JP2014149300A - 温度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】温度センサは、熱源から入射する赤外線を吸収する赤外線吸収膜と、
赤外線吸収膜上の赤外線入射領域に配置され、熱源の温度に対応した電気信号を出力する検知用感温素子と、赤外線を遮蔽された領域に配置され、検知用感温素子にブリッジ接続する補償用感温素子と、熱源から輻射される赤外線を赤外線吸収膜に導入するための開口部を有する筐体と、を備え、補償用感温素子は、開口部の内部に配置されている。
【選択図】 図4
Description
口部71を第一の主面21へ投影した領域の略中心に位置するように開口部71の形状及び検知用感温素子31の取り付け位置を調整するのが好ましい。これにより、検知用感温素子31は、赤外線吸収膜20の有効受光範囲に分布する熱量を各方位から略均等に集熱することができる。補償用感温素子32は、遮蔽部72によって赤外線受光が遮られているため、赤外線からの熱量を受取ることはないが、開口部71を通じて周囲雰囲気に接しているため、周囲雰囲気からの熱量を検出することができる。特に、開口部61は、熱源と温度センサ10との間で交わされる熱伝導の中心的役割を担うため、補償用感温素子32を開口部61の内部に配置することで、補償用感温素子32は周囲雰囲気の温度変化に遅れることなく追従することができる。
20…赤外線吸収膜
31…検知用感温素子
32…補償用感温素子
40…密集部
41,42,43,44…リード配線
45…接続部分
50…伝熱性薄膜
51,52,53…接続端子
60…上部筐体
61…開口部
70…アパーチャ
80…基体
90…下部筐体
Claims (2)
- 熱源から入射する赤外線を吸収する赤外線吸収膜と、
前記赤外線吸収膜上の赤外線入射領域に配置され、前記熱源の温度に対応した電気信号を出力する検知用感温素子と、
赤外線が遮蔽された領域に配置され、前記検知用感温素子にブリッジ接続する補償用感温素子と、
前記熱源から輻射される赤外線を前記赤外線吸収膜に導入するための開口部を有する筐体と、を備え、
前記補償用感温素子は、前記開口部の内部に配置されている、温度センサ。 - 請求項1に記載の温度センサであって、
前記補償用感温素子は周囲雰囲気に接している、温度センサ。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014068543A JP5920388B2 (ja) | 2014-03-28 | 2014-03-28 | 温度センサ |
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JP2010244377A Division JP5514071B2 (ja) | 2010-10-29 | 2010-10-29 | 温度センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2014149300A true JP2014149300A (ja) | 2014-08-21 |
JP5920388B2 JP5920388B2 (ja) | 2016-05-18 |
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JP2014068543A Active JP5920388B2 (ja) | 2014-03-28 | 2014-03-28 | 温度センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5920388B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP5920388B2 (ja) | 2016-05-18 |
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A977 | Report on retrieval |
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