出されなかった両端部のマークの信号の値を低減して得られた信号の位相に対応する第2位置データを生成し、
前記第1位置データと前記第2位置データとを合成して前記絶対位置を表すデータを生成する、
ことを特徴とするアブソリュートエンコーダ。 - 前記処理部は、前記両端部のマークの信号の値の低減を窓関数に基づいて行う、ことを特徴とする請求項1に記載のアブソリュートエンコーダ。
- 前記処理部は、前記窓関数として、ハン窓関数、ブラックマン窓関数、sin窓関数およびVorbis窓関数の少なくとも1つに基づいて前記低減を行う、ことを特徴とする請求項2に記載のアブソリュートエンコーダ。
- 前記処理部は、前記低減して得られた信号と前記第1ピッチに対応する周期をそれぞれ有する正弦波データおよび余弦波データとの間でそれぞれ積和演算により得られた2つの値の比に基づいて前記第2位置データを生成する、ことを特徴とする請求項1ないし請求項3のうちいずれか1項に記載のアブソリュートエンコーダ。
- 前記処理部は、前記検出器から出力された前記マークの信号と前記第1ピッチに対応する周期をそれぞれ有する正弦波データおよび余弦波データの前記両端部のマークの信号に対応する部分をそれぞれ低減して第1データおよび第2データとの間でそれぞれ積和演算により得られた2つの値の比に基づいて前記第2位置データを生成する、ことを特徴とする請求項1ないし請求項3のうちいずれか1項に記載のアブソリュートエンコーダ。
- 前記処理部は、前記第2位置データの誤差が許容範囲内となるように、前記低減を行う、ことを特徴とする請求項1ないし請求項5のうちいずれか1項に記載のアブソリュートエンコーダ。
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002532706A (ja) * | 1998-12-17 | 2002-10-02 | ビショップ イノヴェーション リミテッド | 光学式エンコーダ用位置センサ及び回路 |
JP2012037392A (ja) * | 2010-08-06 | 2012-02-23 | Canon Inc | アブソリュートエンコーダ |
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---|---|---|---|---|
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