JP2014162160A - 液体吐出ヘッド及び画像形成装置 - Google Patents

Abstract

【課題】電鋳薄層部材を接合するときの位置ズレが生じる。
【解決手段】電鋳薄層部材である振動板部材４は薄層部材である第２共通液室部材５の一面に接合され、電鋳薄層部材であるフィルタダンパ部材６は薄層部材である第２共通液室部材５の他面に接合され、第２共通液室部材５と接合する面側であって、長手方向の両端部のうち、一方の端部には、短手方向の両端部に２つの凸部５１、５１が形成され、他方の端部には、短手方向の中央部に１つの凸部５１が形成されている。
【選択図】図５

Description

本発明は液体吐出ヘッド及び画像形成装置に関する。

プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ、これらの複合機等の画像形成装置として、例えばインク液滴を吐出する液体吐出ヘッド（液滴吐出ヘッド）からなる記録ヘッドを用いた液体吐出記録方式の画像形成装置、例えばインクジェット記録装置が知られている。

液体吐出ヘッドとしては、例えば、液滴を吐出する複数のノズルを形成したノズル板、ノズルが通じる複数の個別液室を形成する流路板、個別液室の壁面を形成する振動板部材などの薄層部材を積層して接着剤接合したものが知られている。そして、振動板部材としては、例えば電鋳で形成された薄層部材（これを「電鋳薄層部材」という。）が使用される。

ところで、電極基板に非導電性のレジストでパターンを形成して電鋳めっきを行う場合、レジストの遮蔽面積が大きくなるほど、その部位の電界がレジスト端部の電極部分に集中し、局所的にめっき膜厚が厚くなる（これを「偏肉」という。）が生じる傾向がある。特に、振動板部材のように多くの微細パターンが形成されている薄層部材では、パターンによる膜厚の変動が大きく、偏肉が大きくなるという不都合がある。

そこで、従来、微細パターンが形成された部分に、パターンが形成されていないパターン抜き部を形成することで膜厚補正を行うことが知られている（特許文献１）。

特開２００７−７４５８２号公報

ところで、電鋳薄層部材である振動板部材と、振動板部材で壁面を形成される個別液室とを接合するとき、メカ的な位置決めをしないで、光学的な位置決めだけで接合する場合がる。このとき、例えば、偏肉が振動板部材の中央部に集中していた場合、その偏肉部分が中心となり、加圧すると、不安定な状態となって、位置ズレが発生しやすくなるという課題がある。

本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、電鋳薄層部材を接合するときの位置ズレを低減することを目的とする。

上記の課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、
複数の薄層部材が積層して接合され、
前記薄層部材の少なくとも１つは、電鋳で形成された電鋳薄層部材であり、
前記電鋳薄層部材には、少なくとも一方の接合面側の長手方向の両端部に、少なくとも１つの凸部が形成され、
前記凸部は、厚み方向で、凸部以外の領域よりも高い
構成とした。

本発明によれば、電鋳薄層部材を接合するときの位置ズレを低減することができる。

本発明に係る液体吐出ヘッドの一例を示す外観斜視説明図である。 図１のＸ−Ｘ線に沿うノズル配列方向と直交する方向の断面説明図である。 図３は図２のＡ−Ａ線に沿う断面説明図である。 図２のＢ−Ｂ線に沿う断面説明図である。 本発明に係る部分の詳細な説明に供するヘッドの分解斜視説明図である。 同じく振動板部材の平面説明図である。 同じく図６のＣ−Ｃ線に沿う断面説明図である。 凸部がない場合の加圧状態の説明に供する模式的説明図である。 本発明に係る画像形成装置の一例を示す機構部の側面説明図である。 同機構部の要部平面説明図である。

以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明に係る液体吐出ヘッドの一例について図１ないし図４を参照して説明する。図１は同ヘッドの外観斜視説明図、図２は図１のＸ−Ｘ線に沿うノズル配列方向と直交する方向の断面説明図、図３は図２のＡ−Ａ線に沿う断面説明図、図４は図２のＢ−Ｂ線に沿う断面説明図である。

この液体吐出ヘッドは、ノズル板２と、流路部材である流路板３と、振動板部材４とを接合している。

ノズル板２には、液滴を吐出する複数のノズル２０が千鳥状に２列配列されている。このノズル板２は、例えば、ステンレス（ここでは、ＳＵＳ３１６）を用いてプレス加工でノズル２０を形成している。

流路板３は、ノズル２０に連なって通じる個別液室である圧力室２１を形成している。この流路板３は、例えばステンレス（ここではＳＵＳ３０４）を用いてプレス加工で形成し、プレスによる変形、バリは両面研磨によりほぼ平らとなるように後処理をした。

振動板部材４は、圧力室２１の一部の壁面を変位可能な振動領域４ａとして形成する。また、振動板部材４には、後述するフィルタ下共通液室２５に臨み、フィルタ下共通液室２５と各圧力室２１とを通じる液体供給路２２が形成されている。この振動板部材４は、Ｎｉ電鋳で形成している。

そして、振動板部材４の圧力室２１と反対側には、ダンパ室形成部材を兼ねる第２共通液室部材５、ダンパ部材を兼ねるフィルタダンパ部材６、このヘッドのフレームを兼ねる共通液室部材である第１共通液室部材７を順次積層して接着剤で接合している。

第１共通液室部材７と第２共通液室部材５とによって各圧力室２１に通じる共通液室１０を形成する。共通液室１０は、フィルタダンパ部材６の上流側のフィルタ上共通液室２６と、下流側のフィルタ下共通液室２５とで形成されている。

フィルタダンパ部材６には、多数のフィルタ孔を形成したフィルタ領域２９が設けられ、フィルタ上共通液室２６からフィルタ下共通液室２５に流れる液体から異物を捕集（ろ過）する。

また、フィルタダンパ部材６のノズル配列方向の両端部には、フィルタ上共通液室２６の一部の壁面を形成する変形可能な領域（以下、「ダンパ領域」という。）３０を形成している。

そして、第２共通液室部材５にはダンパ領域３０を挟んでフィルタ上共通液室２６に対向するダンパ室３６を形成している。ダンパ室３６は大気開放路４４ａ、４４ｂを介して第２共通液室部材５のノズル配列方向と直交する方向の端面で大気に開放されている。

第１共通液室部材７は、フィルタ上共通液室２６を形成し、外部から液体を供給するための液体供給口部３７が設けられている。液体供給口部３７は、フィルタ上共通液室２６の長手方向の両端にそれぞれ配置されている。また、液体供給口部３７はノズル配列方向でダンパ領域３０の外側端部に配置されている。

なお、本実施形態では、フィルタダンパ部材６もＮｉ電鋳で形成された２層構造を有し、１層目でフィルタ領域２９及びダンパ領域３０を構成し、１層目と２層目を合わせた部分（厚肉部）を１層目の支持部分としている。なお、１層目は３μｍ、２層目は１０μｍの厚みとしている。また、フィルタ領域２９は、フィルタ下共通液室２５の長さ及び幅とほぼ同じ範囲で配置している。そのため、フィルタ領域２９のノズル配列方向における長さはノズル列の長さより長くなる。

また、第２共通液室部材５のフィルタ下共通液室２５はフルエッチングで、ダンパ室３６は大気開放路４４ａ、４４ｂを含めてハーフエッチングで形成されている。ハーフエッチング深さは、第２共通液室部材５の板厚（例えば０、２μｍ）の約半分（０．１μｍ）としている。

また、第１共通液室部材７にはＳＵＳ３０３を使用して、切削加工でフィルタ上共通液室２６を形成しているが、樹脂の射出成形で形成することもできる。

振動板部材４の振動領域４ａの圧力室２１とは反対側に圧電アクチュエータ８を配置している。圧電アクチュエータ８は、２列のノズル列に合わせて１つのベース部材３３に例えばノズルピッチの半分のピッチで柱状の圧電素子（圧電柱）３２Ａを形成した２つの圧電部材３２を接合している。圧電部材３２の各圧電柱は振動板部材４の振動領域４ａと接合されて、フレキシブル配線部材３４に備えられる駆動ＩＣ８１からフレキシブル配線部材３４を介して駆動信号が与えられる。

また、フィルタ下共通液室２５の壁面を形成する振動板部材４の部分の一部は変形可能な領域（ダンパ領域）２４とし、流路板３にはダンパ領域２４を挟んでフィルタ下共通液室２５に対向するダンパ室３５を形成している。このダンパ室３５は、大気開放路４２ａ、４２ｂを介して流路板３のノズル配列方向と直交する方向の端面で大気に開放されている。

この液体吐出ヘッドでは、圧電アクチュエータ８を駆動することで振動板部材４の振動領域４ａが変位して、圧力室２１の液体が加圧されて、ノズル２０から液滴が吐出される。

また、この液体吐出ヘッドにおいて、ノズル板２、流路板３、振動板部材４、第２共通液室部材５、フィルタダンパ部材６は、いずれも薄層部材である。そして、振動板部材４、フィルタダンパ部材６は、いずれも、前述したように電鋳で形成された電鋳薄層部材である。

次に、本発明に係る部分の詳細について図５ないし図７も参照して説明する。図５はヘッドの分解斜視説明図、図６は振動板部材の平面説明図、図７は図６のＣ−Ｃ線に沿う断面説明図である。

まず、振動板部材４には、第２共通液室部材５と接合する面側であって、長手方向の両端部のうち、長手方向の一方の端部側には、短手方向の両端部に２つの凸部５１、５１が形成され、長手方向の他方の端部には、短手方向の中央部に１つの凸部５１が形成されている。

ここで、凸部５１は、振動板部材４の厚み方向で、凸部５１以外の領域よりも高く形成されている。

なお、振動板部材４は、例えば、１層目が３μｍ、２層目が１１．５μｍ、３層目が１１．５μｍの厚みを有する三層構造としている。

また、フィルタダンパ部材６にも、第２共通液室部材５と接合する面側であって、長手方向の両端部のうち、長手方向の一方の端部側には、短手方向の両端部に２つの凸部７１、７１が形成され、長手方向の他方の端部には、短手方向の中央部に１つの凸部７１が形成されている。

ここで、凸部７１は、フィルタダンパ部材６の厚み方向で、凸部７１以外の領域よりも高く形成されている。

なお、例えば、フィルタダンパ部材６は、１層目が３μｍ、２層目が１０μｍの厚みを有する二層構造としている。

ここで、振動板部材４の凸部５１の形成は、次のようにして行うことができる。

つまり、振動板部材４を電鋳で形成するとき、電鋳支持基板上に、凸部５１の周囲の凹部５２を形成する枠状のレジストパターンを形成して、電鋳を行う。これにより、めっき膜が凸部５１の部分で異常成長し、凸部５１の高さが、厚み方向で、凸部５１以外の領域よりも高くなる。

このとき、凸部５１を形成する領域を囲う枠状の凹部５２を形成するレジストパターンの面積を制御することによって、振動板部材４の中で、接合側表面が最も高い位置にある凸部５１を形成することができる。例えば、凸部５１の高さは、凸部５１以外の領域で最も高い部分よりも５〜８μｍ高くなる。

このように、振動板部材４に凸部５１を形成することによって接合時の接合位置ずれを低減できる。

つまり、振動板部材４を電鋳で形成するときに、ノズル配列方向及びノズル配列方向と直交する方向の中央部分に偏肉が生じる。これは、中央部分には、振動領域４ａや流路板３との接合領域（これらを、「チャンネル領域（ｃｈ領域）」という。）が密集して存在するために、電界の局所的な集中が生じることによる。この結果、振動板部材４には、プレート表面の高さバラツキが生じる。

一方、振動板部材４の長手方向端部の領域（ｃｈ領域の外側の領域）は、上述した凸部５１を形成しなければ、一様に同じ高さ（厚み）に成膜され、偏肉が少なくなる。

その結果、振動板部材４は、図８に示すように、偏肉している領域が中央部に集中し、周囲より隆起した形状となる。

この状態で第２共通液室部材５と振動板部材４とを加圧して接合すると、隆起している振動板部材４の中央部を支点として第２共通液室部材５が揺れ動くことができる不安定な状態になり、接合時の位置ずれが生じやすくなる。

そこで、振動板部材４の長手方向の両端部に振動板部材４全体で最も厚みが厚い（接合側表面が最も高い）凸部５１を形成することで、第２共通液室部材５と接合するとき、振動板部材４の凸部５１と第２共通液室部材５が接触した状態で加圧される。

これにより、第２共通液室部材５の両端部が支持された状態で加圧されるので安定した加圧ができ、接合時の位置ズレが低減する。

この場合、振動板部材４の長手方向の一端部側に２つの凸部５１、５１を形成し、長手方向の他端部側に１つの凸部５１を形成して、第２共通液室部材５を３点で支持することで、第２共通液室部材５をより安定した状態で支持することができ、位置ズレを確実に低減できる。

そして、振動板部材４の長手方向の一端部側の２つの凸部５１は、短手方向の両端部側に配置することで、より安定した状態を得ることができる。

なお、振動板部材４の凸部５１によって振動板部材４と第２共通液室部材５との間に生じるギャップには接着剤で埋められる。

次に、フィルタダンパ部材６の凸部７１の形成も、振動板部材４の凸部５１と同様に、次のようにして行うことができる。

つまり、フィルタダンパ部材６を電鋳で形成するとき、電鋳支持基板上に、凸部７１の周囲の凹部７２を形成する枠状のレジストパターンを形成して、電鋳を行う。これにより、めっき膜が凸部７１の部分で異常成長し、凸部７１の高さが凸部７１以外の領域よりも高くなる。

このとき、凸部７１を形成する領域を囲う枠状の凹部７２を形成するレジストパターンの面積を制御することによって、フィルタダンパ部材６の中で、接合側表面が最も高い位置にある凸部５１を形成することができる。例えば、凸部７１の高さは、凸部７１以外の領域で最も高い部分よりも５〜８μｍ高くなる。

このように、フィルタダンパ部材６に凸部７１を形成することによって接合時の接合位置ずれを低減できる。

つまり、フィルタダンパ部材６を電鋳で形成するときに、ノズル配列方向及びノズル配列方向と直交する方向の中央部分に偏肉が生じる。これは、中央部分には、多数のフィルタ孔が形成されるため、電界の局所的な集中が生じることによる。この結果、フィルタダンパ部材６には、プレート表面の高さバラツキが生じる。

一方、フィルタダンパ部材６の長手方向端部の領域は、上述した凸部７１を形成しなければ、一様に同じ高さ（厚み）に成膜され、偏肉が少なくなる。

その結果、フィルタダンパ部材６は、偏肉している領域が中央部に集中し、周囲より隆起した形状となる。

この状態で第１共通液室部材７とフィルタダンパ部材６とを加圧して接合すると、隆起しているフィルタダンパ部材６の中央部を支点として第１共通液室部材７が揺れ動くことができる不安定な状態になり、接合時の位置ずれが生じやすくなる。

そこで、フィルタダンパ部材６の長手方向の両端部にフィルタダンパ部材６全体で最も厚みが厚い（接合側表面が最も高い）凸部７１を形成することで、第１共通液室部材７と接合するとき、フィルタダンパ部材６の凸部７１と第１共通液室部材７が接触した状態で加圧される。

これにより、第１共通液室部材７の両端部が支持された状態で加圧されるので安定した加圧ができ、接合時の位置ズレが低減する。

この場合、長手方向の一端部側に２つの凸部７１を形成し、長手方向の他端部側に１つの凸部７１を形成して、第１共通液室部材７を３点支持することが好ましいこと、長手方向一端部側の２つの凸部７１は短手方向の両端部に配置することが好ましいことは、前述したと同様である。

なお、図５の実施形態では、フィルタダンパ部材６が第１共通液室部材７と接合する面側に、凸部７１を形成している例で説明しているが、凸部７１を形成する面を第２共通液室部材５と接合する面としても良い。

ここで、本実施形態では、上述した振動板部材４の長手方向一端部側の２つの凸部５１とフィルタダンパ部材６の長手方向一端部側の２つの凸部７１とは、積層方向で異なる位置に配置され、振動板部材４の長手方向他端部側の１つの凸部５１とフィルタダンパ部材６の長手方向他端部側の１つの凸部７１とは、積層方向で異なる位置に配置されている。

より好ましくは、上述した振動板部材４の長手方向一端部側の２つの凸部５１とフィルタダンパ部材６の長手方向一端部側の２つの凸部７１とは、積層方向で重なる位置に配置する。

これにより、振動板部材４、フィルタダンパ部材６の同じ位置を加圧することができて、接合荷重を安定してかけることができる。

なお、上記実施形態では、フィルタ部材がダンパ領域を形成する部材を兼ねている例で説明しているが、ダンパ領域を有しないフィルタ部材にも同様に適用できる。

また。上記実施形態では、共通液室をフィルタ上流室とフィルタ下流室に分けた例で説明しているが、共通液室を分けないで１つの共通液室部材と振動板部材を接合する構成の場合にも同様に適用できる。

次に、本発明に係る画像形成装置の一例について図９及び図１０を参照して説明する。なお、図９は同装置の機構部の側面説明図、図１０は同機構部の要部平面説明図である。

この画像形成装置はシリアル型画像形成装置であり、左右の側板２２１Ａ、２２１Ｂに横架したガイド部材である主従のガイドロッド２３１、２３２でキャリッジ２３３を主走査方向に摺動自在に保持している。そして、図示しない主走査モータによってタイミングベルトを介して矢示方向（キャリッジ主走査方向）に移動走査する。

このキャリッジ２３３には、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色のインク滴を吐出するための本発明に係る液体吐出ヘッドからなる記録ヘッド２３４を搭載している。記録ヘッド２３４は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。

記録ヘッド２３４は、それぞれ２つのノズル列を有する液体吐出ヘッド２３４ａ、２３４ｂを１つのベース部材に取り付けて構成したものである。一方のヘッド２３４ａの一方のノズル列はブラック（Ｋ）の液滴を、他方のノズル列はシアン（Ｃ）の液滴を吐出する。他方のヘッド２３４ｂの一方のノズル列はマゼンタ（Ｍ）の液滴を、他方のノズル列はイエロー（Ｙ）の液滴を吐出する。なお、ここでは２ヘッド構成で４色の液滴を吐出する構成としているが、各色毎の液体吐出ヘッドを備えることもできる。

また、キャリッジ２３３には、記録ヘッド２３４のノズル列に対応して各色のインクを供給するためのサブタンク２３５ａ、２３５ｂ（区別しないときは「サブタンク２３５」という。）を搭載している。このサブタンク２３５には各色の供給チューブ２３６を介して、供給ユニット２２４によって各色のインクカートリッジ２１０から各色のインクが補充供給される。

一方、給紙トレイ２０２の用紙積載部（圧板）２４１上に積載した用紙２４２を給紙するための給紙部として、用紙積載部２４１から用紙２４２を１枚ずつ分離給送する半月コロ（給紙コロ）２４３及び給紙コロ２４３に対向する分離パッド２４４を備えている。分離パッド２４４は給紙コロ２４３側に付勢されている。

そして、この給紙部から給紙された用紙２４２を記録ヘッド２３４の下方側に送り込むために、用紙２４２を案内するガイド部材２４５と、カウンタローラ２４６と、搬送ガイド部材２４７と、先端加圧コロ２４９を有する押さえ部材２４８とを備えている。そして、給送された用紙２４２を静電吸着して記録ヘッド２３４に対向する位置で搬送するための搬送手段である搬送ベルト２５１を備えている。

この搬送ベルト２５１は、無端状ベルトであり、搬送ローラ２５２とテンションローラ２５３との間に掛け渡されて、ベルト搬送方向（副走査方向）に周回するように構成している。また、この搬送ベルト２５１の表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ２５６を備えている。この帯電ローラ２５６は、搬送ベルト２５１の表層に接触し、搬送ベルト２５１の回動に従動して回転するように配置されている。この搬送ベルト２５１は、図示しない副走査モータによってタイミングを介して搬送ローラ２５２が回転駆動されることによってベルト搬送方向に周回移動する。

さらに、記録ヘッド２３４で記録された用紙２４２を排紙するための排紙部として、搬送ベルト２５１から用紙２４２を分離するための分離爪２６１と、排紙ローラ２６２及び排紙コロ２６３とを備え、排紙ローラ２６２の下方に排紙トレイ２０３を備えている。

また、装置本体の背面部には両面ユニット２７１が着脱自在に装着されている。この両面ユニット２７１は搬送ベルト２５１の逆方向回転で戻される用紙２４２を取り込んで反転させて、再度、カウンタローラ２４６と搬送ベルト２５１との間に給紙する。また、この両面ユニット２７１の上面は手差しトレイ２７２としている。

さらに、キャリッジ２３３の走査方向一方側の非印字領域には、記録ヘッド２３４のノズルの状態を維持し、回復するための維持回復機構２８１を配置している。この維持回復機構２８１には、記録ヘッド２３４の各ノズル面をキャッピングするための各キャップ部材（以下「キャップ」という。）２８２ａ、２８２ｂ（区別しないときは「キャップ２８２」という。）を備えている。また、維持回復機構２８１は、ノズル面をワイピングするためのブレード部材であるワイパーブレード２８３を備えている。また、維持回復機構２８１は、増粘したインクを排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け２８４などを備えている。

また、キャリッジ２３３の走査方向他方側の非印字領域には、記録中などに増粘したインクを排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け２８８を配置している。この空吐出受け２８８には記録ヘッド２３４のノズル列方向に沿った開口部２８９などを備えている。

このように構成したこの画像形成装置においては、給紙トレイ２０２から用紙２４２が１枚ずつ分離給紙され、略鉛直上方に給紙された用紙２４２はガイド部材２４５で案内され、搬送ベルト２５１とカウンタローラ２４６との間に挟まれて搬送される。更に、用紙２４２の先端が搬送ガイド２３７で案内されて先端加圧コロ２４９で搬送ベルト２５１に押し付けられ、略９０°搬送方向を転換される。

そして、帯電した搬送ベルト２５１上に用紙２４２が給送されると、用紙２４２が搬送ベルト２５１に吸着され、搬送ベルト２５１の周回移動によって用紙２４２が副走査方向に搬送される。

そこで、キャリッジ２３３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド２３４を駆動することにより、停止している用紙２４２にインク滴を吐出して１行分を記録し、用紙２４２を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙２４２の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙２４２を排紙トレイ２０３に排紙する。

このように、この画像形成装置では、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、高画質画像を安定して形成することができる。

なお、本願において、「用紙」とは材質を紙に限定するものではなく、ＯＨＰ、布、ガラス、基板などを含み、インク滴、その他の液体などが付着可能なものの意味である。被記録媒体、記録媒体、記録紙、記録用紙などと称されるものを含む。また、画像形成、記録、印字、印写、印刷はいずれも同義語とする。

また、「画像形成装置」は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の媒体に液体を吐出して画像形成を行う装置を意味する。また、「画像形成」とは、文字や図形等の意味を持つ画像を媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を媒体に付与すること（単に液滴を媒体に着弾させること）をも意味する。

また、「インク」とは、特に限定しない限り、インクと称されるものに限らず、記録液、定着処理液、液体などと称されるものなど、画像形成を行うことができるすべての液体の総称として用いる。例えば、ＤＮＡ試料、レジスト、パターン材料、樹脂なども含まれる。

また、「画像」とは平面的なものに限らず、立体的に形成されたものに付与された画像、また立体自体を三次元的に造形して形成された像も含まれる。

また、画像形成装置には、特に限定しない限り、シリアル型画像形成装置及びライン型画像形成装置のいずれも含まれる。

２ ノズル板
３ 流路板
４ 振動板部材
５ 第２共通液室部材
６ フィルタダンパ部材
７ 第１共通液室部材
８ 圧電アクチュエータ
１０ 共通液室
２０ ノズル
２１ 圧力室（個別液室）
２４ ダンパ領域
２９ フィルタ領域
３０ ダンパ領域
３２ 圧電部材
３５ ダンパ室
３６ ダンパ室
５１ 凸部
５２ 凹部
２３３ キャリッジ
２３４ａ、２３４ｂ 記録ヘッド

Claims (6)

1. 複数の薄層部材が積層して接合され、
   前記薄層部材の少なくとも１つは、電鋳で形成された電鋳薄層部材であり、
   前記電鋳薄層部材には、少なくとも一方の接合面側の長手方向の両端部に、少なくとも１つの凸部が形成され、
   前記凸部は、厚み方向で、凸部以外の領域よりも高い
   ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記電鋳薄層部材の長手方向の一端部側には２つ以上の前記凸部が形成されている
   ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記電鋳薄層部材は、液滴を吐出する複数のノズルがそれぞれ通じる複数の個別液室の壁面を形成する振動板部材である
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記電鋳薄層部材が、前記液体から異物をろ過するフィルタ部材である
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記電鋳薄層部材が、
   液滴を吐出する複数のノズルがそれぞれ通じる複数の個別液室の壁面を形成する振動板部材、及び、前記液体から異物をろ過するフィルタ部材であり、
   前記振動板部材の凸部と前記フィルタ部材の凸部とは、積層方向で重なる位置に設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
6. 請求項１ないし５のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを備えていることを特徴とする画像形成装置。

Images