JP6209826B2 - Lead frame, lead frame with resin, multi-sided body of lead frame, multi-sided body of lead frame with resin, optical semiconductor device, multi-sided body of optical semiconductor device - Google Patents

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Description

本発明は、光半導体素子を実装する光半導体装置用のリードフレーム、樹脂付きリードフレーム、リードフレームの多面付け体、樹脂付きリードフレームの多面付け体、光半導体装置、光半導体装置の多面付け体に関するものである。   The present invention relates to a lead frame for an optical semiconductor device on which an optical semiconductor element is mounted, a lead frame with resin, a multi-sided body of a lead frame, a multi-sided body of a lead frame with resin, an optical semiconductor device, and a multi-sided body of an optical semiconductor device. It is about.

従来、ＬＥＤ素子等の光半導体素子は、電気的に絶縁され樹脂層で覆われた２つの端子部を有するリードフレームに固定され、その周囲を透明樹脂層によって覆い、光半導体装置として照明装置等の基板に実装されていた（例えば、特許文献１）。
しかし、このような光半導体装置は、ＬＥＤ素子の発光や、実装した基板の熱等によって、樹脂層及びリードフレームがそれぞれ伸びてしまう場合がある。ここで、リードフレームの端子部は、銅等の導電材料から形成され、樹脂層は、熱可塑性樹脂等から形成されているので、両者の線膨張係数の差によって、樹脂層がリードフレームの端子部から剥離してしまうことがある。 2. Description of the Related Art Conventionally, an optical semiconductor element such as an LED element is fixed to a lead frame having two terminal portions that are electrically insulated and covered with a resin layer, and its periphery is covered with a transparent resin layer. (For example, Patent Document 1).
However, in such an optical semiconductor device, the resin layer and the lead frame may extend due to light emission of the LED element, heat of the mounted substrate, and the like. Here, since the terminal portion of the lead frame is formed of a conductive material such as copper and the resin layer is formed of a thermoplastic resin or the like, the resin layer is a terminal of the lead frame due to the difference in linear expansion coefficient between the two. May peel from the part.

また、このような光半導体装置の中には、端子部を覆う樹脂層が、光半導体素子を囲むようにして、光半導体素子の搭載面から突出するようにリフレクタが形成され、光半導体素子から発光する光の方向等を制御するものがある。このような光半導体装置は、リードフレームのリフレクタが形成される側の面が、その面とは反対側の面に比べ樹脂が多く形成されるため、温度変化が生じた場合において、金属及び樹脂の線膨張率の差によって反りが生じてしまい、上述の剥離現象の発生をより顕著にする場合がある。   Further, in such an optical semiconductor device, a reflector is formed so that a resin layer covering the terminal portion surrounds the optical semiconductor element so as to protrude from the mounting surface of the optical semiconductor element, and light is emitted from the optical semiconductor element. Some control the direction of light. In such an optical semiconductor device, the surface of the lead frame on which the reflector is formed is formed with a larger amount of resin than the surface opposite to the surface. There is a case where warpage occurs due to the difference in the linear expansion coefficient, and the occurrence of the above-described peeling phenomenon becomes more remarkable.

特開２０１１−１５１０６９号公報JP 2011-151069 A

本発明の課題は、各端子部と樹脂層との剥離を抑制することができるリードフレーム、樹脂付きリードフレーム、リードフレームの多面付け体、樹脂付きリードフレームの多面付け体、光半導体装置、光半導体装置の多面付け体を提供することである。   The subject of this invention is the lead frame which can suppress peeling with each terminal part and a resin layer, the lead frame with resin, the multi-sided body of a lead frame, the multi-sided body of the lead frame with resin, an optical semiconductor device, light A multifaceted body of a semiconductor device is provided.

本発明は、以下のような解決手段により、前記課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。また、符号を付して説明した構成は、適宜改良してもよく、また、少なくとも一部を他の構成物に代替してもよい。   The present invention solves the above problems by the following means. In addition, in order to make an understanding easy, although the code | symbol corresponding to embodiment of this invention is attached | subjected and demonstrated, it is not limited to this. In addition, the configuration described with reference numerals may be improved as appropriate, or at least a part thereof may be replaced with another configuration.

第１の発明は、複数の端子部（１１、１２）を有し、前記端子部のうち少なくとも一つに光半導体素子（２）が接続される光半導体装置（１）に用いられるリードフレーム（１０）において、前記端子部は、その外周側面の少なくとも一部に、その表面側及び裏面側の外周縁（ｐ１、ｐ２）よりも外側に突出する凸部（Ｍ）を有すること、を特徴とするリードフレームである。
第２の発明は、第１の発明のリードフレーム（１０）において、前記凸部（Ｍ）は、前記各端子部（１１、１２）の互いに対向する辺の外周側面に形成されること、を特徴とするリードフレームである。
第３の発明は、第２の発明のリードフレーム（２１０）において、前記凸部（Ｍ）は、前記各端子部（２１１、２１２）の互いに対向する辺の外周側面に交互に形成されること、を特徴とするリードフレームである。
第４の発明は、第１の発明から第３の発明までのいずれかのリードフレーム（１０）において、前記凸部（Ｍ）は、その先端部が、前記端子部（１１、１２）の厚み方向へ湾曲していること、を特徴とするリードフレームである。
第５の発明は、第１の発明から第４の発明までのいずれかのリードフレーム（１０）において、前記凸部（Ｍ）は、その先端部が、２以上に分岐していること、を特徴とするリードフレームである。
第６の発明は、第１の発明から第５の発明までのいずれかのリードフレーム（１０）において、前記凸部（Ｍ）は、その厚みが、前記端子部（１１、１２）の外周側面との付け根部分からその先端部に向かって太くなるように形成されること、を特徴とするリードフレームである。 A first invention has a plurality of terminal portions (11, 12), and a lead frame (1) used for an optical semiconductor device (1) to which an optical semiconductor element (2) is connected to at least one of the terminal portions. 10), wherein the terminal portion has, on at least a part of the outer peripheral side surface thereof, a convex portion (M) protruding outward from the outer peripheral edges (p1, p2) on the front surface side and the back surface side. Lead frame.
According to a second aspect of the present invention, in the lead frame (10) according to the first aspect, the protrusion (M) is formed on an outer peripheral side surface of each terminal portion (11, 12) facing each other. This is a featured lead frame.
According to a third aspect of the present invention, in the lead frame (210) of the second aspect, the convex portions (M) are alternately formed on the outer peripheral side surfaces of the opposing sides of the terminal portions (211 and 212). The lead frame characterized by the above.
According to a fourth aspect of the present invention, in any one of the lead frames (10) from the first aspect to the third aspect, the protrusion (M) has a tip portion that is the thickness of the terminal portion (11, 12). The lead frame is characterized by being bent in a direction.
According to a fifth aspect of the invention, in any one of the lead frames (10) from the first aspect to the fourth aspect of the invention, the convex part (M) has a tip part branched into two or more. This is a featured lead frame.
According to a sixth invention, in any one of the lead frames (10) from the first invention to the fifth invention, the convex portion (M) has an outer peripheral side surface of the terminal portion (11, 12). The lead frame is characterized in that the lead frame is formed so as to become thicker from the base part toward the tip part.

第７の発明は、第１の発明から第６の発明までのいずれかのリードフレーム（１０）と、前記リードフレームの前記端子部（１１、１２）の外周側面及び前記端子部間に形成されるフレーム樹脂部（２０ａ）を有する樹脂層（２０）と、を備える樹脂付きリードフレームである。
第８の発明は、第７の発明の樹脂付きリードフレームにおいて、前記樹脂層（２０）は、前記リードフレーム（１０）の前記光半導体素子（１）が接続される側の面に突出して形成されるリフレクタ樹脂部（２０ｂ）を有すること、を特徴とする樹脂付きリードフレームである。 The seventh invention is formed between any one of the lead frames (10) from the first invention to the sixth invention and the outer peripheral side surface of the terminal portion (11, 12) of the lead frame and the terminal portion. And a resin layer (20) having a frame resin portion (20a).
According to an eighth aspect of the present invention, in the lead frame with resin of the seventh aspect, the resin layer (20) is formed to project from a surface of the lead frame (10) on the side to which the optical semiconductor element (1) is connected. It is a lead frame with resin characterized by having the reflector resin part (20b) to be performed.

第９の発明は、第１の発明から第６の発明までのいずれかのリードフレーム（１０）が枠体（Ｆ）に多面付けされていること、を特徴とするリードフレームの多面付け体（ＭＳ）である。   A ninth aspect of the present invention is a lead frame multi-faced body characterized in that any one of the lead frames (10) from the first aspect to the sixth aspect of the invention is multi-faced to the frame body (F). MS).

第１０の発明は、第７の発明又は第８の発明の樹脂付きリードフレームが多面付けされていること、を特徴とする樹脂付きリードフレームの多面付け体（Ｒ）である。   A tenth aspect of the present invention is a multi-faced body (R) for a resin-attached lead frame, characterized in that the lead-frame with resin of the seventh or eighth aspect is multi-faced.

第１１の発明は、第７の発明又は第８の発明の樹脂付きリードフレームと、前記樹脂付きリードフレームの前記端子部（１１、１２）のうち少なくとも一つに接続される光半導体素子（２）と、前記樹脂付きリードフレームの前記光半導体素子が接続される側の面に形成され、前記光半導体素子を覆う透明樹脂層（３０）と、を備える光半導体装置（１）である。   The eleventh invention is an optical semiconductor element (2) connected to at least one of the lead frame with resin of the seventh or eighth invention and the terminal portions (11, 12) of the lead frame with resin. ) And a transparent resin layer (30) formed on the surface of the lead frame with resin to which the optical semiconductor element is connected, and covering the optical semiconductor element (1).

第１２の発明は、第１１の発明の光半導体装置（１）が多面付けされていること、を特徴とする光半導体装置の多面付け体である。   A twelfth aspect of the present invention is a multifaceted body of an optical semiconductor device characterized in that the optical semiconductor device (1) of the eleventh aspect is multifaceted.

本発明によれば、リードフレーム、樹脂付きリードフレーム、リードフレームの多面付け体、樹脂付きリードフレームの多面付け体、光半導体装置、光半導体装置の多面付け体は、端子部から樹脂層が剥離してしまうのを抑制することができる。   According to the present invention, a lead frame, a lead frame with a resin, a multi-sided body of a lead frame, a multi-sided body of a lead frame with a resin, an optical semiconductor device, and a multi-sided body of an optical semiconductor device have a resin layer peeled from a terminal portion. Can be suppressed.

第１実施形態の光半導体装置１の全体構成を示す図である。1 is a diagram illustrating an overall configuration of an optical semiconductor device 1 according to a first embodiment. 第１実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳの詳細を説明する図である。It is a figure explaining the detail of the multi-faced body MS of the lead frame of 1st Embodiment. 第１実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの詳細を説明する図である。It is a figure explaining the detail of the multi-faced body R of the lead frame with resin of 1st Embodiment. 第１実施形態のリードフレーム１０の端子部間の断面の詳細を説明する図である。It is a figure explaining the detail of the cross section between the terminal parts of the lead frame 10 of 1st Embodiment. 第１実施形態の光半導体装置１の他の形態を説明する図である。It is a figure explaining the other form of the optical semiconductor device 1 of 1st Embodiment. 第１実施形態のリードフレーム１０の製造過程を説明する図である。It is a figure explaining the manufacturing process of the lead frame 10 of 1st Embodiment. 第１実施形態のリードフレーム１０の他の製造過程を説明する図である。It is a figure explaining other manufacturing processes of lead frame 10 of a 1st embodiment. 第１実施形態の光半導体装置１の多面付け体を示す図である。It is a figure which shows the multi-faced body of the optical semiconductor device 1 of 1st Embodiment. 第１実施形態の光半導体装置１の製造過程を説明する図である。It is a figure explaining the manufacturing process of the optical semiconductor device 1 of 1st Embodiment. トランスファ成形の概略を説明する図である。It is a figure explaining the outline of transfer molding. インジェクション成形の概略を説明する図である。It is a figure explaining the outline of injection molding. 第１実施形態のリードフレーム１０に設けられた凸部Ｍの他の形態を説明する図である。It is a figure explaining the other form of the convex part M provided in the lead frame 10 of 1st Embodiment. 第２実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳの詳細を説明する図である。It is a figure explaining the detail of the multi-faced body MS of the lead frame of 2nd Embodiment. 第２実施形態の端子部間の断面の詳細を説明する図である。It is a figure explaining the detail of the cross section between the terminal parts of 2nd Embodiment.

（第１実施形態）
以下、図面等を参照して、本発明の第１実施形態について説明する。
図１は、第１実施形態の光半導体装置１の全体構成を示す図である。
図１（ａ）は、光半導体装置１の平面図を示し、図１（ｂ）は、光半導体装置１の側面図を示し、図１（ｃ）は、光半導体装置１の裏面図を示す。図１（ｄ）は、図１（ａ）のｄ−ｄ断面図を示す。
図２は、第１実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳの詳細を説明する図である。
図２（ａ）、図２（ｂ）は、それぞれリードフレームの多面付け体ＭＳの平面図、裏面図を示し、図２（ｃ）、図２（ｄ）は、それぞれ図２（ａ）のｃ−ｃ断面図、ｄ−ｄ断面図を示す。
図３は、第１実施形態の光反射樹脂層２０が形成された樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの詳細を説明する図である。
図３（ａ）、図３（ｂ）は、それぞれ、樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの平面図、裏面図を示し、図３（ｃ）、図３（ｄ）は、それぞれ図３（ａ）のｃ−ｃ断面図と、ｄ−ｄ断面図を示す。
図４は、第１実施形態のリードフレーム１０の端子部間の断面の詳細を説明する図である。図４（ａ）は、図２（ｃ）のＡ部詳細を示す図であり、図４（ｂ）は、図３（ｃ）のＢ部詳細を示す図である。
各図において、光半導体装置１の平面図における左右方向をＸ方向、上下方向をＹ方向、厚み方向をＺ方向とする。 (First embodiment)
Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings and the like.
FIG. 1 is a diagram illustrating an overall configuration of an optical semiconductor device 1 according to the first embodiment.
FIG. 1A shows a plan view of the optical semiconductor device 1, FIG. 1B shows a side view of the optical semiconductor device 1, and FIG. 1C shows a back view of the optical semiconductor device 1. . FIG.1 (d) shows the dd sectional drawing of Fig.1 (a).
FIG. 2 is a diagram illustrating details of the multi-faced body MS of the lead frame according to the first embodiment.
2 (a) and 2 (b) show a plan view and a back view of the multi-faced body MS of the lead frame, respectively, and FIGS. 2 (c) and 2 (d) respectively show FIG. 2 (a). A cc sectional view and a dd sectional view are shown.
FIG. 3 is a diagram for explaining the details of the multifaceted body R of the lead frame with resin on which the light reflecting resin layer 20 of the first embodiment is formed.
3 (a) and 3 (b) show a plan view and a back view of the multifaceted body R of the lead frame with resin, respectively, and FIG. 3 (c) and FIG. 3 (d) respectively show FIG. The cc sectional view of a) and the dd sectional view are shown.
FIG. 4 is a diagram illustrating details of a cross section between the terminal portions of the lead frame 10 of the first embodiment. 4A is a diagram showing details of the A part of FIG. 2C, and FIG. 4B is a diagram showing details of the B part of FIG. 3C.
In each figure, the horizontal direction in the plan view of the optical semiconductor device 1 is the X direction, the vertical direction is the Y direction, and the thickness direction is the Z direction.

光半導体装置１は、外部機器等の基板に取り付けられることによって、実装したＬＥＤ素子２が発光する照明装置である。光半導体装置１は、図１に示すように、ＬＥＤ素子２（光半導体素子）、リードフレーム１０、光反射樹脂層２０（樹脂層）、透明樹脂層３０を備える。
光半導体装置１は、多面付けされたリードフレーム１０（リードフレームの多面付け体ＭＳ、図２参照）に光反射樹脂層２０を形成して樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒ（図３参照）を作製し、ＬＥＤ素子２を電気的に接続し、透明樹脂層３０を形成して、パッケージ単位に切断（ダイシング）することによって製造される（詳細は後述する）。
ＬＥＤ素子２は、発光層として一般に用いられるＬＥＤ（発光ダイオード）の素子であり、例えば、ＧａＰ、ＧａＡｓ、ＧａＡｌＡｓ、ＧａＡｓＰ、ＡｌＩｎＧａＰ等の化合物半導体単結晶、又は、ＩｎＧａＮ等の各種ＧａＮ系化合物半導体単結晶からなる材料を適宜選ぶことにより、紫外光から赤外光に渡る発光波長を選択することができる。 The optical semiconductor device 1 is an illumination device in which the mounted LED element 2 emits light when attached to a substrate such as an external device. As shown in FIG. 1, the optical semiconductor device 1 includes an LED element 2 (optical semiconductor element), a lead frame 10, a light reflecting resin layer 20 (resin layer), and a transparent resin layer 30.
In the optical semiconductor device 1, the light reflecting resin layer 20 is formed on the multi-sided lead frame 10 (lead-frame multi-sided body MS, see FIG. 2) to form a multi-sided body R of the lead frame with resin (see FIG. 3). Is manufactured by electrically connecting the LED elements 2, forming the transparent resin layer 30, and cutting (dicing) into package units (details will be described later).
The LED element 2 is an LED (light emitting diode) element generally used as a light emitting layer. For example, a compound semiconductor single crystal such as GaP, GaAs, GaAlAs, GaAsP, and AlInGaP, or various GaN compound semiconductor single elements such as InGaN are used. By appropriately selecting a material made of crystals, an emission wavelength ranging from ultraviolet light to infrared light can be selected.

リードフレーム１０は、一対の端子部、すなわち、ＬＥＤ素子２が載置、接続される端子部１１と、ボンディングワイヤ２ａを介してＬＥＤ素子２に接続される端子部１２とから構成される。
端子部１１、１２は、それぞれ導電性のある材料、例えば、銅、銅合金、４２合金（Ｎｉ４０．５％〜４３％のＦｅ合金）等により形成されており、本実施形態では、熱伝導及び強度の観点から銅合金から形成されている。
端子部１１、１２は、図２に示すように、互いに対向する辺の間に空隙部Ｓが形成されており、電気的に独立している。端子部１１、１２は、１枚の金属基板（銅板）をプレス又はエッチング加工することにより形成されるため、両者の厚みは同等である。 The lead frame 10 includes a pair of terminal portions, that is, a terminal portion 11 on which the LED element 2 is placed and connected, and a terminal portion 12 connected to the LED element 2 through a bonding wire 2a.
Each of the terminal portions 11 and 12 is formed of a conductive material, for example, copper, a copper alloy, 42 alloy (Ni 40.5% to 43% Fe alloy), etc. In this embodiment, heat conduction and It is formed from a copper alloy from the viewpoint of strength.
As shown in FIG. 2, the terminal portions 11 and 12 have a gap S formed between sides facing each other, and are electrically independent. Since the terminal portions 11 and 12 are formed by pressing or etching a single metal substrate (copper plate), the thicknesses of both are the same.

端子部１１は、図１に示すように、その表面にＬＥＤ素子２が載置、接続されるＬＥＤ端子面１１ａが形成され、また、その裏面に外部機器に実装される外部端子面１１ｂが形成される、いわゆるダイパッドを構成する。端子部１１は、ＬＥＤ素子２が載置されるため、端子部１２に比べ、その外形が大きく形成されている。
端子部１２は、その表面にＬＥＤ素子２のボンディングワイヤ２ａが接続されるＬＥＤ端子面１２ａが形成され、また、その裏面に外部機器に実装される外部端子面１２ｂが形成される、いわゆるリード側端子部を構成する。
端子部１１、１２は、その表面及び裏面にめっき層Ｃが形成されており（図６（ｅ）参照）、表面側のめっき層Ｃは、ＬＥＤ素子２の発する光を反射する反射層としての機能を有し、裏面側のめっき層Ｃは、外部機器に実装されるときの半田の溶着性を高める機能を有する。 As shown in FIG. 1, the terminal portion 11 has an LED terminal surface 11a on which the LED element 2 is mounted and connected on the surface thereof, and an external terminal surface 11b mounted on an external device on the back surface. The so-called die pad is formed. Since the LED element 2 is placed on the terminal portion 11, the outer shape of the terminal portion 11 is larger than that of the terminal portion 12.
The terminal portion 12 has an LED terminal surface 12a connected to the bonding wire 2a of the LED element 2 formed on the surface thereof, and an external terminal surface 12b mounted on an external device formed on the back surface of the terminal portion 12 so-called lead side. Configure the terminal part.
The terminal portions 11 and 12 have plating layers C formed on the front and back surfaces thereof (see FIG. 6E), and the plating layer C on the front surface side serves as a reflective layer that reflects the light emitted from the LED element 2. The plating layer C on the back side has a function of improving the solderability when mounted on an external device.

端子部１１、１２は、図２に示すように、それぞれの表面の連結部１３を除く外周部分がＬＥＤ端子面１１ａ、１２ａに窪みが形成され、また、それぞれの裏面の外周部分の全体が外部端子面１１ｂ、１２ｂに窪みが形成されている。そのため、端子部１１、１２は、図４（ａ）に示すように、それぞれ連結部１３を除いた外周側面に、表面側の外周縁ｐ１及び裏面側の外周縁ｐ２よりも外側（各端子部の中央とは反対側）に突出する凸部Ｍが形成される。
また、本実施形態では、端子部１１、１２は、表面側の外周縁ｐ１が、裏面側の外周縁ｐ２よりも外側に形成されている。すなわち、各端子部１１、１２は、図２に示すように、表面側のＬＥＤ端子面１１ａ、１２ａの方が、裏面側の外部端子面１１ｂ、１２ｂに比べ面積が広くなるように形成される。
ここで、各端子部１１、１２の表面側の外周縁ｐ１とは、各端子部の表面（ＬＥＤ端子面１１ａ、１２ａ）と外周側面との境界をいい、また、裏面側の外周縁ｐ２とは、各端子部の裏面（外部端子面１１ｂ、１２ｂ）と外周側面との境界をいう。 As shown in FIG. 2, the terminal portions 11 and 12 have recesses formed in the LED terminal surfaces 11a and 12a in the outer peripheral portions except for the connection portions 13 on the respective surfaces, and the entire outer peripheral portions on the respective back surfaces are externally provided. Recesses are formed in the terminal surfaces 11b and 12b. Therefore, as shown in FIG. 4A, the terminal portions 11 and 12 are arranged on the outer peripheral side surface excluding the connecting portion 13, respectively, outside the outer peripheral edge p1 on the front surface side and the outer peripheral edge p2 on the rear surface side (each terminal portion). The convex part M which protrudes on the opposite side to the center of (1) is formed.
Moreover, in this embodiment, the terminal parts 11 and 12 are formed so that the outer peripheral edge p1 on the front surface side is outside the outer peripheral edge p2 on the rear surface side. That is, as shown in FIG. 2, each of the terminal portions 11 and 12 is formed such that the surface side LED terminal surfaces 11 a and 12 a have a larger area than the back side external terminal surfaces 11 b and 12 b. .
Here, the outer peripheral edge p1 on the front surface side of each terminal portion 11, 12 refers to the boundary between the surface (LED terminal surface 11a, 12a) of each terminal portion and the outer peripheral side surface, and the outer peripheral edge p2 on the back surface side. Means the boundary between the back surface (external terminal surface 11b, 12b) of each terminal part and the outer peripheral side surface.

凸部Ｍは、図４（ａ）に示すように、その断面が略三角形状に形成され、その外周縁ｐ３が、各端子部の表面側の外周縁ｐ１及び裏面側の外周縁ｐ２よりも外側に位置するように形成されている。また、本実施形態では、凸部Ｍは、各端子部１１、１２の厚み方向（Ｚ方向）において、外周側面のほぼ中央に形成される例を示すがこれに限定されるものでなく、表面側又は裏面側に偏るようにして形成してもよい。
リードフレーム１０は、端子部１１、１２の周囲や、端子部１１、１２間の空隙部Ｓ等に、光反射樹脂層２０を形成する樹脂が充填される場合に、図３に示すように、凸部Ｍの表面及び裏面にも樹脂が充填され、光反射樹脂層２０と各端子部１１、１２との接触面積を大きくしている。また、図４（ｂ）に示すように、凸部Ｍが存在することによって、厚み方向において、光反射樹脂層２０がリードフレーム１０を挟み込む構成にすることができる。 As shown in FIG. 4A, the convex portion M has a substantially triangular cross section, and the outer peripheral edge p3 is more than the outer peripheral edge p1 on the front surface side and the outer peripheral edge p2 on the back surface side of each terminal portion. It is formed so as to be located outside. Moreover, in this embodiment, although the convex part M shows the example formed in the approximate center of an outer peripheral side surface in the thickness direction (Z direction) of each terminal part 11 and 12, it is not limited to this, Surface You may form so that it may be biased to the side or back side.
As shown in FIG. 3, when the lead frame 10 is filled with the resin that forms the light reflecting resin layer 20 around the terminal portions 11 and 12, or the gap S between the terminal portions 11 and 12, etc. The front and back surfaces of the convex portions M are filled with resin to increase the contact area between the light reflecting resin layer 20 and the terminal portions 11 and 12. Further, as shown in FIG. 4B, the presence of the convex portion M allows the light reflecting resin layer 20 to sandwich the lead frame 10 in the thickness direction.

これにより、凸部Ｍは、厚み方向において、光反射樹脂層２０がリードフレーム１０から剥離し、抜けてしまうのを抑制するとともに、端子部１１、１２の水平面内（ＸＹ面内）において、光反射樹脂層２０が各端子部１１、１２から剥離してしまうのを抑制する。特に、各端子部の表面側の外周縁ｐ１が、裏面側の外周縁ｐ２よりも外側に形成されているので、光反射樹脂層２０は、リードフレーム１０の表面側に対する抜けをより効果的に抑制することができる。ここで、凸部Ｍの表面とは、各端子部の表面側の凸部の傾斜した面をいい、凸部Ｍの裏面とは、各端子部の裏面側の凸部の傾斜した面をいう。   As a result, the convex portion M suppresses the light reflecting resin layer 20 from being peeled off from the lead frame 10 and coming off in the thickness direction, and in the horizontal plane (XY plane) of the terminal portions 11 and 12. The reflective resin layer 20 is prevented from peeling from the terminal portions 11 and 12. Particularly, since the outer peripheral edge p1 on the front surface side of each terminal portion is formed outside the outer peripheral edge p2 on the rear surface side, the light-reflecting resin layer 20 more effectively escapes from the front surface side of the lead frame 10. Can be suppressed. Here, the surface of the convex portion M refers to the inclined surface of the convex portion on the surface side of each terminal portion, and the back surface of the convex portion M refers to the inclined surface of the convex portion on the back surface side of each terminal portion. .

連結部１３は、枠体Ｆ内に多面付けされた各リードフレーム１０の端子部１１、１２を、隣接する他のリードフレーム１０の端子部や、枠体Ｆに連結している。連結部１３は、多面付けされた各リードフレーム１０上にＬＥＤ素子２等が搭載され、光半導体装置１の多面付け体（図８参照）が形成された場合に、リードフレーム１０を形成する外形線（図３（ａ）及び図３（ｂ）中の破線）でダイシング（切断）される。
連結部１３は、端子部１１、１２を形成する各辺のうち、端子部１１、１２が対向する辺を除いた辺に形成されている。 The connecting portion 13 connects the terminal portions 11 and 12 of each lead frame 10 multifaceted in the frame F to the terminal portions of other adjacent lead frames 10 and the frame F. The connecting portion 13 has an outer shape that forms the lead frame 10 when the LED element 2 or the like is mounted on each of the multiple lead frames 10 and the multi-faced body (see FIG. 8) of the optical semiconductor device 1 is formed. Dicing (cutting) is performed along a line (broken line in FIGS. 3A and 3B).
The connection part 13 is formed in the edge | side except the edge | side which the terminal parts 11 and 12 oppose among each edge | side which forms the terminal parts 11 and 12. FIG.

具体的には、連結部１３ａは、図２（ａ）に示すように、端子部１２の右（＋Ｘ）側の辺と、右側に隣接する他のリードフレーム１０の端子部１１の左（−Ｘ）側の辺とを接続し、また、端子部１１の左側の辺と、左側に隣接する他のリードフレーム１０の端子部１２の右側の辺とを接続している。枠体Ｆに隣接する端子部１１、１２に対しては、連結部１３ａは、端子部１１の左側の辺又は端子部１２の右側の辺と、枠体Ｆとを接続している。   Specifically, as shown in FIG. 2A, the connecting portion 13a has a right side (+ X) side of the terminal portion 12 and a left side (− of the terminal portion 11 of another lead frame 10 adjacent to the right side. X) is connected to the side, and the left side of the terminal portion 11 is connected to the right side of the terminal portion 12 of another lead frame 10 adjacent to the left side. For the terminal portions 11 and 12 adjacent to the frame body F, the connecting portion 13a connects the frame body F with the left side of the terminal portion 11 or the right side of the terminal portion 12.

連結部１３ｂは、端子部１１の上（＋Ｙ）側の辺と、上側に隣接する他のリードフレーム１０の端子部１１の下（−Ｙ）側の辺とを接続し、また、端子部１１の下側の辺と、下側に隣接する他のリードフレーム１０の端子部１１の上側の辺とを接続する。枠体Ｆに隣接する端子部１１に対しては、連結部１３ｂは、端子部１１の上側又は下側の辺と、枠体Ｆとを接続している。
連結部１３ｃは、端子部１２の上側の辺と、上側に隣接する他のリードフレーム１０の端子部１２の下側の辺とを接続し、また、端子部１２の下側の辺と、下側に隣接する他のリードフレーム１０の端子部１２の上側の辺とを接続する。枠体Ｆに隣接する端子部１２に対しては、連結部１３ｃは、端子部１２の上側又は下側の辺と、枠体Ｆとを接続している。 The connecting portion 13 b connects the upper (+ Y) side of the terminal portion 11 and the lower (−Y) side of the terminal portion 11 of another lead frame 10 adjacent to the upper side, and the terminal portion 11. The lower side is connected to the upper side of the terminal portion 11 of another lead frame 10 adjacent to the lower side. For the terminal portion 11 adjacent to the frame F, the connecting portion 13b connects the frame F with the upper or lower side of the terminal portion 11.
The connecting portion 13c connects the upper side of the terminal portion 12 and the lower side of the terminal portion 12 of another lead frame 10 adjacent to the upper side, and the lower side and the lower side of the terminal portion 12 The upper side of the terminal portion 12 of another lead frame 10 adjacent to the side is connected. For the terminal portion 12 adjacent to the frame F, the connecting portion 13 c connects the frame F with the upper or lower side of the terminal portion 12.

なお、端子部１１、１２は、連結部１３によって、隣り合う他のリードフレーム１０の端子部１１、１２と電気的に導通されるが、光半導体装置１の多面付け体を形成した後に、光半導体装置１（リードフレーム１０）の外形（図２（ａ）の破線）に合わせて各連結部１３を切断（ダイシング）することによって絶縁される。また、個片化された場合に、各々の個片を同じ形状にすることができる。   The terminal portions 11 and 12 are electrically connected to the terminal portions 11 and 12 of the other adjacent lead frames 10 by the connecting portion 13. However, after the multifaceted body of the optical semiconductor device 1 is formed, Insulation is performed by cutting (dicing) each connecting portion 13 in accordance with the outer shape of the semiconductor device 1 (lead frame 10) (broken line in FIG. 2A). Moreover, when it divides into pieces, each piece can be made into the same shape.

連結部１３は、図２（ｂ）、図２（ｃ）に示すように、端子部１１、１２の厚みよりも薄く、かつ、その表面が端子部１１、１２の表面と同一平面内に形成されている。具体的には、連結部１３は、その裏面が、各端子部１１、１２の裏面の外周部分の窪みと略同一面内に形成されている。これにより、光反射樹脂層２０の樹脂が充填された場合に、図３（ｂ）、図３（ｃ）に示すように、連結部１３の裏面にも樹脂が流れ込み、光反射樹脂層２０がリードフレーム１０から剥離してしまうのを抑制することができる。
また、光反射樹脂層２０が形成されたリードフレーム１０の裏面には、図３（ｂ）に示すように、矩形状の外部端子面１１ｂ、１２ｂが表出することとなり、光半導体装置１の外観を向上させることができることに加え、半田で基板に実装する場合に、基板側への半田印刷を容易にしたり、半田を均一に塗布したり、リフロー後に半田内へのボイドの発生を抑制したりすることができる。また、光半導体装置１の面内（ＸＹ平面内）の中心線に対して線対称であることから、熱応力等に対する信頼性を向上させることができる。 2B and 2C, the connecting portion 13 is thinner than the terminal portions 11 and 12, and the surface thereof is formed in the same plane as the surfaces of the terminal portions 11 and 12. Has been. Specifically, the back surface of the connecting portion 13 is formed in substantially the same plane as the recess in the outer peripheral portion of the back surface of each terminal portion 11, 12. As a result, when the resin of the light reflecting resin layer 20 is filled, as shown in FIGS. 3B and 3C, the resin also flows into the back surface of the connecting portion 13, and the light reflecting resin layer 20 is The peeling from the lead frame 10 can be suppressed.
Further, as shown in FIG. 3B, rectangular external terminal surfaces 11 b and 12 b are exposed on the back surface of the lead frame 10 on which the light reflecting resin layer 20 is formed. In addition to being able to improve the appearance, when mounting on the board with solder, solder printing on the board side is easy, solder is evenly applied, and the generation of voids in the solder after reflow is suppressed. Can be. In addition, since it is axisymmetric with respect to the center line in the plane of the optical semiconductor device 1 (in the XY plane), the reliability against thermal stress and the like can be improved.

更に、樹脂付きリードフレームの裏面には、連結部１３は表出せず、外部端子面１１ｂ、１２ｂのみが表出するので、連結部１３の裏面が表出する場合に比べて樹脂付きリードフレームの裏面における金属部分と光反射樹脂層２０との界面の長さを短くすることができる。かかる境界は、光反射樹脂層２０と端子部とが剥離した場合に隙間になるため、光半導体装置１の内部に水分や、半田のフラックス等が浸入する要因となる。そのため、上述のようにその界面の長さを短くすることによって、光半導体装置１における水分等の浸入経路を減少させることができる。
リードフレームの多面付け体ＭＳは、上述のリードフレーム１０を枠体Ｆ内に多面付けしたものをいう。枠体Ｆは、多面付けされたリードフレーム１０を固定する部材であり、その外形が矩形状に形成されている。 Further, the connecting portion 13 is not exposed on the back surface of the lead frame with resin, and only the external terminal surfaces 11b and 12b are exposed. Therefore, the lead frame with resin is compared with the case where the back surface of the connecting portion 13 is exposed. The length of the interface between the metal portion on the back surface and the light reflecting resin layer 20 can be shortened. Such a boundary becomes a gap when the light-reflecting resin layer 20 and the terminal portion are peeled off, which causes moisture, solder flux, or the like to enter the optical semiconductor device 1. Therefore, by reducing the length of the interface as described above, it is possible to reduce the intrusion path of moisture or the like in the optical semiconductor device 1.
The multi-faced body MS of the lead frame refers to a structure in which the above-described lead frame 10 is multi-faced in the frame F. The frame body F is a member that fixes the multi-faced lead frame 10, and the outer shape thereof is formed in a rectangular shape.

光反射樹脂層２０は、図３に示すように、フレーム樹脂部２０ａと、リフレクタ樹脂部２０ｂとから構成される。
フレーム樹脂部２０ａは、端子部１１、１２の外周側面（リードフレーム１０の外周や、空隙部Ｓ）だけでなく、各端子部に設けられた凸部Ｍの表裏面や、連結部１３の裏面にも形成される。 As shown in FIG. 3, the light reflecting resin layer 20 includes a frame resin portion 20a and a reflector resin portion 20b.
The frame resin portion 20a is not only the outer peripheral side surface (the outer periphery of the lead frame 10 or the gap S) of the terminal portions 11 and 12, but also the front and back surfaces of the convex portions M provided on each terminal portion and the back surface of the connecting portion 13. Also formed.

リフレクタ樹脂部２０ｂは、リードフレーム１０の表面側（リードフレーム１０のＬＥＤ素子２が接続される側）に突出するように形成され、リードフレーム１０に接続されるＬＥＤ素子２から発光する光の方向等を制御するリフレクタを構成する。このリフレクタ樹脂部２０ｂは、端子部１１、１２のＬＥＤ端子面１１ａ、１２ａを囲むようにして、リードフレーム１０の表面側に突出しており、ＬＥＤ端子面１１ａに接続されるＬＥＤ素子２から発光する光を反射させて、光半導体装置１から光を効率よく照射させる。   The reflector resin portion 20b is formed so as to protrude to the surface side of the lead frame 10 (the side to which the LED element 2 of the lead frame 10 is connected), and the direction of light emitted from the LED element 2 connected to the lead frame 10 The reflector which controls etc. is comprised. The reflector resin portion 20b protrudes to the front surface side of the lead frame 10 so as to surround the LED terminal surfaces 11a and 12a of the terminal portions 11 and 12, and emits light emitted from the LED element 2 connected to the LED terminal surface 11a. The light is efficiently reflected from the optical semiconductor device 1 by reflection.

リフレクタ樹脂部２０ｂは、リードフレーム１０の多面付け体ＭＳの状態において、その外形が、枠体Ｆの内周縁に沿うようにして形成されており、その厚み（高さ）寸法が、ＬＥＤ端子面１１ａに接続されるＬＥＤ素子２の厚み寸法よりも大きい寸法で形成される。リフレクタ樹脂部２０ｂは、端子部１１、１２の外周縁に形成されたフレーム樹脂部２０ａの表面上に重なっており、フレーム樹脂部２０ａと結合している。   The reflector resin portion 20b is formed so that its outer shape is along the inner peripheral edge of the frame F in the state of the multi-faced body MS of the lead frame 10, and its thickness (height) dimension is the LED terminal surface. It is formed with a dimension larger than the thickness dimension of the LED element 2 connected to 11a. The reflector resin portion 20b overlaps the surface of the frame resin portion 20a formed on the outer periphery of the terminal portions 11 and 12, and is coupled to the frame resin portion 20a.

ここで、リードフレーム１０は銅などの金属により形成され、光反射樹脂層２０は熱硬化性樹脂等の樹脂により形成され、また、両者の材料の線膨張率には差がある。そのため、光反射樹脂層２０が形成されたリードフレーム１０（樹脂付きリードフレーム）は、各端子部に外部機器との半田溶着による熱や、ＬＥＤ素子２の発光による熱が加わることによって、各端子部と光反射樹脂層２０との間で剥離が生じてしまう場合がある。
また、リードフレーム１０は、上述したように表面側にリフレクタ樹脂部２０ｂが形成されることから裏面側に比べ表面側に樹脂が多く形成される。そのため、樹脂付きリードフレームは、上記熱が加わったり、冷えたりすることで、上述の線膨張率の差によって反りが生じたり、その反りが戻ったりして、これが繰り返されると、上記剥離がより発生しやすくなる。 Here, the lead frame 10 is formed of a metal such as copper, the light reflecting resin layer 20 is formed of a resin such as a thermosetting resin, and the linear expansion coefficients of the two materials are different. Therefore, the lead frame 10 (lead frame with resin) on which the light-reflecting resin layer 20 is formed has each terminal portion added with heat due to solder welding with an external device or heat due to light emission of the LED element 2. There is a case where peeling occurs between the portion and the light reflecting resin layer 20.
In addition, since the lead frame 10 is formed with the reflector resin portion 20b on the front surface side as described above, more resin is formed on the front surface side than on the back surface side. Therefore, the lead frame with resin is warped due to the difference in the coefficient of linear expansion described above when the heat is applied or cooled, and when the warp returns, the above peeling is more likely. It tends to occur.

また、金型に樹脂を流し込む成形方法を用いた場合、線膨張率の差だけでなく、成形収縮や、樹脂の密度、樹脂中のフィラーや高分子の高次構造による異方性、樹脂の結晶性の温度依存、クリープや応力緩和により、リードフレーム１０と光反射樹脂層２０とが剥離するような応力が残るため、剥離が発生しやすい。
更に、熱可塑性の樹脂を用いた場合、熱可塑性維持のために熱により反応が進むアクリル基、水酸基、エポキシ基、アミン、カルボニル基の様な反応性基を導入することが難しく、リードフレーム１０との化学的接着を得るためにこれらの反応性基を導入することが難しい事から、リードフレーム１０と光反射樹脂層２０との剥離が発生しやすい。
更にまた、熱可塑性の樹脂を形成後に電子線で硬化させる電子線硬化樹脂を用いた場合、熱可塑性維持のためにリードフレームとの化学的接着が得られないことに加え、樹脂成形体に電子線を照射して重合を行うために硬化収縮が発生し、リードフレーム１０と光反射樹脂層２０との剥離がより生じやすい。 In addition, when a molding method in which a resin is poured into a mold is used, not only the difference in linear expansion coefficient, but also molding shrinkage, resin density, anisotropy due to higher order structures of fillers and polymers in the resin, Due to the temperature dependence of crystallinity, creep, and stress relaxation, a stress that peels off the lead frame 10 and the light reflecting resin layer 20 remains, and peeling is likely to occur.
Further, when a thermoplastic resin is used, it is difficult to introduce a reactive group such as an acryl group, a hydroxyl group, an epoxy group, an amine, or a carbonyl group, in which the reaction proceeds by heat in order to maintain thermoplasticity. Since it is difficult to introduce these reactive groups in order to obtain a chemical bond with the lead frame 10, peeling between the lead frame 10 and the light reflecting resin layer 20 is likely to occur.
Furthermore, when an electron beam curable resin that is cured with an electron beam after forming a thermoplastic resin is used, chemical adhesion with the lead frame is not obtained in order to maintain thermoplasticity, and the resin molded body has an electron. Curing shrinkage occurs because polymerization is performed by irradiating a wire, and peeling between the lead frame 10 and the light reflecting resin layer 20 is more likely to occur.

特に、リードフレーム１０の端子部１１、１２間は、端子部１１、１２と光反射樹脂層２０との接合面積が狭いため、接合強度が弱く、剥離の発生が顕著となる。樹脂付きリードフレームの端子部間にこの剥離が発生した場合、光半導体装置１の製造過程において、透明樹脂層３０を形成する際に、硬化前の液状樹脂が樹脂付きリードフレームの裏面に漏れてしまい、透明樹脂層３０を適正に形成することができなかったり、裏面の端子部を漏れた透明樹脂で覆ってしまったりする問題が発生する可能性がある。また、製造した光半導体装置１の端子部間においてこの剥離が発生した場合、端子部間で光半導体装置１が折れて破損する可能性がある。また、光半導体装置１の雰囲気中の水分や、外部端子面に溶着する半田のフラックス等が、剥離した隙間に浸入してしまい、各端子部の表面のめっき層や、光反射樹脂層２０、透明樹脂層３０等を変色させてしまう可能性がある。   In particular, between the terminal portions 11 and 12 of the lead frame 10, since the bonding area between the terminal portions 11 and 12 and the light reflecting resin layer 20 is small, the bonding strength is weak and the occurrence of peeling becomes significant. When this peeling occurs between the terminal portions of the lead frame with resin, in the manufacturing process of the optical semiconductor device 1, when forming the transparent resin layer 30, the liquid resin before curing leaks to the back surface of the lead frame with resin. Therefore, there is a possibility that the transparent resin layer 30 cannot be formed properly or the terminal portion on the back surface is covered with the leaked transparent resin. Moreover, when this peeling occurs between the terminal portions of the manufactured optical semiconductor device 1, the optical semiconductor device 1 may be broken and damaged between the terminal portions. In addition, moisture in the atmosphere of the optical semiconductor device 1 or solder flux welded to the external terminal surface invades the peeled gap, and the plating layer on the surface of each terminal portion, the light reflecting resin layer 20, The transparent resin layer 30 and the like may be discolored.

上記剥離の一因となる反りを抑制するために、光反射樹脂層２０の樹脂中に特定のフィラー（粉末）を含有させて線膨張率を、リードフレーム１０の金属に近づけることも可能である。しかし、光反射樹脂層２０の光反射特性を維持するために、フィラーの含有量は制限されてしまい、樹脂の線膨張率を十分に金属に近づけられない場合がある。また、樹脂に熱可塑性樹脂を使用した場合は、熱可塑性を維持するために三次元架橋密度を上げられないという分子構造上、フィラーを多量に充填した場合に強度が保てないことから、実用レベルとしては線膨張率の調整自体をすることが困難となる。   In order to suppress the warp that contributes to the peeling, it is possible to make the linear expansion coefficient closer to the metal of the lead frame 10 by including a specific filler (powder) in the resin of the light reflecting resin layer 20. . However, in order to maintain the light reflection characteristics of the light reflecting resin layer 20, the filler content is limited, and the linear expansion coefficient of the resin may not be sufficiently close to that of the metal. In addition, when a thermoplastic resin is used as the resin, the molecular structure that the three-dimensional crosslinking density cannot be increased in order to maintain the thermoplasticity, the strength cannot be maintained when a large amount of filler is filled, so that the practical use is not possible. As a level, it is difficult to adjust the linear expansion coefficient itself.

そのため、本実施形態では、リードフレーム１０は、各端子部１１、１２の外周側面に凸部Ｍが設けられ、リードフレーム１０から光反射樹脂層２０が剥離してしまうのを抑制することができ、上記光半導体装置１の破損や、変色等の問題の発生を抑制することができる。
また、特にリードフレーム１０の各端子部１１、１２間に対しては、図４（ｂ）に示すように、空隙部Ｓにおいて各端子部の凸部Ｍが互いに対向することとなる。そのため、リードフレーム１０は、空隙部Ｓの平面視において、空隙部Ｓの幅を狭く、すなわち、厚み方向において端子部間の樹脂のみが存在する部分を減らすことができ、製造された光半導体装置１（樹脂付きリードフレーム）の端子部間の強度を向上させることができる。 Therefore, in the present embodiment, the lead frame 10 is provided with the convex portions M on the outer peripheral side surfaces of the terminal portions 11 and 12, and can prevent the light reflecting resin layer 20 from being peeled off from the lead frame 10. The occurrence of problems such as breakage and discoloration of the optical semiconductor device 1 can be suppressed.
In particular, between the terminal portions 11 and 12 of the lead frame 10, the convex portions M of the terminal portions face each other in the gap S as shown in FIG. Therefore, the lead frame 10 can reduce the width of the gap S in a plan view of the gap S, that is, reduce the portion where only the resin between the terminal portions exists in the thickness direction. The strength between the terminal portions of 1 (lead frame with resin) can be improved.

光反射樹脂層２０は、リードフレーム１０に載置されるＬＥＤ素子２の発する光を反射させるために、光反射特性を有する熱可塑性樹脂や、熱硬化性樹脂が用いられる。
光反射樹脂層２０を形成する樹脂は、窪んだ部分への樹脂充填に関しては、樹脂形成時には流動性が高いことが、窪んだ部分での接着性に関しては、分子内に反応基を導入しやすいためにリードフレームとの化学接着性を得られることが必要なため、熱硬化性樹脂が望ましい。
例えば、熱可塑性樹脂としては、ポリアミド、ポリフタルアミド、ポリフェニレンサルファイド、液晶ポリマー、ポリエーテルサルホン、ポリブチレンテレフタレート、ポリオレフィン等を用いることができる。
また、熱硬化性樹脂としては、シリコーン、エポキシ、ポリエーテルイミド、ポリウレタン及びポリブチレンアクリレート等を用いることができる。
さらに、これらの樹脂中に光反射材として、二酸化チタン、二酸化ジルコニウム、チタン酸カリウム、窒化アルミニウム及び窒化ホウ素のうちいずれかを添加することによって、光の反射率を増大させることができる。
また、ポリオレフィンなどの熱可塑性樹脂を成形した後に、電子線を照射することで架橋させる方法を用いた、いわゆる電子線硬化樹脂を用いてもよい。
光反射樹脂層２０を形成する樹脂が、リードフレームの多面付け体ＭＳに多面付けされるリードフレーム１０に充填されることによって、樹脂付きリードフレームが多面付けされた樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒが形成される。 The light reflecting resin layer 20 is made of a thermoplastic resin having a light reflecting property or a thermosetting resin in order to reflect light emitted from the LED element 2 placed on the lead frame 10.
The resin that forms the light reflecting resin layer 20 has a high fluidity when the resin is formed with respect to the resin filling in the recessed portion, and it is easy to introduce a reactive group into the molecule with respect to the adhesiveness at the recessed portion. Therefore, a thermosetting resin is desirable because it is necessary to obtain chemical adhesion with the lead frame.
For example, as the thermoplastic resin, polyamide, polyphthalamide, polyphenylene sulfide, liquid crystal polymer, polyether sulfone, polybutylene terephthalate, polyolefin, or the like can be used.
As the thermosetting resin, silicone, epoxy, polyetherimide, polyurethane, polybutylene acrylate, or the like can be used.
Furthermore, the reflectance of light can be increased by adding any of titanium dioxide, zirconium dioxide, potassium titanate, aluminum nitride, and boron nitride as a light reflecting material to these resins.
Moreover, after molding a thermoplastic resin such as polyolefin, a so-called electron beam curable resin using a method of crosslinking by irradiation with an electron beam may be used.
The resin for forming the light-reflecting resin layer 20 is filled in the lead frame 10 that is multi-sided on the multi-sided body MS of the lead frame, so that the multi-sided body of the lead frame with resin on which the lead frame with resin is multi-sided is provided. R is formed.

透明樹脂層３０は、リードフレーム１０上に載置されたＬＥＤ素子２を保護するとともに、発光したＬＥＤ素子２の光を外部に透過させるために設けられた透明又は略透明に形成された樹脂層である。透明樹脂層３０は、図１に示すように、光反射樹脂層２０のリフレクタ樹脂部２０ｂによって囲まれたＬＥＤ端子面１１ａ、１２ａ上に形成される。
透明樹脂層３０は、光の取り出し効率を向上させるために、ＬＥＤ素子２の発光波長において光透過率が高く、また、屈折率が高い材料を選択するのが望ましい。例えば、耐熱性、耐光性、及び機械的強度が高いという特性を満たす樹脂として、エポキシ樹脂や、シリコーン樹脂を選択することができる。特に、ＬＥＤ素子２に高輝度ＬＥＤ素子を用いる場合、透明樹脂層３０は、強い光にさらされるため、高い耐光性を有するシリコーン樹脂からなることが好ましい。また、波長変換用の蛍光体を使用してもよく、透明樹脂に分散させてもよい。 The transparent resin layer 30 is a transparent or substantially transparent resin layer provided to protect the LED element 2 placed on the lead frame 10 and transmit the emitted light of the LED element 2 to the outside. It is. As illustrated in FIG. 1, the transparent resin layer 30 is formed on the LED terminal surfaces 11 a and 12 a surrounded by the reflector resin portion 20 b of the light reflecting resin layer 20.
For the transparent resin layer 30, it is desirable to select a material having a high light transmittance and a high refractive index at the emission wavelength of the LED element 2 in order to improve the light extraction efficiency. For example, an epoxy resin or a silicone resin can be selected as a resin that satisfies the properties of high heat resistance, light resistance, and mechanical strength. In particular, when a high-brightness LED element is used for the LED element 2, the transparent resin layer 30 is preferably made of a silicone resin having high light resistance because it is exposed to strong light. Moreover, a phosphor for wavelength conversion may be used, or it may be dispersed in a transparent resin.

次に、本実施形態の光半導体装置１の他の形態について説明する。
図５は、第１実施形態の光半導体装置１の他の形態を説明する図である。
図５（ａ）は、光半導体装置１の平面図を示し、図５（ｂ）は、光半導体装置１の側面図を示し、図５（ｃ）は、光半導体装置１の裏面図を示す。
上述の説明では、リードフレーム１０の表面にリフレクタ樹脂部２０ｂが形成される、いわゆるカップ型の光半導体装置１の例で説明したが、本発明は、図５に示すように、リードフレーム１０と光反射樹脂層２０との厚みがほぼ同等となる、いわゆるフラットタイプの光半導体装置１に適用してもよい。 Next, another form of the optical semiconductor device 1 of the present embodiment will be described.
FIG. 5 is a diagram illustrating another form of the optical semiconductor device 1 according to the first embodiment.
FIG. 5A shows a plan view of the optical semiconductor device 1, FIG. 5B shows a side view of the optical semiconductor device 1, and FIG. 5C shows a back view of the optical semiconductor device 1. .
In the above description, the example of the so-called cup-type optical semiconductor device 1 in which the reflector resin portion 20b is formed on the surface of the lead frame 10 has been described. However, as shown in FIG. The present invention may be applied to a so-called flat type optical semiconductor device 1 in which the thickness of the light reflecting resin layer 20 is substantially equal.

次に、リードフレーム１０の製造方法について説明する。
図６は、第１実施形態のリードフレーム１０の製造過程を説明する図である。
図６（ａ）は、レジストパターンを形成した金属基板１００を示す平面図と、その平面図のａ−ａ断面図とを示す。図６（ｂ）は、エッチング加工されている金属基板１００を示す図である。図６（ｃ）は、エッチング加工後の金属基板１００を示す図である。図６（ｄ）は、レジストパターンが除去された金属基板１００を示す図である。図６（ｅ）は、めっき処理が施された金属基板１００を示す図である。
図７は、第１実施形態のリードフレーム１０の他の製造過程を説明する図である。図７（ａ）は、レジストパターンを形成した金属基板１００を示す。図７（ｂ）は、表面がエッチング加工された金属基板１００を示す図である。図７（ｃ）は、表面に再度レジストパターンを形成した金属基板１００を示す図である。図７（ｄ）は、裏面がエッチング加工された金属基板１００を示す図である。図７（ｅ）は、レジストパターンが除去された金属基板１００を示す図である。
なお、図６、図７においては、１枚のリードフレーム１０の製造過程について図示するが、実際には、１枚の金属基板１００からリードフレームの多面付け体ＭＳが製造される。また、図７（ａ）〜（ｅ）は、それぞれ図６（ａ）の断面図に基づくものである。 Next, a method for manufacturing the lead frame 10 will be described.
FIG. 6 is a diagram for explaining the manufacturing process of the lead frame 10 of the first embodiment.
FIG. 6A shows a plan view showing a metal substrate 100 on which a resist pattern is formed, and an aa cross-sectional view of the plan view. FIG. 6B shows the metal substrate 100 that has been etched. FIG. 6C shows the metal substrate 100 after the etching process. FIG. 6D shows the metal substrate 100 from which the resist pattern has been removed. FIG. 6E shows the metal substrate 100 that has been subjected to plating.
FIG. 7 is a diagram for explaining another manufacturing process of the lead frame 10 of the first embodiment. FIG. 7A shows a metal substrate 100 on which a resist pattern is formed. FIG. 7B is a diagram illustrating the metal substrate 100 whose surface is etched. FIG. 7C shows the metal substrate 100 having a resist pattern formed on the surface again. FIG. 7D shows the metal substrate 100 whose back surface is etched. FIG. 7E shows the metal substrate 100 from which the resist pattern has been removed.
6 and 7, the manufacturing process of one lead frame 10 is illustrated, but in actuality, the multi-faced body MS of the lead frame is manufactured from one metal substrate 100. 7A to 7E are based on the cross-sectional view of FIG.

リードフレーム１０の製造において、金属基板１００を加工してリードフレーム１０を形成するが、その加工は、プレス加工でも良いが、薄肉部を形成しやすいエッチング処理が望ましい。以下にエッチング処理によるリードフレーム１０の製造方法について説明する。   In the manufacture of the lead frame 10, the metal substrate 100 is processed to form the lead frame 10. The processing may be press processing, but an etching process that easily forms a thin portion is desirable. Below, the manufacturing method of the lead frame 10 by an etching process is demonstrated.

まず、平板状の金属基板１００を用意し、図６（ａ）に示すように、その表面及び裏面のエッチング加工を施さない部分にレジストパターン４０ａ、４０ｂを形成する。なお、レジストパターン４０ａ、４０ｂの材料及び形成方法は、エッチング用レジストとして従来公知の技術を用いることができるが、アクリル系、カゼイン、ゼラチンなどのタンパク質系、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）系などが酸性のエッチング液耐性が高く、望ましい。
次に、図６（ｂ）に示すように、レジストパターン４０ａ、４０ｂを耐エッチング膜として、金属基板１００に腐食液でエッチング処理を施す。腐食液は、使用する金属基板１００の材質に応じて適宜選択することができる。本実施形態では、金属基板１００として銅板を使用しているため、塩化鉄、塩化銅、過酸化水素−硫酸が使用できる。特に、凸部Ｍの外周縁ｐ３の形状を残すためには、深さ方向へのエッチング力が必要であり、塩酸系の中でも特に望ましい塩化第二鉄水溶液を使用し、金属基板１００の両面からスプレーエッチングすることができる。 First, a flat metal substrate 100 is prepared, and as shown in FIG. 6A, resist patterns 40a and 40b are formed on portions of the front surface and back surface that are not etched. The resist patterns 40a and 40b can be made of a material and a forming method using a conventionally known technique as an etching resist. However, acrylic, casein, gelatin and other protein systems, and polyvinyl alcohol (PVA) systems are acidic. Etch solution resistance is high and desirable.
Next, as shown in FIG. 6B, the metal substrate 100 is etched with a corrosive solution using the resist patterns 40a and 40b as etching resistant films. The corrosive liquid can be appropriately selected according to the material of the metal substrate 100 to be used. In this embodiment, since a copper plate is used as the metal substrate 100, iron chloride, copper chloride, hydrogen peroxide-sulfuric acid can be used. In particular, in order to leave the shape of the outer peripheral edge p3 of the convex portion M, an etching force in the depth direction is necessary, and a ferric chloride aqueous solution that is particularly desirable among hydrochloric acid-based materials is used, and from both surfaces of the metal substrate 100. Spray etching can be performed.

ここで、リードフレーム１０には、端子部１１、１２の外周部や、各端子部１１、１２間の空隙部Ｓ、のように貫通した空間と、凸部Ｍの表裏面や、連結部１３の裏面のように貫通せずに厚みが薄くなった窪んだ空間とが存在する（図２参照）。本実施形態では、金属基板１００の板厚の半分程度までをエッチング加工する、いわゆるハーフエッチング処理を行い、貫通した空間に対しては、金属基板１００の両面にレジストパターンを形成しないようにし、金属基板１００の両面からエッチング加工して、貫通した空間を形成する。また、窪んだ空間に対しては、厚みが薄くなる側とは反対側の面にのみレジストパターンを形成して、レジストパターンがない面のみをエッチング加工して、窪んだ空間を形成する。
エッチング処理により金属基板１００には、図６（ｃ）に示すように、凸部Ｍが形成された端子部１１、１２が形成され、金属基板１００上にリードフレーム１０が形成される。 Here, in the lead frame 10, a space penetrating like the outer peripheral portion of the terminal portions 11, 12 and the gap portion S between the terminal portions 11, 12, the front and back surfaces of the convex portion M, and the connecting portion 13. There is a recessed space where the thickness is reduced without penetrating like the back surface (see FIG. 2). In the present embodiment, a so-called half-etching process that etches up to about half the plate thickness of the metal substrate 100 is performed, and a resist pattern is not formed on both surfaces of the metal substrate 100 in the penetrating space. Etching is performed from both sides of the substrate 100 to form a penetrating space. For the recessed space, a resist pattern is formed only on the surface opposite to the side where the thickness is reduced, and only the surface without the resist pattern is etched to form a recessed space.
As shown in FIG. 6C, terminal portions 11 and 12 having protrusions M are formed on the metal substrate 100 by the etching process, and the lead frame 10 is formed on the metal substrate 100.

次に、図６（ｄ）に示すように、金属基板１００（リードフレーム１０）からレジストパターン４０を除去する。
そして、図６（ｅ）に示すように、リードフレーム１０が形成された金属基板１００にめっき処理を行い、端子部１１、１２にめっき層Ｃを形成する。めっき処理は、例えば、シアン化銀を主成分とした銀めっき液を用いた電界めっきを施すことにより行われる。 Next, as shown in FIG. 6D, the resist pattern 40 is removed from the metal substrate 100 (lead frame 10).
Then, as shown in FIG. 6 (e), the metal substrate 100 on which the lead frame 10 is formed is subjected to a plating process to form a plating layer C on the terminal portions 11 and 12. The plating process is performed, for example, by performing electroplating using a silver plating solution containing silver cyanide as a main component.

ここで、めっき層Ｃは、その形成過程において、鋭角に尖った部位が、平坦な部位に比べて厚く形成されてしまう傾向がある。そのため、各端子部の表裏面の外周縁ｐ１、ｐ２が、鋭角に尖った形状である場合、その外周縁にはめっき層Ｃが厚く形成されてしまい、各端子部は、その外周縁がＬＥＤ端子面や外部端子面から突出してしまい、樹脂付きリードフレームの製造工程において金型に配置された場合において、金型に圧痕を付けてしまう場合がある。しかし、本実施形態の各端子部１１、１２は、その外周側面に凸部Ｍが設けられ、各端子部の表面側の外周縁ｐ１及び裏面側の外周縁ｐ２が尖らないように鈍角に形成されているので、各端子部の表面及び裏面にめっき層Ｃを均一に形成することができる。
なお、めっき層Ｃを形成する前に、例えば、電解脱脂工程、酸洗工程、銅ストライク工程を適宜選択し、その後、電解めっき工程を経てめっき層Ｃを形成してもよい。
以上により、リードフレーム１０は、図２に示すように、枠体Ｆに多面付けされた状態で製造される。なお、図２において、めっき層Ｃは省略されている。 Here, in the formation process, the plating layer C tends to be formed such that a sharp pointed portion is thicker than a flat portion. Therefore, when the outer peripheries p1 and p2 of the front and back surfaces of each terminal part are sharply sharpened, the plating layer C is formed thick on the outer peripheries, and each terminal part has an outer perimeter LED. When protruding from the terminal surface or the external terminal surface and disposed on the mold in the manufacturing process of the lead frame with resin, the mold may be indented. However, each terminal part 11 and 12 of this embodiment is provided with the convex part M in the outer peripheral side surface, and is formed at an obtuse angle so that the outer peripheral edge p1 on the front surface side and the outer peripheral edge p2 on the back surface side of each terminal part are not sharp. Therefore, the plating layer C can be uniformly formed on the front surface and the back surface of each terminal portion.
In addition, before forming the plating layer C, for example, an electrolytic degreasing process, a pickling process, and a copper strike process may be selected as appropriate, and then the plating layer C may be formed through an electrolytic plating process.
As described above, the lead frame 10 is manufactured in a state of being multifaceted to the frame F as shown in FIG. In FIG. 2, the plating layer C is omitted.

ここで、上述の説明では、金属基板１００の両面を同時にエッチング処理する例を示したが、これに限定されるものでなく、図７（ａ）に示すように、両面同時にレジストパターンを形成した後、片面だけを板厚の１／３〜２／３程度をエッチング加工し、エッチングした部分に、更にレジストを形成し、反対側の面をエッチングする２段エッチング加工を用いてもよい。
図６において説明したように、両面同時のエッチング加工では、金属基板１００の表裏面からのエッチング加工によって貫通部分が形成されるのと同時に、リードフレーム１０の凸部Ｍの外周縁ｐ３が形成されることになる。しかし、この凸部Ｍの外周縁ｐ３が形成される部分は、腐食液の液流が激しく、極短時間にエッチング加工が進むため、凸部Ｍの外周縁ｐ３の大きさの制御が困難である。これに対して、２段エッチング加工に於いては、片面ずつエッチング加工を行うので、凸部Ｍの外周縁ｐ３への極端な液流集中がないため、かかる部分の制御が容易である。特に、大きな面積のリードフレームや、リードフレームの多面付け体を複数枚同時にエッチング加工する場合や、さらに大きなシート状態で加工する場合に、面内の均一性確保が容易になり、実用性が高くなる。 Here, in the above description, an example in which both surfaces of the metal substrate 100 are etched at the same time has been shown. However, the present invention is not limited to this, and a resist pattern is formed simultaneously on both surfaces as shown in FIG. Thereafter, a two-stage etching process may be used in which only one side is etched to about 1/3 to 2/3 of the plate thickness, a resist is further formed on the etched part, and the opposite side is etched.
As described in FIG. 6, in the simultaneous etching process on both sides, the outer peripheral edge p <b> 3 of the convex part M of the lead frame 10 is formed at the same time as the penetration part is formed by the etching process from the front and back surfaces of the metal substrate 100. Will be. However, in the portion where the outer peripheral edge p3 of the convex portion M is formed, the liquid flow of the corrosive liquid is intense and the etching process proceeds in a very short time, so it is difficult to control the size of the outer peripheral edge p3 of the convex portion M. is there. On the other hand, in the two-stage etching process, since the etching process is performed one side at a time, there is no extreme liquid flow concentration on the outer peripheral edge p3 of the convex part M, so that control of this part is easy. In particular, when etching multiple leadframes with multiple areas or multi-faced body of leadframes at the same time, or when processing in a larger sheet state, it is easy to ensure in-plane uniformity and high practicality. Become.

この２段エッチング加工を行う場合、まず、図７（ｂ）に示すように、金属基板１００の片面（表面）をエッチング加工する。そして、図７（ｃ）に示すように、そのエッチング加工した部分を含む金属基板１００の表面にレジストパターン４０ｃを形成する。ここで、再度形成するレジストには、熱可塑性のオレフィン系樹脂を使用するのが望ましい。例えば、熱アルカリでのレジストパターン除去時に同時に除去することができるため、工程の簡略化に優れ、製造が容易となるためである。
次に、図７（ｄ）に示すように、金属基板１００の裏面をエッチング加工して、図７（ｅ）に示すように、金属基板１００（リードフレーム１０）からレジストパターン４０を除去する。これにより、凸部Ｍが形成されたリードフレームの多面付け体が形成される。最後に、上記図６（ｅ）と同様に、リードフレーム１０が形成された金属基板１００にめっき処理を行うことで、リードフレームの多面付け体ＭＳを得ることができる。
なお、上記説明では、金属基板１００の表面、裏面の順で２段エッチング加工をする例を示したが、金属基板１００の裏面、表面の順で２段エッチング加工するようにしてもよい。 When performing this two-stage etching process, first, as shown in FIG.7 (b), the one surface (surface) of the metal substrate 100 is etched. Then, as shown in FIG. 7C, a resist pattern 40c is formed on the surface of the metal substrate 100 including the etched portion. Here, it is desirable to use a thermoplastic olefin resin for the resist to be formed again. For example, it can be removed at the same time as removing the resist pattern with hot alkali, which is excellent in simplification of the process and facilitates manufacture.
Next, as shown in FIG. 7D, the back surface of the metal substrate 100 is etched, and the resist pattern 40 is removed from the metal substrate 100 (lead frame 10) as shown in FIG. 7E. Thereby, the multi-faced body of the lead frame in which the convex part M is formed is formed. Finally, similarly to FIG. 6 (e), by performing plating on the metal substrate 100 on which the lead frame 10 is formed, the lead frame multi-faced body MS can be obtained.
In the above description, the example in which the two-stage etching process is performed in the order of the front surface and the back surface of the metal substrate 100 has been described, but the two-stage etching process may be performed in the order of the back surface and the front surface of the metal substrate 100.

次に、光半導体装置１の製造方法について説明する。
図８は、第１実施形態の光半導体装置の多面付け体を示す図である。
図９は、第１実施形態の光半導体装置１の製造過程を説明する図である。
図９（ａ）は、光反射樹脂層２０が形成されたリードフレーム１０の断面図であり、図９（ｂ）は、ＬＥＤ素子２が電気的に接続されたリードフレーム１０の断面図を示す。図９（ｃ）は、透明樹脂層３０が形成されたリードフレーム１０の断面図を示す。図９（ｄ）は、ダイシングにより個片化された光半導体装置１の断面図を示す。
なお、図９においては、１台の光半導体装置１の製造過程について図示するが、実際には、１枚の金属基板１００から複数の光半導体装置１が製造されるものとする。また、図９（ａ）〜（ｄ）は、それぞれ図６（ａ）の断面図に基づくものである。 Next, a method for manufacturing the optical semiconductor device 1 will be described.
FIG. 8 is a view showing a multi-faced body of the optical semiconductor device of the first embodiment.
FIG. 9 is a diagram illustrating a manufacturing process of the optical semiconductor device 1 according to the first embodiment.
9A is a cross-sectional view of the lead frame 10 on which the light reflecting resin layer 20 is formed, and FIG. 9B is a cross-sectional view of the lead frame 10 to which the LED element 2 is electrically connected. . FIG. 9C shows a cross-sectional view of the lead frame 10 on which the transparent resin layer 30 is formed. FIG. 9D shows a cross-sectional view of the optical semiconductor device 1 singulated by dicing.
In FIG. 9, the manufacturing process of one optical semiconductor device 1 is illustrated, but actually, a plurality of optical semiconductor devices 1 are manufactured from one metal substrate 100. FIGS. 9A to 9D are based on the cross-sectional view of FIG.

図９（ａ）に示すように、金属基板１００上にエッチング加工により形成されたリードフレーム１０の外周等に上述の光反射特性を有する樹脂を充填し、光反射樹脂層２０を形成する。光反射樹脂層２０は、例えば、トランスファ成形や、インジェクション成形（射出成形）のように、樹脂成形金型にリードフレーム１０（金属基板１００）をインサートし、樹脂を注入する方法や、リードフレーム１０上に樹脂をスクリーン印刷する方法等によって形成される。このとき、樹脂は、各端子部１１、１２の外周側から凸部Ｍの表裏面や、連結部１３の裏面へと流れ込み、フレーム樹脂部２０ａが形成され、リードフレーム１０と接合する。
また、これと同時に、リフレクタ樹脂部２０ｂが、リードフレームの表面側に突出して、各端子部１１、１２のＬＥＤ端子面１１ａ、１２ａを囲むようにして形成される。これにより、樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒは、その表面及び裏面に、それぞれ、各端子部１１、１２のＬＥＤ端子面１１ａ、１２ａと、外部端子面１１ｂ、１２ｂとが表出した状態となる（図３（ａ）、図３（ｂ）参照）。
以上により、図３に示す樹脂付きのリードフレームの多面付け体Ｒが形成される。 As shown in FIG. 9A, the light reflecting resin layer 20 is formed by filling the outer periphery of the lead frame 10 formed by etching on the metal substrate 100 with the resin having the above-described light reflection characteristics. The light reflecting resin layer 20 is formed by inserting a lead frame 10 (metal substrate 100) into a resin molding die and injecting resin, for example, transfer molding or injection molding (injection molding), or lead frame 10 It is formed by a method such as screen printing of resin. At this time, the resin flows from the outer peripheral side of each of the terminal portions 11 and 12 to the front and back surfaces of the convex portion M and the back surface of the connecting portion 13, and the frame resin portion 20 a is formed and joined to the lead frame 10.
At the same time, the reflector resin portion 20b is formed so as to protrude to the surface side of the lead frame and surround the LED terminal surfaces 11a and 12a of the terminal portions 11 and 12, respectively. Thereby, the multi-faced body R of the lead frame with resin is in a state in which the LED terminal surfaces 11a and 12a and the external terminal surfaces 11b and 12b of the terminal portions 11 and 12 are exposed on the front and back surfaces, respectively. (Refer to FIG. 3A and FIG. 3B).
In this way, the multi-faced body R of the lead frame with resin shown in FIG. 3 is formed.

次に、図９（ｂ）に示すように、端子部１１のＬＥＤ端子面１１ａに、ダイアタッチペーストや半田等の放熱性接着剤を介してＬＥＤ素子２を載置し、また、端子部１２のＬＥＤ端子面１２ａに、ボンディングワイヤ２ａを介してＬＥＤ素子２を電気的に接続する。例えば、半田を用いる場合、金錫共晶はんだが用いられ、およそ３２０℃の高温となる。ここで、ＬＥＤ素子２とボンディングワイヤ２ａは複数あってもよく、一つのＬＥＤ素子２に複数のボンディングワイヤ２ａが接続されてもよく、ボンディングワイヤ２ａをダイパッドに接続させてもよい。また、ＬＥＤ素子２を載置面で電気的に接続してもよい。ここで、ボンディングワイヤ２ａは、例えば、金（Ａｕ）、銅（Ｃｕ）、銀（Ａｇ）等の導電性の良い材料からなる。   Next, as shown in FIG. 9B, the LED element 2 is placed on the LED terminal surface 11 a of the terminal portion 11 via a heat-dissipating adhesive such as die attach paste or solder, and the terminal portion 12. The LED element 2 is electrically connected to the LED terminal surface 12a via the bonding wire 2a. For example, when solder is used, gold-tin eutectic solder is used, and the temperature is about 320 ° C. Here, there may be a plurality of LED elements 2 and bonding wires 2a, a plurality of bonding wires 2a may be connected to one LED element 2, or the bonding wires 2a may be connected to a die pad. Moreover, you may electrically connect the LED element 2 by a mounting surface. Here, the bonding wire 2a is made of a material having good conductivity such as gold (Au), copper (Cu), silver (Ag), and the like.

そして、図９（ｃ）に示すように、リフレクタ樹脂部２０ｂに囲まれたＬＥＤ素子２を覆うようにして透明樹脂層３０を形成する。
透明樹脂層３０は平坦な形状のほかレンズ形状、屈折率勾配等、光学的な機能を持たせてもよい。以上により、図８に示すように、光半導体装置の多面付け体が製造される。
最後に、図９（ｄ）に示すように、光半導体装置１の外形（図８の破線部参照）に合わせて、光反射樹脂層２０及び透明樹脂層３０とともに、リードフレーム１０の連結部１３を切断（ダイシング、パンチング、カッティング等）して、１パッケージに分離（個片化）された光半導体装置１（図１参照）を得る。
光反射樹脂層１の高密度な配置による生産の効率化や、エッチング、めっき層の均一化のために、連結部１３は、可能な限り小さいことが望ましい。また、個別封止ではなく、隣接する光半導体装置１が、光反射樹脂層２０を介して接続し、Ｘ、Ｙ方向に並んで配置されているＭＡＰ（モールドアレイパッケージ）が望ましく、この場合、光半導体装置１の個片化は、ダイシングによる切断が適している。
また、光半導体装置１を個片化した後、光半導体装置１の側壁（側面）に断面が表出する連結部１３の側面には、凸部Ｍを設けず、かつ、連結部１３の実装側（外部機器に接続する外部端子面側）の面をハーフエッチングとすることが望ましい。これは、光反射樹脂層２０とリードフレーム１０との界面が増加し、水分等の侵入経路が大きくなってしまうのを防ぐためである。特に、ＭＡＰタイプの光半導体装置の多面付け体をダイシングにより切断する場合、切断時に光反射樹脂層２０とリードフレーム１０とを剥離させる力が働いてしまうため、連結部１３の側面に凸部Ｍを設けずに、その実装側をハーフエッチングにすることが好適である。 And as shown in FIG.9 (c), the transparent resin layer 30 is formed so that the LED element 2 enclosed by the reflector resin part 20b may be covered.
The transparent resin layer 30 may have an optical function such as a lens shape and a refractive index gradient in addition to a flat shape. As described above, as shown in FIG. 8, the multi-faced body of the optical semiconductor device is manufactured.
Finally, as shown in FIG. 9D, the connecting portion 13 of the lead frame 10 together with the light reflecting resin layer 20 and the transparent resin layer 30 in accordance with the outer shape of the optical semiconductor device 1 (see the broken line portion in FIG. 8). Is cut (dicing, punching, cutting, etc.) to obtain an optical semiconductor device 1 (see FIG. 1) separated (divided into one piece) into one package.
In order to improve production efficiency by arranging the light reflecting resin layer 1 at a high density, and to make the etching and plating layer uniform, it is desirable that the connecting portion 13 is as small as possible. In addition, instead of individual sealing, MAP (molded array package) in which the adjacent optical semiconductor devices 1 are connected via the light reflecting resin layer 20 and arranged in the X and Y directions is desirable. The optical semiconductor device 1 is suitably cut into pieces by dicing.
Further, after the optical semiconductor device 1 is singulated, the side surface of the connecting portion 13 whose section is exposed on the side wall (side surface) of the optical semiconductor device 1 is not provided with the convex portion M, and the connecting portion 13 is mounted. It is desirable that the surface on the side (external terminal surface side connected to the external device) is half-etched. This is to prevent the interface between the light reflecting resin layer 20 and the lead frame 10 from increasing and an intrusion path for moisture and the like from becoming large. In particular, when a multi-faced body of a MAP type optical semiconductor device is cut by dicing, a force for peeling the light reflecting resin layer 20 and the lead frame 10 is applied at the time of cutting. It is preferable that the mounting side is half-etched without providing any.

次に、上述の図９（ａ）におけるリードフレーム１０に光反射樹脂層２０を形成するトランスファ成形及びインジェクション成形について説明する。
図１０は、トランスファ成形の概略を説明する図である。図１０（ａ）は、金型の構成を説明する図であり、図１０（ｂ）〜図１０（ｉ）は、樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒが完成するまでの工程を説明する図である。
図１１は、インジェクション成形の概略を説明する図である。図１１（ａ）〜図１１（ｃ）は、樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒが完成するまでの工程を説明する図である。
なお、図１０及び図１１において、説明を明確にするために、リードフレーム１０の単体に対して光反射樹脂層２０が成形される図を示すが、実際には、リードフレームの多面付け体ＭＳに対して光反射樹脂層２０が形成される。 Next, transfer molding and injection molding for forming the light reflecting resin layer 20 on the lead frame 10 in FIG. 9A will be described.
FIG. 10 is a diagram for explaining the outline of transfer molding. FIG. 10A is a diagram for explaining the configuration of the mold, and FIGS. 10B to 10I are diagrams for explaining the steps until the multi-faced body R of the lead frame with resin is completed. It is.
FIG. 11 is a diagram for explaining the outline of injection molding. FIG. 11A to FIG. 11C are diagrams for explaining the process until the multifaceted body R of the lead frame with resin is completed.
10 and 11, for the sake of clarity, the light reflecting resin layer 20 is formed on a single lead frame 10, but actually, the lead frame multi-faced body MS is shown. A light reflecting resin layer 20 is formed.

（トランスファ成形）
トランスファ成形は、図１０（ａ）に示すように、上型１１１及び下型１１２等から構成される金型１１０を使用する。
まず、作業者は、上型１１１及び下型１１２を加熱した後、図１０（ｂ）に示すように、上型１１１と下型１１２との間にリードフレームの多面付け体ＭＳを配置するとともに、下型１１２の設けられたポット部１１２ａに光反射樹脂層２０を形成する樹脂を充填する。
そして、図１０（ｃ）に示すように、上型１１１及び下型１１２を閉じて（型締め）、樹脂を加熱する。樹脂が十分に加熱されたら、図１０（ｄ）及び図１０（ｅ）に示すように、プランジャー１１３によって樹脂に圧力をかけて、樹脂を金型１１０内へと充填（トランスファ）させ、所定の時間その圧力を一定に保持する。 (Transfer molding)
In the transfer molding, as shown in FIG. 10A, a mold 110 including an upper mold 111 and a lower mold 112 is used.
First, the operator heats the upper die 111 and the lower die 112, and then places the multi-faced body MS of the lead frame between the upper die 111 and the lower die 112 as shown in FIG. The pot portion 112a provided with the lower mold 112 is filled with a resin that forms the light reflecting resin layer 20.
Then, as shown in FIG. 10C, the upper mold 111 and the lower mold 112 are closed (clamping), and the resin is heated. When the resin is sufficiently heated, as shown in FIGS. 10 (d) and 10 (e), pressure is applied to the resin by the plunger 113 to fill (transfer) the resin into the mold 110, and the predetermined The pressure is kept constant for a period of time.

所定の時間の経過後、図１０（ｆ）及び図１０（ｇ）に示すように、上型１１１及び下型１１２を開き、上型１１１に設けられたイジェクターピン１１１ａにより、上型１１１から光反射樹脂層２０が成形されたリードフレームの多面付け体ＭＳを取り外す。その後、図１０（ｈ）に示すように、上型１１１の流路（ランナー）部等の余分な樹脂部分を、製品となる部分から除去し、図１０（ｉ）に示すように、光反射樹脂層２０が形成された樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒが完成する。   After the elapse of a predetermined time, as shown in FIGS. 10 (f) and 10 (g), the upper mold 111 and the lower mold 112 are opened, and light is emitted from the upper mold 111 by the ejector pins 111 a provided on the upper mold 111. The lead frame multi-faced body MS in which the reflective resin layer 20 is molded is removed. Thereafter, as shown in FIG. 10 (h), the excess resin portion such as the flow path (runner) portion of the upper mold 111 is removed from the product portion, and the light reflection is performed as shown in FIG. 10 (i). A multi-faced body R of a lead frame with a resin on which the resin layer 20 is formed is completed.

（インジェクション成形）
インジェクション成形は、図１１（ａ）に示すように、上から順に、ノズルプレート１２１、スプループレート１２２、ランナープレート１２３（上型）、下型１２４等から構成される金型１２０を使用する。
まず、作業者は、ランナープレート１２３及び下型１２４間にリードフレームの多面付け体ＭＳを配置して、金型１２０を閉じる（型締め）。
そして、図１１（ｂ）に示すように、ノズル１２５をノズルプレート１２１のノズル穴に配置して、光反射樹脂層２０を形成する樹脂を金型１２０内に射出する。ノズル１２５から射出された樹脂は、スプループレート１２２のスプルー１２２ａを通過し、ランナープレート１２３のランナー１２３ａ及びゲートスプルー１２３ｂを通過した上で、リードフレームの多面付け体ＭＳが配置された金型１２０内へと樹脂が充填される。 (Injection molding)
As shown in FIG. 11A, the injection molding uses a mold 120 including a nozzle plate 121, a sprue plate 122, a runner plate 123 (upper mold), a lower mold 124, and the like in order from the top.
First, the operator arranges the multi-faced body MS of the lead frame between the runner plate 123 and the lower mold 124, and closes the mold 120 (clamping).
Then, as shown in FIG. 11B, the nozzle 125 is disposed in the nozzle hole of the nozzle plate 121, and the resin forming the light reflecting resin layer 20 is injected into the mold 120. The resin injected from the nozzle 125 passes through the sprue 122a of the sprue plate 122, passes through the runner 123a and the gate sprue 123b of the runner plate 123, and then in the mold 120 in which the multifaceted body MS of the lead frame is arranged. Filled with resin.

樹脂が充填されたら所定の時間保持した後に、作業者は、図１１（ｃ）に示すように、ランナープレート１２３を下型１２４から開き、下型１２４に設けられたイジェクターピン１２４ａによって、光反射樹脂層２０が形成されたリードフレームの多面付け体ＭＳを下型１２４から取り外す。そして、光反射樹脂層２０が形成されたリードフレームの多面付け体ＭＳから余分なバリなどを除去して樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒが完成する。   After being held for a predetermined time after the resin is filled, the operator opens the runner plate 123 from the lower mold 124 and reflects light by the ejector pins 124a provided on the lower mold 124 as shown in FIG. The lead frame multi-faced body MS on which the resin layer 20 is formed is removed from the lower mold 124. Then, excess burrs and the like are removed from the multi-sided body MS of the lead frame on which the light reflecting resin layer 20 is formed, thereby completing the multi-sided body R of the lead frame with resin.

なお、本実施形態のインジェクション成形の金型１２０は、樹脂の流路が、一つのスプルーからランナーを介して複数のゲートへと分岐されているので、リードフレームの多面付け体ＭＳに対して、複数個所から均等に樹脂を射出するようにしている。これにより、リードフレームの多面付け体ＭＳの各リードフレーム１０に対して、樹脂を適正に充填させることができ、樹脂ムラのない樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒを得ることができる。   In the injection molding die 120 of the present embodiment, the resin flow path is branched from a single sprue to a plurality of gates via a runner, so that the multi-faced body MS of the lead frame is Resin is injected evenly from multiple locations. As a result, the resin can be appropriately filled in each lead frame 10 of the multi-sided body MS of the lead frame, and a multi-sided body R of the lead frame with resin without resin unevenness can be obtained.

以上より、本実施形態のリードフレーム１０には、以下のような効果がある。
（１）リードフレーム１０は、各端子部１１、１２の外周側面に凸部Ｍが形成されているので、樹脂が充填された場合に、厚み方向において、光反射樹脂層２０がリードフレーム１０を挟み込む構成にすることができる。これにより、リードフレーム１０は、凸部Ｍが、厚み方向において光反射樹脂層２０がリードフレーム１０から剥離したり、抜けたりしてしまうのを抑制することができる。
また、光反射樹脂層２０と各端子部１１、１２との接触面積を大きくすることができるので、各端子部の水平面内（ＸＹ面内）においても、光反射樹脂層２０が各端子部１１、１２から剥離してしまうのを抑制することができる。
これらにより、各端子部１１、１２と光反射樹脂層２０との剥離が要因となる光半導体装置１の破損や、剥離した部分からの水分等の浸入による各部材の変色の発生を抑制することができる。 As described above, the lead frame 10 of the present embodiment has the following effects.
(1) Since the lead frame 10 has the convex portions M formed on the outer peripheral side surfaces of the respective terminal portions 11 and 12, the light reflecting resin layer 20 is connected to the lead frame 10 in the thickness direction when the resin is filled. It can be configured to be sandwiched. Thereby, the lead frame 10 can suppress the convex part M from peeling off or coming off the light reflecting resin layer 20 from the lead frame 10 in the thickness direction.
Moreover, since the contact area of the light reflection resin layer 20 and each terminal part 11 and 12 can be enlarged, the light reflection resin layer 20 is each terminal part 11 also in the horizontal surface (XY surface) of each terminal part. , 12 can be prevented from peeling off.
As a result, the optical semiconductor device 1 can be prevented from being damaged due to the separation between the terminal portions 11 and 12 and the light reflecting resin layer 20, and the occurrence of discoloration of each member due to the intrusion of moisture or the like from the peeled portion. Can do.

（２）リードフレーム１０は、各端子部の互いに対向する外周側面に凸部Ｍが形成されているので、空隙部Ｓにおいて各端子部の凸部Ｍが互いに対向することとなる。そのため、リードフレーム１０は、空隙部Ｓの平面視において、空隙部Ｓの幅を狭く、すなわち端子部間の樹脂のみが存在する部分を減らすことができ、製造された光半導体装置１（樹脂付きリードフレーム）の端子部間の強度を向上させることができる。
また、凸部Ｍの外周縁ｐ３が丸みを帯びている場合、樹脂成形時に充填される樹脂の圧力によって、凸部Ｍが欠けたり、変形したりするのを防止することができる。
更に、凸部Ｍの外周縁ｐ３が鋭角に形成されている場合、リードフレーム１０は、光反射樹脂層２０との密着性（食いつき）を向上することができる。 (2) Since the lead frame 10 has the convex portions M formed on the outer peripheral side surfaces of the terminal portions facing each other, the convex portions M of the terminal portions face each other in the gap S. Therefore, the lead frame 10 can reduce the width of the gap portion S in a plan view of the gap portion S, that is, reduce the portion where only the resin between the terminal portions exists, and the manufactured optical semiconductor device 1 (with resin) The strength between the terminal portions of the lead frame) can be improved.
Moreover, when the outer periphery p3 of the convex part M is rounded, it can prevent that the convex part M is missing or deform | transformed with the pressure of the resin with which it fills at the time of resin molding.
Furthermore, when the outer peripheral edge p3 of the convex portion M is formed at an acute angle, the lead frame 10 can improve the adhesion (biting) with the light reflecting resin layer 20.

次に、本実施形態の各端子部に設けられた凸部Ｍの他の形態について説明する。
図１２は、第１実施形態のリードフレーム１０に設けられた凸部Ｍの他の形態を説明する図である。図１２（ａ）〜（ｈ）は、それぞれ、端子部１１の外周側面に形成された凸部Ｍの断面図である。なお、図１２（ａ）〜（ｈ）では、端子部１１の凸部Ｍについて記載するが、端子部１２の外周側面についても同様の凸部Ｍが形成されているものとし、以下の説明において、端子部１１の凸部Ｍについて説明するが、端子部１２についても同様であるものとする。
以下に説明する他の形態の凸部Ｍは、上述のリードフレーム１０の凸部Ｍと同様に、厚み方向において、光反射樹脂層がリードフレーム１０を挟み込む構成にすることができる。そのため、他の形態の凸部Ｍは、厚み方向において光反射樹脂層がリードフレーム１０から剥離したり、抜けたりしてしまうのを抑制することができる。また、光反射樹脂層と各端子部との接触面積を大きくすることができるので、各端子部の水平面内（ＸＹ面内）においても、光反射樹脂層が各端子部から剥離してしまうのを抑制することができる。 Next, the other form of the convex part M provided in each terminal part of this embodiment is demonstrated.
FIG. 12 is a diagram illustrating another form of the convex portion M provided on the lead frame 10 of the first embodiment. 12A to 12H are cross-sectional views of the convex portion M formed on the outer peripheral side surface of the terminal portion 11, respectively. In FIGS. 12A to 12H, the convex portion M of the terminal portion 11 is described. However, the same convex portion M is formed on the outer peripheral side surface of the terminal portion 12, and in the following description. The convex portion M of the terminal portion 11 will be described, but the same applies to the terminal portion 12.
The convex part M of the other form demonstrated below can be made into the structure which sandwiches the lead frame 10 in the thickness direction like the convex part M of the above-mentioned lead frame 10 in the thickness direction. Therefore, the convex part M of another form can suppress that the light reflection resin layer peels off from the lead frame 10 or comes off in the thickness direction. Further, since the contact area between the light reflecting resin layer and each terminal portion can be increased, the light reflecting resin layer is peeled off from each terminal portion even in the horizontal plane (XY plane) of each terminal portion. Can be suppressed.

（他の形態１）
図１２（ａ）に示すように、端子部１１は、表面側及び裏面側の外周縁ｐ１が、厚み方向と平行な線の同一直線状に形成され、また、その外周側面のほぼ中央に凸部Ｍが形成される。
凸部Ｍは、その外周縁ｐ３が、端子部１１の表面側及び裏面側の外周縁ｐ１よりも外側（端子部１１の中央とは反対側）になるように形成される。
上記構成により、リードフレーム１０は、図５に示すフラットタイプの光半導体装置１（樹脂付リードフレーム）が製造された場合、各端子部の外周側面及び端子部間の樹脂厚とリードフレーム厚とがほぼ同一となる部分（空隙部Ｓ）に形成されるフレーム樹脂部２０ａの樹脂量を、凸部Ｍの表面側及び裏面側で均等にすることができる。これにより、光半導体装置１の厚み方向に対する曲げの強度を、表面方向（＋Ｚ方向）及び裏面方向（−Ｚ方向）で均等にすることができる。 (Other form 1)
As shown in FIG. 12 (a), the outer peripheral edge p1 on the front surface side and the back surface side of the terminal portion 11 is formed in the same straight line parallel to the thickness direction, and protrudes substantially at the center of the outer peripheral side surface. Part M is formed.
The convex portion M is formed such that the outer peripheral edge p3 is outside the outer peripheral edge p1 on the front surface side and the back surface side of the terminal portion 11 (on the side opposite to the center of the terminal portion 11).
With the above configuration, when the flat type optical semiconductor device 1 (lead frame with resin) shown in FIG. 5 is manufactured, the lead frame 10 has the resin thickness between the outer peripheral side surface of each terminal portion and the terminal portion, and the lead frame thickness. The resin amount of the frame resin portion 20a formed in the portion (gap portion S) that is substantially the same can be made uniform on the front surface side and the back surface side of the convex portion M. Thereby, the bending strength with respect to the thickness direction of the optical semiconductor device 1 can be made uniform in the front surface direction (+ Z direction) and the back surface direction (−Z direction).

（他の形態２）
図１２（ｂ）に示すように、端子部１１は、その表面側の外周縁ｐ１が、裏面側の外周縁ｐ２よりも外側に形成され、裏面側の外周縁ｐ２が、上述の図４（ａ）に示す端子部１１の裏面側の外周縁ｐ２よりも更に内側（凸部Ｍの突出する方向の反対側）に位置するように形成されている。すなわち、端子部１１の裏面の外部端子面１１ｂ、１２ｂは、上述の図４（ａ）に示す端子部１１の外部端子面１１ｂ、１２ｂよりも小さくなるように形成される。
上記構成により、リードフレーム１０は、凸部Ｍの裏面により多くの樹脂が充填され、その部分に形成される光反射樹脂層の強度を向上させることができるので、光反射樹脂層が端子部の表面側に抜けてしまうのをより効果的に抑制することができる。 (Other form 2)
As shown in FIG. 12B, the terminal portion 11 has an outer peripheral edge p1 on the front surface side formed outside the outer peripheral edge p2 on the back surface side, and the outer peripheral edge p2 on the back surface side is the above-described FIG. It is formed so as to be located further inside (opposite to the protruding direction of the convex portion M) than the outer peripheral edge p2 on the back surface side of the terminal portion 11 shown in a). That is, the external terminal surfaces 11b and 12b on the back surface of the terminal portion 11 are formed to be smaller than the external terminal surfaces 11b and 12b of the terminal portion 11 shown in FIG.
With the above configuration, the lead frame 10 is filled with more resin on the back surface of the convex portion M, and the strength of the light reflecting resin layer formed on the portion can be improved. It can suppress more effectively that it slips out to the surface side.

（他の形態３）
図１２（ｃ）に示すように、端子部１１は、その表面側の外周縁ｐ１が、裏面側の外周縁ｐ２よりも外側に形成され、裏面側の外周縁ｐ２が、上述の図４（ａ）に示す端子部１１の裏面側の外周縁ｐ２よりも更に内側（凸部Ｍの突出する方向の反対側）に位置するように形成されている。すなわち、端子部１１の裏面の外部端子面１１ｂ、１２ｂは、上述の図４（ａ）に示す端子部１１の外部端子面１１ｂ、１２ｂよりも小さくなるように形成される。
また、端子部１１は、凸部Ｍの裏面側の付け根部分が、端子部１１の裏面側の外周縁ｐ２よりも内側に窪むように形成されている。ここで、付け根部分とは、凸部Ｍの各端子部との境界となる部分をいい、図１２（ｃ）においては、凸部Ｍの左側端部であって、端子部１１の表面側の外周縁ｐ１及び裏面側の外周縁ｐ２に接合される部分をいう。
上記構成により、リードフレーム１０は、上記他の形態２と同様に、凸部Ｍの裏面により多くの樹脂が充填され、その部分に形成される光反射樹脂層の強度を向上させることができるので、光反射樹脂層が端子部の表面側に抜けてしまうのをより効果的に抑制することができる。また、リードフレーム１０は、凸部Ｍの裏面側に充填される樹脂が、上述の裏面側の付け根部分の窪みにも充填されるので、光反射樹脂層を厚み方向に対してリードフレーム１０により強固に密着させ、剥離抑制効果を向上させることができる。 (Other form 3)
As shown in FIG. 12C, the terminal portion 11 has an outer peripheral edge p1 on the front surface side formed outside the outer peripheral edge p2 on the back surface side, and the outer peripheral edge p2 on the back surface side is the above-described FIG. It is formed so as to be located further inside (opposite to the protruding direction of the convex portion M) than the outer peripheral edge p2 on the back surface side of the terminal portion 11 shown in a). That is, the external terminal surfaces 11b and 12b on the back surface of the terminal portion 11 are formed to be smaller than the external terminal surfaces 11b and 12b of the terminal portion 11 shown in FIG.
Further, the terminal portion 11 is formed such that the base portion on the back surface side of the convex portion M is recessed inward from the outer peripheral edge p <b> 2 on the back surface side of the terminal portion 11. Here, the root portion refers to a portion that becomes a boundary with each terminal portion of the convex portion M, and in FIG. 12C, is a left end portion of the convex portion M, which is on the surface side of the terminal portion 11. The part joined to the outer periphery p1 and the outer periphery p2 of the back surface side is said.
With the above configuration, the lead frame 10 can be filled with more resin on the back surface of the convex portion M and improve the strength of the light-reflecting resin layer formed in the portion, as in the second embodiment. Further, it is possible to more effectively suppress the light reflecting resin layer from coming off to the surface side of the terminal portion. Moreover, since the resin with which the lead frame 10 is filled in the back surface side of the convex part M is also filled in the depression of the base part of the above-mentioned back surface side, the light reflecting resin layer is formed by the lead frame 10 with respect to the thickness direction. It is possible to improve the peeling prevention effect by firmly adhering.

（他の形態４）
図１２（ｄ）に示すように、端子部１１は、その表面側の外周縁ｐ１が、裏面側の外周縁ｐ２よりも外側に形成され、裏面側の外周縁ｐ２が、上述の図４（ａ）に示す端子部１１の裏面側の外周縁ｐ２よりも更に内側（凸部Ｍの突出する方向の反対側）に位置するように形成されている。すなわち、端子部１１の裏面の外部端子面１１ｂ、１２ｂは、上述の図４（ａ）に示す端子部１１の外部端子面１１ｂ、１２ｂよりも小さくなるように形成される。
また、端子部１１は、凸部Ｍの先端部が、厚み方向の裏面側（−Ｚ側）に湾曲するように形成されている。
上記構成により、リードフレーム１０は、上記他の形態２と同様に、凸部Ｍの裏面により多くの樹脂が充填され、その部分に形成される光反射樹脂層の強度を向上させることができるので、光反射樹脂層が端子部の表面側に抜けてしまうのをより効果的に抑制することができる。また、リードフレーム１０は、裏面側に湾曲している凸部Ｍによって、より強固に光反射樹脂層を各端子部１１、１２に密着させ、特に各端子部と光反射樹脂層との水平方向の剥離抑制の効果を向上させることができる。 (Other form 4)
As shown in FIG. 12D, the terminal portion 11 has an outer peripheral edge p1 on the front surface side formed outside the outer peripheral edge p2 on the back surface side, and the outer peripheral edge p2 on the back surface side is the above-described FIG. It is formed so as to be located further inside (opposite to the protruding direction of the convex portion M) than the outer peripheral edge p2 on the back surface side of the terminal portion 11 shown in a). That is, the external terminal surfaces 11b and 12b on the back surface of the terminal portion 11 are formed to be smaller than the external terminal surfaces 11b and 12b of the terminal portion 11 shown in FIG.
Moreover, the terminal part 11 is formed so that the front-end | tip part of the convex part M may curve to the back surface side (-Z side) of the thickness direction.
With the above configuration, the lead frame 10 can be filled with more resin on the back surface of the convex portion M and improve the strength of the light-reflecting resin layer formed in the portion, as in the second embodiment. Further, it is possible to more effectively suppress the light reflecting resin layer from coming off to the surface side of the terminal portion. In addition, the lead frame 10 has the light reflecting resin layer more firmly adhered to each of the terminal portions 11 and 12 by the convex portion M curved to the back side, and in particular, the horizontal direction of each terminal portion and the light reflecting resin layer. It is possible to improve the effect of suppressing peeling.

（他の形態５）
図１２（ｅ）に示すように、端子部１１は、その表面側の外周縁ｐ１が、裏面側の外周縁ｐ２よりも外側に形成され、凸部Ｍの先端部が、他の形態４の場合よりも厚み方向の裏面側（−Ｚ側）に大きく湾曲するように形成されている。
上記構成により、リードフレーム１０は、裏面側に湾曲している凸部Ｍによって、他の形態４の場合よりも強固に光反射樹脂層２０を各端子部１１、１２に密着させ、特に各端子部と光反射樹脂層との水平方向の剥離抑制効果を向上させることができる。 (Other form 5)
As shown in FIG. 12 (e), the terminal portion 11 has the outer peripheral edge p1 on the front surface side formed outside the outer peripheral edge p2 on the back surface side, and the tip portion of the convex portion M is in the other form 4. It is formed so as to be more greatly curved on the back surface side (−Z side) in the thickness direction than in the case.
With the above configuration, the lead frame 10 has the light reflecting resin layer 20 adhered to the terminal portions 11 and 12 more firmly than the case of the other embodiment 4 by the convex portion M curved to the back surface side. The effect of suppressing peeling in the horizontal direction between the portion and the light reflecting resin layer can be improved.

（他の形態６）
図１２（ｆ）に示すように、端子部１１は、その表面側の外周縁ｐ１が、裏面側の外周縁ｐ２よりも外側に形成され、凸部Ｍの先端部が、他の形態５の場合よりも厚み方向の裏面側（−Ｚ側）に大きく湾曲するように形成されている。そのため、湾曲させた凸部Ｍの先端部は、厚み方向とほぼ平行になる。また、端子部１１は、凸部Ｍの裏面の付け根部分が、端子部１１の裏面側の外周縁ｐ２よりも内側（端子部１１の中央側）に窪むように形成されている。 (Other form 6)
As shown in FIG. 12 (f), the terminal portion 11 has an outer peripheral edge p1 on the front surface side formed outside the outer peripheral edge p2 on the back surface side, and the tip portion of the convex portion M is in the other form 5. It is formed so as to be more greatly curved on the back surface side (−Z side) in the thickness direction than in the case. Therefore, the tip end of the curved convex portion M is substantially parallel to the thickness direction. Further, the terminal portion 11 is formed such that the base portion of the back surface of the convex portion M is recessed inward (center side of the terminal portion 11) from the outer peripheral edge p <b> 2 on the back surface side of the terminal portion 11.

上記構成により、リードフレーム１０は、先端部が厚み方向とほぼ平行になるように形成された凸部Ｍによって、他の形態５の場合よりも更に強固に光反射樹脂層２０を各端子部１１、１２に密着させることができる。これにより、特に各端子部と光反射樹脂層との水平方向の剥離抑制効果を向上させることができる。
また、リードフレーム１０は、凸部Ｍの裏面側に充填される樹脂が、裏面側の外周縁ｐ２よりも内側に窪んだ凸部Ｍの裏面側の付け根部分にも充填されるので、光反射樹脂層を厚み方向に対してリードフレーム１０により強固に密着させ、剥離抑制効果を向上させることができる。
更に、リードフレーム１０は、凸部Ｍの先端部が厚み方向と略平行に形成されることにより、各端子部と光反射樹脂層２０とが端子面（ＸＹ平面）を構成する軸（Ｘ軸、Ｙ軸）周りに互いに回転してしまうのを抑制することができ、上記剥離抑制効果を向上することができる。特に、本実施形態では、端子部１２は、端子部１１よりも外形が小さいため、上述の回転を発生しやすくなるが、凸部Ｍを、少なくとも端子部１２の端子部１１とは対向しない側の辺に設けることで、効果的にその回転を抑制することができる。 With the configuration described above, the lead frame 10 has the light reflecting resin layer 20 more firmly connected to the terminal portions 11 than the other forms 5 by the convex portions M formed so that the tip portions are substantially parallel to the thickness direction. , 12 can be brought into close contact with each other. Thereby, especially the horizontal peeling suppression effect of each terminal part and the light reflection resin layer can be improved.
Further, in the lead frame 10, the resin filled on the back surface side of the convex portion M is also filled in the base portion on the back surface side of the convex portion M that is recessed inwardly from the outer peripheral edge p <b> 2 on the back surface side. The resin layer can be firmly adhered to the thickness direction by the lead frame 10 to improve the peeling suppression effect.
Furthermore, the lead frame 10 has an axis (X-axis) in which each terminal portion and the light-reflecting resin layer 20 form a terminal surface (XY plane) by forming the tip portion of the convex portion M substantially parallel to the thickness direction. , Y axis) can be suppressed from rotating around each other, and the above-described peeling suppression effect can be improved. In particular, in this embodiment, since the terminal portion 12 has a smaller outer shape than the terminal portion 11, the above-mentioned rotation is likely to occur, but the convex portion M is at least the side of the terminal portion 12 that does not face the terminal portion 11. By providing it on the side, the rotation can be effectively suppressed.

（他の形態７）
図１２（ｇ）に示すように、端子部１１は、表面側及び裏面側の外周縁ｐ１が、厚み方向と平行な線の同一直線状に形成され、また、その外周側面のほぼ中央に凸部Ｍが形成される。
凸部Ｍは、端子部１１の外周側面の付け根部分から離れるにつれて徐々に細くなるが、先端部に向かって再び太くなるように形成される。ここで、付け根部分とは、凸部Ｍの各端子部との境界となる部分をいい、図１２（ｇ）においては、凸部Ｍの左端部であって、端子部１１の表面側及び裏面側の外周縁ｐ１に接合される部分をいう。 (Other form 7)
As shown in FIG. 12 (g), the outer peripheral edge p1 on the front surface side and the back surface side of the terminal portion 11 is formed in the same straight line parallel to the thickness direction, and protrudes substantially at the center of the outer peripheral side surface. Part M is formed.
The convex portion M is gradually thinned away from the base portion of the outer peripheral side surface of the terminal portion 11, but is formed so as to become thicker again toward the tip portion. Here, the root portion refers to a portion that becomes a boundary with each terminal portion of the convex portion M, and is the left end portion of the convex portion M in FIG. The part joined to the outer periphery p1 of a side is said.

上記構成により、リードフレーム１０は、図５に示すフラットタイプの光半導体装置１（樹脂付リードフレーム）が製造された場合、各端子部の外周側面及び端子部間の樹脂厚とリードフレーム厚とがほぼ同一となる部分（空隙部Ｓ）に形成されるフレーム樹脂部２０ａの樹脂量を、凸部Ｍの表面側及び裏面側で均等にすることができる。これにより、光半導体装置１の厚み方向に対する曲げの強度を、表面方向（＋Ｚ方向）及び裏面方向（−Ｚ方向）で均等にすることができる。
また、リードフレーム１０は、凸部Ｍが付け根部分から離れるにつれて徐々に細くなり、先端部に向かって再び太くなるように形成されているので、各端子部と光反射樹脂層とを水平方向により強固に密着させ、各端子部及び光反射樹脂層間の剥離抑制効果を向上させることができる。 With the above configuration, when the flat type optical semiconductor device 1 (lead frame with resin) shown in FIG. 5 is manufactured, the lead frame 10 has the resin thickness between the outer peripheral side surface of each terminal portion and the terminal portion, and the lead frame thickness. The resin amount of the frame resin portion 20a formed in the portion (gap portion S) that is substantially the same can be made uniform on the front surface side and the back surface side of the convex portion M. Thereby, the bending strength with respect to the thickness direction of the optical semiconductor device 1 can be made uniform in the front surface direction (+ Z direction) and the back surface direction (−Z direction).
Further, the lead frame 10 is formed so that the convex portion M gradually becomes thinner as it moves away from the base portion, and becomes thicker again toward the tip portion, so that each terminal portion and the light reflecting resin layer are arranged in the horizontal direction. It can adhere firmly and can improve the delamination suppression effect between each terminal part and a light reflection resin layer.

更に、リードフレーム１０は、凸部Ｍを有することにより、各端子部と光反射樹脂層２０とが端子面（ＸＹ平面）を構成する軸（Ｘ軸、Ｙ軸）周りに互いに回転してしまうのを抑制することができ、上記剥離抑制効果を向上することができる。特に、本実施形態では、端子部１２は、端子部１１よりも外形が小さいため、上述の回転を発生しやすくなるが、凸部Ｍを、少なくとも端子部１２の端子部１１とは対向しない側の辺に設けることで、効果的にその回転を抑制することができる。   Further, since the lead frame 10 has the convex portion M, each terminal portion and the light reflecting resin layer 20 rotate around each other about the axis (X axis, Y axis) constituting the terminal surface (XY plane). Can be suppressed, and the above-mentioned peeling suppression effect can be improved. In particular, in this embodiment, since the terminal portion 12 has a smaller outer shape than the terminal portion 11, the above-mentioned rotation is likely to occur, but the convex portion M is at least the side of the terminal portion 12 that does not face the terminal portion 11. By providing it on the side, the rotation can be effectively suppressed.

（他の形態８）
図１２（ｈ）に示すように、端子部１１は、表面側及び裏面側の外周縁ｐ１が、厚み方向と平行な線の同一直線状に形成され、また、その外周側面のほぼ中央に凸部Ｍが形成される。
凸部Ｍは、端子部１１の外周側面の付け根部分から離れるにつれて徐々に細くなるが、先端部に向かって再び太くなるように形成される。また、凸部Ｍは、その先端部が２つに分岐されており、それぞれが表面側、裏面側に向かって湾曲しており、２つに分岐された先端部間には窪みが形成される。 (Other form 8)
As shown in FIG. 12 (h), the outer peripheral edge p1 on the front surface side and the rear surface side of the terminal portion 11 is formed in the same straight line parallel to the thickness direction, and protrudes substantially at the center of the outer peripheral side surface. Part M is formed.
The convex portion M is gradually thinned away from the base portion of the outer peripheral side surface of the terminal portion 11, but is formed so as to become thicker again toward the tip portion. Moreover, the convex part M has its front-end | tip part branched into two, and each is curving toward the surface side and the back surface side, and a hollow is formed between the front-end | tip parts branched into two. .

上記構成により、リードフレーム１０は、図５に示すフラットタイプの光半導体装置１（樹脂付リードフレーム）が製造された場合、各端子部の外周側面及び端子部間の樹脂厚とリードフレーム厚とがほぼ同一となる部分（空隙部Ｓ）に形成されるフレーム樹脂部２０ａの樹脂量を、凸部Ｍの表面側及び裏面側で均等にすることができる。これにより、光半導体装置１の厚み方向に対する曲げの強度を、表面方向（＋Ｚ方向）及び裏面方向（−Ｚ方向）で均等にすることができる。
また、リードフレーム１０は、凸部Ｍが付け根部分から離れるにつれて徐々に細くなり、先端部に向かって再び太くなるように形成されているので、各端子部と光反射樹脂層とを水平方向により強固に密着させ、各端子部及び光反射樹脂層間の剥離抑制効果を向上させることができる。 With the above configuration, when the flat type optical semiconductor device 1 (lead frame with resin) shown in FIG. 5 is manufactured, the lead frame 10 has the resin thickness between the outer peripheral side surface of each terminal portion and the terminal portion, and the lead frame thickness. The resin amount of the frame resin portion 20a formed in the portion (gap portion S) that is substantially the same can be made uniform on the front surface side and the back surface side of the convex portion M. Thereby, the bending strength with respect to the thickness direction of the optical semiconductor device 1 can be made uniform in the front surface direction (+ Z direction) and the back surface direction (−Z direction).
Further, the lead frame 10 is formed so that the convex portion M gradually becomes thinner as it moves away from the base portion, and becomes thicker again toward the tip portion, so that each terminal portion and the light reflecting resin layer are arranged in the horizontal direction. It can adhere firmly and can improve the delamination suppression effect between each terminal part and a light reflection resin layer.

更に、リードフレーム１０は、凸部Ｍを有することにより、各端子部と光反射樹脂層２０とが端子面（ＸＹ平面）を構成する軸（Ｘ軸、Ｙ軸）周りに互いに回転してしまうのを抑制することができ、上記剥離抑制効果を向上することができる。特に、本実施形態では、端子部１２は、端子部１１よりも外形が小さいため、上述の回転を発生しやすくなるが、凸部Ｍを、少なくとも端子部１２の端子部１１とは対向しない側の辺に設けることで、効果的にその回転を抑制することができる。
また、リードフレーム１０は、凸部Ｍの２つに分岐された先端部間が窪んでいるので、樹脂が充填された場合に、その窪んだ部分にも樹脂が充填され、リードフレーム１０及び光反射樹脂層の厚み方向に対する剥離を効果的に抑制することができる。 Further, since the lead frame 10 has the convex portion M, each terminal portion and the light reflecting resin layer 20 rotate around each other about the axis (X axis, Y axis) constituting the terminal surface (XY plane). Can be suppressed, and the above-mentioned peeling suppression effect can be improved. In particular, in this embodiment, since the terminal portion 12 has a smaller outer shape than the terminal portion 11, the above-mentioned rotation is likely to occur, but the convex portion M is at least the side of the terminal portion 12 that does not face the terminal portion 11. By providing it on the side, the rotation can be effectively suppressed.
In addition, since the lead frame 10 is recessed between the two leading ends of the convex portion M, when the resin is filled, the recessed portion is also filled with the resin. Peeling in the thickness direction of the reflective resin layer can be effectively suppressed.

（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
図１３は、第２実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳの詳細を説明する図である。図１３（ａ）、図１３（ｂ）は、それぞれリードフレームの多面付け体ＭＳの平面図、裏面図を示し、図１３（ｃ）、図１３（ｄ）は、それぞれ図１３（ａ）のｃ−ｃ断面図、ｄ−ｄ断面図を示す。
図１４は、第２実施形態のリードフレーム２１０の端子部間の断面の詳細を説明する図である。図１４（ａ）は、図１３（ｃ）のＡ部詳細を示す図であり、図１４（ｂ）は、図１３（ｄ）のＢ部詳細を示す図である。
なお、以下の説明及び図面において、前述した第１実施形態と同様の機能を果たす部分には、同一の符号又は末尾に同一の符号を付して、重複する説明を適宜省略する。 (Second Embodiment)
Next, a second embodiment of the present invention will be described.
FIG. 13 is a diagram for explaining details of the multi-faced body MS of the lead frame of the second embodiment. FIGS. 13A and 13B are a plan view and a back view, respectively, of the multi-faced body MS of the lead frame, and FIGS. 13C and 13D are views of FIG. 13A, respectively. A cc sectional view and a dd sectional view are shown.
FIG. 14 is a diagram illustrating details of a cross section between the terminal portions of the lead frame 210 of the second embodiment. FIG. 14A is a diagram showing details of a portion A in FIG. 13C, and FIG. 14B is a diagram showing details of a portion B in FIG. 13D.
Note that, in the following description and drawings, the same reference numerals or the same reference numerals are given to the portions that perform the same functions as those in the first embodiment described above, and overlapping descriptions will be omitted as appropriate.

第２実施形態のリードフレーム２１０は、各端子部２１１、２１２の互いに対向する辺に設けられる凸部Ｍの形状が第１実施形態と相違する。
端子部２１１は、図１３及び図１４に示すように、その表面の端子部２１２と対向する辺と連結部２１３とを除く辺の外周部分が、ＬＥＤ端子面２１１ａから窪んでおり、凸部Ｍが形成されている。また、端子部２１１は、その表面の端子部２１２と対向する辺の両端部及び中央部の外周部分もＬＥＤ端子面２１１ａから窪んでおり、凸部Ｍが形成されている。 The lead frame 210 of the second embodiment is different from the first embodiment in the shape of the convex portions M provided on the sides of the terminal portions 211 and 212 facing each other.
As shown in FIG. 13 and FIG. 14, the outer peripheral portion of the terminal portion 211 excluding the side facing the terminal portion 212 on the surface and the connecting portion 213 is recessed from the LED terminal surface 211 a, and the convex portion M Is formed. Further, the terminal portion 211 has both end portions of the side facing the terminal portion 212 on the surface and the outer peripheral portion of the central portion also recessed from the LED terminal surface 211a, and a convex portion M is formed.

これに対して、端子部２１２は、その表面において、端子部２１１と対向する辺と連結部２１３とを除いた外周部分がＬＥＤ端子面２１２ａから窪んでおり、凸部Ｍが形成されている。また、端子部２１２は、その表面の端子部２１１と対向する辺において、端子部２１１の凸部Ｍが設けられる部分に対向する部分を除いた外周部分がＬＥＤ端子面２１２ａから窪んでおり、凸部Ｍが形成されている。すなわち、凸部Ｍは、リードフレーム２１０の端子部間において、各端子部２１１、２１２の互いに対向する辺の外周側面に交互に形成されている。   On the other hand, on the surface of the terminal portion 212, the outer peripheral portion excluding the side facing the terminal portion 211 and the connecting portion 213 is recessed from the LED terminal surface 212a, and a convex portion M is formed. Further, the terminal portion 212 has an outer peripheral portion that is recessed from the LED terminal surface 212a except for a portion facing the portion where the convex portion M of the terminal portion 211 is provided on the side facing the terminal portion 211 on the surface thereof. Part M is formed. That is, the convex portions M are alternately formed on the outer peripheral side surfaces of the sides of the terminal portions 211 and 212 facing each other between the terminal portions of the lead frame 210.

以上の構成により、本実施形態のリードフレーム２１０は、上述の第１実施形態のリードフレーム１０と同様に、樹脂が充填された場合に、光反射樹脂層と各端子部２１１、２１２との接触面積を大きくすることができ、また、厚み方向において、光反射樹脂層がリードフレーム２１０を挟み込む構成にすることができる。これにより、リードフレーム２１０は、凸部Ｍが、厚み方向において光反射樹脂層がリードフレーム２１０から剥離して抜けてしまうのを抑制することができる。また、各端子部の水平面内（ＸＹ面内）においても、光反射樹脂層が各端子部２１１、２１２から剥離してしまうのを抑制することができる。そのため、各端子部２１１、２１２と光反射樹脂層との剥離が要因となる光半導体装置の破損や、剥離した部分からの水分等の浸入による各部材の変色の発生を抑制することができる。
また、リードフレーム２１０は、凸部Ｍが、端子部間において、各端子部２１１、２１２の互いに対向する辺の外周側面に交互に形成されているので、光反射樹脂層がリードフレーム２１０に対して厚み方向（Ｚ方向）に平行な軸を中心に回転してしまうのを防ぐことができる。
なお、本実施形態において、リードフレーム２１０は、凸部Ｍの形態を、第１実施形態に記載の他の形態１〜８（図１２参照）に置き換えることも可能である。 With the above configuration, the lead frame 210 according to the present embodiment is in contact with the light-reflecting resin layer and the terminal portions 211 and 212 when the resin is filled, similarly to the lead frame 10 according to the first embodiment described above. The area can be increased, and the light reflecting resin layer can sandwich the lead frame 210 in the thickness direction. Thereby, the lead frame 210 can suppress the convex part M from peeling off the light reflecting resin layer from the lead frame 210 in the thickness direction. Moreover, it can suppress that a light reflection resin layer peels from each terminal part 211,212 also in the horizontal surface (XY surface) of each terminal part. Therefore, it is possible to suppress the occurrence of discoloration of each member due to breakage of the optical semiconductor device caused by the separation between the terminal portions 211 and 212 and the light reflecting resin layer, or the intrusion of moisture or the like from the peeled portion.
Further, since the lead frame 210 is formed with the convex portions M alternately on the outer peripheral side surfaces of the opposite sides of each of the terminal portions 211 and 212 between the terminal portions, the light reflecting resin layer is formed on the lead frame 210. Thus, rotation about an axis parallel to the thickness direction (Z direction) can be prevented.
In the present embodiment, the lead frame 210 can replace the form of the convex portion M with other forms 1 to 8 (see FIG. 12) described in the first embodiment.

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は前述した実施形態に限定されるものではなく、後述する変形形態のように種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の技術的範囲内である。また、実施形態に記載した効果は、本発明から生じる最も好適な効果を列挙したに過ぎず、本発明による効果は、実施形態に記載したものに限定されない。なお、前述した実施形態及び後述する変形形態は、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。   Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications and changes can be made as in the modifications described later, and these are also included in the present invention. Within the technical scope. In addition, the effects described in the embodiments are merely a list of the most preferable effects resulting from the present invention, and the effects of the present invention are not limited to those described in the embodiments. It should be noted that the above-described embodiment and modifications described later can be used in appropriate combination, but detailed description thereof is omitted.

（変形形態）
（１）第１実施形態において、リードフレーム１０は、凸部Ｍが、各端子部の連結部１３を除く外周側面に形成される例を示したが、これに限定されない。例えば、各端子部の互いに対向する辺の外周側面にのみ凸部Ｍを形成するようにしてもよく、また、各端子部の各辺の一部に凸部Ｍを適宜形成するようにしてもよい。
（２）各実施形態において、リードフレーム１０は、各端子部１１、１２に同一形態の凸部Ｍを形成する例を示したが、これに限定されない。例えば、図１２に示すような他の形態１〜８の凸部Ｍを適宜選択して、端子部ごとに形成したり、各端子部の辺ごとに形成したりしてもよい。 (Deformation)
(1) In 1st Embodiment, although the lead frame 10 showed the example in which the convex part M was formed in the outer peripheral side surface except the connection part 13 of each terminal part, it is not limited to this. For example, the convex portions M may be formed only on the outer peripheral side surfaces of the opposing sides of each terminal portion, and the convex portions M may be appropriately formed on a part of each side of each terminal portion. Good.
(2) In each embodiment, although the lead frame 10 showed the example which forms the convex part M of the same form in each terminal part 11 and 12, it is not limited to this. For example, you may select suitably the convex part M of the other forms 1-8 as shown in FIG. 12, and may form for every terminal part, or may form for every edge | side of each terminal part.

（３）各実施形態において、リードフレーム１０は、各端子部１１、１２の表面側の外周縁ｐ１が、裏面側の外周縁ｐ２よりも外側（各端子部の中央とは反対側）に形成され、ＬＥＤ端子面１１ａ、１２ａが外部端子面１１ｂ、１２ｂよりも広く形成される例を示したが、これに限定されない。例えば、各端子部の表面側の外周縁ｐ１を、裏面側の外周縁ｐ２よりも内側（各端子部の中央側）に形成し、ＬＥＤ端子面が外部端子面よりも狭く形成されるようにしてもよい。
（４）各実施形態においては、リードフレーム１０は、端子部１１及び端子部１２を備える例を示したが、リードフレームは、３以上の端子部を備えていてもよい。例えば、端子部を３つ設け、その１つにはＬＥＤ素子２を実装し、他の２つにはボンディングワイヤ２ａを介してＬＥＤ素子２と接続してもよい。この場合、それぞれの端子部に凸部Ｍを設けることにより、上述の実施形態と同様に、各端子部と光反射樹脂層との剥離に発生を抑制することができる。 (3) In each embodiment, the lead frame 10 is formed such that the outer peripheral edge p1 on the front surface side of the terminal portions 11 and 12 is outside the outer peripheral edge p2 on the back surface side (opposite the center of each terminal portion). In this example, the LED terminal surfaces 11a and 12a are formed wider than the external terminal surfaces 11b and 12b. However, the present invention is not limited to this. For example, the outer peripheral edge p1 on the front surface side of each terminal part is formed on the inner side (center side of each terminal part) than the outer peripheral edge p2 on the rear surface side, and the LED terminal surface is formed narrower than the external terminal surface. May be.
(4) In each embodiment, although the lead frame 10 showed the example provided with the terminal part 11 and the terminal part 12, the lead frame may be provided with the 3 or more terminal part. For example, three terminal portions may be provided, one of which is mounted with the LED element 2, and the other two may be connected to the LED element 2 via bonding wires 2a. In this case, by providing the convex portions M in the respective terminal portions, it is possible to suppress the occurrence of the separation between the respective terminal portions and the light reflecting resin layer as in the above-described embodiment.

（５）各実施形態において、リードフレーム１０は、ＬＥＤ素子２を載置、接続するダイパッドとなる端子部１１と、ＬＥＤ素子２とボンディングワイヤ２ａを介して接続されるリード側端子部となる端子部１２とから構成する例を説明したが、これに限定されない。例えば、ＬＥＤ素子２が２つの端子部を跨ぐようにして載置、接続されるようにしてもよい。この場合、２つの端子部のそれぞれの外形は、同等に形成されてもよい。
（６）各実施形態においては、リードフレーム１０は、ＬＥＤ素子２等の光半導体素子を接続する光半導体装置１に使用する例を示したが、光半導体素子以外の半導体素子を用いた半導体装置にも使用することができる。 (5) In each embodiment, the lead frame 10 is a terminal portion 11 that serves as a die pad on which the LED element 2 is placed and connected, and a terminal that serves as a lead-side terminal portion that is connected to the LED element 2 via the bonding wire 2a. Although the example comprised from the part 12 was demonstrated, it is not limited to this. For example, the LED element 2 may be placed and connected so as to straddle two terminal portions. In this case, the outer shapes of the two terminal portions may be formed equally.
(6) In each embodiment, although the lead frame 10 showed the example used for the optical semiconductor device 1 which connects optical semiconductor elements, such as the LED element 2, the semiconductor device using semiconductor elements other than an optical semiconductor element was shown. Can also be used.

１ 光半導体装置
２ ＬＥＤ素子
１０ リードフレーム
１１ 端子部
１２ 端子部
１３ 連結部
２０ 光反射樹脂層
２０ａ フレーム樹脂部
２０ｂ リフレクタ樹脂部
３０ 透明樹脂層
Ｆ 枠体
Ｍ 凸部
ＭＳ リードフレームの多面付け体
Ｒ 樹脂付きリードフレームの多面付け体
Ｓ 空隙部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Optical semiconductor device 2 LED element 10 Lead frame 11 Terminal part 12 Terminal part 13 Connection part 20 Light reflecting resin layer 20a Frame resin part 20b Reflector resin part 30 Transparent resin layer F Frame body M Convex part MS Lead frame multi-faced body R Multi-faceted body of lead frame with resin S Gap

Claims (16)

複数の端子部を有し、前記端子部のうち少なくとも一つに光半導体素子が接続される光半導体装置に用いられるリードフレームにおいて、
前記端子部は、その外周側面の少なくとも一部に、その表面側及び裏面側の外周縁よりも外側に、前記端子部の厚み方向に垂直な方向に沿うようにして突出する凸部を有しており、
前記凸部は、先端部に向かうにつれて細くなり、前記端子部の厚み方向に垂直な方向に沿うようにしてその先端部が尖っており、
前記凸部は、前記端子部間の対向する辺の外周側面に沿って部分的に形成されるとともに、前記端子部の外周側面のうち２つの辺が交差する角部を跨ぐようにして形成されていること、
を特徴とするリードフレーム。 In a lead frame used in an optical semiconductor device having a plurality of terminal portions and having an optical semiconductor element connected to at least one of the terminal portions,
The terminal portion has, on at least a part of the outer peripheral side surface thereof, a convex portion that protrudes along the direction perpendicular to the thickness direction of the terminal portion outside the outer peripheral edge on the front surface side and the back surface side. And
The convex portion becomes narrower toward the tip portion, and the tip portion is pointed so as to be along a direction perpendicular to the thickness direction of the terminal portion,
The convex portion is partially formed along the outer peripheral side surface of the opposing side between the terminal portions, and is formed so as to straddle the corner portion where two sides of the outer peripheral side surface of the terminal portion intersect. That
Lead frame characterized by. 複数の端子部を有し、前記端子部のうち少なくとも一つに光半導体素子が接続される光半導体装置に用いられるリードフレームにおいて、
前記端子部は、その外周側面の少なくとも一部に、その表面側及び裏面側の外周縁よりも外側に、前記端子部の厚み方向に垂直な方向に沿うようにして突出する凸部を有しており、
前記凸部は、先端部に向かうにつれて細くなり、前記端子部の厚み方向に垂直な方向に沿うようにしてその先端部が尖っており、
前記凸部は、前記各端子部の互いに対向する辺の外周側面に交互に形成されること、
を特徴とするリードフレーム。 In a lead frame used in an optical semiconductor device having a plurality of terminal portions and having an optical semiconductor element connected to at least one of the terminal portions,
The terminal portion has, on at least a part of the outer peripheral side surface thereof, a convex portion that protrudes along the direction perpendicular to the thickness direction of the terminal portion outside the outer peripheral edge on the front surface side and the back surface side. And
The convex portion becomes narrower toward the tip portion, and the tip portion is pointed so as to be along a direction perpendicular to the thickness direction of the terminal portion,
The convex portions are alternately formed on the outer peripheral side surfaces of the opposing sides of the terminal portions,
Lead frame characterized by. 請求項１又は請求項２に記載のリードフレームにおいて、
前記凸部は、前記端子部の厚み方向に平行であり、かつ、前記凸部の突出する方向に平行な断面における断面形状が、略三角形状に形成されていること、
を特徴とするリードフレーム。 The lead frame according to claim 1 or 2,
The convex portion is parallel to the thickness direction of the terminal portion, and a cross-sectional shape in a cross section parallel to the protruding direction of the convex portion is formed in a substantially triangular shape;
Lead frame characterized by. 請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載のリードフレームにおいて、
前記端子部は、前記表面側の外周縁が、前記裏面側の外周縁よりも外側に形成されていること、
を特徴とするリードフレーム。 In the lead frame according to any one of claims 1 to 3,
The outer peripheral edge on the front surface side of the terminal part is formed outside the outer peripheral edge on the back surface side,
Lead frame characterized by. 請求項４に記載のリードフレームにおいて、
前記凸部の裏面側の付け根部分は、前記端子部の前記裏面側の外周縁よりも内側に窪んでいること、
を特徴とするリードフレーム。 The lead frame according to claim 4,
The base portion on the back surface side of the convex portion is recessed inward from the outer peripheral edge on the back surface side of the terminal portion,
Lead frame characterized by. 複数の端子部を有し、前記端子部のうち少なくとも一つに光半導体素子が接続される光半導体装置に用いられるリードフレームにおいて、
前記端子部は、その外周側面の少なくとも一部に、その表面側及び裏面側の外周縁よりも外側に突出する凸部を有しており、
前記凸部の先端部が、前記端子部の厚み方向の表面側及び裏面側に湾曲していること、
を特徴とするリードフレーム。 In a lead frame used in an optical semiconductor device having a plurality of terminal portions and having an optical semiconductor element connected to at least one of the terminal portions,
The terminal portion has, on at least a part of its outer peripheral side surface, a convex portion that protrudes outward from the outer peripheral edge on the front surface side and the back surface side,
The tip of the convex part is curved on the front side and the back side in the thickness direction of the terminal part;
Lead frame characterized by. 請求項６に記載のリードフレームにおいて、
前記凸部の先端部は、前記端子部の表面側と、前記端子部の裏面側とに向かって分岐していること、
を特徴とするリードフレーム。 The lead frame according to claim 6, wherein
The tip of the convex portion is branched toward the front surface side of the terminal portion and the back surface side of the terminal portion;
Lead frame characterized by. 請求項６又は請求項７に記載のリードフレームにおいて、
前記端子部の前記表面側の外周縁と、前記端子部の前記裏面側の外周縁とは、前記端子部の厚み方向に平行な同一直線上に形成されていること、
を特徴とするリードフレーム。 The lead frame according to claim 6 or 7,
The outer peripheral edge on the front surface side of the terminal part and the outer peripheral edge on the back surface side of the terminal part are formed on the same straight line parallel to the thickness direction of the terminal part,
Lead frame characterized by. 請求項１、又は、請求項３から請求項７までのいずれか１項に記載のリードフレームにおいて、
前記凸部は、前記各端子部の互いに対向する辺の外周側面に形成されること、
を特徴とするリードフレーム。 In the lead frame according to claim 1, or any one of claims 3 to 7,
The convex portion is formed on an outer peripheral side surface of each terminal portion facing each other;
Lead frame characterized by. 請求項９に記載のリードフレームにおいて、
前記凸部は、前記各端子部の互いに対向する辺の外周側面に交互に形成されること、
を特徴とするリードフレーム。 The lead frame according to claim 9,
The convex portions are alternately formed on the outer peripheral side surfaces of the opposing sides of the terminal portions,
Lead frame characterized by. 請求項１から請求項１０までのいずれか１項に記載のリードフレームと、
前記リードフレームの前記端子部の外周側面及び前記端子部間に形成されるフレーム樹脂部を有する樹脂層と、
を備える樹脂付きリードフレーム。 The lead frame according to any one of claims 1 to 10,
A resin layer having a frame resin portion formed between an outer peripheral side surface of the terminal portion of the lead frame and the terminal portion;
Lead frame with resin. 請求項１１に記載の樹脂付きリードフレームにおいて、
前記樹脂層は、前記リードフレームの前記光半導体素子が接続される側の面に突出して形成されるリフレクタ樹脂部を有すること、
を特徴とする樹脂付きリードフレーム。 In the lead frame with resin according to claim 11,
The resin layer has a reflector resin portion formed to protrude from a surface of the lead frame to which the optical semiconductor element is connected;
Lead frame with resin. 請求項１から請求項１０までのいずれか１項に記載のリードフレームが枠体に多面付けされていること、
を特徴とするリードフレームの多面付け体。 The lead frame according to any one of claims 1 to 10, wherein the lead frame is multifaceted to the frame,
Multi-faceted body of lead frame characterized by 請求項１１又は請求項１２に記載の樹脂付きリードフレームが多面付けされていること、
を特徴とする樹脂付きリードフレームの多面付け体。 The lead frame with resin according to claim 11 or claim 12 is multifaceted,
Multi-faceted body of resin-attached lead frame characterized by 請求項１１又は請求項１２に記載の樹脂付きリードフレームと、
前記樹脂付きリードフレームの前記端子部のうち少なくとも一つに接続される光半導体素子と、
前記樹脂付きリードフレームの前記光半導体素子が接続される側の面に形成され、前記光半導体素子を覆う透明樹脂層と、
を備える光半導体装置。 A lead frame with a resin according to claim 11 or 12,
An optical semiconductor element connected to at least one of the terminal portions of the lead frame with resin;
A transparent resin layer formed on a surface of the lead frame with resin to which the optical semiconductor element is connected, and covering the optical semiconductor element;
An optical semiconductor device comprising: 請求項１５に記載の光半導体装置が多面付けされていること、
を特徴とする光半導体装置の多面付け体。 The optical semiconductor device according to claim 15 is multifaceted,
A multifaceted body of an optical semiconductor device characterized by the above.
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