JP2014137905A - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Abstract
本発明は、静電チャックに保持された状態の試料の帯電を高精度に測定することを目的とする荷電粒子線装置を説明する。
【解決手段】
上記目的を達成するために、本発明によれば荷電粒子ビームが照射される試料を保持する静電チャック機構と、当該静電チャックが設置される試料室を備えた荷電粒子線装置において、前記静電チャック機構の前記試料の吸着面側の電位を測定する電位測定装置と、前記静電チャック機構によって前記試料を吸着した状態で、前記電位測定装置による電位測定を行う制御装置を備えた荷電粒子線装置を提案する。
【選択図】 図1
Description
前記静電チャック機構の前記試料の吸着面側の電位を測定する電位測定装置と、前記静電チャック機構によって前記試料を吸着した状態で、前記電位測定装置による電位測定を行う制御装置を備えた荷電粒子線装置を提案する。
上記構成を用いたCD−SEMによる測定シーケンスを説明する。図3は単に除電工程を経て、ウエハ上の微細パターンを計測する場合のフローチャートの一例であり、図4及び図5は静電吸着後の試料表面電位測定を経て、ウエハ上の微細パターンを計測する場合の一例である。はじめに、図3の計測フローチャートについて説明する。まず、図示しない搬送機構によりウエハが搬入され(301)、静電チャック上に積載される(302)。次に、静電チャック電源により電圧を印加し(303)、ウエハを静電吸着する。次いで、X−Yステージを動作させ、ウエハ上の計測すべきチップが電子ビーム照射位置にくるように所定の座標位置に移動する(304)。
102 試料室
103 予備排気室
104 X−Yステージ
105 静電チャック
106 ウエハ
107 表面電位センサ
108 校正台
201 固定部材
202 絶縁体
Claims (6)
- 試料を保持する静電チャック機構と、当該静電チャックが設置される試料室を備えた荷電粒子線装置において、
前記静電チャック機構の前記試料の吸着面側の電位を測定する表面電位センサと、前記静電チャック機構によって前記試料を吸着した状態で、前記表面電位センサによる電位測定を行う制御装置を備えた荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記真空容器内にウエハと同一高さにリターディング電圧を印加することのできる校正台座を設置したことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記表面電位センサおよび前記校正台座は、ウエハを試料室内に搬送する際のステージ位置において両者が対向するように位置に配置されていることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項3において、
前記制御装置は、前記静電チャック上のウエハ表面電位を前記校正台座により校正された前記表面電位センサによって計測し、計測した値をウエハ中心からの距離の関数として記憶しておき、各測定点に移動するごとに荷電粒子の加速電圧を補正することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記校正台座によって校正された前記表面電位センサは、所定の校正量を超えたか否かによって故障診断に利用されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記表面電位センサは、静電チャック上の電荷を除去する際に静電チャック上の帯電量を計測し、除電が正しく実行されたかを判定することを特徴とする荷電粒子線装置。
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