JP2014107414A - サンプルホルダ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体製造装置に格納され、半導体製造装置による処理において電極として使用可能なサンプルホルダであって、処理対象の基板が搭載される基板搭載領域が定義されて垂直方向に延伸し且つ表面高さが一様である基板搭載面を有し、基板搭載面の、少なくとも基板搭載領域が定義された領域の全体が多孔質の材料からなる。
【選択図】図1
Description
10…サンプルホルダ
11…基板プレート
12…固定板
20…チャンバー
30…カソード電極
40…交流電源
50…ガス供給装置
60…排気装置
110…基板搭載面
111…基板搭載領域
200…基板
500…原料ガス
Claims (3)
- 半導体製造装置に格納され、前記半導体製造装置による処理において電極として使用可能なサンプルホルダであって、
処理対象の基板が搭載される基板搭載領域が定義され、垂直方向に延伸し且つ表面高さが一様である基板搭載面を有し、
前記基板搭載面の、少なくとも前記基板搭載領域が定義された領域の全体が多孔質の材料からなることを特徴とするサンプルホルダ。 - 前記基板搭載面の前記基板搭載領域が定義された領域がカーボンからなることを特徴とする請求項1に記載のサンプルホルダ。
- 垂直方向に延伸する第1の主面と、該第1の主面に対向した第2の主面とを有し、前記第1及び前記第2の主面にそれぞれ前記基板搭載領域が定義された基板プレートを備えることを特徴とする請求項1又は2に記載のサンプルホルダ。
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