JP5972185B2 - 反射型マスクの検査装置、露光装置、反射型マスクを検査する方法及び露光方法 - Google Patents
反射型マスクの検査装置、露光装置、反射型マスクを検査する方法及び露光方法 Download PDFInfo
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W ≦ 2dtanθ
第2受光部28の受光量を基準として用いる係数を取得しておく。
露光パターンを有するパターン領域と、パターン領域とは異なる位置に配置された検査領域とを有する反射型マスクを覆うように配置され、パターン領域に対応する位置に形成されたパターン開口部と、検査領域に対応する位置に形成された検査開口部とを有する遮蔽板と、
検査領域が反射した光を受光する受光部と、
を備え、
光が、前記遮蔽板に対して反射型マスクとは反対側から、前記検査開口部を通って反射型マスクに向かって進むことは許容するが、光が、前記遮蔽板に対して反射型マスク側から、前記検査開口部を通って反射型マスクとは反対側に向かって進むことを許容しない、反射型マスクの検査装置。
前記遮蔽板は、前記検査開口部に隣接して、反射型マスクとは反対側から反射型マスクに向かって進む光を受光する第2の受光部を有する付記1に記載の反射型マスクの検査装置。
前記受光部の受光面と、前記第2の受光部の受光面とは平行ではない付記2に記載の反射型マスクの検査装置。
検査領域により反射された光が前記受光部へ入射することを開閉自在に遮る光遮断部を有する付記1〜3の何れか一項に記載の反射型マスクの検査装置。
前記検査開口部は、前記遮蔽板の法線方向に対して傾いた角度を有して反射型マスクとは反対側から前記検査開口部を通って反射型マスクに向かって進み検査領域により反射された光が、入射しない位置に配置される付記1〜4の何れか一項に記載の反射型マスクの検査装置。
前記検査開口部を通って、反射型マスク側から反射型マスクとは反対側に向かって進む光を遮る補助遮蔽板を有する付記1〜4の何れか一項に記載の反射型マスクの検査装置。
前記遮蔽板は、反射型マスク側の面に、検査領域から反射した光を受光する前記受光部を有する付記5に記載の反射型マスクの検査装置。
前記補助遮蔽板は、反射型マスク側の面に、検査領域から反射した光を受光する前記受光部を有する付記6に記載の反射型マスクの検査装置。
検査領域は、前記検査開口部よりも大きい付記1〜8の何れか一項に記載の反射型マスクの検査装置。
前記受光部を走査して、検査領域からの反射光を受光させる駆動部を有する付記9に記載の反射型マスクの検査装置。
露光パターンを有するパターン領域と、パターン領域とは異なる位置に配置された検査領域とを有する反射型マスクを覆うように配置され、パターン領域に対応する位置に形成されたパターン開口部と、検査領域に対応する位置に形成された検査開口部とを有する遮蔽板と、
検査領域が反射した光を受光する受光部と、
を備え、
光が、前記遮蔽板に対して反射型マスクとは反対側から、前記検査開口部を通って反射型マスクに向かって進むことは許容するが、光が、前記遮蔽板に対して反射型マスク側から、前記検査開口部を通って反射型マスクとは反対側に向かって進むことを許容しない、反射型マスクの検査装置を備えた露光装置。
前記検査装置の検査結果に基づいて、露光条件を調整する制御部を備える付記10に記載の露光装置。
露光パターンを有するパターン領域と、パターン領域とは異なる位置に配置された検査領域とを有する反射型マスクを覆うように、パターン領域に対応する位置に形成されたパターン開口部と、検査領域に対応する位置に形成された検査開口部とを有する遮蔽板を配置して、
光が、前記遮蔽板に対して反射型マスクとは反対側から、前記検査開口部を通って反射型マスクに向かって進むことは許容するが、光が、前記遮蔽板に対して反射型マスク側から、前記検査開口部を通って反射型マスクとは反対側に向かって進むことを許容しない状態で、前記遮蔽板に対して反射型マスクとは反対側から、前記検査開口部に向かって光を照射し、
検査領域により反射された光を受光部で受光し、受光量に基づいて反射型マスクを検査する方法。
露光パターンを有するパターン領域と、パターン領域とは異なる位置に配置された検査領域とを有する反射型マスクを覆うように、パターン領域に対応する位置に形成されたパターン開口部と、検査領域に対応する位置に形成された検査開口部とを有する遮蔽板を配置して、
光が、前記遮蔽板に対して反射型マスクとは反対側から、前記検査開口部を通って反射型マスクに向かって進むことは許容するが、光が、前記遮蔽板に対して反射型マスク側から、前記検査開口部を通って反射型マスクとは反対側に向かって進むことを許容しない状態で、前記遮蔽板に対して反射型マスクとは反対側から、前記検査開口部に向かって光を照射し、
検査領域により反射された光を受光部で受光し、受光量に基づいて反射型マスクを検査し、
反射型マスクの検査の結果に基づいて、露光条件を調整する露光方法。
11 光源
12 照明光学部
13 投影光学部
14 ステージ
15 制御部
20 検査部
21 遮蔽板
21a 第1遮蔽板
21b 第2遮蔽板
22 パターン開口部
23 検査開口部
24 駆動部
26 第1受光部
27 光遮断部
27a シャッタ
28 第2受光部
29a 第1補助遮蔽板
29b 第2補助遮蔽板
29c 第3補助遮蔽板
30 反射型マスク
31 パターン領域
32 検査領域
33 マスク基板
34 反射層
35 吸収層
F 露光フィールド
L 露光光
P 法線
W ウエハ
M1〜M7 ミラー
Claims (10)
- 露光パターンを有するパターン領域と、パターン領域とは異なる位置に配置された検査領域とを有する反射型マスクを覆うように配置され、パターン領域に対応する位置に形成されたパターン開口部と、検査領域に対応する位置に形成された検査開口部とを有する遮蔽板と、
検査領域が反射した光を受光する受光部と、
を備え、
光が、前記遮蔽板に対して反射型マスクとは反対側から、前記検査開口部を通って反射型マスクに向かって進むことは許容するが、光が、前記遮蔽板に対して反射型マスク側から、前記検査開口部を通って反射型マスクとは反対側に向かって進むことを許容しない、反射型マスクの検査装置。 - 前記遮蔽板は、前記検査開口部に隣接して、反射型マスクとは反対側から反射型マスクに向かって進む光を受光する第2の受光部を有する請求項1に記載の反射型マスクの検査装置。
- 前記受光部の受光面と、前記第2の受光部の受光面とは平行ではない請求項2に記載の反射型マスクの検査装置。
- 前記検査開口部は、前記遮蔽板の法線方向に対して傾いた角度を有して反射型マスクとは反対側から前記検査開口部を通って反射型マスクに向かって進み検査領域により反射された光が、入射しない位置に配置される請求項1〜3の何れか一項に記載の反射型マスクの検査装置。
- 前記検査開口部を通って、反射型マスク側から反射型マスクとは反対側に向かって進む光を遮る補助遮蔽板を有する請求項1〜3の何れか一項に記載の反射型マスクの検査装置。
- 検査領域は、前記検査開口部よりも大きい請求項1〜5の何れか一項に記載の反射型マスクの検査装置。
- 前記受光部を走査して、検査領域からの反射光を受光させる駆動部を有する請求項6に記載の反射型マスクの検査装置。
- 露光パターンを有するパターン領域と、パターン領域とは異なる位置に配置された検査領域とを有する反射型マスクを覆うように配置され、パターン領域に対応する位置に形成されたパターン開口部と、検査領域に対応する位置に形成された検査開口部とを有する遮蔽板と、
検査領域が反射した光を受光する受光部と、
を備え、
光が、前記遮蔽板に対して反射型マスクとは反対側から、前記検査開口部を通って反射型マスクに向かって進むことは許容するが、光が、前記遮蔽板に対して反射型マスク側から、前記検査開口部を通って反射型マスクとは反対側に向かって進むことを許容しない、反射型マスクの検査装置を備えた露光装置。 - 露光パターンを有するパターン領域と、パターン領域とは異なる位置に配置された検査領域とを有する反射型マスクを覆うように、パターン領域に対応する位置に形成されたパターン開口部と、検査領域に対応する位置に形成された検査開口部とを有する遮蔽板を配置して、
光が、前記遮蔽板に対して反射型マスクとは反対側から、前記検査開口部を通って反射型マスクに向かって進むことは許容するが、光が、前記遮蔽板に対して反射型マスク側から、前記検査開口部を通って反射型マスクとは反対側に向かって進むことを許容しない状態で、前記遮蔽板に対して反射型マスクとは反対側から、前記検査開口部に向かって光を照射し、
検査領域により反射された光を受光部で受光し、受光量に基づいて反射型マスクを検査する方法。 - 露光パターンを有するパターン領域と、パターン領域とは異なる位置に配置された検査領域とを有する反射型マスクを覆うように、パターン領域に対応する位置に形成されたパターン開口部と、検査領域に対応する位置に形成された検査開口部とを有する遮蔽板を配置して、
光が、前記遮蔽板に対して反射型マスクとは反対側から、前記検査開口部を通って反射型マスクに向かって進むことは許容するが、光が、前記遮蔽板に対して反射型マスク側から、前記検査開口部を通って反射型マスクとは反対側に向かって進むことを許容しない状態で、前記遮蔽板に対して反射型マスクとは反対側から、前記検査開口部に向かって光を照射し、
検査領域により反射された光を受光部で受光し、受光量に基づいて反射型マスクを検査し、
反射型マスクの検査の結果に基づいて、露光条件を調整する露光方法。
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