JP2014109752A - 光学素子、撮像光学素子、撮像装置、及び光学素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】結像光学系4と撮像素子2の間に配置され、前記結像光学系4の像面湾曲収差を補正する光学素子1であって、前記撮像素子2の受光素子2aのそれぞれに対向し、前記撮像素子2側から前記結像光学系4側へ延びる複数の導光柱3を有し、該複数の導光柱3の端面によって構成される前記結像光学系側の第1面3aが、前記結像光学系4の像面湾曲収差に対応した曲面を形成しており、前記導光柱3が3次元光造形法によって形成された樹脂からなるものとする。
【選択図】図1
Description
結像光学系と撮像素子の間に配置され、前記結像光学系の像面湾曲収差を補正する光学素子であって、
前記撮像素子の受光素子のそれぞれに対向し、前記撮像素子側から前記結像光学系側へ延びる複数の導光柱を有し、
該複数の導光柱の端面によって構成される前記結像光学系側の面が、前記結像光学系の像面湾曲収差に対応した曲面を形成しており、
前記導光柱が3次元光造形法によって形成された樹脂からなることを特徴とする光学素子である。
上記光学素子と、
該光学素子に接合された撮像素子とを有することを特徴とする撮像光学素子である。
上記光学素子、又は上記撮像光学素子を有することを特徴とする撮像装置である。
結像光学系と撮像素子の間に配置され、前記結像光学系の像面湾曲収差を補正する光学素子であって、
前記撮像素子の受光素子のそれぞれに対向し、前記撮像素子側から前記結像光学系側へ延びる複数の導光柱を有し、
該複数の導光柱の端面によって構成される前記結像光学系側の面が、前記結像光学系の像面湾曲収差に対応した曲面を形成している光学素子の製造方法において、
前記導光柱を3次元光造形法によって樹脂から形成する工程を含むことを特徴とする光学素子の製造方法である。
以下、本発明の第1実施の形態について図1ないし4を参照しつつ説明する。なお、以下の実施の形態は、発明の理解の容易化のためのものに過ぎず、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲において当業者により実施可能な付加・置換等を施すことを排除することは意図していない。
導光柱3を支持する薄いガラス或いはプラスチックなどから成る基板5を用意する。基板5は既存の成形方法や研磨方法によって作製することができる。
基板5を液状の光硬化樹脂8に浸し、光学素子1の形状を示すデータをもとに、レーザー等と空間変調素子を使用して光硬化樹脂8を硬化させ、積層造形法により複数の導光柱3及び梁7を同時に成形する。光学素子1の形状としては、例えば、導光柱3が受光素子の画素配置に対応して配置され、各導光柱3は、画素サイズ(十数μm角から1μm角)の2次元形状を有し、高さは数μmから数百μmの範囲でそれぞれ異なるものとすることが考えられる。光硬化樹脂8としては、例えば、Huntsman社のSL7870、3D Systems, Inc.のAccura60(「ACCURA」は登録商標)を用いる事が出来る。なお、本発明においては、2光子マイクロ光造形法などの他の3次元造形法を使用することもできる。
光学素子1が形成された後、リンスを行い、不要な光硬化樹脂8を取り除き、乾燥させる。また、必要に応じてポストキュアを行い、光学素子1を最終硬化させる。なお、リンスに用いるリンス液としては、例えば、アルコール、ケトン類等を含む有機溶剤を用いることができる。
導光柱の上部からイオンを照射しながら樹脂と反応してアッシングする酸素などの反応性プラズマを用いるエッチング装置によって梁7の上部を取り除くエッチングを行う。イオンの主成分としては、酸素、水素、或いは窒素が好ましい。また、反応性プラズマの主成分としても、酸素、水素、或いは窒素が好ましい。
以下、本願の第2実施の形態について図4ないし図6を参照しつつ説明する。
結像光学系24の像面Iにおける像面湾曲収差に対応した曲面を有する基板25を用意する。基板25は既存の成形方法や研磨方法によって作製することができる。
基板25を像面湾曲収差に対応した曲面を上に向けて液状の光硬化樹脂28に浸し、光学素子21の形状を示すデータをもとに、レーザー等と光変調素子を使用して光硬化樹脂28を硬化させ、積層造形法により導光柱23及び梁27を成形する。なお、本発明においては、2光子マイクロ光造形法などの他の3次元造形法を使用することもできる。
光学素子21が形成された後、リンスを行い、不要な光硬化樹脂28を取り除き、乾燥させる。また、必要に応じてポストキュアを行い、光学素子21を最終硬化させる。
導光柱の上部からイオンを照射しながら樹脂と反応してアッシングする酸素などの反応性プラズマを用いたエッチング装置によって梁27の上部を取り除くエッチングを行う。イオンの主成分としては、酸素、水素、或いは窒素が好ましい。また、反応性プラズマの主成分としても、酸素、水素、或いは窒素が好ましい。
既存の目合わせ装置を用いて、工程4で完成した光学素子21の各導光柱23を、撮像素子22の受光素子22aにそれぞれ位置合わせして撮像素子22の表面に接合する。接合には、UV接着剤等を用いる方法が使用可能である。図6(e)においては、撮像素子22の表面がマイクロレンズアレイ22bの場合を示しているが、その他、撮像素子22のカバーガラス面、色フィルタ面などの場合がある。導光柱23それぞれを対応する受光素子22aに一対一対応に接合することで、撮像光学素子20が完成する。
2、22 撮像素子
2a、22a 受光素子
2b 第1アレイレンズ
3、23 導光柱
3a、23a 第1面
3b、23b 第2面
4、24 結像光学系
5、25 基板
6 第2アレイレンズ
7、27 梁
8、28 光硬化樹脂
20 撮像光学素子
22b アレイレンズ
30 カメラ
31 撮影レンズ
32 撮像部
33 EVF
I 像面
Claims (18)
- 結像光学系と撮像素子の間に配置され、前記結像光学系の像面湾曲収差を補正する光学素子であって、
前記撮像素子の受光素子のそれぞれに対向し、前記撮像素子側から前記結像光学系側へ延びる複数の導光柱を有し、
該複数の導光柱の端面によって構成される前記結像光学系側の面が、前記結像光学系の像面湾曲収差に対応した曲面を形成しており、
前記導光柱が3次元光造形法によって形成された樹脂からなることを特徴とする光学素子。 - 前記導光柱の間隔を保つ間隔保持部材を有し、
該間隔保持部材は、前記導光柱とともに3次元光造形法によって形成された樹脂からなることを特徴とする請求項1に記載の光学素子。 - 前記間隔保持部材は、前記導光柱の端部近傍に配置されていることを特徴とする請求項2に記載の光学素子。
- 前記間隔保持部材は、隣接する前記導光柱の間に架け渡された梁であることを特徴とする請求項2又は3に記載の光学素子。
- 前記導光柱を支持する基板を有することを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の光学素子。
- 請求項1ないし5のいずれか1項に記載の光学素子と、
該光学素子に接合された撮像素子とを有することを特徴とする撮像光学素子。 - 請求項1ないし5のいずれか1項に記載の光学素子、又は請求項6に記載の撮像光学素子を有することを特徴とする撮像装置。
- 結像光学系と撮像素子の間に配置され、前記結像光学系の像面湾曲収差を補正する光学素子であって、
前記撮像素子の受光素子のそれぞれに対向し、前記撮像素子側から前記結像光学系側へ延びる複数の導光柱を有し、
該複数の導光柱の端面によって構成される前記結像光学系側の面が、前記結像光学系の像面湾曲収差に対応した曲面を形成している光学素子の製造方法において、
前記導光柱を3次元光造形法によって樹脂から形成する工程を含むことを特徴とする光学素子の製造方法。 - 前記導光柱の形成とともに、前記導光柱の間隔を保つ間隔保持材を3次元光造形法によって樹脂から形成することを特徴とする請求項8に記載の光学素子の製造方法。
- 前記間隔保持部材を前記導光柱の端部近傍に配置することを特徴とする請求項9に記載の光学素子の製造方法。
- 前記間隔保持材は、隣接する前記導光柱の間に架け渡された梁であることを特徴とする請求項9又は10に記載の光学素子の製造方法。
- 前記光学素子の乾燥後に前記梁の光軸方向の寸法をエッチングによって小さくする工程をさらに含むことを特徴とする請求項11に記載の光学素子の製造方法。
- 前記光学素子の乾燥後に前記梁をエッチングによって除去する工程をさらに含むことを特徴とする請求項11に記載の光学素子の製造方法。
- 前記エッチングに反応性イオンエッチング装置、誘電結合プラズマエッチング装置又は電子サイクロトロン共鳴エッチング装置を用いることを特徴とする請求項12又は13に記載の光学素子の製造方法。
- 前記導光柱の延在方向にイオンを照射しながら反応性プラズマによって前記エッチングを行うことを特徴とする請求項12ないし14のいずれか1項に記載の光学素子の製造方法。
- 前記イオンの主成分は酸素、水素、あるいは窒素であり、
前記反応性プラズマの主成分も酸素、水素、あるいは窒素であることを特徴とする請求項15に記載の光学素子の製造方法。 - 前記導光柱は、基板上に形成されることを特徴とする請求項9ないし16のいずれか1項に記載の光学素子の製造方法。
- 前記導光柱は、前記撮像素子上に形成されることを特徴とする請求項9ないし17のいずれか1項に記載の光学素子の製造方法。
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-
2012
- 2012-12-04 JP JP2012265410A patent/JP2014109752A/ja active Pending
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