JP2014154744A - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】処理室1と、処理室1にガスを供給する手段と、処理室1を減圧する排気手段41と、プラズマを生成するための高周波電源と、被処理体2を載置するためのステージ4と、被処理体2に入射するイオンを加速するための高周波バイアス電源と、閉じこめ板89とを備えた半導体製造装置において、閉じこめ板89の上面の高さが、ステージ4側で高く、処理室1の壁面側で低くなる方向に傾斜を付けた。
【選択図】図1
Description
前記閉じこめ板の上面は傾斜を有し、前記ステージ側で高く、且つ、前記処理室の壁面側で低いことを特徴とするプラズマ処理装置とする。
前記被処理体の側面方向に配置される壁面であって、前記被処理体表面の垂直方向に対して傾きを有する前記壁面の法線は、前記被処理体の中心を前記被処理体表面に対して垂直方向に通る軸線とは反対側を向いていることを特徴とするプラズマ処理装置とする。
前記処理室の側面に配置される壁面であって、前記被処理体表面の垂直方向に対して傾きを有する前記壁面の法線が、前記処理室の上方では上方を向き、前記処理室の下方では下方を向いていることを特徴とするプラズマ処理装置とする。
前記処理室の側面を構成しシースが形成される壁面であって、前記被処理体表面の垂直方向に対して傾きを有する前記壁面の法線は、前記被処理体の表面と交わらないことを特徴とするプラズマ処理装置とする。
図8は上から順に放電電力、ウエハバイアス電力、ガス圧力を示している。横軸は時間を示している。図8の例ではウエハ搬入→着火→STEP1のエッチング→ガス切り換え→STEP2のエッチング→除電(消火)→ウエハ搬出の順で処理する場合を示した。ウエハに対するエッチング処理への影響が少ない、着火、STEP間のガス切り換え、除電(消火)において、ガス圧を高くしている。もちろんSTEP1、STEP2のエッチング処理中も、エッチング処理への影響が無ければ、ガス圧が高い方が望ましい。ガス圧を高くすることによって、ガス粘性力による異物粒子の減速効果が大きくなるため、ウエハに向かって飛来する異物粒子の速度を遅くすることができ、「中速異物粒子」として扱える速度まで減速できれば、ウエハ上に形成されているシースによって、異物粒子がウエハに付着しないようにすることができる。また、プロセスに影響しない範囲で、処理中を含め、着火、STEP間、消火において、可能な限り高いウエハバイアス電力を印加することが有効である。
Claims (10)
- 処理室と、前記処理室にガスを供給する手段と、前記処理室を減圧する排気手段と、前記処理室内にプラズマを生成するための高周波電源と、被処理体を載置するためのステージと、前記被処理体に入射するイオンを加速するための高周波バイアス電源と、前記ステージと前記処理室の壁面との間に閉じこめ板とを備えた半導体製造装置において、
前記閉じこめ板の上面は傾斜を有し、前記ステージ側で高く、且つ、前記処理室の壁面側で低いことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 処理室と、前記処理室にガスを供給する手段と、前記処理室を減圧する排気手段と、前記処理室内にプラズマを生成するための高周波電源と、被処理体を載置するためのステージと、前記被処理体に入射するイオンを加速するための高周波バイアス電源と、を備えた半導体製造装置において、
前記被処理体の側面方向に配置される壁面であって、前記被処理体表面の垂直方向に対して傾きを有する前記壁面の法線は、前記被処理体の中心を前記被処理体表面に対して垂直方向に通る軸線とは反対側を向いていることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 処理室と、前記処理室にガスを供給する手段と、前記処理室を減圧する排気手段と、前記処理室内にプラズマを生成するための高周波電源と、被処理体を対置するためのステージと、前記被処理体に入射するイオンを加速するための高周波バイアス電源と、を備えた半導体製造装置において、
前記処理室の側面に配置される壁面であって、前記被処理体表面の垂直方向に対して傾きを有する前記壁面の法線が、前記処理室の上方では上方を向き、前記処理室の下方では下方を向いていることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項2記載のプラズマ処理装置において、
前記ステージと前記処理室の壁面との間に閉じこめ板を有することを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項3記載のプラズマ処理装置において、
前記ステージと前記処理室の壁面との間に閉じこめ板を有することを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1記載のプラズマ処理装置において、
前記処理室の側壁は、絶縁体層で覆われていることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1記載のプラズマ処理装置において、
前記絶縁体層の厚さは、シース厚さの数分の1以上であることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1記載のプラズマ処理装置において、
前記閉じこめ板は、プラズマから見てアースとして機能することを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1記載のプラズマ処理装置において、
前記閉じこめ板は、多数の穴を有することを特徴とするプラズマ処理装置。 - 処理室と、前記処理室にガスを供給する手段と、前記処理室を減圧する排気手段と、前記処理室内にプラズマを生成するための高周波電源と、被処理体を対置するためのステージと、前記被処理体に入射するイオンを加速するための高周波バイアス電源と、を備えた半導体製造装置において、
前記処理室の側面を構成しシースが形成される壁面であって、前記被処理体表面の垂直方向に対して傾きを有する前記壁面の法線は、前記被処理体の表面と交わらないことを特徴とするプラズマ処理装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2019210525A (ja) * | 2018-06-06 | 2019-12-12 | 株式会社アルバック | 防着板、および、スパッタ装置 |
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JPH05267230A (ja) * | 1992-03-24 | 1993-10-15 | Hitachi Ltd | ドライエッチング装置 |
JP2001501573A (ja) * | 1996-10-04 | 2001-02-06 | ユニサーチ・リミテッド | シリカ構造体の反応性イオンエッチング |
JP2005526395A (ja) * | 2002-05-22 | 2005-09-02 | トウキョウ・エレクトロン・コリア・リミテッド | バッフルプレートを備えるプラズマ発生装置 |
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-
2013
- 2013-02-12 JP JP2013024206A patent/JP6165456B2/ja active Active
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