JP2014130883A - 基板洗浄装置及び基板洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】表面を下向きにして基板Wを水平に保持して回転させる基板保持機構40と、気体と液体との2流体ジェット流を基板保持機構40で保持された基板Wの表面(下面)に向けて上向きに噴射する2流体ノズル46とを有する。
【選択図】図3
Description
これにより、基板の表面全域を斑なくより均一に洗浄することができる。
これによって、スリット型ノズルからなる2流体ノズルを固定した状態で、基板の表面全域を斑なくより均一に洗浄することができる。
図2は、本発明の実施形態に係る基板洗浄装置を備えた基板処理装置の全体構成を示す平面図である。図2に示すように、基板処理装置は、略矩形状のハウジング10と、多数の半導体ウエハ等の基板をストックする基板カセットが載置されるロードポート12を備えている。ロードポート12は、ハウジング10に隣接して配置されている。ロードポート12には、オープンカセット、SMIF(Standard Manufacturing Interface)ポッド、またはFOUP(Front Opening Unified Pod)を搭載することができる。SMIF、FOUPは、内部に基板カセットを収納し、隔壁で覆うことにより、外部空間とは独立した環境を保つことができる密閉容器である。
14a〜14d 研磨ユニット
16 第1洗浄ユニット(基板洗浄装置)
18 第2洗浄ユニット
20 乾燥ユニット
24 搬送ユニット
40 基板保持機構
42 支持軸
44 揺動アーム
46,62 2流体ノズル
48 移動機構
50 チャック
52 アーム
54 回転軸
60 パーティクル
Claims (6)
- 表面を下向きにして基板を水平に保持して回転させる基板保持機構と、
気体と液体との2流体ジェット流を前記基板保持機構で保持された基板の表面に向けて上向きに噴射する2流体ノズルとを有することを特徴とする基板洗浄装置。 - 前記基板保持機構の側方に立設した回転自在な支持軸と、この支持軸に基部を連結した水平方向に延びる揺動アームからなり、前記2流体ノズルを前記基板保持機構で保持された基板の表面と平行に移動させる移動機構とを更に有し、前記揺動アームの先端に前記2流体ノズルが取付けられていることを特徴とする請求項1に記載の基板洗浄装置。
- 前記揺動アームは、基板の中心からオフセットした洗浄開始位置から、基板の中心の下方位置を通って、基板の外周部外方の洗浄終了位置に、前記2流体ノズルを2流体ジェット流を噴出させつつ一方向に移動させるように構成されていることを特徴とする請求項2に記載の基板洗浄装置。
- 前記2流体ノズルは、前記基板保持機構で保持された基板の表面と平行に基板の直径方向に該基板の半径を跨って直線状に延び、基板の半径以上の長さのスリット状の噴射口を有するスリット型ノズルからなることを特徴とする請求項1に記載の基板洗浄装置。
- 表面を下向きにして基板を水平に回転させ、
水平に回転している基板の表面に向けて気体と液体との2流体ジェット流を2流体ノズルから上向きに噴射させることを特徴とする基板洗浄方法。 - 基板の中心からオフセットした洗浄開始位置から、基板の中心の下方位置を通って、基板の外周部外方の洗浄終了位置に、前記2流体ノズルを2流体ジェット流を噴出させつつ、基板の表面と平行に一方向に移動させることを特徴とする請求項5に記載の基板洗浄方法。
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