JP2014142213A5 - - Google Patents
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- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 49
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims 5
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013009614A JP2014142213A (ja) | 2013-01-22 | 2013-01-22 | 撮影パラメータ決定装置及びその制御方法 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013009614A JP2014142213A (ja) | 2013-01-22 | 2013-01-22 | 撮影パラメータ決定装置及びその制御方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2014142213A JP2014142213A (ja) | 2014-08-07 |
| JP2014142213A5 true JP2014142213A5 (enExample) | 2016-02-25 |
Family
ID=51423628
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2013009614A Pending JP2014142213A (ja) | 2013-01-22 | 2013-01-22 | 撮影パラメータ決定装置及びその制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2014142213A (enExample) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6977634B2 (ja) * | 2018-03-13 | 2021-12-08 | オムロン株式会社 | 外観検査装置、外観検査方法及びプログラム |
| JP7222796B2 (ja) * | 2019-04-05 | 2023-02-15 | 株式会社キーエンス | 画像検査システム及び画像検査方法 |
| KR102894003B1 (ko) * | 2024-12-31 | 2025-12-10 | 주식회사 인사이트 | 원판 회전형 지그를 이용한 자동표면검사장치의 검출성능 측정 장치 및 방법 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07225121A (ja) * | 1994-02-09 | 1995-08-22 | Toshiba Corp | 外観検査装置 |
| JP2002139454A (ja) * | 2000-11-01 | 2002-05-17 | Zenic Inc | 欠点検査装置および欠点検査方法 |
| JP2005061853A (ja) * | 2003-08-13 | 2005-03-10 | Nikon Corp | 表面検査装置 |
| JP2006170908A (ja) * | 2004-12-17 | 2006-06-29 | Hitachi High-Technologies Corp | 欠陥検査方法及び欠陥検査装置 |
| JP5414416B2 (ja) * | 2008-09-24 | 2014-02-12 | キヤノン株式会社 | 情報処理装置及び方法 |
| JP5348765B2 (ja) * | 2009-07-21 | 2013-11-20 | 株式会社リューズ | 平板状透明体の微小凹凸欠陥検査方法及び装置 |
-
2013
- 2013-01-22 JP JP2013009614A patent/JP2014142213A/ja active Pending
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