JP2014151408A

JP2014151408A - 加工装置

Info

Publication number: JP2014151408A
Application number: JP2013024419A
Authority: JP
Inventors: Yoshio Maemoku; 芳雄前杢
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2013-02-12
Filing date: 2013-02-12
Publication date: 2014-08-25

Abstract

【課題】輸送中の装置にどのような外力が印加されたかを確認することが可能な加工装置を提供することである。
【解決手段】被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段と、を備えた加工装置であって、当該装置自体に働く外力を検出する加速度センサーと、該加速度センサーが検出する外力情報を記録する記録手段と、を更に備え、該外力情報は時間情報とともに該記録手段に記録され、当該加工装置にいつどのように外力が働いたかを記録することを特徴とする。
【選択図】図１

Description

本発明は、切削装置、研削装置等の加工装置に関する。

ダイシング装置や研削装置等の加工装置は、ミクロン単位の非常に高精度な加工を実施できることが知られている。こうした加工装置を装置メーカーの工場から装置を購入した顧客の工場等へ輸送する際は、不用意な振動や衝撃を加えることがないよう細心の注意を持って輸送を行う必要がある。

通常、各種の加工を行う加工装置を輸送する際は、金属製や木製のパレット上に加工装置を固定し、梱包して加工装置を輸送している。外装カバーを加工装置に装着したまま輸送すると、輸送中の振動によって外装カバーが加工装置の骨格に衝突して損傷したり、塗装が剥げ落ちる恐れがある。

そこで、従来から加工装置よりカバーを取り外し、外装カバーと加工装置とを個別に梱包して輸送する方法が採用されていた。このように個別に梱包して輸送した後、それぞれ開梱して組み立てるという手間を解消すべく、特開２００７−３３１０５０号公報には、外装カバーを装着したまま輸送できるようにした加工装置が開示されている。

特開２００８−２１３０７４号公報特開２００７−３３１０５０号公報

しかし、輸送先までの経路が悪路であったり、比較的搬送技術が低い搬送業者や地域であったりした場合には、装置の精度に影響を与える程度の衝撃を加えてしまったり、メーカーの想定以上に装置を傾けさせたりしてしまう恐れがある。

ところが、輸送中にこうした外力が装置にかけられたことは輸送業者等の申告がなければ分からない。加工装置を客先の工場に搬入・設置後、装置の精度が悪いという状況があった場合、実際には輸送中に加わった外力が原因であっても、その事実は記録されていないため、装置メーカー側の責任として装置の交換等の多大なコストを要する恐れがある。

本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、輸送中の装置にどのように外力が働いたかを確認することが可能な加工装置を提供することである。

本発明によると、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段と、を備えた加工装置であって、当該装置自体に働く外力を検出する加速度センサーと、該加速度センサーが検出する外力情報を記録する記録手段と、を更に備え、該外力情報は時間情報とともに該記録手段に記録され、当該加工装置にいつどのように外力が働いたかを記録することを特徴とする加工装置が提供される。

本発明の加工装置は、外力を検出できる加速度センサーと、検出された外力を記録する記録手段とを備えているため、輸送中の装置に衝撃等を及ぼす外力が加わったかどうかを記録することができ、輸送後の装置に不具合が発生した場合、装置に悪影響を及ぼす程度の衝撃力が輸送中に加わっていたかどうかを確認することができる。

更には、地震の発生や工場内での近距離の移設等で装置を傾けてしまった場合、加工装置に不具合が発生する程度傾いていたかどうか等を確認することも可能となる。

本発明の一実施形態に係る切削装置の斜視図である。

以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、本発明実施形態に係る切削装置２の斜視図が示されている。４は切削装置２のベースであり、ベース４にはチャックテーブル６が回転可能且つ図示しない加工送り機構によりＸ軸方向に往復動可能に配設されている。

チャックテーブル６の周囲にはウォーターカバー８が配設されており、このウォーターカバー８とベース４に渡り加工送り機構の軸部を保護するための蛇腹１０が連結されている。

ベース４の後方には門型形状のコラム１２が立設されている。コラム１２にはＹ軸方向に伸長する一対のガイドレール１４が固定されている。コラム１２にはＹ軸移動ブロック１６がボールねじ１８と図示しないパルスモーターとからなるＹ軸移動機構（割り出し送り機構）２０によりガイドレール１４に沿ってＹ軸方向に移動可能に搭載されている。

Ｙ軸移動ブロック１６にはＺ軸方向に伸長する一対のガイドレール２２が固定されている。Ｙ軸移動ブロック１６上には、Ｚ軸移動ブロック２４がボールねじ２６とパルスモーター２８とからなるＺ軸移動機構３０によりガイドレール２２に案内されてＺ軸方向に移動可能に搭載されている。

Ｚ軸移動ブロック２４には切削ユニット３２と、撮像ユニット３６が取り付けられている。切削ユニット３２のハウジング３４中には図示しないスピンドルが回転可能に収容されており、スピンドルの先端には切削ブレード３８が装着されている。

４０は外装カバー取り付け用の骨格（骨組み）であり、この骨格に外装カバー４２が取り付けられている。外装カバー４２はその一部に透明樹脂等を含むが、基本的に板金で構成されており、外装カバー４２を通して内部の機構部は見えないが、機構部の理解を容易にするため切削ユニット３２等の機構部は実線で表示されている。

本実施形態の研削装置２では、装置輸送中の衝撃力を検出するため、ベース４に加速度センサー４４ａが取り付けられ、門型コラム１２に加速度センサー４４ｂが取り付けられ、骨格４０に対応する外装カバー４２に加速度センサー４４ｃが取り付けられている。

これらの加速度センサー４４ａ，４４ｂ，４４ｃは好ましくはＸＹＺ軸の三方向の加速度を一つのデバイスで測定できる三軸加速度センサーである。加速度センサー４４ａ，４４ｂ，４４ｃは検出した加速度を記録可能な記録手段４６に接続されている。

加速度センサー４４ａ〜４４ｃ及び記録手段４６の電源としては、装置のバックアップ用電源として搭載される二次電池等の電池４８が使用される。装置稼働中に地震等による振動を監視する目的であれば、装置の電源を使用するようにしてもよい。

代表的な三軸加速度センサーとしては、ピエゾ抵抗型三軸加速度センサー、静電容量型三軸加速度センサー、熱検知型三軸加速度センサーがあり、本実施形態ではいずれの加速度センサーも使用可能である。

本実施形態の切削装置２では、外力を検出できる加速度センサー４４ａ〜４４ｃ及び検出された外力を記録する記録手段４６を備えているため、輸送中の装置に衝撃等を及ぼす外力を検出して記録手段４６に記録することができ、輸送後の切削装置２に不具合が発覚した場合、装置に悪影響を及ぼす程度の衝撃力が輸送中に加わっていたかどうかを確認することができる。

装置輸送中に装置に悪影響を及ぼす衝撃力が加わっていたと確認できた場合には、装置輸送業者の責任として装置メーカー側ではその責任を回避することができる。また、地震の発生や工場内での近距離の移設等で切削装置２を傾けてしまった場合、装置の不具合が発生する程度傾いたかどうかを後で調べることも可能である。

上述した実施形態では、加速度センサーを切削装置２に取り付けた例について説明したが、加工装置は切削装置に限定されるものではなく、研削装置、研磨装置、レーザー加工装置等の他の加工装置に加速度センサーを取り付けるようにしてもよい。

２切削装置
４ベース
６チャックテーブル
３２切削ユニット
３８切削ブレード
４０骨格（骨組み）
４２外装カバー
４４ａ，４４ｂ，４４ｃ加速度センサー
４６記録手段
４８電池

Claims

被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段と、を備えた加工装置であって、
当該装置自体に働く外力を検出する加速度センサーと、
該加速度センサーが検出する外力情報を記録する記録手段と、を更に備え、
該外力情報は時間情報とともに該記録手段に記録され、当該加工装置にいつどのように外力が働いたかを記録することを特徴とする加工装置。