JP2014128908A - Production method of glass laminate - Google Patents

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Yasuhiro Matsumoto
保弘 松本
Hisahiro Uemura
弥浩 植村
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent lowering of quality of a flat glass by that generation of a warpage in a glass laminate is avoided when producing a glass laminate.SOLUTION: A production method of a glass laminate is that in respective a glass laminate GA and a support glass G1, surface roughnesses Ra of mating surfaces G1a, G3b that become surfaces of sides that mutually contact are made at least 2.0 nm, both mating surfaces G1a, G3b are surface-contacted, thereby the glass laminate GA and the support glass G1 are superimposed to produce a glass laminate GB, and flexural rigidities of the glass laminate GA and the support glass G1 are made equal mutually.

Description

本発明は、二つのガラス板体を重ね合わせることにより、ガラス積層体を製造するガラス積層体の製造方法に関する。   The present invention relates to a glass laminate manufacturing method for manufacturing a glass laminate by superimposing two glass plates.

薄肉の板ガラスに製造関連処理を施すに際しては、その取り扱いを容易なものとすることを目的として、板ガラスと、この板ガラスを支持する支持ガラスとを重ね合わせたガラス積層体が使用されている(特許文献1参照)。このガラス積層体を用いて製造関連処理を実行する場合には、以下に示すような利点がある。   When manufacturing-related processing is performed on a thin plate glass, a glass laminate is used in which a plate glass and a supporting glass supporting the plate glass are layered for the purpose of facilitating the handling (patent) Reference 1). When manufacturing-related processing is performed using this glass laminate, there are the following advantages.

例えば、薄肉の板ガラスを使用する代表的な製品であるフラットパネルディスプレイの製造工程において、板ガラスに対し、透明導電膜等の膜付け処理を実施する際に、薄肉の板ガラス特有の可撓性に富んだ性質を一時的に排除できること、及び重ね合わされた板ガラスと支持ガラスとの間に適度な密着力が作用することから、パターンニングの位置ずれが生じにくい。   For example, in the manufacturing process of flat panel display, which is a typical product that uses thin plate glass, when film processing such as transparent conductive film is applied to plate glass, it has rich flexibility unique to thin plate glass. Since the property can be temporarily excluded and an appropriate adhesion force acts between the laminated glass sheet and the supporting glass, the patterning is not easily displaced.

さらに、板ガラスと支持ガラスとの間に密着力を生み出すために、接着剤等の貼付を必要としないことから、製造関連処理を施した後の板ガラスを各種デバイスに組み込むにあたって、容易に支持ガラスから剥離させることが可能となると共に、接着剤の残存等に起因する汚染が全くない板ガラスが得られる。   Furthermore, in order to create adhesion between the plate glass and the support glass, it is not necessary to attach an adhesive or the like. Therefore, when incorporating the plate glass after manufacturing-related processing into various devices, it is easy to use it from the support glass. It is possible to obtain a plate glass that can be peeled off and has no contamination due to the remaining adhesive or the like.

特開2011−183792号公報JP 2011-183792 A

しかしながら、このように有用なガラス積層体においても、未だ解決すべき問題が存在している。すなわち、支持ガラス上への板ガラスの重ね合わせ作業が完了した後に、ガラス積層体が、図4に示すように、反りを有する状態となる場合がある。   However, there are still problems to be solved in such a useful glass laminate. That is, after the stacking operation of the plate glass on the supporting glass is completed, the glass laminate may be warped as shown in FIG.

そして、ガラス積層体Gにこのような反りが生じると、搬送ロボットの吸着エラーや、搬送コンベアでのスリップ、蛇行等が生じる。そのため、支持ガラスG1に支持された板ガラスG2に対し、適切な製造関連処理を行うことができず、製品として使用する剥離後の板ガラスG2の品質が低下するという問題があった。   And when such a curvature arises in the glass laminated body G, the adsorption | suction error of a conveyance robot, the slip by a conveyance conveyor, meandering, etc. will arise. For this reason, there has been a problem that an appropriate manufacturing-related process cannot be performed on the plate glass G2 supported by the support glass G1, and the quality of the peeled plate glass G2 used as a product is deteriorated.

そこで、このような問題を解決するため、支持ガラスG1上に板ガラスG2を重ね合わせる際に、当該板ガラスG2を、ローラー等を使用して平坦な状態へと矯正しながら重ね合わせる試みがなされてきたが、このような対策を実施した場合であっても、ガラス積層体Gの反りが解消されないばかりでなく、さらに助長されてしまう結果を招いていた。   Therefore, in order to solve such a problem, when the sheet glass G2 is superimposed on the support glass G1, attempts have been made to superimpose the sheet glass G2 while correcting it to a flat state using a roller or the like. However, even when such measures are implemented, not only the warp of the glass laminate G is not eliminated, but also the result is further promoted.

なお、このような問題は、板ガラスと支持ガラスとを重ね合わせた場合にのみ生じているものではなく、板ガラスとガラス積層体とを重ね合わせた場合、ガラス積層体同士を重ね合わせた場合のように、板ガラスをその構成要素とするものを重ね合わせてガラス積層体を製造するような際にも、同様に生じることがある。   In addition, such a problem does not arise only when the plate glass and the supporting glass are overlapped, but when the plate glass and the glass laminate are overlapped, the glass laminates are overlapped with each other. In addition, when a glass laminate is produced by superimposing plate glass as its constituent elements, it may occur in the same manner.

上記事情に鑑みなされた本発明は、ガラス積層体を製造する際に、ガラス積層体における反りの発生を回避することで、これから剥離させて得られる板ガラスの品質の低下を防止することを技術的課題とする。   This invention made | formed in view of the said situation is technical in preventing the fall of the quality of the plate glass obtained by peeling from this by avoiding generation | occurrence | production of the curvature in a glass laminated body, when manufacturing a glass laminated body. Let it be an issue.

上記課題を解決するために創案された本発明は、平板状をなす二つのガラス板体の各々において、相互に接触する側の面となる合わせ面の表面粗さRaを2.0nm以下とし、その両合わせ面を面接触させることにより、前記二つのガラス板体を重ね合わせたガラス積層体を製造するガラス積層体の製造方法であって、前記二つのガラス板体における曲げ剛性が互いに等しいことに特徴付けられる。ここで、「ガラス板体」とは、板ガラスのみならず、板ガラスをその構成要素とするもの、例えば二枚以上の板ガラスを重ね合わせたガラス積層体をも含む。また、「曲げ剛性が互いに等しい」とは、曲げ剛性の値が、完全に同一である場合のみならず、双方の値に差異がある場合において、その値の差異が、大きい方の曲げ剛性の値の15%以下である場合をも含む。ただし、この差異は、より好ましくは、10%以下であり、最も好ましくは、5%以下である。   The present invention created in order to solve the above-mentioned problems, in each of the two glass plate bodies having a flat plate shape, the surface roughness Ra of the mating surface to be a surface in contact with each other is 2.0 nm or less, A glass laminate manufacturing method for manufacturing a glass laminate in which the two glass plates are superposed by bringing the two mating surfaces into surface contact, wherein the bending stiffnesses of the two glass plates are equal to each other. Characterized by Here, the “glass plate” includes not only the plate glass but also a glass laminate in which two or more plate glasses are stacked, for example, a plate glass. In addition, “the bending stiffness is equal to each other” means that not only when the bending stiffness values are completely the same, but also when there is a difference between the two values, the difference in the values is the larger bending stiffness. The case where it is 15% or less of the value is also included. However, this difference is more preferably 10% or less, and most preferably 5% or less.

このような構成によれば、二つのガラス板体を重ね合わせた場合には、表面粗さRaが2.0nm以下とされた各々の合わせ面の面接触によって両合わせ面間に密着力が生じる。このように、接着剤等を使用することなく両合わせ面間に生じる密着力は、水素結合に起因しているものと考えられている。加えて、この両合わせ面間においては、一方のガラス板体が他方のガラス板体を引きつける力と、他方のガラス板体が一方のガラス板体を引きつける力とが等しいものと考えられている。このような観点から、二つのガラス板体の双方を平坦な状態で重ね合わせた場合、ガラス積層体に反りが発生するか否かは、二つのガラス板体間の曲げ変形のしやすさ、すなわち、曲げ剛性に差異があるか否かに支配されていると考えられる。以上の事項を考慮して、互いに等しい曲げ剛性を有する二つのガラス板体を重ね合わせてみると、双方が略平坦で反りのないガラス積層体を製造することができた。以上の事項を勘案すると、このような方法によれば、ガラス板体を重ね合わせてガラス積層体を製造する際に、ガラス積層体における反りの発生を回避できるため、これから剥離させて得られる板ガラスの品質の低下を防止することが可能となる。   According to such a configuration, when two glass plates are overlapped, an adhesion force is generated between both mating surfaces by surface contact of each mating surface having a surface roughness Ra of 2.0 nm or less. . Thus, it is considered that the adhesion force generated between the mating surfaces without using an adhesive or the like is caused by hydrogen bonding. In addition, between the two mating surfaces, it is considered that the force of one glass plate attracting the other glass plate is equal to the force of the other glass plate attracting the one glass plate. . From such a viewpoint, when both of the two glass plates are overlapped in a flat state, whether or not the warp occurs in the glass laminate, the ease of bending deformation between the two glass plates, That is, it is considered that it is governed by whether there is a difference in bending rigidity. In consideration of the above matters, when two glass plates having the same bending rigidity were overlapped, a glass laminate that was substantially flat and free from warping could be produced. In consideration of the above matters, according to such a method, when a glass laminate is produced by superposing glass plates, it is possible to avoid the occurrence of warpage in the glass laminate, and thus the plate glass obtained by peeling from the glass laminate. It is possible to prevent the deterioration of quality.

上記の方法において、前記二つのガラス板体のうち、少なくとも一方のガラス板体は、等しい曲げ剛性を有する複数枚の板ガラスを重ね合わせたガラス積層体であってもよい。   In the above method, at least one of the two glass plates may be a glass laminate in which a plurality of plate glasses having equal bending rigidity are stacked.

上述の効果により、二枚の板ガラスを重ね合わせた場合、これらが互いに等しい曲げ剛性を有するため、二枚の板ガラスの双方が略平坦で反りのないガラス積層体を製造することができる。また、この二枚の板ガラスで構成されたガラス積層体を二つ製造して重ね合わせると、これらが互いに等しい曲げ剛性を有するため、二つのガラス積層体の双方が略平坦で反りのないガラス積層体(四枚の板ガラスで構成されたガラス積層体)を製造することが可能となる。同様にして、同じ枚数の板ガラスによって構成されるガラス積層体同士を重ね合わせて、新たなガラス積層体を製造する限り、常に反りの発生のないガラス積層体を製造することができる。そして、このようにして製造された一方のガラス板体としてのガラス積層体と、このガラス積層体と互いに等しい曲げ剛性を有する他方のガラス板体とを重ね合わせることにより、製造されるガラス積層体においても、反りの発生を回避することが可能となる。   Due to the above-described effects, when two sheet glasses are overlapped, they have the same bending rigidity, so that a glass laminate that is substantially flat and free of warpage can be produced. In addition, when two glass laminates composed of these two plate glasses are manufactured and overlapped, they have the same bending rigidity, so that the two glass laminates are both substantially flat and have no warpage. It becomes possible to manufacture a body (a glass laminate composed of four plate glasses). Similarly, as long as glass laminates composed of the same number of plate glasses are overlapped to produce a new glass laminate, a glass laminate free from warpage can always be produced. And the glass laminated body manufactured by superposing | stacking the glass laminated body as one glass plate body manufactured in this way and the other glass plate body which has the bending rigidity mutually equal to this glass laminated body. In this case, it is possible to avoid warping.

上記の方法において、前記少なくとも一方のガラス板体であるガラス積層体から、任意枚数の板ガラスを剥離させてもよい。   In the above method, an arbitrary number of plate glasses may be peeled from the glass laminate that is the at least one glass plate.

複数枚の板ガラスを重ね合わせたガラス積層体から、任意枚数の板ガラスを剥離させて取り除く場合には、重ね合わせる場合とは異なり、取り除いた板ガラスの曲げ剛性(任意枚数の板ガラス全体の曲げ剛性)と、板ガラスを取り除かれたガラス積層体の曲げ剛性とに差異があっても、両者には反りが発生しないことが判明している。このため、一方のガラス板体としての複数枚の板ガラスを重ね合わせたガラス積層体と、他方のガラス板体とで構成されるガラス積層体から、任意枚数の板ガラスを取り除いた場合に、取り除いた板ガラスの曲げ剛性と、板ガラスを取り除かれたガラス積層体の曲げ剛性とに差異があっても、両者には反りが発生しないことになる。その結果、反りの発生を回避しつつ、上述の複数枚の板ガラスのうち、所望枚数の板ガラスのみを含んだガラス積層体を製造することができる。   When removing an arbitrary number of plate glasses by removing them from a glass laminate in which a plurality of plate glasses are stacked, the bending rigidity of the removed plate glass (the bending rigidity of the entire number of plate glasses) It has been found that even if there is a difference in the bending rigidity of the glass laminate from which the plate glass has been removed, there is no warping between the two. For this reason, when an arbitrary number of plate glasses were removed from a glass laminate composed of a glass laminate in which a plurality of plate glasses as one glass plate were stacked and the other glass plate, it was removed. Even if there is a difference between the bending rigidity of the sheet glass and the bending rigidity of the glass laminate from which the sheet glass has been removed, there will be no warping of both. As a result, it is possible to manufacture a glass laminate including only a desired number of plate glasses among the above-described plurality of plate glasses while avoiding the occurrence of warpage.

以上のように、本発明によれば、ガラス積層体を製造する際に、ガラス積層体における反りの発生を回避することで、これらから剥離させて得られる板ガラスの品質の低下を防止することが可能となる。   As described above, according to the present invention, when producing a glass laminate, it is possible to prevent the deterioration of the quality of the plate glass obtained by peeling the glass laminate by avoiding the occurrence of warpage in the glass laminate. It becomes possible.

本発明の第一実施形態に係るガラス積層体の製造方法を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the manufacturing method of the glass laminated body which concerns on 1st embodiment of this invention. 本発明の第一実施形態に係るガラス積層体の製造方法を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the manufacturing method of the glass laminated body which concerns on 1st embodiment of this invention. 本発明の第二実施形態に係るガラス積層体の製造方法を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the manufacturing method of the glass laminated body which concerns on 2nd embodiment of this invention. 従来の方法により製造されたガラス積層体を示す側面図である。It is a side view which shows the glass laminated body manufactured by the conventional method.

以下、本発明の実施形態に係るガラス積層体の製造方法について、添付の図面を参照して説明する。なお、以下の記載において、「曲げ剛性が互いに等しい(同一)」とは、曲げ剛性の値が、完全に同一である場合のみならず、双方の値に差異がある場合において、その値の差異が、大きい方の曲げ剛性の値の15%以下である場合をも含む。ただし、この差異は、より好ましくは、10%以下であり、最も好ましくは、5%以下である。   Hereinafter, the manufacturing method of the glass laminated body which concerns on embodiment of this invention is demonstrated with reference to attached drawing. In the following description, “the bending stiffness is equal to each other (same)” means not only when the bending stiffness values are completely the same, but also when there is a difference between the two values. Includes the case of 15% or less of the value of the larger bending stiffness. However, this difference is more preferably 10% or less, and most preferably 5% or less.

図1(a)〜(c)は、本発明の第一実施形態に係るガラス積層体の製造方法を示す斜視図である。図1(a)は、本実施形態で製造されるガラス積層体GBを構成する構成要素を例示している。同図に示すように、ガラス積層体GBは、厚みが厚い一枚の支持ガラスG1と、それぞれの厚みが薄い二枚の板ガラスG2,G3とを、その構成要素としている。   Drawing 1 (a)-(c) is a perspective view showing the manufacturing method of the glass layered product concerning a first embodiment of the present invention. Fig.1 (a) has illustrated the component which comprises the glass laminated body GB manufactured by this embodiment. As shown in the figure, the glass laminate GB includes a single supporting glass G1 having a large thickness and two plate glasses G2 and G3 each having a small thickness.

支持ガラスG1は、可撓性を有する(弾性変形が可能である)と共に、その上下面が矩形に形成されており、両板ガラスG2,G3と同一の縦方向長さ、横方向長さ、及び材質を有している。なお、支持ガラスG1の縦方向長さ、横方向長さは、両板ガラスG2,G3よりも一回り大きい方がより好ましい。また、支持ガラスG1は、両板ガラスG2,G3の各々に対して、板厚が厚くなっており、支持ガラスG1が有する曲げ剛性の値は、両板ガラスG2,G3の各々と比較して大きく、後述するように、両板ガラスG2,G3を重ね合わせて製造されるガラス積層体GAと同一となっている。さらに、支持ガラスG1における上下面G1a,G1bのうち、合わせ面としての下面G1bは、その表面粗さRa(算術平均粗さ)が2.0nm以下とされている。なお、表面粗さRaの値は、1.0nm以下であることがより好ましく、さらに好ましくは、0.5nm以下であり、最も好ましくは、0.2nm以下である。   The supporting glass G1 has flexibility (can be elastically deformed), and its upper and lower surfaces are formed in a rectangular shape. The same vertical length and horizontal length as the two glass plates G2 and G3, and Has material. In addition, it is more preferable that the length in the vertical direction and the length in the horizontal direction of the support glass G1 are slightly larger than those of the both glass plates G2 and G3. Further, the support glass G1 is thicker than each of the both plate glasses G2 and G3, and the value of the bending rigidity of the support glass G1 is larger than that of each of the both plate glasses G2 and G3. As will be described later, this is the same as the glass laminate GA manufactured by superimposing both glass plates G2 and G3. Further, of the upper and lower surfaces G1a and G1b of the support glass G1, the lower surface G1b as a mating surface has a surface roughness Ra (arithmetic average roughness) of 2.0 nm or less. The value of the surface roughness Ra is more preferably 1.0 nm or less, still more preferably 0.5 nm or less, and most preferably 0.2 nm or less.

両板ガラスG2,G3は、支持ガラスG1と同様に、可撓性を有すると共に、矩形に形成されている。また、両板ガラスG2,G3は、互いに同一の縦方向長さ、横方向長さ、板厚、及び材質を有している。さらに、両板ガラスG2,G3の各々が有する曲げ剛性の値は、互いに等しく、支持ガラスG1に対して小さくなっている。加えて、板ガラスG2における上下面G2a,G2bのうち、合わせ面としての下面G2b、及び板ガラスG3における合わせ面としての上下面G3a,G3bは、その表面粗さRaが2.0nm以下とされている。なお、表面粗さRaの値は、1.0nm以下であることがより好ましく、さらに好ましくは、0.5nm以下であり、最も好ましくは、0.2nm以下である。   Both the plate glasses G2 and G3 have flexibility and are formed in a rectangular shape like the support glass G1. Further, the both glass plates G2 and G3 have the same longitudinal length, lateral length, plate thickness, and material. Furthermore, each of the glass plates G2 and G3 has the same bending rigidity value and is smaller than the supporting glass G1. In addition, of the upper and lower surfaces G2a and G2b of the plate glass G2, the lower surface G2b as the mating surface and the upper and lower surfaces G3a and G3b as the mating surfaces of the plate glass G3 have a surface roughness Ra of 2.0 nm or less. . The value of the surface roughness Ra is more preferably 1.0 nm or less, still more preferably 0.5 nm or less, and most preferably 0.2 nm or less.

なお、支持ガラスG1、両板ガラスG2,G3は、同じ材質で構成されているため、略等しいヤング率(縦弾性係数)を有している。このヤング率と、各ガラスG1,G2,G3の断面形状、及びこの断面の寸法から定まる断面二次モーメントとの積により、各ガラスG1,G2,G3の曲げ剛性が決定される。さらに、表面粗さRaの制御は、各ガラスG1,G2,G3に対する研磨加工の有無、或いは、ケミカルエッチングを施すにあたって、エッチング液の濃度、液温度、処理時間の調整等を実施することでなされる。   In addition, since the support glass G1 and the both glass plates G2 and G3 are made of the same material, they have substantially the same Young's modulus (longitudinal elastic modulus). The bending rigidity of each glass G1, G2, G3 is determined by the product of this Young's modulus and the cross-sectional shape of each glass G1, G2, G3, and the secondary moment of inertia determined from the dimensions of this cross-section. Furthermore, the control of the surface roughness Ra is performed by adjusting the concentration of the etching solution, the solution temperature, the processing time, etc., when the glass G1, G2, G3 is polished or when chemical etching is performed. The

ガラス積層体GBを製造するための工程として、各ガラスG1,G2,G3のうち、まず、板ガラスG2における下面G2bと、板ガラスG3における上面G3aとを面接触させることで、図1(b)に示すように、両板ガラスG2,G3を重ね合わせたガラス積層体GAを製造する。このとき、両板ガラスG2,G3が、互いに等しい曲げ剛性を有することから、このガラス積層体GAを、略平坦で反りのないものとすることが可能となる。この場合においては、両板ガラスG2,G3が二つのガラス板体に相当する。   As a process for manufacturing the glass laminate GB, among the glasses G1, G2, and G3, first, the lower surface G2b of the plate glass G2 and the upper surface G3a of the plate glass G3 are brought into surface contact with each other in FIG. As shown, a glass laminate GA in which both glass plates G2 and G3 are overlapped is manufactured. At this time, since both the plate glasses G2 and G3 have the same bending rigidity, it is possible to make the glass laminate GA substantially flat and without warping. In this case, both glass plates G2 and G3 correspond to two glass plates.

このように、反りのないガラス積層体GAを製造できるのは、以下のような理由によるものと想定されている。すなわち、両板ガラスG2,G3を重ね合わせた場合、これらの間には密着力が作用する。この密着力は、水素結合に起因しているものと想定されると共に、板ガラスG2が板ガラスG3を引きつける力と、板ガラスG3が板ガラスG2を引きつける力とが等しいものと想定されている。   Thus, it is assumed that the glass laminated body GA without a curvature can be manufactured for the following reasons. That is, when the two glass plates G2 and G3 are overlapped, an adhesion force acts between them. This adhesion force is assumed to be due to hydrogen bonding, and the force that the plate glass G2 attracts the plate glass G3 and the force that the plate glass G3 attracts the plate glass G2 are assumed to be equal.

このため、両板ガラスG2,G3を重ね合わせてガラス積層体GAを製造する場合に、ガラス積層体GAに反りが発生するか否かは、両板ガラスG2,G3間の曲げ変形のしやすさ、すなわち、曲げ剛性に差異があるか否かに支配されていると考えられ、両板ガラスG2,G3の曲げ剛性を互いに等しくしたことで、反りの発生が防止されているものと想定される。   For this reason, when the glass laminate GA is manufactured by superimposing both glass plates G2, G3, whether or not the glass laminate GA is warped is determined by the ease of bending deformation between the glass plates G2, G3, That is, it is considered that it is governed by whether or not there is a difference in bending rigidity, and it is assumed that the bending rigidity of the two glass sheets G2 and G3 is equal to each other, thereby preventing warpage.

ガラス積層体GAの製造が完了すると、次の工程として、ガラス積層体GAにおける下面G3b(板ガラスG3の下面G3b)と、支持ガラスG1における上面G1aとを面接触させることにより、図1(c)に示すように、ガラス積層体GAと支持ガラスG1とを重ね合わせたガラス積層体GBを製造する。この際においても、ガラス積層体GAと支持ガラスG1とが、互いに等しい曲げ剛性を有することから、このガラス積層体GBを、略平坦で反りのないものとすることができる。ここで、この場合においては、二枚の板ガラスG2,G3で構成されたガラス積層体GAと、支持ガラスG1とが二つのガラス板体に相当する。   When the production of the glass laminate GA is completed, as a next step, the lower surface G3b (the lower surface G3b of the plate glass G3) of the glass laminate GA and the upper surface G1a of the support glass G1 are brought into surface contact with each other, as shown in FIG. As shown in FIG. 4, a glass laminate GB is produced by laminating a glass laminate GA and a supporting glass G1. Also in this case, since the glass laminate GA and the support glass G1 have the same bending rigidity, the glass laminate GB can be made substantially flat and without warping. Here, in this case, the glass laminate GA constituted by two plate glasses G2 and G3 and the support glass G1 correspond to two glass plates.

また、図2(a)〜(c)に示すように、ガラス積層体GBの構成要素であって、二枚の板ガラスG2,G3で構成されたガラス積層体(図1におけるガラス積層体GA)から、任意枚数として一枚の板ガラスG2を剥離させて取り除いた場合、図2(b)に示すように、重ね合わせる場合とは異なり、取り除いた板ガラスG2の曲げ剛性と、板ガラスG2を取り除かれたガラス積層体GC(支持ガラスG1と板ガラスG3とで構成されるガラス積層体)の曲げ剛性とに差異があっても、両者には反りが発生しないことが判明している。   Further, as shown in FIGS. 2A to 2C, a glass laminate (glass laminate GA in FIG. 1), which is a component of the glass laminate GB, and is composed of two sheet glasses G2 and G3. From FIG. 2 (b), when the sheet glass G2 is peeled and removed as an arbitrary number, the bending rigidity of the removed sheet glass G2 and the sheet glass G2 are removed, unlike the case of overlapping. It has been found that even if there is a difference in the bending rigidity of the glass laminate GC (glass laminate composed of the supporting glass G1 and the plate glass G3), no warpage occurs between them.

このため、図2(c)に示すように、反りの発生を回避しつつ、二枚の板ガラスG2,G3のうち、所望の一枚の板ガラスG3のみを含んだガラス積層体GCを製造することができる。ここで、このガラス積層体GCの構成要素である板ガラスG3に、各種製造関連処理を施した後、支持ガラスG1から剥離させて取り除いた場合、この取り除かれた板ガラスG3においても、反りが発生しないことが確認されており、製品として問題なく使用することが可能である。   For this reason, as shown in FIG.2 (c), manufacturing the glass laminated body GC containing only one sheet glass G3 desired among two sheet glass G2, G3, avoiding generation | occurrence | production of curvature. Can do. Here, when the plate glass G3 which is a constituent element of the glass laminate GC is subjected to various manufacturing-related treatments and then peeled off from the support glass G1, the warp does not occur even in the removed plate glass G3. It is confirmed that the product can be used without any problem.

なお、本実施形態においては、ガラス積層体GBを製造した後、当該ガラス積層体GBから板ガラスG2を剥離させると共に、ガラス積層体GCから板ガラスG3を剥離させる場合について説明したが、この他、ガラス積層体GAから板ガラスG2、又は板ガラスG3を剥離させる場合や、ガラス積層体GBから支持ガラスG1を剥離させる場合においても、分離した両者において、反りの発生を回避することができる。以上のことから、このような製造方法によれば、上述の各ガラス積層体GA,GB,GCを製造する際に、各ガラス積層体GA,GB,GCのいずれにおいても、反りの発生を回避することができるため、これから得られる各ガラスG1,G2,G3の品質の低下を防止することが可能となる。   In this embodiment, after manufacturing the glass laminate GB, the plate glass G2 is peeled from the glass laminate GB and the plate glass G3 is peeled from the glass laminate GC. Even when the glass sheet G2 or the glass sheet G3 is peeled from the laminated body GA or when the support glass G1 is peeled from the glass laminated body GB, it is possible to avoid the occurrence of warpage in both separated parts. From the above, according to such a manufacturing method, when each of the glass laminates GA, GB, GC described above is manufactured, occurrence of warpage is avoided in any of the glass laminates GA, GB, GC. Therefore, it is possible to prevent deterioration of the quality of each glass G1, G2, G3 obtained from this.

図3(a),(b)は、本発明の第二実施形態に係るガラス積層体の製造方法を示す斜視図である。なお、この第二実施形態に係るガラス積層体の製造方法で製造されるガラス積層体GEの構成要素のうち、上記の第一実施形態に係るガラス積層体の製造方法で製造したガラス積層体GA,GB,GCの構成要素と同一のものについては、同一の符号を付すことにより、重複する説明を省略している。   FIGS. 3A and 3B are perspective views showing a method for manufacturing a glass laminate according to the second embodiment of the present invention. In addition, the glass laminated body GA manufactured with the manufacturing method of the glass laminated body which concerns on said 1st embodiment among the components of the glass laminated body GE manufactured with the manufacturing method of the glass laminated body which concerns on this 2nd embodiment. , GB, and GC are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

図3(a)に、本実施形態で製造されるガラス積層体GEを構成する構成要素を示す。このガラス積層体GEの構成要素が、上記の第一実施形態に係るガラス積層体の製造方法で製造したガラス積層体GA,GB,GCの構成要素と相違している点は、支持ガラスG1に代わって、二枚の板ガラスG4,G5が構成要素となっている点である。   FIG. 3A shows the constituent elements that constitute the glass laminate GE manufactured in the present embodiment. The difference between the constituent elements of the glass laminate GE and the constituent elements of the glass laminates GA, GB, and GC manufactured by the method for manufacturing a glass laminate according to the first embodiment described above is the support glass G1. Instead, two plate glasses G4 and G5 are constituent elements.

ガラス積層体GEを製造するための工程として、同図に示すように、まず、両板ガラスG2,G3を重ね合わせたガラス積層体GAと、両板ガラスG4,G5を重ね合わせたガラス積層体GDとが製造される。このとき、両板ガラスG4,G5が互いに等しい曲げ剛性を有することにより、このガラス積層体GDを、略平坦で反りのないものとすることができる。この場合においては、両板ガラスG4,G5が二つのガラス板体に相当する。   As a process for manufacturing the glass laminate GE, as shown in the figure, first, a glass laminate GA in which both plate glasses G2 and G3 are overlaid, and a glass laminate GD in which both plate glasses G4 and G5 are overlaid, Is manufactured. At this time, since both glass plates G4 and G5 have the same bending rigidity, the glass laminate GD can be made substantially flat and free of warpage. In this case, both glass plates G4 and G5 correspond to two glass plates.

両ガラス積層体GA,GDの製造が完了すると、次の工程として、ガラス積層体GAにおける下面G3bと、ガラス積層体GDにおける上面G4aとを面接触させることによって、この両ガラス積層体GA,GDを重ね合わせたガラス積層体GEを製造する。この際においても、ガラス積層体GAとガラス積層体GDとが、互いに等しい曲げ剛性を有することから、このガラス積層体GEを、略平坦で反りのないものとすることができる。ここで、この場合においては、両板ガラス積層体GA,GDが二つのガラス板体に相当する。   When the production of both the glass laminates GA and GD is completed, as the next step, the lower surface G3b of the glass laminate GA and the upper surface G4a of the glass laminate GD are brought into surface contact with each other. The glass laminated body GE which laminated | stacked these is manufactured. Also in this case, since the glass laminate GA and the glass laminate GD have the same bending rigidity, the glass laminate GE can be made substantially flat and free of warpage. Here, in this case, the two-plate glass laminates GA and GD correspond to two glass plates.

また、このガラス積層体GEから任意枚数として一枚、例えば、板ガラスG2を剥離させて取り除いた場合、取り除いた板ガラスG2の曲げ剛性と、板ガラスG2を取り除かれたガラス積層体(板ガラスG3,G4,G5とで構成されるガラス積層体)の曲げ剛性とに差異があっても、両者には反りが発生しない。そのため、反りの発生を回避しつつ、四枚の板ガラスG2,G3,G4,G5のうち、所望の三枚の板ガラスG3,G4,G5のみを含んだガラス積層体を製造することができる。   Further, when an arbitrary number of sheets, for example, the sheet glass G2 is peeled and removed from the glass laminate GE, the bending rigidity of the removed sheet glass G2 and the glass laminate (sheet glass G3, G4, from which the sheet glass G2 is removed). Even if there is a difference in the bending rigidity of the glass laminate composed of G5), no warpage occurs between the two. Therefore, it is possible to manufacture a glass laminate including only the desired three plate glasses G3, G4, and G5 among the four plate glasses G2, G3, G4, and G5 while avoiding the occurrence of warpage.

なお、本実施形態においては、ガラス積層体GEを製造した後、当該ガラス積層体GEから板ガラスG2を剥離させる場合について説明したが、この他、ガラス積層体GEから二枚、或いは、三枚の板ガラスを剥離させる場合においても、分離した両者において、反りの発生を回避することができる。以上のことから、このような製造方法によれば、上述の各ガラス積層体GA,GD,GEを製造する際に、各ガラス積層体GA,GD,GEのいずれにおいても、反りの発生を回避することができるため、これから剥離させて得られる各板ガラスG2,G3,G4,G5の品質の低下を防止することが可能となる。   In addition, in this embodiment, after manufacturing the glass laminated body GE, although the case where the plate glass G2 was peeled from the said glass laminated body GE was demonstrated, in addition to this, two sheets from a glass laminated body GE, or three sheets Even in the case where the plate glass is peeled off, it is possible to avoid the occurrence of warpage in both separated parts. From the above, according to such a manufacturing method, when each of the glass laminates GA, GD, and GE described above is manufactured, occurrence of warpage is avoided in any of the glass laminates GA, GD, and GE. Therefore, it is possible to prevent the quality of each of the glass sheets G2, G3, G4, and G5 obtained from being peeled from being deteriorated.

ここで、本発明に係るガラス積層体の製造方法は、上記の各実施形態で説明した態様に限定されるものではない。例えば、上記の各実施形態においては、同じ材質を有する板ガラス同士を重ね合わせてガラス積層体を製造しているが、材質の異なる板ガラスを重ね合わせてガラス積層体を製造してもよい。また、上記の各実施形態とは異なり、重ね合わされる板ガラスの寸法(縦方向長さ、横方向長さ、板厚)が異なっていてもよい。これらの場合においても、重ね合わされる二つのガラス板体の曲げ剛性が互いに等しければ、上述の各実施形態に係るガラス積層体の製造方法と同様の作用効果を得ることができる。   Here, the manufacturing method of the glass laminated body which concerns on this invention is not limited to the aspect demonstrated by said each embodiment. For example, in each of the above embodiments, the glass laminates are manufactured by stacking plate glasses having the same material, but the glass laminates may be manufactured by stacking plate glasses of different materials. Moreover, unlike said each embodiment, the dimension (vertical direction length, horizontal direction length, plate | board thickness) of the plate glass laminated | stacked may differ. Also in these cases, if the bending rigidity of the two glass plates to be superimposed is equal to each other, the same operational effects as those of the method for manufacturing a glass laminate according to each of the above embodiments can be obtained.

本発明の効果を検証するため、下記の6つ(実施例1〜4、比較例1,2)の条件下で二つのガラス板体を重ね合わせてガラス積層体を製造し、完成したガラス積層体における反りの大きさを測定することで、その良否を判定した。以下にガラス積層体の製造条件を示す。なお、ガラス板体としては、薄肉の板ガラスであるガラスフィルム、支持ガラス、ガラスフィルム同士を重ね合わせたガラス積層体、ガラスフィルム(一枚、又は複数枚)と支持ガラスとを重ね合わせたガラス積層体を使用している。   In order to verify the effect of the present invention, a glass laminate was produced by superimposing two glass plates under the following six conditions (Examples 1 to 4, Comparative Examples 1 and 2), and a finished glass laminate The quality of the warp was determined by measuring the amount of warpage in the body. The manufacturing conditions of a glass laminated body are shown below. In addition, as a glass plate body, the glass laminate which laminated | stacked the glass film which is thin plate glass, support glass, glass films, the glass film (one sheet or several sheets), and support glass. Using the body.

ガラス積層体の構成要素として、ガラスフィルム、及び支持ガラスを用い、両ガラスに日本電気硝子社製の無アルカリガラス(製品名:OA−10G)を使用した。これらをオーバーフローダウンドロー法によって成形した後、成形されたガラスに対する研磨加工の有無、或いは、ケミカルエッチングを施すにあたり、エッチング液の濃度、液温度、処理時間の調整により、ガラスフィルム、及び支持ガラスにおける合わせ面の表面粗さRaを制御した。   A glass film and a supporting glass were used as components of the glass laminate, and non-alkali glass (product name: OA-10G) manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd. was used for both glasses. After these are molded by the overflow down draw method, the presence or absence of polishing processing on the molded glass, or the chemical etching, the concentration of the etchant, the temperature of the solution, the adjustment of the processing time, in the glass film and support glass The surface roughness Ra of the mating surfaces was controlled.

表面粗さRaの測定には、SII社製、走査型プローブ顕微鏡(NanoNaviII/
S−image)を使用して、JISR1683:2007原子間力顕微鏡によるファインセラミックス薄膜の表面粗さ測定方法を準用して測定した。ただし、測定点は、ガラスフィルム、及び支持ガラスの各々におけるコーナー部1点と、中央部1点との2点で測定を行い、その平均値をガラスフィルム、支持ガラスの表面粗さRaとした。
For the measurement of the surface roughness Ra, a scanning probe microscope (NanoNaviII /
S-image) was measured by applying the method for measuring the surface roughness of a fine ceramic thin film using a JIS R1683: 2007 atomic force microscope. However, the measurement points were measured at two points of one corner portion and one central portion in each of the glass film and the supporting glass, and the average value was defined as the surface roughness Ra of the glass film and the supporting glass. .

ガラスフィルム、及び支持ガラスとの双方を洗浄し、乾燥させた後、以下の各製造条件の下でガラス積層体を製造した。なお、これらが相互に接触する側の面となる合わせ面の表面粗さRaは、いずれも2.0nm以下とされている。また、ガラスフィルム、及び支持ガラスの縦方向寸法、及び横方向寸法は同一であり、300mm×300mmとなっている。さらに、ガラスフィルム、及び支持ガラスは、双方共に無アルカリガラスで構成されており、略等しいヤング率(縦弾性係数)を有するため、その曲げ剛性の大小は、各ガラスにおける板厚の寸法の大小によって決定され、同じ板厚を有する場合には、曲げ剛性の値も同一となる。   After washing and drying both the glass film and the supporting glass, a glass laminate was produced under the following production conditions. Note that the surface roughness Ra of the mating surfaces that are the surfaces on which they are in contact with each other is 2.0 nm or less. Moreover, the vertical direction dimension and the horizontal direction dimension of a glass film and support glass are the same, and are 300 mm x 300 mm. Furthermore, since both the glass film and the supporting glass are made of alkali-free glass and have approximately the same Young's modulus (longitudinal elastic modulus), the magnitude of the bending rigidity is the size of the thickness of each glass. When the plate thickness is the same, the value of the bending stiffness is the same.

(実施例1)
二枚の板厚100μmのガラスフィルムを重ね合わせて、板厚200μmのガラス積層体を製造した。
(実施例2)
板厚200μmの支持ガラスと、二枚の板厚100μmのガラスフィルムで構成されるガラス積層体とを重ね合わせて、板厚400μmのガラス積層体を製造した。
(実施例3)
実施例2で製造された板厚400μmのガラス積層体から、板厚100μmのガラスフィルム一枚を剥離させて、板厚300μmのガラス積層体を製造した。
(実施例4)
実施例1で製造された板厚200μmのガラス積層体を二つ重ね合わせて、板厚400μmのガラス積層体を製造した。
(比較例1)
板厚400μmの支持ガラスと、板厚100μmのガラスフィルムとを重ね合わせて、板厚500μmのガラス積層体を製造した。
(比較例2)
板厚300μmの支持ガラスと、実施例1で製造された板厚200μmのガラス積層体とを重ね合わせて、板厚500μmのガラス積層体を製造した。
Example 1
Two glass films having a plate thickness of 100 μm were superposed to produce a glass laminate having a plate thickness of 200 μm.
(Example 2)
A support glass having a thickness of 200 μm and a glass laminate composed of two glass films having a thickness of 100 μm were superposed to produce a glass laminate having a thickness of 400 μm.
(Example 3)
One glass film having a plate thickness of 100 μm was peeled from the glass laminate having a plate thickness of 400 μm manufactured in Example 2 to produce a glass laminate having a plate thickness of 300 μm.
Example 4
Two glass laminates with a plate thickness of 200 μm produced in Example 1 were superposed to produce a glass laminate with a plate thickness of 400 μm.
(Comparative Example 1)
A support glass having a thickness of 400 μm and a glass film having a thickness of 100 μm were overlapped to produce a glass laminate having a thickness of 500 μm.
(Comparative Example 2)
The support glass having a thickness of 300 μm and the glass laminate having a thickness of 200 μm manufactured in Example 1 were overlapped to produce a glass laminate having a thickness of 500 μm.

その後、各製造条件の下で完成したガラス積層体を定盤上に載置し、シックネスゲージを使用して、ガラス積層体における四隅のコーナー部と、ガラス積層体の輪郭を形成する四辺における中点との計八点における反りの大きさを変形量(ガラス積層体が載置された定盤の載置面から当該ガラス積層体の下面までの距離)として測定した。そして、八点のうち、最大の変形量(μm)が、液晶用パネルとして使用される板ガラスにおいて、許容される600μm以下の変形に抑制されているか否かを基準として、良否を判定した。   After that, the glass laminate completed under each manufacturing condition is placed on a surface plate, and using a thickness gauge, the corners of the four corners of the glass laminate and the four sides forming the outline of the glass laminate are arranged. The amount of warpage at a total of eight points was measured as the amount of deformation (distance from the mounting surface of the surface plate on which the glass laminate was placed to the lower surface of the glass laminate). And the quality was determined on the basis of whether the maximum deformation amount (μm) among the eight points was suppressed to an allowable deformation of 600 μm or less in the plate glass used as the liquid crystal panel.

以下に、各条件下で製造されたガラス積層体について、測定された最大の変形量(反りの大きさ)の値を示す。
実施例1:100μm
実施例2:180μm
実施例3:180μm
実施例4:170μm
比較例1:650μm
比較例2:700μm
Below, the measured value of the maximum amount of deformation (the amount of warpage) is shown for the glass laminate produced under each condition.
Example 1: 100 μm
Example 2: 180 μm
Example 3: 180 μm
Example 4: 170 μm
Comparative Example 1: 650 μm
Comparative Example 2: 700 μm

上記の測定結果から、実施例1〜4においては、液晶用パネルとして使用される板ガラスにおいて、許容される600μmよりも小さい変形に反りを抑制することができた。一方、比較例1,2では、そのいずれにおいても、反りの大きさを600μm以下に抑制することが不可能であった。これは、実施例1〜4においては、ガラス積層体を製造する際に、二つのガラス板体の曲げ剛性を互いに等しくしたことで、当該ガラス積層体における反りの発生が防止されていることによるものと推認される。   From the above measurement results, in Examples 1 to 4, it was possible to suppress warpage in the deformation smaller than the allowable 600 μm in the plate glass used as the liquid crystal panel. On the other hand, in each of Comparative Examples 1 and 2, it was impossible to suppress the warpage to 600 μm or less. This is because, in Examples 1 to 4, when the glass laminate was manufactured, the bending rigidity of the two glass plates was made equal to each other, thereby preventing the occurrence of warpage in the glass laminate. It is inferred.

G1 支持ガラス
G2 板ガラス
G3 板ガラス
G4 板ガラス
G5 板ガラス
GA ガラス積層体
GB ガラス積層体
GC ガラス積層体
GD ガラス積層体
GE ガラス積層体
G1 support glass G2 plate glass G3 plate glass G4 plate glass G5 plate glass GA glass laminate GB glass laminate GC glass laminate GD glass laminate GE glass laminate

Claims (3)

平板状をなす二つのガラス板体の各々において、相互に接触する側の面となる合わせ面の表面粗さRaを2.0nm以下とし、その両合わせ面を面接触させることにより、前記二つのガラス板体を重ね合わせたガラス積層体を製造するガラス積層体の製造方法であって、
前記二つのガラス板体における曲げ剛性が互いに等しいことを特徴とするガラス積層体の製造方法。
In each of the two glass plates having a flat plate shape, the surface roughness Ra of the mating surface to be a surface in contact with each other is set to 2.0 nm or less, and the two mating surfaces are brought into surface contact with each other. It is a manufacturing method of a glass laminate for producing a glass laminate in which glass plates are stacked,
The method for producing a glass laminate, wherein the bending stiffnesses of the two glass plates are equal to each other.
前記二つのガラス板体のうち、少なくとも一方のガラス板体は、等しい曲げ剛性を有する複数枚の板ガラスを重ね合わせたガラス積層体であることを特徴とする請求項1に記載のガラス積層体の製造方法。   2. The glass laminate according to claim 1, wherein at least one of the two glass plates is a glass laminate in which a plurality of plate glasses having equal bending rigidity are stacked. Production method. 前記少なくとも一方のガラス板体であるガラス積層体から、任意枚数の板ガラスを剥離させることを特徴とする請求項2に記載のガラス積層体の製造方法。   The method for producing a glass laminate according to claim 2, wherein an arbitrary number of plate glasses are peeled from the glass laminate that is the at least one glass plate.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2019090382A (en) * 2017-11-16 2019-06-13 日本電産株式会社 Axial flow fan

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