JP2014139971A - Multiple mounted component of lead frame with resin, and multiple mounted component of optical semiconductor device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、光半導体素子を実装する光半導体装置用の樹脂付きリードフレームの多面付け体、光半導体装置の多面付け体に関するものである。 The present invention relates to a multi-sided body of a lead frame with a resin for an optical semiconductor device on which an optical semiconductor element is mounted, and a multi-sided body of an optical semiconductor device.
従来、LED素子等の光半導体素子は、電気的に絶縁され、樹脂層で覆われた2つの端子部を有するリードフレームに固定され、その周囲を透明樹脂層によって覆い、光半導体装置として照明装置等の基板に実装されていた(例えば、特許文献1)。
このような光半導体装置の中には、端子部を覆う樹脂層が、光半導体素子を囲むようにして、光半導体素子の搭載面から突出するようにリフレクタが形成され、光半導体素子から発光する光の方向等を制御するものがある。このような光半導体装置は、多面付けされたリードフレーム(リードフレームの多面付け体)に樹脂層を形成して樹脂付きリードフレームの多面付け体を作製し、光半導体素子を電気的に接続し、透明樹脂層を形成して、パッケージ単位に切断することによって同時に複数製造される。
ここで、光半導体装置の製造過程において製造される樹脂付きリードフレームの多面付け体のなかには、その外周側面に、リードフレームの多面付け体の外周側面となる金属面が表出するものがある。このような樹脂付きリードフレームの多面付け体は、複数枚、所定の間隔で積層する収納ケースに収納される場合があり、その場合に外周側面に表出する金属面と収納ケースのレールとが摩擦接触し、外周側面から金属粉が発生してしまう場合があった。この金属粉がリードフレームの端子部に付着すると、端子部間を短絡させてしまう場合があり、光半導体素子を発光させることができない等の不具合を有する光半導体装置1が製造されてしまう要因となっていた。
2. Description of the Related Art Conventionally, an optical semiconductor element such as an LED element is fixed to a lead frame having two terminal portions that are electrically insulated and covered with a resin layer, and its periphery is covered with a transparent resin layer. (For example, patent document 1).
In such an optical semiconductor device, a reflector is formed so that a resin layer covering the terminal portion surrounds the optical semiconductor element and protrudes from the mounting surface of the optical semiconductor element. Some control the direction. In such an optical semiconductor device, a resin layer is formed on a multi-sided lead frame (a multi-sided body of a lead frame) to produce a multi-sided body of a lead frame with resin, and the optical semiconductor elements are electrically connected. A plurality of products are manufactured simultaneously by forming transparent resin layers and cutting them into package units.
Here, among the multi-faced body of the resin-attached lead frame manufactured in the manufacturing process of the optical semiconductor device, there is one in which a metal surface serving as the outer side face of the multi-faced body of the lead frame is exposed on the outer peripheral side face thereof. Such a multi-faceted body of a lead frame with a resin may be housed in a storage case that is laminated at a predetermined interval, and in this case, the metal surface that appears on the outer peripheral surface and the rail of the storage case are There was a case where metal powder was generated from the outer peripheral side due to frictional contact. If this metal powder adheres to the terminal part of the lead frame, the terminal part may be short-circuited, and the
本発明の課題は、外周側面から金属粉が発生してしまうのを防ぐことができる樹脂付きリードフレームの多面付け体、光半導体装置の多面付け体を提供することである。 An object of the present invention is to provide a multi-sided body of a lead frame with a resin and a multi-sided body of an optical semiconductor device capable of preventing generation of metal powder from the outer peripheral side surface.
本発明は、以下のような解決手段により、前記課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。また、符号を付して説明した構成は、適宜改良してもよく、また、少なくとも一部を他の構成物に代替してもよい。 The present invention solves the above problems by the following means. In addition, in order to make an understanding easy, although the code | symbol corresponding to embodiment of this invention is attached | subjected and demonstrated, it is not limited to this. In addition, the configuration described with reference numerals may be improved as appropriate, or at least a part thereof may be replaced with another configuration.
第1の発明は、複数の端子部(11、12)を有し、前記端子部のうち少なくとも一つの表面に光半導体素子(2)が接続される光半導体装置(1)に用いられるリードフレーム(10)が枠体(F)に多面付けされたリードフレームの多面付け体(MS)と、前記リードフレームの外周及び前記端子部間に形成されるフレーム樹脂部(20a)と、前記リードフレームの表面に突出して形成されるリフレクタ樹脂部(20b)と、前記枠体の表面又は裏面の少なくとも一部に形成され前記フレーム樹脂部に連接する枠体樹脂部(20c)と、前記枠体樹脂部に連接し前記枠体の外周側面の少なくとも一部に形成される側面樹脂部(20d)とから構成される樹脂層(20)と、を備える樹脂付きリードフレームの多面付け体(R)である。
第2の発明は、第1の発明の樹脂付きリードフレームの多面付け体(R)において、前記枠体(F)は、その裏面の少なくとも一部が、前記端子部(11、12)の裏面に対して窪んでおり、前記枠体樹脂部(20c)は、前記枠体の窪んだ部分に形成されること、を特徴とする樹脂付きリードフレームの多面付け体である。
第3の発明は、第1の発明又は第2の発明の樹脂付きリードフレームの多面付け体(R)において、前記枠体樹脂部(20c)は、前記枠体(F)の裏面に形成されること、を特徴とする樹脂付きリードフレームの多面付け体である。
第4の発明は、第1の発明又は第2の発明の樹脂付きリードフレームの多面付け体(R)において、前記枠体樹脂部(20c)は、前記枠体(F)の両面に形成されること、を特徴とする樹脂付きリードフレームの多面付け体である。
第5の発明は、第4の発明の樹脂付きリードフレームの多面付け体(R)において、前記枠体樹脂部(20c)は、前記枠体(F)の裏面側の樹脂の厚みが、表面側の樹脂の厚みよりも厚く形成されていること、を特徴とする樹脂付きリードフレームの多面付け体である。
1st invention has a some terminal part (11,12), The lead frame used for the optical semiconductor device (1) by which an optical semiconductor element (2) is connected to at least one surface among the said terminal parts. (10) is a multi-faceted body (MS) of a lead frame that is multi-faced to the frame (F), a frame resin part (20a) formed between the outer periphery of the lead frame and the terminal part, and the lead frame A reflector resin portion (20b) formed to protrude from the surface of the frame body, a frame body resin portion (20c) formed on at least a part of the front or back surface of the frame body and connected to the frame resin portion, and the frame body resin A resin-attached lead frame multi-faced body (R) comprising a resin layer (20) composed of a side resin part (20d) formed on at least a part of the outer peripheral side surface of the frame body. is there.
According to a second aspect of the present invention, in the multifaceted body (R) of the resin-attached lead frame of the first aspect, the frame (F) has at least a part of the back surface of the terminal portion (11, 12). The frame body resin portion (20c) is formed in a recessed portion of the frame body, and is a multi-faced body of a lead frame with resin.
According to a third aspect of the present invention, in the multi-faced body (R) of the lead frame with resin of the first aspect or the second aspect, the frame body resin portion (20c) is formed on the back surface of the frame body (F). This is a multi-faced body of a lead frame with a resin characterized by the above.
According to a fourth aspect of the present invention, in the multifaceted body (R) of the lead frame with resin of the first aspect or the second aspect, the frame body resin portion (20c) is formed on both surfaces of the frame body (F). This is a multi-faced body of a lead frame with a resin characterized by the above.
According to a fifth aspect of the present invention, in the multifaceted body (R) of the resin-attached lead frame according to the fourth aspect, the frame body resin portion (20c) has a thickness of the resin on the back surface side of the frame body (F). A multi-sided body of a lead frame with resin, characterized in that it is formed thicker than the thickness of the resin on the side.
第6の発明は、第1の発明から第5の発明までのいずれかの樹脂付きリードフレームの多面付け体(R)と、前記樹脂付きリードフレームの多面付け体の前記各リードフレーム(10)の前記端子部(11、12)のうち少なくとも一つに接続される光半導体素子(2)と、前記樹脂付きリードフレームの多面付け体の前記光半導体素子が接続される側の面に形成され、前記光半導体素子を覆う透明樹脂層(30)とを備えること、を特徴とする光半導体装置の多面付け体である。 According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a resin-coated lead frame multifaceted body (R) according to any one of the first to fifth inventions, and the resin leadframe multifaceted body of the leadframe (10). The optical semiconductor element (2) connected to at least one of the terminal portions (11, 12) and the surface of the multifaceted body of the lead frame with resin connected to the optical semiconductor element. And a transparent resin layer (30) covering the optical semiconductor element.
本発明によれば、樹脂付きリードフレームの多面付け体、光半導体装置の多面付け体は、外周側面から金属粉が発生してしまうのを防ぐことができる。 According to the present invention, the multi-sided body of the lead frame with resin and the multi-sided body of the optical semiconductor device can prevent the metal powder from being generated from the outer peripheral side surface.
(第1実施形態)
以下、図面等を参照して、本発明の第1実施形態について説明する。
図1は、第1実施形態の光半導体装置1の全体構成を示す図である。
図1(a)は、光半導体装置1の平面図を示し、図1(b)は、光半導体装置1の側面図を示し、図1(c)は、光半導体装置1の裏面図を示す。図1(d)は、図1(a)のd−d断面図を示す。
図2は、第1実施形態のリードフレームの多面付け体MSの全体図である。
図3は、第1実施形態のリードフレームの多面付け体MSの詳細を説明する図である。
図3(a)、図3(b)は、それぞれリードフレームの多面付け体MSの平面図、裏面図を示し、図3(c)、図3(d)は、それぞれ図3(a)のc−c断面図、d−d断面図を示す。
図4は、第1実施形態の光反射樹脂層20が形成された樹脂付きリードフレームの多面付け体Rの詳細を説明する図である。
図4(a)、図4(b)は、それぞれ、樹脂付きリードフレームの多面付け体Rの平面図、裏面図を示し、図4(c)、図4(d)は、それぞれ図4(a)のc−c断面図と、d−d断面図を示す。
図5は、第1実施形態の樹脂付リードフレームの多面付け体Rを収納する収納ケースを示す概略図である。
各図において、光半導体装置1、リードフレームの多面付け体MS、樹脂付きリードフレームの多面付け体Rの平面図における左右方向をX方向、上下方向をY方向、厚み方向をZ方向とする。
(First embodiment)
Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings and the like.
FIG. 1 is a diagram illustrating an overall configuration of an
FIG. 1A shows a plan view of the
FIG. 2 is an overall view of the multi-faceted body MS of the lead frame of the first embodiment.
FIG. 3 is a diagram for explaining the details of the multi-faced body MS of the lead frame according to the first embodiment.
3 (a) and 3 (b) show a plan view and a back view of the multi-faced body MS of the lead frame, respectively, and FIGS. 3 (c) and 3 (d) respectively show FIG. 3 (a). A cc sectional view and a dd sectional view are shown.
FIG. 4 is a diagram for explaining the details of the multifaceted body R of the lead frame with resin on which the light reflecting
4 (a) and 4 (b) respectively show a plan view and a back view of the multi-faced body R of the lead frame with resin, and FIGS. 4 (c) and 4 (d) respectively show FIG. The cc sectional view of a) and the dd sectional view are shown.
FIG. 5 is a schematic view showing a storage case for storing the multi-faced body R of the lead frame with resin according to the first embodiment.
In each figure, in the plan view of the
光半導体装置1は、外部機器等の基板に取り付けられることによって、実装したLED素子2が発光する照明装置である。光半導体装置1は、図1に示すように、LED素子2(光半導体素子)、リードフレーム10、光反射樹脂層20(樹脂層)、透明樹脂層30を備える。
光半導体装置1は、多面付けされたリードフレーム10(リードフレームの多面付け体MS、図2参照)に光反射樹脂層20を形成して樹脂付きリードフレームの多面付け体R(図4参照)を作製し、LED素子2を電気的に接続し、透明樹脂層30を形成して、パッケージ単位に切断(ダイシング)することによって製造される(詳細は後述する)。
LED素子2は、発光層として一般に用いられるLED(発光ダイオード)の素子であり、例えば、GaP、GaAs、GaAlAs、GaAsP、AlInGaP等の化合物半導体単結晶、又は、InGaN等の各種GaN系化合物半導体単結晶からなる材料を適宜選ぶことにより、紫外光から赤外光に渡る発光波長を選択することができる。
The
In the
The
リードフレーム10は、一対の端子部、すなわち、LED素子2が載置、接続される端子部11と、ボンディングワイヤ2aを介してLED素子2に接続される端子部12とから構成される。
端子部11、12は、それぞれ導電性のある材料、例えば、銅、銅合金、42合金(Ni40.5%〜43%のFe合金)等により形成されており、本実施形態では、熱伝導及び強度の観点から銅合金から形成されている。
端子部11、12は、図3に示すように、互いに対向する辺の間に空隙部Sが形成されており、電気的に独立している。端子部11、12は、1枚の金属基板(銅板)をプレス又はエッチング加工することにより形成されるため、両者の厚みは同等である。
The
Each of the
As shown in FIG. 3, the
端子部11は、図1に示すように、その表面にLED素子2が載置、接続されるLED端子面11aが形成され、また、その裏面に外部機器に実装される外部端子面11bが形成される、いわゆるダイパッドを構成する。端子部11は、LED素子2が載置されるため、端子部12に比べ、その外形が大きく形成されている。
端子部12は、その表面にLED素子2のボンディングワイヤ2aが接続されるLED端子面12aが形成され、また、その裏面に外部機器に実装される外部端子面12bが形成される、いわゆるリード側端子部を構成する。
端子部11、12は、その表面及び裏面にめっき層Cが形成されており(図6(e)参照)、表面側のめっき層Cは、LED素子2の発する光を反射する反射層としての機能を有し、裏面側のめっき層Cは、外部機器に実装されるときの半田の溶着性を高める機能を有する。
As shown in FIG. 1, the
The
The
端子部11、12は、図3に示すように、それぞれの裏面側の外周部に、厚みの薄くなる凹部Mが設けられている。
凹部Mは、リードフレーム10の裏面側から見て、各端子部11、12の外周部に形成された窪みであり、その窪みの厚みは、端子部11、12の厚みの1/3〜2/3程度に形成されている。
As shown in FIG. 3, the
The recess M is a recess formed in the outer peripheral portion of each of the
リードフレーム10は、端子部11、12の周囲や、端子部11、12間の空隙部S等に、光反射樹脂層20を形成する樹脂が充填される場合に、図4に示すように、凹部Mにも樹脂が充填され、光反射樹脂層20と各端子部11、12との接触面積を大きくしている。また、厚み(Z)方向において、リードフレーム10と光反射樹脂層20とを交互に構成することができる。これにより、凹部Mは、光反射樹脂層20が、平面方向(X方向、Y方向)及び厚み方向において、リードフレーム10から剥離してしまうのを抑制することができる。
As shown in FIG. 4, when the
連結部13は、枠体F内に多面付けされた各リードフレーム10の端子部11、12を、隣接する他のリードフレーム10の端子部や、枠体Fに連結している。連結部13は、多面付けされた各リードフレーム10上にLED素子2等が搭載され、光半導体装置1の多面付け体(図7参照)が形成された場合に、リードフレーム10を形成する外形線(図3(a)及び図3(b)中の破線)でダイシング(切断)される。
連結部13は、端子部11、12を形成する各辺のうち、端子部11、12が対向する辺を除いた辺に形成されている。
The connecting
The
具体的には、連結部13aは、図3(a)に示すように、端子部12の右(+X)側の辺と、右側に隣接する他のリードフレーム10の端子部11の左(−X)側の辺とを接続し、また、端子部11の左側の辺と、左側に隣接する他のリードフレーム10の端子部12の右側の辺とを接続している。枠体Fに隣接する端子部11、12に対しては、連結部13aは、端子部11の左側の辺又は端子部12の右側の辺と、枠体Fとを接続している。
Specifically, as shown in FIG. 3A, the connecting
連結部13bは、端子部11の上(+Y)側の辺と、上側に隣接する他のリードフレーム10の端子部11の下(−Y)側の辺とを接続し、また、端子部11の下側の辺と、下側に隣接する他のリードフレーム10の端子部11の上側の辺とを接続する。枠体Fに隣接する端子部11に対しては、連結部13bは、端子部11の上側又は下側の辺と、枠体Fとを接続している。
連結部13cは、端子部12の上側の辺と、上側に隣接する他のリードフレーム10の端子部12の下側の辺とを接続し、また、端子部12の下側の辺と、下側に隣接する他のリードフレーム10の端子部12の上側の辺とを接続する。枠体Fに隣接する端子部12に対しては、連結部13cは、端子部12の上側又は下側の辺と、枠体Fとを接続している。
The connecting
The connecting
連結部13d(補強部)は、端子部11及び端子部12間の空隙部Sの延長上を横切るようにして形成される。ここで、空隙部Sの延長上とは、空隙部Sを上下(Y)方向に延長させた領域をいう。本実施形態では、連結部13dは、一の端子部(12、11)と、その端子部の空隙部Sを挟んだ対向する側に位置し、上又は下に隣接する他のリードフレームの端子部(11、12)とを連結するために、端子部11の上側の辺及び端子部12の下側の辺に対して、傾斜(例えば、45度)した形状に形成される。
具体的には、連結部13dは、端子部12の上側の辺と、上側に隣接する他のリードフレーム10の端子部11の下側の辺とを接続し、また、端子部11の下側の辺と、下側に隣接する他のリードフレーム10の端子部12の上側の辺とを接続する。また、枠体Fに隣接する端子部11、12に対しては、連結部13dは、端子部12の上側の辺又は端子部11の下側の辺と、枠体Fとを接続している。
The connecting
Specifically, the connecting
連結部13dが設けられることによって、リードフレームの多面付け体MSは、光反射樹脂層20を形成する工程において、端子部11と端子部12との間隔がずれたり、各端子部11、12が枠体Fに対して捩れたりするのを抑制することができる。また、連結部13dは、光半導体装置1の空隙部Sの強度を向上させることができ、空隙部Sにおいて破損してしまうのを抑制することができる。
By providing the connecting
なお、端子部11、12は、連結部13によって、隣り合う他のリードフレーム10の端子部11、12と電気的に導通されるが、光半導体装置1の多面付け体を形成した後に、光半導体装置1(リードフレーム10)の外形(図3(a)の破線)に合わせて各連結部13を切断(ダイシング)することによって絶縁される。また、個片化された場合に、各々の個片を同じ形状にすることができる。
The
連結部13は、図3(b)、図3(c)に示すように、端子部11、12の厚みよりも薄く、かつ、その表面が端子部11、12の表面と同一平面内に形成されている。具体的には、連結部13は、その裏面が、各端子部11、12の凹部Mの底面(窪んだ部分)と略同一面内に形成されている。これにより、光反射樹脂層20の樹脂が充填された場合に、図4(b)、図4(c)に示すように、連結部13の裏面にも樹脂が流れ込み、光反射樹脂層20がリードフレーム10から剥離してしまうのを抑制することができる。
また、光反射樹脂層20が形成されたリードフレーム10の裏面には、図4(b)に示すように、矩形状の外部端子面11b、12bが表出することとなり、光半導体装置1の外観を向上させることができることに加え、半田で基板に実装する場合に、基板側への半田印刷を容易にしたり、半田を均一に塗布したり、リフロー後に半田内へのボイドの発生を抑制したりすることができる。また、光半導体装置1の面内(XY平面内)の中心線に対して線対称であることから、熱応力等に対する信頼性を向上させることができる。
As shown in FIGS. 3B and 3C, the connecting
Further, as shown in FIG. 4B, rectangular external terminal surfaces 11 b and 12 b are exposed on the back surface of the
リードフレームの多面付け体MSは、上述のリードフレーム10を枠体F内に多面付けしたものをいう。本実施形態では、図2及び図3に示すように、縦横に複数個、連結部13によって連結されたリードフレーム10の集合体Gを、複数組(本実施形態では4組)、左右方向に配列させて枠体F内に形成したものである。
枠体Fは、リードフレーム10の集合体G毎に、リードフレーム10を固定する部材である。
The multi-faced body MS of the lead frame refers to a structure in which the above-described
The frame body F is a member that fixes the
光反射樹脂層20は、図4に示すように、フレーム樹脂部20aと、リフレクタ樹脂部20bと、枠体樹脂部20cと、側面樹脂部20dとから構成される。
フレーム樹脂部20aは、端子部11、12の外周側面(リードフレーム10の外周及び空隙部S)だけでなく、各端子部に設けられた凹部Mや、連結部13の裏面にも形成される。
リフレクタ樹脂部20bは、リードフレーム10の表面側(リードフレーム10のLED素子2が接続される側)に突出するように形成され、リードフレーム10に接続されるLED素子2から発光する光の方向等を制御するリフレクタを構成する。このリフレクタ樹脂部20bは、端子部11、12のLED端子面11a、12aを囲むようにして、リードフレーム10の表面側に突出しており、LED端子面11aに接続されるLED素子2から発光する光を反射させて、光半導体装置1から光を効率よく照射させる。
リフレクタ樹脂部20bは、その外形が、枠体Fの内周縁に沿うようにして形成されており、その厚み(高さ)寸法が、LED端子面11aに接続されるLED素子2の厚み寸法よりも大きい寸法で形成される。
As shown in FIG. 4, the light reflecting
The
The
The
枠体樹脂部20cは、図4(b)〜図4(d)に示すように、枠体Fの表面及び裏面の全面に形成される樹脂層である。すなわち、枠体樹脂部20cは、枠体Fを挟み込むようにして、枠体Fを樹脂で覆う。この構成によって、枠体樹脂部20cは、後述の枠体Fの外周側面に形成される側面樹脂部20dと枠体Fの表裏面の両面側から結合するので、側面樹脂部20dが枠体Fから剥離してしまうのを抑制する。
ここで、リードフレーム10は銅などの金属により形成され、光反射樹脂層20は熱硬化性樹脂等の樹脂により形成され、また、両者の材料の線膨張率には差がある。リードフレームの多面付け体MSは、上述したように表面側にリフレクタ樹脂部20b及び枠体樹脂部20cの一部(枠体Fの表面側の樹脂)が形成されることから裏面側に比べ表面側に樹脂が多く形成される。そのため、仮に、枠体Fの裏面側の枠体樹脂部20cが形成されていない場合、この樹脂の硬化過程において、上記線膨張率の差によって樹脂付きリードフレームの多面付け体Rに反りが発生してしまうこととなる。
The frame
Here, the
上記反りの発生を抑制するために、光反射樹脂層20の樹脂中に特定のフィラー(粉末)を含有させて線膨張率を、リードフレーム10の金属に近づけることも可能である。しかし、光反射樹脂層20の光反射特性を維持するために、フィラーの含有量は制限されてしまい、樹脂の線膨張率を十分に金属に近づけられない場合がある。また、樹脂に熱可塑性樹脂を使用した場合は、線膨張率の調整自体をすることができない。
そのため、本実施形態では、枠体Fの裏面全面に枠体樹脂部20cが設けられているため、リードフレーム10の表面及び裏面に形成される樹脂の量を均等になるように近づけることができる。これにより、本実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Rは、樹脂の硬化過程において、上述の反りの発生を抑制することができる。
In order to suppress the occurrence of the warp, a specific filler (powder) may be included in the resin of the light reflecting
Therefore, in this embodiment, since the frame
また、枠体Fの裏面側の枠体樹脂部20cは、その内周縁が、枠体Fに隣接するリードフレーム10の外形線(図4(a)中の破線)の一部と重なるように形成されている。これにより、樹脂付きリードフレームの多面付け体Rは、上記反りの抑制効果をより効果的に奏することができるとともに、枠体樹脂部20cが、個片化された光半導体装置1の裏面から突出して残存してしまうのを防ぐことができる。
本実施形態では、枠体樹脂部20cは、表面側の樹脂の厚みと裏面側の樹脂の厚みとがほぼ同等に形成される。
Further, the inner periphery of the frame
In the present embodiment, the frame
側面樹脂部20dは、枠体樹脂部20cに連接して枠体Fの外周側面の全面に形成された樹脂層である。すなわち、側面樹脂部20dは、枠体Fの表裏面を挟み込むようにして形成された枠体樹脂部20cの表面側の樹脂及び裏面側の樹脂と結合している。
樹脂付きリードフレームの多面付け体は、図5に示すように、複数枚、所定の間隔で積層する収納ケース50に収納される。樹脂付きリードフレームの多面付け体は、側面樹脂部20dが形成されていない場合、その外周側面から、枠体Fの外周側面の金属面が表出する。そのため、樹脂付きリードフレームの多面付け体は、その収納の時に、枠体Fの外周側面と収納ケース50のレール51とが摩擦接触し、枠体から金属粉が発生してしまう場合があった。この金属粉がリードフレームに付着すると、端子部11、12間を短絡させてしまう場合があり、LED素子2を発光させることができない等の不具合を有する光半導体装置1が製造されてしまう要因となっていた。
そのため、本実施形態では、枠体Fの外周側面に側面樹脂部20dを形成し、枠体Fの外周側面が収納ケース50のレール51に接触しても、側面樹脂部20dがレール51と接触することとなり、上記金属粉の発生を防ぐことができる。これにより、樹脂付きリードフレームの多面付け体Rは、上述したような不具合を有する光半導体装置1が製造されてしまうのを回避することができる。
The
As shown in FIG. 5, the multi-sided body of the lead frame with resin is stored in a
Therefore, in this embodiment, the
光反射樹脂層20は、リードフレーム10に載置されるLED素子2の発する光を反射させるために、光反射特性を有する熱可塑性樹脂や、熱硬化性樹脂が用いられる。
光反射樹脂層20を形成する樹脂は、凹み部分への樹脂充填に関しては、樹脂形成時には流動性が高いことが、凹み部分での接着性に関しては、分子内に反応基を導入しやすいためにリードフレームとの化学接着性を得られることが必要なため、熱硬化性樹脂が望ましい。
例えば、熱可塑性樹脂としては、ポリアミド、ポリフタルアミド、ポリフェニレンサルファイド、液晶ポリマー、ポリエーテルサルホン、ポリブチレンテレフタレート、ポリオレフィン等を用いることができる。
また、熱硬化性樹脂としては、シリコーン、エポキシ、ポリエーテルイミド、ポリウレタン及びポリブチレンアクリレート等を用いることができる。
さらに、これらの樹脂中に光反射材として、二酸化チタン、二酸化ジルコニウム、チタン酸カリウム、窒化アルミニウム及び窒化ホウ素のうちいずれかを添加することによって、光の反射率を増大させることができる。
また、ポリオレフィンなどの熱可塑性樹脂を成形した後に、電子線を照射することで架橋させる方法を用いた、いわゆる電子線硬化樹脂を用いてもよい。
The light reflecting
The resin forming the light reflecting
For example, as the thermoplastic resin, polyamide, polyphthalamide, polyphenylene sulfide, liquid crystal polymer, polyether sulfone, polybutylene terephthalate, polyolefin, or the like can be used.
As the thermosetting resin, silicone, epoxy, polyetherimide, polyurethane, polybutylene acrylate, or the like can be used.
Furthermore, the reflectance of light can be increased by adding any of titanium dioxide, zirconium dioxide, potassium titanate, aluminum nitride, and boron nitride as a light reflecting material to these resins.
Moreover, after molding a thermoplastic resin such as polyolefin, a so-called electron beam curable resin using a method of crosslinking by irradiation with an electron beam may be used.
透明樹脂層30は、リードフレーム10上に載置されたLED素子2を保護するとともに、発光したLED素子2の光を外部に透過させるために設けられた透明又は略透明に形成された樹脂層である。透明樹脂層30は、図1に示すように、光反射樹脂層20のリフレクタ樹脂部20bによって囲まれたLED端子面11a、12a上に形成される。
透明樹脂層30は、光の取り出し効率を向上させるために、LED素子2の発光波長において光透過率が高く、また、屈折率が高い材料を選択するのが望ましい。例えば、耐熱性、耐光性、及び機械的強度が高いという特性を満たす樹脂として、エポキシ樹脂や、シリコーン樹脂を選択することができる。特に、LED素子2に高輝度LED素子を用いる場合、透明樹脂層30は、強い光にさらされるため、高い耐光性を有するシリコーン樹脂からなることが好ましい。また、波長変換用の蛍光体を使用してもよく、透明樹脂に分散させてもよい。
The
For the
次に、リードフレーム10の製造方法について説明する。
図6は、第1実施形態のリードフレーム10の製造過程を説明する図である。
図6(a)は、レジストパターンを形成した金属基板100を示す平面図と、その平面図のa−a断面図とを示す。図6(b)は、エッチング加工されている金属基板100を示す図である。図6(c)は、エッチング加工後の金属基板100を示す図である。図6(d)は、レジストパターンが除去された金属基板100を示す図である。図6(e)は、めっき処理が施された金属基板100を示す図である。
なお、図6においては、1枚のリードフレーム10の製造過程について図示するが、実際には、1枚の金属基板100からリードフレームの多面付け体MSが製造される。
Next, a method for manufacturing the
FIG. 6 is a diagram for explaining the manufacturing process of the
FIG. 6A shows a plan view showing a
In FIG. 6, the manufacturing process of one
リードフレーム10の製造において、金属基板100を加工してリードフレーム10を形成するが、その加工は、プレス加工でも良いが、薄肉部を形成しやすいエッチング処理が望ましい。以下にエッチング処理によるリードフレーム10の製造方法について説明する。
In the manufacture of the
まず、平板状の金属基板100を用意し、図6(a)に示すように、その表面及び裏面のエッチング加工を施さない部分にレジストパターン40a、40bを形成する。なお、レジストパターン40a、40bの材料及び形成方法は、エッチング用レジストとして従来公知の技術を用いる。
次に、図6(b)に示すように、レジストパターン40a、40bを耐エッチング膜として、金属基板100に腐食液でエッチング処理を施す。腐食液は、使用する金属基板100の材質に応じて適宜選択することができる。本実施形態では、金属基板100として銅板を使用しているため、塩化第二鉄水溶液を使用し、金属基板100の両面からスプレーエッチングすることができる。
First, a
Next, as shown in FIG. 6B, the
ここで、リードフレーム10には、端子部11、12の外周部や、各端子部11、12間の空隙部Sのように貫通した空間と、凹部Mや、連結部13の裏面のように貫通せずに厚みが薄くなった窪んだ空間とが存在する(図3参照)。本実施形態では、金属基板100の板厚の半分程度までをエッチング加工する、いわゆるハーフエッチング処理を行い、貫通した空間に対しては、金属基板100の両面にレジストパターンを形成しないようにし、金属基板100の両面からエッチング加工して、貫通した空間を形成する。また、窪んだ空間に対しては、厚みが薄くなる側とは反対側の面にのみレジストパターンを形成して、レジストパターンがない面のみをエッチング加工して、窪んだ空間を形成する。
エッチング処理により金属基板100には、図6(c)に示すように、凹部Mが形成された端子部11、12が形成され、金属基板100上にリードフレーム10が形成される。
Here, in the
As shown in FIG. 6C,
次に、図6(d)に示すように、金属基板100(リードフレーム10)からレジストパターン40を除去する。
そして、図6(e)に示すように、リードフレーム10が形成された金属基板100にめっき処理を行い、端子部11、12にめっき層Cを形成する。めっき処理は、例えば、シアン化銀を主成分とした銀めっき液を用いた電界めっきを施すことにより行われる。
なお、めっき層Cを形成する前に、例えば、電解脱脂工程、酸洗工程、銅ストライク工程を適宜選択し、その後、電解めっき工程を経てめっき層Cを形成してもよい。
以上により、リードフレーム10は、図2及び図3に示すように、枠体Fに多面付けされた状態で製造される。なお、図2及び図3において、めっき層Cは省略されている。
Next, as shown in FIG. 6D, the resist pattern 40 is removed from the metal substrate 100 (lead frame 10).
Then, as shown in FIG. 6 (e), the
In addition, before forming the plating layer C, for example, an electrolytic degreasing process, a pickling process, and a copper strike process may be selected as appropriate, and then the plating layer C may be formed through an electrolytic plating process.
As described above, the
次に、光半導体装置1の製造方法について説明する。
図7は、第1実施形態の光半導体装置の多面付け体を示す図である。
図8は、第1実施形態の光半導体装置1の製造過程を説明する図である。
図8(a)は、光反射樹脂層20が形成されたリードフレーム10の断面図であり、図8(b)は、LED素子2が電気的に接続されたリードフレーム10の断面図を示す。図8(c)は、透明樹脂層30が形成されたリードフレーム10の断面図を示す。図8(d)は、ダイシングにより個片化された光半導体装置1の断面図を示す。
なお、図8においては、1台の光半導体装置1の製造過程について図示するが、実際には、1枚の金属基板100から複数の光半導体装置1が製造されるものとする。また、図8(a)〜(d)は、それぞれ図6(a)の断面図に基づくものである。
Next, a method for manufacturing the
FIG. 7 is a view showing a multi-faced body of the optical semiconductor device of the first embodiment.
FIG. 8 is a diagram for explaining the manufacturing process of the
8A is a cross-sectional view of the
In FIG. 8, the manufacturing process of one
図8(a)に示すように、金属基板100上にエッチング加工により形成されたリードフレーム10の外周等に上述の光反射特性を有する樹脂を充填し、光反射樹脂層20を形成する。光反射樹脂層20は、例えば、トランスファ成形や、インジェクション成形(射出成形)のように、樹脂成形金型にリードフレーム10(金属基板100)をインサートし、樹脂を注入する方法や、リードフレーム10上に樹脂をスクリーン印刷する方法等によって形成される。このとき、樹脂は、各端子部11、12の外周側から凹部Mや、連結部13の裏面へと流れ込み、フレーム樹脂部20aが形成され、リードフレーム10と接合する。
また、これと同時に、リフレクタ樹脂部20bが、リードフレームの表面側に突出して、各端子部11、12のLED端子面11a、12aを囲むようにして形成される。更に、枠体樹脂部20cが、枠体Fの表面及び裏面の全面に形成されるとともに、それに連接して、側面樹脂部20dも枠体Fの外周側面の全面に形成される。これにより、樹脂付きリードフレームの多面付け体Rは、その表面及び裏面に、それぞれ、各端子部11、12のLED端子面11a、12aと、外部端子面11b、12bとが表出した状態となる(図4(a)、図4(b)参照)。
以上により、図4に示す樹脂付きのリードフレームの多面付け体Rが形成される。
As shown in FIG. 8A, the light reflecting
At the same time, the
In this way, the multi-faced body R of the lead frame with resin shown in FIG. 4 is formed.
次に、図8(b)に示すように、端子部11のLED端子面11aに、ダイアタッチペーストや半田等の放熱性接着剤を介してLED素子2を載置し、また、端子部12のLED端子面12aに、ボンディングワイヤ2aを介してLED素子2を電気的に接続する。ここで、LED素子2とボンディングワイヤ2aは複数あってもよく、一つのLED素子2に複数のボンディングワイヤ2aが接続されてもよく、ボンディングワイヤ2aをダイパッドに接続させてもよい。また、LED素子2を載置面で電気的に接続してもよい。ここで、ボンディングワイヤ2aは、例えば、金(Au)、銅(Cu)、銀(Ag)等の導電性の良い材料からなる。
Next, as shown in FIG. 8B, the
そして、図8(c)に示すように、リフレクタ樹脂部20bに囲まれたLED素子2を覆うようにして透明樹脂層30を形成する。
透明樹脂層30は平坦な形状のほかレンズ形状、屈折率勾配等、光学的な機能を持たせてもよい。以上により、図7に示すように、光半導体装置の多面付け体が製造される。
最後に、図8(d)に示すように、光半導体装置1の外形(図7中の破線)に合わせて、光反射樹脂層20及び透明樹脂層30とともに、リードフレーム10の連結部13を切断(ダイシング、パンチング、カッティング等)して、1パッケージに分離(個片化)された光半導体装置1(図1参照)を得る。
And as shown in FIG.8 (c), the
The
Finally, as shown in FIG. 8D, the connecting
次に、上述の図8(a)におけるリードフレーム10に光反射樹脂層20を形成するトランスファ成形及びインジェクション成形について説明する。
図9は、トランスファ成形の概略を説明する図である。図9(a)は、金型の構成を説明する図であり、図9(b)〜図9(i)は、樹脂付きリードフレームの多面付け体Rが完成するまでの工程を説明する図である。
図10は、インジェクション成形の概略を説明する図である。図10(a)〜図10(c)は、樹脂付きリードフレームの多面付け体Rが完成するまでの工程を説明する図である。
なお、図9及び図10において、説明を明確にするために、リードフレーム10の単体に対して光反射樹脂層20が成形される図を示すが、実際には、リードフレームの多面付け体MSに対して光反射樹脂層20が形成される。
Next, transfer molding and injection molding for forming the light reflecting
FIG. 9 is a diagram for explaining the outline of transfer molding. FIG. 9A is a diagram for explaining the configuration of the mold, and FIGS. 9B to 9I are diagrams for explaining the steps until the multi-faced body R of the lead frame with resin is completed. It is.
FIG. 10 is a diagram for explaining the outline of injection molding. FIG. 10A to FIG. 10C are diagrams for explaining the process until the multifaceted body R of the lead frame with resin is completed.
9 and 10, for the sake of clarity, a diagram in which the light reflecting
(トランスファ成形)
トランスファ成形は、図9(a)に示すように、上型111及び下型112等から構成される金型110を使用する。
まず、作業者は、上型111及び下型112を加熱した後、図9(b)に示すように、上型111と下型112との間にリードフレームの多面付け体MSを配置するとともに、下型112の設けられたポット部112aに光反射樹脂層20を形成する樹脂を充填する。
そして、図9(c)に示すように、上型111及び下型112を閉じて(型締め)、樹脂を加熱する。樹脂が十分に加熱されたら、図9(d)及び図9(e)に示すように、プランジャー113によって樹脂に圧力をかけて、樹脂を金型110内へと充填(トランスファ)させ、所定の時間その圧力を一定に保持する。
(Transfer molding)
In the transfer molding, as shown in FIG. 9A, a
First, the operator heats the
Then, as shown in FIG. 9C, the
所定の時間の経過後、図9(f)及び図9(g)に示すように、上型111及び下型112を開き、上型111に設けられたイジェクターピン111aにより、上型111から光反射樹脂層20が成形されたリードフレームの多面付け体MSを取り外す。その後、図9(h)に示すように、上型111の流路(ランナー)部等の余分な樹脂部分を、製品となる部分から除去し、図9(i)に示すように、光反射樹脂層20が形成された樹脂付きリードフレームの多面付け体Rが完成する。
After elapse of a predetermined time, as shown in FIGS. 9 (f) and 9 (g), the
(インジェクション成形)
インジェクション成形は、図10(a)に示すように、上から順に、ノズルプレート121、スプループレート122、ランナープレート123(上型)、下型124等から構成される金型120を使用する。
まず、作業者は、ランナープレート123及び下型124間にリードフレームの多面付け体MSを配置して、金型120を閉じる(型締め)。
そして、図10(b)に示すように、ノズル125をノズルプレート121のノズル穴に配置して、光反射樹脂層20を形成する樹脂を金型120内に射出する。ノズル125から射出された樹脂は、スプループレート122のスプルー122aを通過し、ランナープレート123のランナー123a及びゲートスプルー123bを通過した上で、リードフレームの多面付け体MSが配置された金型120内へと樹脂が充填される。
(Injection molding)
As shown in FIG. 10A, the injection molding uses a
First, the operator arranges the multi-faced body MS of the lead frame between the
Then, as shown in FIG. 10B, the
樹脂が充填されたら所定の時間保持した後に、作業者は、図10(c)に示すように、ランナープレート123を下型124から開き、下型124に設けられたイジェクターピン124aによって、光反射樹脂層20が形成されたリードフレームの多面付け体MSを下型124から取り外す。そして、光反射樹脂層20が形成されたリードフレームの多面付け体MSから余分なバリなどを除去して樹脂付きリードフレームの多面付け体Rが完成する。
After holding for a predetermined time after the resin is filled, the operator opens the
なお、本実施形態のインジェクション成形の金型120は、樹脂の流路が、一つのスプルーからランナーを介して複数のゲートへと分岐されているので、リードフレームの多面付け体MSに対して、複数個所から均等に樹脂を射出するようにしている。これにより、リードフレームの多面付け体MSの各リードフレーム10に対して、樹脂を適正に充填させることができ、樹脂ムラのない樹脂付きリードフレームの多面付け体Rを得ることができる。
In the injection molding die 120 of the present embodiment, the resin flow path is branched from a single sprue to a plurality of gates via a runner, so that the multi-faced body MS of the lead frame is Resin is injected evenly from multiple locations. As a result, the resin can be appropriately filled in each
本実施形態の発明には、以下のような効果がある。
(1)樹脂付きリードフレームの多面付け体Rは、枠体Fの外周側面の全面に側面樹脂部20dが形成されているので、収納ケース50に収納された場合においても、レール51との接触により金属粉が枠体Fの外周側面から発生してしまうのを防ぐことができる。これにより、樹脂付きリードフレームの多面付け体Rは、LED素子2を発光させることができない等の不具合を有する光半導体装置1が製造されてしまうのを抑制することができる。
また、電子線硬化樹脂を用いた場合、側面樹脂部20dは厚み方向に金属が存在する他の部分に比べ電子線が透過し易く、硬化が促進されやすいため、枠体Fの樹脂がより強固となり好適である。
(2)樹脂付きリードフレームの多面付け体Rは、枠体Fの裏面に枠体樹脂部20cが形成されているので、光反射樹脂層20の成形過程において、リフレクタ樹脂部20bの存在により樹脂付きリードフレームに反りが生じてしまうのを抑制することができる。
また、電子線硬化樹脂を用いた場合、成形加工後の電子線照射による硬化収縮が大きいが、成形時に枠体Fの裏面にも光反射樹脂層20の樹脂が充填されているため、成形過程だけでなく、電子線照射による硬化時においての反りの発生も抑制することが可能である。
(3)樹脂付きリードフレームの多面付け体Rは、枠体Fの表面及び裏面に枠体樹脂部20cが形成されているので、側面樹脂部20dを、枠体Fの表面側及び裏面側から枠体樹脂部20cと結合させることができる。これにより、側面樹脂部20dが、枠体Fの外周側面から剥離してしまうのを抑制することができる。
The invention of this embodiment has the following effects.
(1) Since the side
Further, when the electron beam curable resin is used, the side
(2) Since the frame
In addition, when an electron beam curable resin is used, curing shrinkage due to electron beam irradiation after molding is large, but the back surface of the frame F is filled with the resin of the light reflecting
(3) Since the frame
(第2実施形態)
次に、本発明の第2実施形態について説明する。
図11は、第2実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Rの詳細を説明する図である。図11(a)、図11(b)は、それぞれ樹脂付きリードフレームの多面付け体Rの平面図、裏面図を示し、図11(c)、図11(d)は、それぞれ図11(a)のc−c断面図、d−d断面図を示す。
なお、以下の説明及び図面において、前述した第1実施形態と同様の機能を果たす部分には、同一の符号又は末尾に同一の符号を付して、重複する説明を適宜省略する。
(Second Embodiment)
Next, a second embodiment of the present invention will be described.
FIG. 11 is a diagram for explaining the details of the multi-faced body R of the lead frame with resin according to the second embodiment. 11 (a) and 11 (b) show a plan view and a back view, respectively, of the multifaceted body R of the lead frame with resin, and FIGS. 11 (c) and 11 (d) are respectively the same as FIG. 11 (a). Cc cross-sectional view and dd cross-sectional view of FIG.
Note that, in the following description and drawings, the same reference numerals or the same reference numerals are given to the portions that perform the same functions as those in the first embodiment described above, and overlapping descriptions will be omitted as appropriate.
第2実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Rは、枠体Fの裏面に形成される枠体樹脂部220cの形状が、第1実施形態の枠体樹脂部20cの形状と相違する。
光反射樹脂層220は、図11に示すように、フレーム樹脂部220aと、リフレクタ樹脂部220bと、枠体樹脂部220cと、側面樹脂部220dとから構成される。
枠体樹脂部220cは、枠体Fの表面及び裏面の全面に形成される樹脂層である。また、枠体樹脂部220cは、枠体Fの裏面側の樹脂の厚みが、表面側の樹脂の厚みよりも厚く形成されている。より具体的には、枠体Fの表面側の枠体樹脂部220cは、その厚み寸法が、リフレクタ樹脂部220bの厚み寸法よりも小さく、極力薄くなるように形成されている。これに対して、枠体Fの裏面側の枠体樹脂部220cは、その厚み寸法が、表面側の枠体樹脂部220cの厚み寸法よりも大きくなるように形成され、本実施形態では、リフレクタ樹脂部220bの厚み寸法とほぼ同等に形成されている。
In the multifaceted body R of the lead frame with resin of the second embodiment, the shape of the
As shown in FIG. 11, the light reflecting
The frame
これにより、本実施形態の枠体樹脂部220cは、リードフレーム10の表裏面に形成される光反射樹脂層220の樹脂量を均等若しくは略均等にすることができ、上記反りの発生を抑制することができる。
なお、枠体樹脂部220cの厚み寸法は、リードフレームの多面付け体MSの表面に対するリフレクタ樹脂部220bや枠体Fの表面側の枠体樹脂部220cの占有率や、これらの樹脂部の厚み寸法等に応じて適宜変更することができる。
Thereby, the frame
The thickness dimension of the frame
以上の構成により、本実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Rは、上述の第1実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Rと同様の効果を奏することができる。特に、樹脂つきリードフレームの多面付け体Rは、上述したように、枠体Fの裏面側の枠体樹脂部220cの厚みを、表面側の枠体樹脂部220cの厚みよりも厚く形成しているので、リードフレーム10の表裏面に形成される樹脂量を均等または略均等にする。これにより、本実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Rは、樹脂の硬化過程において、反りが発生してしまうのを、第1実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Rの場合よりも効果的に抑制することができる。
With the above configuration, the multi-faceted body R of the lead frame with resin of the present embodiment can achieve the same effects as the multi-faceted body R of the lead frame with resin of the first embodiment described above. In particular, as described above, the multifaceted body R of the lead frame with resin is formed such that the thickness of the frame
(第3実施形態)
次に、本発明の第3実施形態について説明する。
図12は、第3実施形態のリードフレームの多面付け体MSの詳細を説明する図である。図12(a)、図12(b)は、それぞれリードフレームの多面付け体MSの平面図、裏面図を示し、図12(c)、図12(d)は、それぞれ図12(a)のc−c断面図、d−d断面図を示す。
図13は、第3実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Rの詳細を説明する図である。図13(a)、図13(b)は、それぞれ樹脂付きリードフレームの多面付け体Rの平面図、裏面図を示し、図13(c)、図13(d)は、それぞれ図13(a)のc−c断面図、d−d断面図を示す。
なお、以下の説明及び図面において、前述した第1実施形態と同様の機能を果たす部分には、同一の符号又は末尾に同一の符号を付して、重複する説明を適宜省略する。
(Third embodiment)
Next, a third embodiment of the present invention will be described.
FIG. 12 is a diagram for explaining the details of the multi-faced body MS of the lead frame of the third embodiment. 12 (a) and 12 (b) are a plan view and a back view, respectively, of the multi-faced body MS of the lead frame, and FIGS. 12 (c) and 12 (d) are views of FIG. 12 (a), respectively. A cc sectional view and a dd sectional view are shown.
FIG. 13 is a diagram for explaining the details of the multifaceted body R of the lead frame with resin according to the third embodiment. FIGS. 13A and 13B are a plan view and a back view, respectively, of a multifaceted body R of a lead frame with a resin, and FIGS. 13C and 13D are FIGS. Cc cross-sectional view and dd cross-sectional view of FIG.
Note that, in the following description and drawings, the same reference numerals or the same reference numerals are given to the portions that perform the same functions as those in the first embodiment described above, and overlapping descriptions will be omitted as appropriate.
第3実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Rは、枠体Fの形状が、第1実施形態の枠体Fの形状と相違する。
枠体Fは、リードフレーム10の集合体G毎に、リードフレーム10を固定する部材である。枠体Fは、図12に示すように、その裏面全面が、端子部11、12の外部端子面11b、12bに対して窪むように段部Dが形成されている。より具体的には、枠体Fの段部Dは、その窪んだ面が、連結部13の裏面と同一平面を形成している。
光反射樹脂層320は、図13に示すように、フレーム樹脂部320aと、リフレクタ樹脂部320bと、枠体樹脂部320cと、側面樹脂部320dとから構成される。
枠体樹脂部320cは、枠体Fの表面及び裏面の全面に形成される樹脂層である。また、枠体樹脂部320cは、枠体Fの裏面側に形成される樹脂が、枠体Fの段部D上に形成され、フレーム樹脂部320aと結合している。そのため、枠体樹脂部320cは、その裏面が、フレーム樹脂部320aの裏面及び端子部11、12の外部端子面11b、12bと略同一平面を形成しており、樹脂付きリードフレームの多面付け体Rの裏面を平坦にする。
The multi-faced body R of the lead frame with resin of the third embodiment is different from the shape of the frame F of the first embodiment in the shape of the frame F.
The frame body F is a member that fixes the
As shown in FIG. 13, the light reflecting
The frame
以上の構成により、本実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Rは、上述の第1実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Rと同様の効果を奏することができる。
また、本実施形態の樹脂つきリードフレームの多面付け体Rは、その裏面を平坦にすることができるので、特殊な治具を必要とすることなく、搬送装置等に載置することができる。
With the above configuration, the multi-faceted body R of the lead frame with resin of the present embodiment can achieve the same effects as the multi-faceted body R of the lead frame with resin of the first embodiment described above.
Moreover, since the back surface of the multifaceted body R of the lead frame with resin of the present embodiment can be flattened, it can be placed on a transport device or the like without requiring a special jig.
(第4実施形態)
次に、本発明の第4実施形態について説明する。
図14は、第4実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Rの詳細を説明する図である。図14(a)、図14(b)は、それぞれ樹脂付きリードフレームの多面付け体Rの平面図、裏面図を示し、図14(c)、図14(d)は、それぞれ図14(a)のc−c断面図、d−d断面図を示す。
なお、以下の説明及び図面において、前述した第1実施形態と同様の機能を果たす部分には、同一の符号又は末尾に同一の符号を付して、重複する説明を適宜省略する。
(Fourth embodiment)
Next, a fourth embodiment of the present invention will be described.
FIG. 14 is a diagram for explaining the details of the multifaceted body R of the lead frame with resin according to the fourth embodiment. 14 (a) and 14 (b) are a plan view and a back view, respectively, of the multifaceted body R of the lead frame with resin, and FIGS. 14 (c) and 14 (d) are respectively the same as FIG. 14 (a). Cc cross-sectional view and dd cross-sectional view of FIG.
Note that, in the following description and drawings, the same reference numerals or the same reference numerals are given to the portions that perform the same functions as those in the first embodiment described above, and overlapping descriptions will be omitted as appropriate.
第4実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Rは、枠体樹脂部420cの形状が、第1実施形態の枠体樹脂部20cの形状と相違する。
光反射樹脂層420は、図14に示すように、フレーム樹脂部420aと、リフレクタ樹脂部420bと、枠体樹脂部420cと、側面樹脂部420dとから構成される。
枠体樹脂部420cは、枠体Fの裏面の全面にのみ形成される樹脂層である。そのため、枠体Fの表面には、樹脂が形成されず金属面が表出する部分が存在することとなる。本実施形態の枠体樹脂部420cは、その厚み寸法が、リフレクタ樹脂部420bの厚み寸法と同等に形成されている。
側面樹脂部420dは、枠体樹脂部420cに連接して枠体Fの外周側面の全面に形成された樹脂層であり、枠体Fの裏面に形成された枠体樹脂部420cと結合している。
In the multifaceted body R of the lead frame with resin of the fourth embodiment, the shape of the frame
As shown in FIG. 14, the light reflecting
The
The
以上の構成により、本実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Rは、上述の第1実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Rと同様に、収納ケース50に収納された場合に、レール51との接触により外周側面から金属粉が発生してしまうのを防ぐことができる。これにより、樹脂付きリードフレームの多面付け体Rは、LED素子2を発光することができなくなる等の不具合を有する光半導体装置1が製造されてしまうのを抑制することができる。
また、樹脂つきリードフレームの多面付け体Rは、枠体Fの裏面にのみ枠体樹脂部220cを形成しているので、リードフレーム10の表裏面に形成される樹脂量を均等または略均等にする。これにより、本実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Rは、樹脂の硬化過程において、反りが発生してしまうのを第1実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Rの場合よりも効果的に抑制することができる。
更に、枠体Fの表面側に樹脂が形成されずに、金属面が表出する部分が設けられているので、その金属面に、アライメントマークを付すことができ、枠体Fを基準とした位置決めを行うことができる。なお、金属面には、アライメントマークの他に、ダイシング、ボンディング等のマークを付すことも可能である。
With the above configuration, the multi-faced body R of the resin-attached lead frame of the present embodiment is stored in the
In addition, since the multi-faced body R of the lead frame with resin forms the frame
Furthermore, since the resin surface is not formed on the surface side of the frame body F and a portion where the metal surface is exposed is provided, an alignment mark can be attached to the metal surface, and the frame body F is used as a reference. Positioning can be performed. In addition to the alignment marks, marks such as dicing and bonding can be attached to the metal surface.
(第5実施形態)
次に、本発明の第5実施形態について説明する。
図15は、第5実施形態のリードフレームの多面付け体MSの詳細を説明する図である。図15(a)、図15(b)は、それぞれリードフレームの多面付け体MSの平面図、裏面図を示し、図15(c)、図15(d)は、それぞれ図15(a)のc−c断面図、d−d断面図を示す。
図16は、第5実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Rの詳細を説明する図である。図16(a)、図16(b)は、それぞれ樹脂付きリードフレームの多面付け体Rの平面図、裏面図を示し、図16(c)、図16(d)は、それぞれ図16(a)のc−c断面図、d−d断面図を示す。
なお、以下の説明及び図面において、前述した第1実施形態と同様の機能を果たす部分には、同一の符号又は末尾に同一の符号を付して、重複する説明を適宜省略する。
(Fifth embodiment)
Next, a fifth embodiment of the present invention will be described.
FIG. 15 is a diagram for explaining the details of the multi-faced body MS of the lead frame of the fifth embodiment. FIGS. 15A and 15B are a plan view and a back view, respectively, of the multi-faced body MS of the lead frame, and FIGS. 15C and 15D are views of FIG. 15A, respectively. A cc sectional view and a dd sectional view are shown.
FIG. 16 is a diagram for explaining the details of the multifaceted body R of the lead frame with resin according to the fifth embodiment. 16 (a) and 16 (b) show a plan view and a back view of the multi-faced body R of the lead frame with resin, respectively, and FIGS. 16 (c) and 16 (d) respectively show FIG. 16 (a). Cc cross-sectional view and dd cross-sectional view of FIG.
Note that, in the following description and drawings, the same reference numerals or the same reference numerals are given to the portions that perform the same functions as those in the first embodiment described above, and overlapping descriptions will be omitted as appropriate.
第5実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Rは、枠体F及び枠体樹脂部520cの形状が、第1実施形態の枠体F及び枠体樹脂部20cの形状と相違する。
枠体Fは、図15に示すように、その裏面全面が、端子部11、12の外部端子面11b、12bに対して窪むように段部Dが形成されている。より具体的には、枠体Fの段部Dは、その窪んだ面が、連結部13の裏面と同一平面を形成している。
光反射樹脂層520は、図16に示すように、フレーム樹脂部520aと、リフレクタ樹脂部520bと、枠体樹脂部520cと、側面樹脂部520dとから構成される。
In the multifaceted body R of the lead frame with resin of the fifth embodiment, the shapes of the frame body F and the frame
As shown in FIG. 15, the frame body F is formed with a step portion D so that the entire back surface is recessed with respect to the external terminal surfaces 11 b and 12 b of the
As shown in FIG. 16, the light reflecting
枠体樹脂部520cは、枠体Fの裏面の全面にのみ形成される樹脂層である。そのため、枠体Fの表面には、樹脂が形成されず金属面が表出する部分が存在することとなる。枠体樹脂部520cは、枠体Fの段部D上に形成され、フレーム樹脂部520aと結合している。また、枠体樹脂部520cは、その裏面が、フレーム樹脂部520aの裏面及び端子部11、12の外部端子面11b、12bと略同一平面を形成しており、樹脂付きリードフレームの多面付け体Rの裏面を平坦にする。
側面樹脂部520dは、枠体樹脂部520cに連接して枠体Fの外周側面の全面に形成された樹脂層であり、枠体Fの裏面に形成された枠体樹脂部520cと結合している。
The frame
The
以上の構成により、本実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Rは、上述の第1実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Rと同様に、収納ケース50に収納された場合に、レール51との接触により外周側面から金属粉が発生してしまうのを防ぐことができる。これにより、樹脂付きリードフレームの多面付け体Rは、LED素子2を発光することができなくなる等の不具合を有する光半導体装置1が製造されてしまうのを抑制することができる。
With the above configuration, the multi-faced body R of the resin-attached lead frame of the present embodiment is stored in the
また、樹脂つきリードフレームの多面付け体Rは、枠体Fの裏面にのみ枠体樹脂部220cを形成しているので、リードフレーム10の表裏面に形成される樹脂量を均等または略均等にする。これにより、本実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Rは、樹脂の硬化過程において、上述の反りが発生してしまうのを抑制することができる。
更に、本実施形態の樹脂つきリードフレームの多面付け体Rは、その裏面を平坦にすることができるので、特殊な治具を必要とすることなく、搬送装置等に載置することができる。
また、樹脂つきリードフレームの多面付け体Rは、枠体Fの表面側に樹脂が形成されずに、金属面が表出する部分が設けられているので、その金属面に、アライメントマークを付することができ、枠体Fを基準とした位置決めを行うことができる。なお、金属面には、アライメントマークの他に、ダイシング、ボンディング等のマークを付すことも可能である。
In addition, since the multi-faced body R of the lead frame with resin forms the frame
Furthermore, since the back surface of the multifaceted body R of the lead frame with resin of the present embodiment can be flattened, it can be placed on a transport device or the like without requiring a special jig.
In addition, since the multi-faced body R of the lead frame with resin is not formed with resin on the surface side of the frame body F, and a metal surface is exposed, an alignment mark is attached to the metal surface. And positioning based on the frame F can be performed. In addition to the alignment marks, marks such as dicing and bonding can be attached to the metal surface.
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は前述した実施形態に限定されるものではなく、後述する変形形態のように種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の技術的範囲内である。また、実施形態に記載した効果は、本発明から生じる最も好適な効果を列挙したに過ぎず、本発明による効果は、実施形態に記載したものに限定されない。なお、前述した実施形態及び後述する変形形態は、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。 Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications and changes can be made as in the modifications described later, and these are also included in the present invention. Within the technical scope. In addition, the effects described in the embodiments are merely a list of the most preferable effects resulting from the present invention, and the effects of the present invention are not limited to those described in the embodiments. It should be noted that the above-described embodiment and modifications described later can be used in appropriate combination, but detailed description thereof is omitted.
図17は、本発明の変形形態の樹脂付リードフレームの多面付け体Rを示す図である。
図18は、本発明の変形形態の光半導体装置の多面付け体を示す図である。
(変形形態)
(1)各実施形態においては、樹脂付きリードフレームの多面付け体Rは、枠体Fの外周側面の全面に側面樹脂部20dが形成される例を示したがこれに限定されない。例えば、図17(a)に示すように、側面樹脂部620dは、枠体Fの外周側面のうち収納ケース50に挿入される方向(X方向)に平行な辺の側面に形成されるようにしてもよい。こうすることで、レール51と金属面とが接触しない部分に対しては、樹脂部を形成するのを省略することができ、樹脂付きリードフレームの多面付け体Rで使用する樹脂量を低減することができる。
また、図17(b)に示すように、側面樹脂部720dは、枠体Fの収納ケース50に挿入される方向(例えば、枠体Fの長手方向)に平行な辺の側面に、収納ケース50のレール51との挿入に支障がない程度に、部分的に形成してもよい。
FIG. 17 is a view showing a multifaceted body R of a lead frame with resin according to a modification of the present invention.
FIG. 18 is a diagram showing a multifaceted body of an optical semiconductor device according to a modification of the present invention.
(Deformation)
(1) In each of the embodiments, the multifaceted body R of the lead frame with a resin has been illustrated in which the
Further, as shown in FIG. 17B, the
(2)各実施形態において、枠体Fの裏面に形成される枠体樹脂部20cは、枠体Fの裏面全面に形成される例を示したが、これに限定されない。例えば、枠体Fの裏面のうち、端子部11、12間の空隙部Sに対応する位置にのみ枠体樹脂部を形成するようにしてもよい。こうすることで、樹脂付きリードフレームの多面付け体Rは、光反射樹脂層で使用する樹脂量を更に低減することができる。
また、枠体Fの表面側の枠体樹脂部20cについても、同様に、枠体Fの表面全面に形成される場合に限定されず、枠体Fの表面の一部に形成されるようにしてもよい。
更に、枠体Fにアライメントマークや、治具孔が設けられている場合、枠体樹脂部は、このアライメントマークや治具孔を避けるようにして形成されるようにしてもよい。こうすることで、枠体Fを枠体樹脂部で覆うような構成とした場合においても、枠体Fに設けられたアライメントマークや治具孔を利用することができ、樹脂付きリードフレームの多面付け体Rのアライメントや搬送を容易にすることができる。
(2) In each embodiment, although the
Similarly, the
Furthermore, when the alignment mark and jig hole are provided in the frame body F, the frame body resin portion may be formed so as to avoid the alignment mark and jig hole. By doing so, even when the frame F is configured to be covered with the frame resin portion, the alignment marks and jig holes provided on the frame F can be used, and the multiple faces of the lead frame with resin can be used. The attachment R can be easily aligned and transported.
(3)各実施形態においては、リードフレーム10は、端子部11及び端子部12を備える例を示したが、リードフレームは、3以上の端子部を備えていてもよい。例えば、図18に示すように、端子部を3つ設け、その1つ(811)にはLED素子2を実装し、他の2つ(812)にはボンディングワイヤ2aを介してLED素子2と接続してもよい。
(4)各実施形態において、リードフレーム10は、LED素子2を載置、接続するダイパッドとなる端子部11と、LED素子2とボンディングワイヤ2aを介して接続されるリード側端子部となる端子部12とから構成する例を説明したが、これに限定されない。例えば、LED素子2が2つの端子部を跨ぐようにして載置、接続されるようにしてもよい。この場合、2つの端子部のそれぞれの外形は、同等に形成されてもよい。
(3) In each embodiment, although the
(4) In each embodiment, the
(5)第1実施形態、第2実施形態、第4実施形態において、枠体樹脂部20cは、その内周縁が、リフレクタ樹脂部220bの外形とほぼ重なる位置に形成されている例を示したが、これに限定されるものではない。例えば、枠体樹脂部は、その内周縁が、リフレクタ樹脂部220bの外形よりも外側に位置するように形成してもよい。
(6)各実施形態においては、リードフレーム10は、LED素子2等の光半導体素子を接続する光半導体装置1に使用する例を示したが、光半導体素子以外の半導体素子を用いた半導体装置にも使用することができる。
(5) In the first embodiment, the second embodiment, and the fourth embodiment, the
(6) In each embodiment, although the
1 光半導体装置
2 LED素子
10 リードフレーム
11 端子部
12 端子部
13 連結部
20 光反射樹脂層
20a フレーム樹脂部
20b リフレクタ樹脂部
20c 枠体樹脂部
30 透明樹脂層
50 収納ケース
51 レール
F 枠体
G 集合体
M 凹部
MS リードフレームの多面付け体
R 樹脂付きリードフレームの多面付け体
S 空隙部
DESCRIPTION OF
Claims (6)
前記リードフレームの外周及び前記端子部間に形成されるフレーム樹脂部と、前記リードフレームの表面に突出して形成されるリフレクタ樹脂部と、前記枠体の表面又は裏面の少なくとも一部に形成され前記フレーム樹脂部に連接する枠体樹脂部と、前記枠体樹脂部に連接し前記枠体の外周側面の少なくとも一部に形成される側面樹脂部とから構成される樹脂層と、
を備える樹脂付きリードフレームの多面付け体。 A lead frame multi-faced body having a plurality of terminal portions, and a lead frame used in an optical semiconductor device in which an optical semiconductor element is connected to at least one surface of the terminal parts;
A frame resin portion formed between the outer periphery of the lead frame and the terminal portion, a reflector resin portion formed to protrude from the surface of the lead frame, and formed on at least a part of the front surface or the back surface of the frame body A resin layer composed of a frame resin portion connected to the frame resin portion, and a side resin portion connected to the frame resin portion and formed on at least a part of the outer peripheral side surface of the frame;
A multi-faceted body of a lead frame with resin comprising:
前記枠体は、その裏面の少なくとも一部が、前記端子部の裏面に対して窪んでおり、
前記枠体樹脂部は、前記枠体の窪んだ部分に形成されること、
を特徴とする樹脂付きリードフレームの多面付け体。 In the multi-faced body of the lead frame with resin according to claim 1,
The frame body has at least a part of the back surface recessed with respect to the back surface of the terminal portion,
The frame resin portion is formed in a recessed portion of the frame;
Multi-faceted body of resin-attached lead frame characterized by
前記枠体樹脂部は、前記枠体の裏面に形成されること、
を特徴とする樹脂付きリードフレームの多面付け体。 In the multi-faced body of the lead frame with resin according to claim 1 or 2,
The frame body resin portion is formed on a back surface of the frame;
Multi-faceted body of resin-attached lead frame characterized by
前記枠体樹脂部は、前記枠体の両面に形成されること、
を特徴とする樹脂付きリードフレームの多面付け体。 In the multi-faced body of the lead frame with resin according to claim 1 or 2,
The frame resin part is formed on both sides of the frame;
Multi-faceted body of resin-attached lead frame characterized by
前記枠体樹脂部は、前記枠体の裏面側の樹脂の厚みが、表面側の樹脂の厚みよりも厚く形成されていること、
を特徴とする樹脂付きリードフレームの多面付け体。 In the multi-faced body of the lead frame with resin according to claim 4,
The frame resin part is formed such that the thickness of the resin on the back side of the frame is thicker than the thickness of the resin on the front side,
Multi-faceted body of resin-attached lead frame characterized by
前記樹脂付きリードフレームの多面付け体の前記各リードフレームの前記端子部のうち少なくとも一つに接続される光半導体素子と、
前記樹脂付きリードフレームの多面付け体の前記光半導体素子が接続される側の面に形成され、前記光半導体素子を覆う透明樹脂層とを備えること、
を特徴とする光半導体装置の多面付け体。 A multi-faced body of a resin-attached lead frame according to any one of claims 1 to 5,
An optical semiconductor element connected to at least one of the terminal portions of each lead frame of the multi-faced body of the resin-attached lead frame;
A transparent resin layer that is formed on a surface to which the optical semiconductor element is connected of the multifaceted body of the lead frame with resin, and covers the optical semiconductor element;
A multifaceted body of an optical semiconductor device characterized by the above.
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