JP2014123719A - 熱変形を低減するwynn−dyson結像システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レチクルプリズムおよびウェハプリズムは、約100ppb/℃以下の熱膨張係数を有するガラス材料で作られる。Wynn−Dyson結像システムは、レチクル16とレチクルプリズム110Rとの間に配置される第1窓と、ウェハ18とウェハプリズムとの間に配置され、像の対称性を維持する第2窓とを含む。第1窓は、対流熱および放射熱がレチクルプリズムに到達するのを実質的にブロックし、それによってウェハ上に形成されるレチクルの像において熱誘導像変形の量を低減する。
【選択図】図3
Description
a)極めて低い熱膨張係数(CTE)(すなわち、「超低熱膨張」またはULTE)、例えば、5℃から35℃の温度範囲内において1×10−7/℃以下、すなわち、100ppb/℃以下。
b)フォトリソグラフィーにおいて使用される紫外線波長(例えば、365nm)での適切な屈折率。
また、一実施形態では、光学組立体50は、レチクル16とレチクルプリズム110Rとの間に配置される第1窓150Rを含む。また、光学組立体150は、第2窓150Wを含む。第2窓150Wは、像対称性を維持するようにウェハ18とウェハプリズム110Wとの間に配置される。すなわち、対物面OPから結像面IPまでの光路は光軸14に対して略対称であるため、第2窓150Wは、第1窓150Rの導入によって生じる像収差(例えば、球面収差)を相殺するように構成される。第1窓150Rおよび第2窓150Wは、フォトリソグラフィーで使用される紫外線波長で良好な光学透過性を有することを必要とする。第1窓150Rおよび第2窓150Wは、それぞれ厚みTRおよびTWを有する。像対称性を維持するための直接的な方法は、第1窓150Rおよび第2窓150Wを同じ物質で同じ厚さに作ることである。
Claims (19)
- 紫外線(UV)波長を有する光で動作するWynn−Dyson結像システムであって、光軸に沿って
凹状表面を有するミラーと、
前記Wynn−Dyson結像システムの開口数を決定する前記ミラーに位置する開口絞りと、
正の反射出力を有し、前端および後端を有し、前記ミラーの近傍に配置されると共に前記ミラーと対向する前記前端で前記ミラーから離間するレンズ組立体と、
前記光軸の反対側であって前記レンズ組立体の前記後端近傍に、操作可能に配置される第1および第2プリズムと
を備え、
前記第1および第2プリズムは、それぞれ第1および第2平面を有し、
前記第1および第2平面は、対物面および結像面の近傍にそれぞれ配置され、
前記Wynn−Dyson結像システムは、以下の2つの技術的特徴の少なくとも一つを有する
a)前記第1および第2プリズムは、それぞれ、約100ppb/℃以下の熱膨張係数を有するガラス材料から作られている、
b)前記Wynn−Dyson結像システムは、前記第1プリズムの前記平面と前記対物面との間に操作可能に配置されると共に、実質的に前記紫外線を透過させるが2ミクロンから20ミクロンの範囲の波長の赤外線(IR)を実質的にブロックする第1窓と、前記第2プリズムの前記平面と前記結像面との間に操作可能に配置されると共に、実質的に前記紫外線を透過させる第2窓とをさらに備え、前記第1および第2窓は、像の対称性を維持するように構成される
Wynn−Dyson結像システム。 - 前記結像面と前記第1窓との間に空気を流すように配置される空気供給ユニットをさらに備える
請求項1に記載のWynn−Dyson結像システム。 - 前記第1および第2窓は、それぞれ0.05から2mmの間の厚みを有する
請求項1または2に記載のWynn−Dyson結像システム。 - 正面と背面を有し、実質的に前記対物面に配置されるレチクルと、
実質的に前記結像面に配置されるウェハと、
前記レチクルの前記背面の近傍に配置されると共に、前記レチクルに前記紫外線を照射して前記ウェハ上に前記レチクルの像を形成する照明システムと
をさらに備え、
前記レチクル像は、0.25ミクロン以下の光学歪量を有する
請求項1から3のいずれかに記載のWynn−Dyson結像システム。 - 前記レチクルプリズムおよび前記ウェハプリズムは、ULE(登録商標)ガラスから作られている
請求項4に記載のWynn−Dyson結像システム。 - 前記第1窓は、前記第1窓からの熱を除去するように構成されるヒートシンクマウントに取り付けられる
請求項1から5のいずれかに記載のWynn−Dyson結像システム。 - 前記第1窓は、外縁を有し、
前記ヒートシンクマウントは、前記第1窓の前記外縁に熱的に接触している
請求項6に記載のWynn−Dyson結像システム。 - 前記第1窓は、サファイアから作られている
請求項1から7のいずれかに記載のWynn−Dyson結像システム。 - 紫外線(UV)を用いてウェハ上にレチクルを結像するために使用されるWynn−Dyson結像システムにおいて像の歪みを低減する方法であって、
2ミクロンから20ミクロンの間の波長を有する赤外線(IR)を実質的にブロックするが、実質的に前記紫外線を透過させるように構成されている第1窓を、前記レチクルと隣接レチクルプリズムとの間に配置することと、
実質的に前記紫外線を透過させる第2窓を、前記ウェハと隣接ウェハプリズムとの間に配置することと、
前記Wynn−Dyson結像システムを用いて、前記レチクルを少なくとも50℃まで加熱して前記レチクルに対流熱および放射熱を放出させる前記紫外線で前記レチクルを照射して、前記ウェハ上に前記レチクルの像を形成することと、
前記第1窓および前記第2窓を用いない場合に比べて前記ウェハ上の前記レチクルの像が、低減された像歪みを有するように、前記対流熱および前記放射熱の大部分を前記第1窓でブロックすることと
を備える、方法。 - 前記レチクルおよびウェハプリズムは、超低膨張(ULE(登録商標))ガラス材料から作られている
請求項9に記載の方法。 - 前記第1および第2窓は、それぞれ、複屈折性を有するサファイアから作られており、
前記第1および第2窓は、相互に前記複屈折性による結像効果を実質的に打ち消しあうように構成される
請求項9または10に記載の方法。 - 前記レチクルと前記第1窓との間に空気を流して前記レチクルおよび前記窓の両方から熱を除去することをさらに備える
請求項9から11のいずれかに記載の方法。 - 前記第1窓からの熱を除去するように構成されるヒートシンクマウントに前記第1窓を取り付けることをさらに備える
請求項9から12のいずれかに記載の方法。 - 前記第1窓は、外縁を有し、
前記ヒートシンクマウントを前記第1窓の前記外縁に熱的に接触させる
請求項13に記載の方法。 - 第1ミラーおよび光学組立体を有し、紫外線(UV)を用いてウェハ上にレチクルを結像するために使用されるWynn−Dyson結像システムにおいて像の歪みを低減する方法であって、
超低膨張(ULE(登録商標))ガラス材料から作られている前記レチクルプリズムおよび前記ウェハプリズムを前記光学組立体に付与することと、
前記Wynn−Dyson結像システムを用いて、前記紫外線で前記レチクルを照射して、前記ウェハ上に前記レチクルの像を形成することと
を備え、
前記紫外線は、前記レチクルを少なくとも50℃まで加熱し、それによって前記レチクルに対流熱および放射熱を放出させ、
前記ウェハ上の前記レチクルの像は、0.5ミクロン以下の最大像歪みを有する
方法。 - 2ミクロンから20ミクロンの間の波長を有する赤外線(IR)を実質的にブロックするが、実質的に前記紫外線を透過させるように構成されている第1窓を、前記レチクルと隣接レチクルプリズムとの間に配置することと、
実質的に紫外線を透過させる第2窓を、前記ウェハと隣接ウェハプリズムとの間に配置することと、
ブロックされなければ前記レチクルプリズムに到達するであろう前記対流熱および前記放射熱の大部分を前記第1窓でブロックすることと
をさらに備える、請求項15に記載の方法。 - 前記ウェハ上の前記レチクルの像は、0.25ミクロン以下の最大像歪みを有する
請求項15または16に記載の方法。 - 前記第1および第2窓は、サファイアから作られる
請求項15から17のいずれかに記載の方法。 - 前記第1および第2窓は、それぞれ、複屈折性を有し、相互に前記複屈折性による結像効果を減少させるようにクロックされている
請求項18に記載の方法。
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