JP2014134402A - 赤外線センサ及び温度補償方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 赤外線センサ及び温度補償方法に関し、光学系内部の温度分布が変化した場合でも、温度板を見ずに補償量の決定を可能にする。
【解決手段】 検出対象波長の第1の赤外線と、それとは波長の異なる第2の赤外線のそれぞれに対する検出出力を出力する赤外線検出素子と、検出対象波長の第1の赤外線を選択的に透過するフィルタと、光学系とを備えた赤外線センサに第2の赤外線の検出出力に応じて第1の赤外線の検出出力を補正する補正手段を設ける。
【選択図】 図1
【解決手段】 検出対象波長の第1の赤外線と、それとは波長の異なる第2の赤外線のそれぞれに対する検出出力を出力する赤外線検出素子と、検出対象波長の第1の赤外線を選択的に透過するフィルタと、光学系とを備えた赤外線センサに第2の赤外線の検出出力に応じて第1の赤外線の検出出力を補正する補正手段を設ける。
【選択図】 図1
Description
本発明は赤外線センサ及び温度補償方法に関するものであり、例えば、光学系に温度分布が生じるような場合における温度補償機能を有する赤外線センサ及び温度補償方法に関する。
赤外線イメージセンサ、特に、室温付近の放射を感知する用途のセンサの場合、イメージセンサの光学系内部からもその温度に応じた赤外線が放射されているため撮像する画像に影響を与えるのでこれを補償する必要がある。
一般には、一定の温度板をセンサに見せることでその応答からこの補償を行うことが知られている(例えば、特許文献1或いは特許文献2参照)。この補償方式では温度板を見せている時間は観察対象を撮像できないという問題が有る。
これに代わる方法としては、光学系内の温度を温度センサなどで別途測定し、予め温度板を用いて測定した補償係数を光学系内の温度に応じて変化させる方法も提案されている(例えば、特許文献3参照)。この場合は、撮像中に温度板を見せる必要がないので常に観察対象を撮像することができる。
Proc.of SPIE,Vol.6940,69400U,(2008)
ところで、近年の赤外線イメージセンサの応用分野の拡大に伴って、大規模な光学系を採用したり或いは環境温度が頻繁に大きく変化するような場合がある。その際には、光学系内部の温度が均一ではなくなる場合が多く、光学系内に設置した温度センサの表示だけでは正確な補償が難しくなっている。
したがって、赤外線センサ及び温度補償方法において、光学系内部の温度分布が変化した場合でも、温度板を見ずに補償量を決定できる仕組みを提供することを目的とする。
開示する一観点からは、検出対象波長の第1の波長の赤外線と、前記第1の波長と異なった第2の波長の赤外線の少なくとも2つの波長の赤外線のそれぞれに対する検出出力を出力する赤外線検出素子と、前記第1の波長の赤外線を透過し且つ前記第2の波長の赤外線を遮断するフィルタと、前記第1の波長の赤外線を前記赤外線検出素子上に投影する光学系と、前記第2の波長の赤外線の検出出力に応じて前記第1の波長の赤外線の検出出力を補正する補正手段とを有することを特徴とする赤外線センサが提供される。
開示する別の観点からは、検出対象波長の第1の波長の赤外線を前記第1の波長の赤外線を透過し且つ前記第1の波長と異なった第2の波長の赤外線を遮断するフィルタと、非冷却状態の光学系とを介して所定温度に冷却した赤外線検出素子で前記第1の波長の赤外線及び前記第2の波長の赤外線を検出する工程と、冷却した低温温度板を前記光学系を介して撮影して前記第1の波長の赤外線と前記第2の波長の赤外線の検出出力の相関関係のデータを事前に取得する工程と、前記取得した相関関係のデータに基づいて、前記第2の波長の赤外線の検出出力に応じて前記第1の波長の赤外線の検出出力を補正する工程とを有することを特徴とする温度補償方法が提供される。
開示の赤外線センサ及び温度補償方法によれば、光学系内部の温度分布が変化した場合でも、温度板を見ずに補償量を決定できる仕組みを提供することが可能になる。
ここで、図1及び図2を参照して、本発明の実施の形態の赤外線センサを説明する。図1は本発明の実施の形態の赤外線センサの説明図であり、図1(a)は、本発明の赤外線センサの概念的構成図であり、図1(b)は、温度補償方法の説明図である。ここでは、赤外線センサを複数の赤外線検出素子を1次元マトリクス状或いは2次元マトリクス状に配置した赤外線センサアレイとして説明するが、一個の赤外線検出素子でも良いし、少数個の赤外線検出素子でも良い。
図1(a)に示すように、本発明の実施の形態の赤外線センサは、波長選択フィルタ1と、光学系2と、赤外線検出素子3とを備えており、赤外線検出素子3は真空容器4の内部に収容されて、冷却手段5により所定の温度、典型的には液体窒素温度に冷却される。
波長選択フィルタ1は測定対象となる第1の波長の赤外線6のみを透過するバンドパスフィルタか、或いは、第1の波長の赤外線6は透過するが、第1の波長の赤外線6とは異なる第2の波長の赤外線7を遮断するローパスフィルタ或いはハイパスフィルタを用いる。なお、光学系2の内部で発生する第2の波長の赤外線7は通常は第1の波長の赤外線6より短波長であるので、通常はローパスフィルタを用いる。
光学系2は、波長選択フィルタ1を透過した第1の波長の赤外線6を赤外線検出素子3に結像するためのものであり、広角投影レンズ系(WFOV)を用いても良いし、狭視野角投影レンズ系(XFOV)を用いても良い。但し、光学系2の特定の位置で熱的に発生した第1の波長の赤外線6と第2の波長の赤外線7が同じ画素に入射するように、第1の波長の赤外線6と第2の波長の赤外線7とに対してほぼ同じ屈折率を持つようにする。
図2は、光学系2に利用可能なレンズ材料の説明図(非特許文献1参照)であり、検出対象となる赤外線の波長に応じてレンズ材料を選択すれば良い。なお、図における、AMTIRはアモルファス赤外線透過ガラスを表し、GASIRはカルコゲナイドガラスを表す。
赤外線検出素子3は、少なくとも検出対象となる第1の波長の赤外線6とそれとは波長の異なる第2の波長の赤外線7をそれぞれ別個に検出する機能を有しており、典型的には、互いに異なった組成の多層量子井戸構造の光吸収層を用いて形成する。なお、3つの互いに組成の異なった多重量子井戸構造を積層して3波長赤外線検出素子としても良い。或いは、量子ドットを光吸収層とする量子ドット赤外線検出素子を用いても良いし、さらには、HgCdTe系のバルク型赤外線検出素子を用いても良い。
被写体から来た第1の波長の赤外線6は、波長選択フィルタ1及び光学系2を順次通過して、各画素が第1の波長の赤外線6と第2の波長の赤外線7にそれぞれ感度を持つ赤外線検出素子3上に結像する。この時、光学系3もそれ自身の温度に相当する赤外線を発するので、赤外線検出素子3に到達する第1の波長の赤外線6には被写体からの赤外線の他に光学系2の内で発生する赤外線の成分が含まれる。光学系3の内に温度分布などが有る場合、その温度分布に相当した強度分布を有する赤外線が赤外線検出素子3上に投影されるので、これが固定パターンノイズの原因となる。
ここで、第2の波長の赤外線7に注目すると、第2の波長の赤外線7は波長選択フィルタ1により外界からの入射が遮断されているので、赤外線検出素子3上に到達する第2の波長の赤外線7は赤外線センサ内の温度により発生した赤外線のみとなる。第1の波長の赤外線6と第2の波長の赤外線7の波長が比較的近い場合、同一の場所から発生した両者の赤外線は赤外線検出素子3上のほぼ同じ位置の画素に結像すると予想され、またその強度は一定の比例関係にあると仮定できる。したがって、各画素で検出した第2の波長の赤外線7の強度から第1の波長の赤外線6の強度の内の赤外線イメージセンサ内で発生した成分を見積もることが可能になる。
即ち、第2の波長の赤外線7から得られた2次元イメージと第1の波長の赤外線6から得られた2次元イメージとの演算処理により、被写体からの第1の波長の赤外線6だけの情報を取り出すことができる。これにより光学系内部の温度分布が変化した場合でも、温度板を見ずに常時補償を行うことが可能になる。
そのためには、赤外線センサに温度補償を行うための補正手段8を設けることが望ましく、この補正手段8には、光学系3の内部で発生した第1の波長の赤外線6と第2の波長の赤外線7の検出出力の相関関係のデータを格納させれば良い。
このような、相関関係のデータを取得するためには、事前に所定の温度に冷却した低温温度板を光学系2を介して撮影して第1の波長の赤外線6と第2の波長の赤外線7の検出出力の相関関係を求めれば良い。
図1(b)は、補正方法の概念的説明図であり、光学系2の内部で発生した第1の波長の赤外線6の光強度分布B、即ち、固定ノイズパターンを相関関係のデータに基づいて取得する。そして、被写体を撮像した第1の波長の赤外線6の光強度分布Aからこの光強度分布Bを引くと被写体からのみの第1の波長の赤外線6の光強度分布Cが得られることになる。
以上説明したように、本発明の実施の形態によれば光学系内部などでそれ自身の温度による輻射が発生し、撮像画像に影響を与える様な条件下においても、撮像を中断することなく固定パターンノイズを除去した赤外線像を得ることが可能になる。また、光学系などを均一な温度に保持する必要がなくなるので、システム全体の小型化や低価格化を実現することが可能になる。
次に、図3乃至図7を参照して、本発明の実施例1の赤外線イメージセンサを説明する。図3は、本発明の実施例1の赤外線イメージセンサの概念的構成図であり、光学系部20と赤外線検出素子部30を備えるとともに、演算回路51及び補正情報データベース52を備えている。
光学系部20は、筐体21の入射部に7μmの赤外線を透過せず、9μmの赤外線を透過するローパスフィルタ22を設け、その内部に投影レンズ系23を収容している。ローパスフィルタ22としては、LP-8045(株式会社スペクトラ・コープ製商品型番)を用いる。
一方、赤外線検出素子部30は、窓32を備えた真空容器31に2波長多重量子井戸赤外線検出器40が収容され、この2波長多重量子井戸赤外線検出器40は冷凍機33により液体窒素温度に冷却される。また、2波長多重量子井戸赤外線検出器40は、迷光を遮断するコールドシールド34で囲われている。
図4は、2波長多重量子井戸赤外線検出器の概略的断面図である。i型GaAsベース層41上にn型GaAsコンタクト層42、n型MQW第1光吸収層43、n型GaAsコンタクト層44、n型MQW第2光吸収層45及びn型GaAsコンタクト層46を順次積層した構造とし、表面に回折格子47を形成する。また、画素ピッチは30μmで有効画素面積は28μm×28μmとする。
ここでは、n型MQW第1光吸収層43は、ピーク感度が9μmになるように、50nmのアンドープAl0.26Ga0.74As障壁層と5nmで4×1017cm-3のn型GaAs井戸層を交互に積層し、62層の井戸層と63層の障壁層で構成する。一方、n型MQW第2光吸収層45は、ピーク感度が7μmになるように、50nmのアンドープAl0.34Ga0.66As障壁層と5nmで4×1017cm-3のn型GaAs井戸層を交互に積層し、62層の井戸層と63層の障壁層で構成する。
i型GaAsベース層41側から入射した赤外線は、回折格子47で回折されて多重量子井戸構造に対して傾斜して入射することで、7μmの赤外線はn型MQW第2光吸収層45で吸収され、9μmの赤外線はn型MQW第1光吸収層43で吸収される。
図5は、投影レンズ系の一例を示す構成説明図であり、ここでは、広角投影レンズ系(WFOV)を用いる。
図6は、補正情報データベース取得方法の説明図であり、図6(a)は測定系の説明図であり、図6(b)は測定結果の説明図である。図3に示した赤外線イメージセンサ全体を窓61を備えた恒温容器60内に収容し、真空装置62内に収容した液体窒素温度に冷却した低温温度板63を2波長多重量子井戸赤外線検出器40で撮影する。この時、低温温度板63は液体窒素温度になっているので赤外線の輻射はなく、したがって、2波長多重量子井戸赤外線検出器40で検出された赤外線は光学系由来の赤外線となる。
このような測定を、実際の測定環境における環境温度近傍の温度範囲において、温度をずらしながら一定にした状態で繰り返して測定を行い、9μmの赤外線の強度と7μmの赤外線の強度の相関関係を取得する。図6(b)は測定結果を概念的に示した図であり、各測定点は異なった温度における測定結果をしている。
図7は、補正方法の説明図であり、実際の測定においては、9μmの測定画像と7μmの測定画像を演算回路51へ入力するとともに、補正情報データベースも入力する。図7(b)に示すように、7μmの測定画像の画素毎の光強度L7μmを図6(b)に示した補正情報データベースと対比して当該強度に対応する9μmの赤外線の光強度L9μmを求める。この求めた画素毎に求めた光強度L9μmを、9μmの測定画像の画素毎に減算することによって、被写体由来の画像が得られる。
このように、本発明の実施例1においては、特定の波長の赤外線で被写体を撮像する際に、2波長多重量子井戸赤外線検知器を用いて光学系で発生する赤外線による固定パターンノイズを除去しているので、小型の装置構成で連続撮像が可能なる。
次に、図8乃至図10を参照して、本発明の実施例2の赤外線イメージセンサを説明する。図8は、本発明の実施例2の赤外線イメージセンサの概念的構成図であり、光学系部20と赤外線検出素子部30を備えるとともに、演算回路51及び補正情報データベース52を備えている。
光学系部20は、筐体21の入射部に6μmの赤外線を透過せず、5μmの赤外線と9μmの赤外線を透過するバンドパスフィルタ24を設け、その内部に投影レンズ系25を収容している。
一方、赤外線検出素子部30は、窓32を備えた真空容器31に3波長多重量子井戸赤外線検出器70が収容され、この3波長多重量子井戸赤外線検出器70は冷凍機33により液体窒素温度に冷却される。また、3波長多重量子井戸赤外線検出器70は、迷光を遮断するコールドシールド34で囲われている。
図9は、3波長多重量子井戸赤外線検出器の概略的断面図である。i型GaAsベース層71上にn型GaAsコンタクト層72、n型MQW第1光吸収層73、n型GaAsコンタクト層74、n型MQW第2光吸収層75、n型GaAsコンタクト層76、n型MQW第3光吸収層77及びn型GaAsコンタクト層78を順次積層した構造とする。 また、表面に回折格子79を形成するとともに、画素ピッチは30μmで有効画素面積は28μm×28μmとする。
ここでは、n型MQW第1光吸収層73、n型MQW第2光吸収層75及びn型MQW第3光吸収層77は、ピーク波長がそれぞれ9μm、6μm及び5μmになるように、障壁層と井戸層の厚さ及び組成を調整する。
i型GaAsベース層71側から入射した赤外線は、回折格子79で回折されて多重量子井戸構造に対して傾斜して入射する。その結果、5μmの赤外線はn型MQW第3光吸収層77で吸収され、6μmの赤外線はn型MQW第2光吸収層75で吸収され、9μmの赤外線はn型MQW第1光吸収層73で吸収される。
図10は、投影レンズ系の一例を示す構成説明図であり、ここでは、狭視野角投影レンズ系(XFOV)を用いる。
本発明の実施例2においては、6μmの赤外線の信号はバンドパスフィルタ24により遮断されているので、3波長多重量子井戸赤外線検出器70で検出された6μmの赤外線は、主に光学系から発生した赤外線に相当する。この6μmの赤外線の情報を基に5μmの赤外線と9μmの赤外線について、光学系内で発生した赤外線成分の補正を行うことで、2波長を測定対象とする赤外線イメージセンサにおいても、固定パターンノイズの低減が可能になる。
ここで、実施例1及び実施例2を含む本発明の実施の形態に関して、以下の付記を付す。
(付記1)検出対象波長の第1の波長の赤外線と、前記第1の波長と異なった第2の波長の赤外線の少なくとも2つの波長の赤外線のそれぞれに対する検出出力を出力する赤外線検出素子と、前記第1の波長の赤外線を透過し且つ前記第2の波長の赤外線を遮断するフィルタと、前記第1の波長の赤外線を前記赤外線検出素子上に投影する光学系と、前記第2の波長の赤外線の検出出力に応じて前記第1の波長の赤外線の検出出力を補正する補正手段とを有することを特徴とする赤外線センサ。
(付記2)前記赤外線検出素子が、前記第1の波長の赤外線に対して前記第2の波長の赤外線と反対側の波長変動側の第3の波長の赤外線に対する検出出力を検出する機能を有し、
前記補正手段は、前記第3の波長の赤外線の出力に応じて前記第1の波長の赤外線の出力をさらに補正する機能を有することを特徴とする付記1に記載の赤外線センサ。
(付記3)前記赤外線検出素子が、1次元状或いは2次元状にモノリシックに多数個配置されていることを特徴とする付記1または付記2に記載の赤外線センサ。
(付記4)前記赤外線検出素子が真空容器内に配置されて冷却手段により所定の温度に冷却されるとともに、前記フィルタが前記フィルタと前記赤外線検出素子との間に配置された前記光学系とともに非冷却状態で配置されていることを特徴とする付記3に記載の赤外線センサ。
(付記5)前記光学系が複数のレンズを有し、前記複数のレンズの前記第1の波長の赤外線及び前記第2の波長の赤外線に対する各屈折率が、前記光学系の特定の位置において発生した前記第1の波長の赤外線と前記第2の波長の赤外線が、前記複数の赤外線検出素子の内の同一の赤外線検出素子に入射する程度にほぼ同一の屈折率を有することを特徴とする付記4に記載の赤外線センサ。
(付記6)前記補正手段が、冷却した低温温度板を前記光学系を介して撮影して事前に取得した前記第1の波長の赤外線と前記第2の波長の赤外線の検出出力の相関関係のデータを格納していることを特徴とする付記5に記載の赤外線センサ。
(付記7)検出対象波長の第1の波長の赤外線を前記第1の波長の赤外線を透過し且つ前記第1の波長と異なった第2の波長の赤外線を遮断するフィルタと、非冷却状態の光学系とを介して所定温度に冷却した赤外線検出素子で前記第1の波長の赤外線と前記第2の波長の赤外線を検出する工程と、冷却した低温温度板を前記光学系を介して撮影して前記第1の波長の赤外線と前記第2の波長の赤外線の検出出力の相関関係のデータを事前に取得する工程と、前記取得した相関関係のデータに基づいて、前記第2の波長の赤外線の検出出力に応じて前記第1の波長の赤外線の検出出力を補正する工程とを有することを特徴とする温度補償方法。
(付記1)検出対象波長の第1の波長の赤外線と、前記第1の波長と異なった第2の波長の赤外線の少なくとも2つの波長の赤外線のそれぞれに対する検出出力を出力する赤外線検出素子と、前記第1の波長の赤外線を透過し且つ前記第2の波長の赤外線を遮断するフィルタと、前記第1の波長の赤外線を前記赤外線検出素子上に投影する光学系と、前記第2の波長の赤外線の検出出力に応じて前記第1の波長の赤外線の検出出力を補正する補正手段とを有することを特徴とする赤外線センサ。
(付記2)前記赤外線検出素子が、前記第1の波長の赤外線に対して前記第2の波長の赤外線と反対側の波長変動側の第3の波長の赤外線に対する検出出力を検出する機能を有し、
前記補正手段は、前記第3の波長の赤外線の出力に応じて前記第1の波長の赤外線の出力をさらに補正する機能を有することを特徴とする付記1に記載の赤外線センサ。
(付記3)前記赤外線検出素子が、1次元状或いは2次元状にモノリシックに多数個配置されていることを特徴とする付記1または付記2に記載の赤外線センサ。
(付記4)前記赤外線検出素子が真空容器内に配置されて冷却手段により所定の温度に冷却されるとともに、前記フィルタが前記フィルタと前記赤外線検出素子との間に配置された前記光学系とともに非冷却状態で配置されていることを特徴とする付記3に記載の赤外線センサ。
(付記5)前記光学系が複数のレンズを有し、前記複数のレンズの前記第1の波長の赤外線及び前記第2の波長の赤外線に対する各屈折率が、前記光学系の特定の位置において発生した前記第1の波長の赤外線と前記第2の波長の赤外線が、前記複数の赤外線検出素子の内の同一の赤外線検出素子に入射する程度にほぼ同一の屈折率を有することを特徴とする付記4に記載の赤外線センサ。
(付記6)前記補正手段が、冷却した低温温度板を前記光学系を介して撮影して事前に取得した前記第1の波長の赤外線と前記第2の波長の赤外線の検出出力の相関関係のデータを格納していることを特徴とする付記5に記載の赤外線センサ。
(付記7)検出対象波長の第1の波長の赤外線を前記第1の波長の赤外線を透過し且つ前記第1の波長と異なった第2の波長の赤外線を遮断するフィルタと、非冷却状態の光学系とを介して所定温度に冷却した赤外線検出素子で前記第1の波長の赤外線と前記第2の波長の赤外線を検出する工程と、冷却した低温温度板を前記光学系を介して撮影して前記第1の波長の赤外線と前記第2の波長の赤外線の検出出力の相関関係のデータを事前に取得する工程と、前記取得した相関関係のデータに基づいて、前記第2の波長の赤外線の検出出力に応じて前記第1の波長の赤外線の検出出力を補正する工程とを有することを特徴とする温度補償方法。
1 波長選択フィルタ
2 光学系
3 赤外線検出素子
4 真空容器
5 冷却手段
6 第1の波長の赤外線
7 第2の波長の赤外線
8 補正手段
20 光学系部
21 筐体
22 ローパスフィルタ
23,25 投影レンズ系
24 バンドパスフィルタ
30 赤外線検出素子部
31 真空容器
32 窓
33 冷凍機
34 コールドシールド
40 2波長多重量子井戸赤外線検出器
41,71 i型GaAsベース層
42,72 n型GaAsコンタクト層
43,73 n型MQW第1光吸収層
44,74 n型GaAsコンタクト層
45,75 n型MQW第2光吸収層
46,76 n型GaAsコンタクト層
47,79 回折格子
51 演算回路
52 補正情報データベース
60 恒温容器
61 窓
62 真空装置
63 低温温度板
70 3波長多重量子井戸赤外線検出器
77 n型MQW第3光吸収層
78 n型GaAsコンタクト層
2 光学系
3 赤外線検出素子
4 真空容器
5 冷却手段
6 第1の波長の赤外線
7 第2の波長の赤外線
8 補正手段
20 光学系部
21 筐体
22 ローパスフィルタ
23,25 投影レンズ系
24 バンドパスフィルタ
30 赤外線検出素子部
31 真空容器
32 窓
33 冷凍機
34 コールドシールド
40 2波長多重量子井戸赤外線検出器
41,71 i型GaAsベース層
42,72 n型GaAsコンタクト層
43,73 n型MQW第1光吸収層
44,74 n型GaAsコンタクト層
45,75 n型MQW第2光吸収層
46,76 n型GaAsコンタクト層
47,79 回折格子
51 演算回路
52 補正情報データベース
60 恒温容器
61 窓
62 真空装置
63 低温温度板
70 3波長多重量子井戸赤外線検出器
77 n型MQW第3光吸収層
78 n型GaAsコンタクト層
Claims (5)
- 検出対象波長の第1の波長の赤外線と、前記第1の波長と異なった第2の波長の赤外線の少なくとも2つの波長の赤外線のそれぞれに対する検出出力を出力する赤外線検出素子と、
前記第1の波長の赤外線を透過し且つ前記第2の波長の赤外線を遮断するフィルタと
前記第1の波長の赤外線を前記赤外線検出素子上に投影する光学系と、
前記第2の波長の赤外線の検出出力に応じて前記第1の波長の赤外線の検出出力を補正する補正手段と
を有することを特徴とする赤外線センサ。 - 前記赤外線検出素子が、1次元状或いは2次元状にモノリシックに多数個配置されていることを特徴とする請求項1に記載の赤外線センサ。
- 前記赤外線検出素子が真空容器内に配置されて冷却手段により所定の温度に冷却されるとともに、
前記フィルタが前記フィルタと前記赤外線検出素子との間に配置された前記光学系とともに非冷却状態で配置されていることを特徴とする請求項2に記載の赤外線センサ。 - 前記光学系が複数のレンズを有し、前記複数のレンズの前記第1の波長の赤外線及び前記第2の波長の赤外線に対する各屈折率が、前記光学系の特定の位置において発生した前記第1の波長の赤外線と前記第2の波長の赤外線が、前記複数の赤外線検出素子の内の同一の赤外線検出素子に入射する程度にほぼ同一の屈折率を有することを特徴とする請求項3に記載の赤外線センサ。
- 検出対象波長の第1の波長の赤外線を前記第1の波長の赤外線を透過し且つ前記第1の波長と異なった第2の波長の赤外線を遮断するフィルタと、非冷却状態の光学系とを介して所定温度に冷却した赤外線検出素子で前記第1の波長の赤外線と前記第2の波長の赤外線を検出する工程と、
冷却した低温温度板を前記光学系を介して撮影して前記第1の波長の赤外線と前記第2の波長の赤外線の検出出力の相関関係のデータを事前に取得する工程と、
前記取得した相関関係のデータに基づいて、前記第2の波長の赤外線の検出出力に応じて前記第1の波長の赤外線の検出出力を補正する工程と
を有することを特徴とする温度補償方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013001382A JP6036308B2 (ja) | 2013-01-08 | 2013-01-08 | 赤外線センサ及び温度補償方法 |
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