JP2014146709A - 反射型マスクの検査装置、露光装置、反射型マスク、反射型マスクを検査する方法及び露光方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】反射型マスクの検査装置は、露光パターンを有するパターン領域31と、パターン領域31とは異なる位置に配置された検査領域32とを有する反射型マスク30を覆うように配置され、パターン領域31に対応する位置に形成されたパターン開口部22と、検査領域32に対応する位置に形成された検査開口部23とを有する遮蔽板21を備え、光が、遮蔽板21に対して反射型マスク30とは反対側から、前記検査開口部23を通って反射型マスク30に向かって進むことは許容するが、光が、遮蔽板21に対して反射型マスク30側から、前記検査開口部23を通って反射型マスク30とは反対側に向かって進むことを許容しない。
【選択図】図6
Description
W ≦ 2dtanθ
露光パターンを有するパターン領域と、パターン領域とは異なる位置に配置された検査領域とを有する反射型マスクを覆うように配置され、パターン領域に対応する位置に形成されたパターン開口部と、検査領域に対応する位置に形成された検査開口部とを有する遮蔽板を備え、
光が、前記遮蔽板に対して反射型マスクとは反対側から、前記検査開口部を通って反射型マスクに向かって進むことは許容するが、光が、前記遮蔽板に対して反射型マスク側から、前記検査開口部を通って反射型マスクとは反対側に向かって進むことを許容しない、反射型マスクの検査装置。
前記検査開口部は、前記遮蔽板の法線方向に対して傾いた角度を有して反射型マスクとは反対側から前記検査開口部を通って反射型マスクに向かって進み検査領域により反射された光が、入射しない位置に配置される付記1に記載の反射型マスクの検査装置。
前記遮蔽板の法線方向に対して光の入射角θの方向における前記検査開口部の幅Wと、前記遮蔽板と反射型マスクとの間の距離dとが、W≦2dtanθの関係を満足する付記1又は2に記載の反射型マスクの検査装置。
前記検査開口部は、反射型マスクとは反対側から反射型マスクに向かって進む光の進む方向に沿って延びており、検査領域に光を導く導光部を有する付記1〜3の何れか一項に記載の反射型マスクの検査装置。
前記導光部は中空であり、前記導光部の内側には、凹凸が形成されている付記4に記載の反射型マスクの検査装置。
前記検査開口部は、複数の導光部を有する付記4又は5に記載の反射型マスクの検査装置。
前記導光部の長さは、前記遮蔽板の法線方向に対して光の入射角の方向における前記検査開口部の幅の3倍以上30倍以下である付記4〜6の何れか一項に記載の反射型マスクの検査装置。
前記検査開口部が、パターン開口部の周縁の中央に設けられている付記1〜7の何れか一項に記載の反射型マスクの検査装置。
複数の前記検査開口部が、パターン開口部の周縁に沿って設けられている付記1〜7の何れか一項に記載の反射型マスクの検査装置。
露光パターンを有するパターン領域と、パターン領域とは異なる位置に配置された検査領域とを有する反射型マスクを覆うように配置され、パターン領域に対応する位置に形成されたパターン開口部と、検査領域に対応する位置に形成された検査開口部とを有する遮蔽板を備え、
光が、前記遮蔽板に対して反射型マスクとは反対側から、前記検査開口部を通って反射型マスクに向かって進むことは許容するが、光が、前記遮蔽板に対して反射型マスク側から、前記検査開口部を通って反射型マスクとは反対側に向かって進むことを許容しない、反射型マスクの検査装置を備えた露光装置。
前記検査装置の検査結果に基づいて、露光条件を調整する制御部を備える付記10に記載の露光装置。
露光パターンを有するパターン領域と、パターン領域とは異なる位置に配置された検査領域とを有する反射型マスク。
基板と、基板上に形成された反射層と、反射層上に形成された吸収層とを有し、前記検査領域では、前記吸収層が除去されている付記11に記載の反射型マスク。
露光パターンを有するパターン領域と、パターン領域とは異なる位置に配置された検査領域とを有する反射型マスクを覆うように、パターン領域に対応する位置に形成されたパターン開口部と、検査領域に対応する位置に形成された検査開口部とを有する遮蔽板を配置して、
光が、前記遮蔽板に対して反射型マスクとは反対側から、前記検査開口部を通って反射型マスクに向かって進むことは許容するが、光が、前記遮蔽板に対して反射型マスク側から、前記検査開口部を通って反射型マスクとは反対側に向かって進むことを許容しない状態で、前記遮蔽板に対して反射型マスクとは反対側から、前記検査開口部に向かって光を照射し、
検査領域により反射された光に基づいて反射型マスクを検査する方法。
露光パターンを有するパターン領域と、パターン領域とは異なる位置に配置された検査領域とを有する反射型マスクを覆うように、パターン領域に対応する位置に形成されたパターン開口部と、検査領域に対応する位置に形成された検査開口部とを有する遮蔽板を配置して、
光が、前記遮蔽板に対して反射型マスクとは反対側から、前記検査開口部を通って反射型マスクに向かって進むことは許容するが、光が、前記遮蔽板に対して反射型マスク側から、前記検査開口部を通って反射型マスクとは反対側に向かって進むことを許容しない状態で、前記遮蔽板に対して反射型マスクとは反対側から、前記検査開口部に向かって光を照射し、
検査領域により反射された光に基づいて反射型マスクを検査し、
反射型マスクの検査の結果に基づいて、露光条件を調整する露光方法。
11 光源
12 照明光学部
13 投影光学部
14 ステージ
15 制御部
20 検査部
21 遮蔽板
21a 第1遮蔽板
21b 第2遮蔽板
22 パターン開口部
23 検査開口部
23a 導光部
23b 領域
23c、23d、23e、23f 導光面
23g 導光板
24 駆動部
26 受光部
30 反射型マスク
31 パターン領域
32 検査領域
33 基板
34 反射層
35 吸収層
F 露光フィールド
L 露光光
P 法線
W ウエハ
M1〜M7 ミラー
Claims (9)
- 露光パターンを有するパターン領域と、パターン領域とは異なる位置に配置された検査領域とを有する反射型マスクを覆うように配置され、パターン領域に対応する位置に形成されたパターン開口部と、検査領域に対応する位置に形成された検査開口部とを有する遮蔽板を備え、
光が、前記遮蔽板に対して反射型マスクとは反対側から、前記検査開口部を通って反射型マスクに向かって進むことは許容するが、光が、前記遮蔽板に対して反射型マスク側から、前記検査開口部を通って反射型マスクとは反対側に向かって進むことを許容しない、反射型マスクの検査装置。 - 前記検査開口部は、前記遮蔽板の法線方向に対して傾いた角度を有して反射型マスクとは反対側から前記検査開口部を通って反射型マスクに向かって進み検査領域により反射された光が、入射しない位置に配置される請求項1に記載の反射型マスクの検査装置。
- 前記遮蔽板の法線方向に対して光の入射角θの方向における前記検査開口部の幅Wと、前記遮蔽板と反射型マスクとの間の距離dとが、W≦2dtanθの関係を満足する請求項1又は2に記載の反射型マスクの検査装置。
- 前記検査開口部は、反射型マスクとは反対側から反射型マスクに向かって進む光の進む方向に沿って延びており、検査領域に光を導く導光部を有する請求項1〜3の何れか一項に記載の反射型マスクの検査装置。
- 前記導光部は中空であり、前記導光部の内側には、凹凸が形成されている請求項4に記載の反射型マスクの検査装置。
- 露光パターンを有するパターン領域と、パターン領域とは異なる位置に配置された検査領域とを有する反射型マスクを覆うように配置され、パターン領域に対応する位置に形成されたパターン開口部と、検査領域に対応する位置に形成された検査開口部とを有する遮蔽板を備え、
光が、前記遮蔽板に対して反射型マスクとは反対側から、前記検査開口部を通って反射型マスクに向かって進むことは許容するが、光が、前記遮蔽板に対して反射型マスク側から、前記検査開口部を通って反射型マスクとは反対側に向かって進むことを許容しない、反射型マスクの検査装置を備えた露光装置。 - 露光パターンを有するパターン領域と、パターン領域とは異なる位置に配置された検査領域とを有する反射型マスク。
- 露光パターンを有するパターン領域と、パターン領域とは異なる位置に配置された検査領域とを有する反射型マスクを覆うように、パターン領域に対応する位置に形成されたパターン開口部と、検査領域に対応する位置に形成された検査開口部とを有する遮蔽板を配置して、
光が、前記遮蔽板に対して反射型マスクとは反対側から、前記検査開口部を通って反射型マスクに向かって進むことは許容するが、光が、前記遮蔽板に対して反射型マスク側から、前記検査開口部を通って反射型マスクとは反対側に向かって進むことを許容しない状態で、前記遮蔽板に対して反射型マスクとは反対側から、前記検査開口部に向かって光を照射し、
検査領域により反射された光に基づいて反射型マスクを検査する方法。 - 露光パターンを有するパターン領域と、パターン領域とは異なる位置に配置された検査領域とを有する反射型マスクを覆うように、パターン領域に対応する位置に形成されたパターン開口部と、検査領域に対応する位置に形成された検査開口部とを有する遮蔽板を配置して、
光が、前記遮蔽板に対して反射型マスクとは反対側から、前記検査開口部を通って反射型マスクに向かって進むことは許容するが、光が、前記遮蔽板に対して反射型マスク側から、前記検査開口部を通って反射型マスクとは反対側に向かって進むことを許容しない状態で、前記遮蔽板に対して反射型マスクとは反対側から、前記検査開口部に向かって光を照射し、
検査領域により反射された光に基づいて反射型マスクを検査し、
反射型マスクの検査の結果に基づいて、露光条件を調整する露光方法。
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